JP2020068249A - Sheet sticking device and sheet sticking method - Google Patents

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孝之 丸山
Takayuki Maruyama
孝之 丸山
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Abstract

To provide a sheet sticking device capable of restraining breakdown and waste of adherend.SOLUTION: A sheet sticking device EA includes sticking means 20 for supplying an adhesion sheet AS, and after sticking the adhesion sheet AS to a frame member RF, also sticking the adhesion sheet AS to an adherend WK placed in the opening RF1 of a frame member RF, detection means 30 for detecting the fact, that the adhesion sheet AS has not been stuck to a prescribed position for the frame member RF, at the pre-stage when the adhesion sheet AS is stuck to the adherend WK, as poor sticking, and alternative member supply means 40 for supplying an alternative member SS, to which the adhesion sheet AS is stuck, between the adhesion sheet AS and the adherend WK, so that the adhesion sheet AS is not stuck to the adherend WK, when poor sticking is detected by detection means 30.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。   The present invention relates to a sheet sticking device and a sheet sticking method.

従来、フレーム部材および被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, a sheet sticking device that sticks an adhesive sheet to a frame member and an adherend is known (for example, refer to Patent Document 1).

特開2017−204615号公報JP, 2017-204615, A

しかしながら、特許文献1に記載されたような従来のテープ貼着装置2(シート貼付装置)では、円形状テープ3a(接着シート)がフレーム13(フレーム部材)の適切な位置に貼付されなかった場合、当該接着シートを被加工物11(被着体)から剥離したり、被着体を破棄したりしなくてはならず、接着シートの剥離時に被着体が破損したり、破棄によって被着体が無駄になったりするという不都合が発生する。   However, in the conventional tape sticking device 2 (sheet sticking device) as described in Patent Document 1, when the circular tape 3a (adhesive sheet) is not stuck to an appropriate position of the frame 13 (frame member) , The adhesive sheet must be peeled off from the work piece 11 (adherend), or the adherend must be discarded, and the adherend is damaged when the adhesive sheet is peeled off, or adhered by discarding. There is an inconvenience that the body is wasted.

本発明の目的は、被着体の破損や無駄を抑制することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a sheet sticking device and a sheet sticking method capable of suppressing damage and waste of an adherend.

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。   The present invention employs the configurations described in the claims.

本発明によれば、接着シートが被着体に貼付される前段で貼付不良を検知し、接着シートが被着体に貼付されないように、接着シートと被着体との間に当該接着シートが貼付される代替部材を供給するので、接着シートを被着体から剥離したり、被着体を破棄したりしなくてもよく、被着体の破損や無駄を抑制することができる。   According to the present invention, the sticking failure is detected before the sticking of the adhesive sheet to the adherend, so that the adhesive sheet is not stuck to the adherend, the adhesive sheet is between the adhesive sheet and the adherend. Since the substitute member to be attached is supplied, it is not necessary to peel the adhesive sheet from the adherend or discard the adherend, and it is possible to suppress damage or waste of the adherend.

(A)、(B)は、本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図。(A), (B) is explanatory drawing of the sheet sticking apparatus which concerns on one Embodiment of this invention.

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1(A)の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1(A)中手前方向で「後」がその逆方向とする。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
The X axis, the Y axis, and the Z axis in the present embodiment are in a relationship of being orthogonal to each other, the X axis and the Y axis are axes in a predetermined plane, and the Z axis is an axis orthogonal to the predetermined plane. To do. Further, in the present embodiment, when viewed from the front direction of FIG. 1A which is parallel to the Y-axis, when the direction is shown, “up” is the direction of the Z-axis arrow and “down” is the opposite direction. In the direction, “left” is the arrow direction of the X axis, “right” is the opposite direction, “front” is the front direction in FIG. 1A parallel to the Y axis, and “rear” is the opposite direction.

シート貼付装置EAは、開口部RF1を有するフレーム部材としてのリングフレームRFおよび被着体WKを支持する支持手段10と、接着シートASを供給し、当該接着シートASをリングフレームRFに貼付した後、当該接着シートASをリングフレームRFの開口部RF1内に配置された被着体WKにも貼付する貼付手段20と、接着シートASが被着体WKに貼付される前段で、リングフレームRFに対して接着シートASが所定の位置に貼付できていないことを貼付不良として検知する検知手段30と、検知手段30によって貼付不良が検知されると、接着シートASが被着体WKに貼付されないように、当該接着シートASと当該被着体WKとの間に当該接着シートASが貼付される代替部材SSを供給する代替部材供給手段40とを備えている。なお、代替部材SSは、変形可能なシート状部材によって構成され、リングフレームRFにおける接着シートASの繰出方向に直交する方向(前後方向)の幅よりも大きい幅を有している。   The sheet attaching apparatus EA supplies the adhesive sheet AS and the supporting means 10 for supporting the ring frame RF as the frame member having the opening RF1 and the adherend WK, and after attaching the adhesive sheet AS to the ring frame RF. The attaching means 20 for attaching the adhesive sheet AS to the adherend WK arranged in the opening RF1 of the ring frame RF and the ring frame RF before the adhesive sheet AS is attached to the adherend WK. On the other hand, a detection unit 30 that detects that the adhesive sheet AS cannot be attached at a predetermined position as an attachment defect, and when the detection unit 30 detects an attachment defect, the adhesive sheet AS is not attached to the adherend WK. The substitute member supply means 4 for supplying the substitute member SS to which the adhesive sheet AS is attached between the adhesive sheet AS and the adherend WK. It is equipped with a door. The substitute member SS is formed of a deformable sheet-like member, and has a width larger than the width of the ring frame RF in the direction (front-back direction) orthogonal to the feeding direction of the adhesive sheet AS.

支持手段10は、駆動機器としてのリニアモータ11のスライダ11Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面12Aを有する外側テーブル12と、外側テーブル12に形成された凹部12B内に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面13Aを有する内側テーブル13とを備えている。   The support means 10 is supported by a slider 11A of a linear motor 11 as a drive device, and has an outer table 12 having a support surface 12A that can be adsorbed and held by a pressure reducing means (not shown) such as a pressure reducing pump or a vacuum ejector, and an outer table 12. An inner table 13 is provided which is supported in the formed recess 12B and has a support surface 13A which can be suction-held by a depressurizing means (not shown) such as a depressurizing pump or a vacuum ejector.

貼付手段20は、帯状の剥離シートRLの一方の面に接着シートASが所定の間隔を空けて仮着された原反RSを支持する支持ローラ21と、原反RSを案内するガイドローラ22と、剥離縁23Aで剥離シートRLを折り返し、当該剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離手段としての剥離板23と、接着シートASをリングフレームRFおよび被着体WKに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ24と、駆動機器としての回動モータ25Aによって駆動され、ピンチローラ25Bとで剥離シートRLを挟み込む駆動ローラ25と、図示しない駆動機器によって駆動され、ピンチローラ25Bとの間に存在する剥離シートRLに常に所定の張力を付与して回収する回収ローラ26とを備えている。   The sticking means 20 includes a support roller 21 for supporting the original fabric RS temporarily attached with the adhesive sheet AS at a predetermined interval on one surface of the strip-shaped release sheet RL, and a guide roller 22 for guiding the original fabric RS. The peeling sheet RL is folded back at the peeling edge 23A, and the peeling plate 23 as a peeling unit that peels the adhesive sheet AS from the peeling sheet RL, and the pressure to stick the adhesive sheet AS to the ring frame RF and the adherend WK. Between the pressing roller 24 as a means and a rotation motor 25A as a driving device, the driving roller 25 sandwiching the release sheet RL between the pinch roller 25B and the pinch roller 25B is driven by a driving device (not shown). The existing release sheet RL is provided with a recovery roller 26 that constantly applies a predetermined tension to recover the release sheet RL.

検知手段30は、紫外線、可視光線、赤外線、ガンマ線、X線等の電磁波を光LEとして発する発光手段31と、光LEを反射する鏡や反射板等の反射手段32と、反射手段32で反射した光LEを受光する受光手段33とを備え、貼付手段20の貼付動作中に接着シートASがリングフレームRFの所定の位置に貼付されたことを検知可能な位置に設けられ、発光手段31が発した光LEを反射手段32によって反射させ、当該反射した光LEを受光手段33で受光することで、貼付不良の判断を下す構成となっている。
発光手段31および受光手段33は、一体化されて光電センサ34を構成している。
反射手段32は、支持面12AにおけるリングフレームRFの開口部RF1の左端部から凹部12Bの左端部までの間に位置する反射面32Aを有している。
The detection means 30 emits electromagnetic waves such as ultraviolet rays, visible light rays, infrared rays, gamma rays, and X-rays as the light LE, a reflection means 32 such as a mirror or a reflection plate that reflects the light LE, and a reflection means 32. The light emitting means 31 is provided at a position capable of detecting that the adhesive sheet AS has been attached to a predetermined position of the ring frame RF during the attaching operation of the attaching means 20. The emitted light LE is reflected by the reflecting means 32, and the reflected light LE is received by the light receiving means 33, so that it is possible to judge the sticking failure.
The light emitting means 31 and the light receiving means 33 are integrated to form a photoelectric sensor 34.
The reflecting means 32 has a reflecting surface 32A located between the left end of the opening RF1 of the ring frame RF in the support surface 12A and the left end of the recess 12B.

代替部材供給手段40は、図1(A)中符号AAの図に示すように、リニアモータ11を挟んで前後に設けられた一対の駆動機器としてのリニアモータ41と、当該リニアモータ41のスライダ41Aにブラケット42を介して支持され、枚葉の代替部材SSを把持する一対の把持爪43Aを有する駆動機器としてのチャックシリンダ43とを備えている。   The substitute member supply means 40 includes a linear motor 41 as a pair of driving devices provided in front of and behind the linear motor 11 and a slider of the linear motor 41, as shown by the reference numeral AA in FIG. 41A is supported via a bracket 42, and a chuck cylinder 43 as a drive device having a pair of gripping claws 43A for gripping the single sheet substitute member SS is provided.

以上のシート貼付装置EAにおいて、接着シートASをリングフレームRFおよび被着体WKに貼付して一体物を形成する手順について説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された図1(A)中実線で示す状態のシート貼付装置EAに対し、当該シート貼付装置EAの使用者(以下、単に「使用者」という)が、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転の信号を入力する。すると、貼付手段20が回動モータ25Aを駆動し、原反RSを繰り出し、図1(A)中実線で示すように、先頭の接着シートASの繰出方向先端部が剥離板23の剥離縁23Aで所定量剥離されると、回動モータ25Aの駆動を停止する。
In the above sheet sticking apparatus EA, a procedure for sticking the adhesive sheet AS to the ring frame RF and the adherend WK to form an integrated article will be described.
First, with respect to the sheet sticking apparatus EA in the state shown by the solid line in FIG. 1 (A) in which each member is arranged at the initial position, the user of the sheet sticking apparatus EA (hereinafter, simply referred to as “user”) operates A signal for automatic operation is input through an operation means (not shown) such as a panel or a personal computer. Then, the sticking means 20 drives the rotation motor 25A to feed out the original fabric RS, and as shown by the solid line in FIG. 1 (A), the leading end portion of the leading adhesive sheet AS in the feeding direction is the peeling edge 23A of the peeling plate 23. When a predetermined amount is peeled off, the driving of the rotation motor 25A is stopped.

次に、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が内側テーブル13上の所定の位置に被着体WKを載置するとともに、外側テーブル12上の所定の位置にリングフレームRFを載置すると、支持手段10が図示しない減圧手段を駆動し、支持面13A、12Aでの被着体WKおよびリングフレームRFの吸着保持を開始する。この後、代替部材供給手段40がリニアモータ41を駆動し、図1(A)中右側の二点鎖線および図1(A)中符号AAの図に示すように、リングフレームRFおよび被着体WKの上方に代替部材SSを供給し、リニアモータ41の駆動を停止する。そして、支持手段10がリニアモータ11を駆動し、外側テーブル12を左方に移動させ、当該外側テーブル12が所定の位置に到達すると、貼付手段20が回動モータ25Aを駆動し、外側テーブル12の移動速度に合わせて原反RSを繰り出す。これにより、接着シートASが剥離板23で剥離シートRLから剥離され、押圧ローラ24によって被着体WKおよびリングフレームRFに押圧されて貼付されることで、被着体WKが接着シートASを介してリングフレームRFと一体化された一体物WK1が形成される。そして、次の接着シートASが剥離板23の剥離縁23Aで所定量剥離されると、貼付手段20が回動モータ25Aの駆動を停止する。   Next, the user or an unillustrated conveyance means such as an articulated robot or a belt conveyor places the adherend WK at a predetermined position on the inner table 13 and the ring frame RF at a predetermined position on the outer table 12. When is mounted, the supporting means 10 drives the depressurizing means (not shown) to start sucking and holding the adherend WK and the ring frame RF on the supporting surfaces 13A and 12A. After that, the substitute member supply means 40 drives the linear motor 41, and the ring frame RF and the adherend are adhered to each other as shown by the two-dot chain line on the right side in FIG. 1A and the reference numeral AA in FIG. The substitute member SS is supplied above WK, and the driving of the linear motor 41 is stopped. Then, the supporting means 10 drives the linear motor 11 to move the outer table 12 to the left, and when the outer table 12 reaches a predetermined position, the attaching means 20 drives the rotation motor 25A and the outer table 12 is moved. The original fabric RS is paid out according to the moving speed of. As a result, the adhesive sheet AS is peeled off from the release sheet RL by the release plate 23, and is pressed and adhered to the adherend WK and the ring frame RF by the pressing roller 24, so that the adherend WK passes through the adhesive sheet AS. To form an integral body WK1 integrated with the ring frame RF. Then, when the next adhesive sheet AS is peeled off by a predetermined amount at the peeling edge 23A of the peeling plate 23, the attaching means 20 stops the driving of the rotation motor 25A.

その後、外側テーブル12が押圧ローラ24の左方の所定位置に到達すると、支持手段10がリニアモータ11の駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面13A、12Aでの被着体WKおよびリングフレームRFの吸着保持を解除する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が、一体物WK1を次工程に搬送すると、支持手段10がリニアモータ11を駆動するとともに、代替部材供給手段40がリニアモータ41を駆動し、外側テーブル12およびチャックシリンダ43を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。   After that, when the outer table 12 reaches a predetermined position on the left side of the pressing roller 24, the supporting means 10 stops the driving of the linear motor 11, and then the driving of the pressure reducing means (not shown), and the supporting surfaces 13A and 12A. The suction holding of the adherend WK and the ring frame RF is released. Next, when the user or the transporting means (not shown) transports the integrated article WK1 to the next step, the supporting means 10 drives the linear motor 11, and the substitute member supplying means 40 drives the linear motor 41 to drive the outer table 12 and The chuck cylinder 43 is returned to the initial position, and thereafter the same operation as described above is repeated.

ここで、上述の貼付動作中、検知手段30が発光手段31および受光手段33を駆動し、発光手段31が光LEを発して反射手段32で反射された当該光LEを受光手段33が受光することで、接着シートASがリングフレームRFの所定の位置に貼付されたか否かの合否判定を行う。本実施形態の場合、検知手段30は、反射面32Aによって反射される光LEの光量を記憶しており、リングフレームRFや接着シートAS等によって反射されて受光手段33が受光した光LEの光量との違いによって合否判定を行う。すなわち、接着シートASの繰出方向先端AS1がリングフレームRF上に貼付されていると、受光手段33は、リングフレームRFや接着シートASによって反射された光LEを受光するだけで、反射面32Aによって反射された光LEを受光することはない。すると、接着シートASが被着体WKに貼付される前段で、検知手段30が貼付合格の判定を下し、貼付手段20および支持手段10は、上述の貼付動作を継続する。   Here, during the above-mentioned pasting operation, the detection means 30 drives the light emitting means 31 and the light receiving means 33, the light emitting means 31 emits the light LE, and the light receiving means 33 receives the light LE reflected by the reflecting means 32. Thus, it is determined whether or not the adhesive sheet AS has been attached to a predetermined position of the ring frame RF. In the case of the present embodiment, the detection unit 30 stores the light amount of the light LE reflected by the reflecting surface 32A, and the light amount of the light LE received by the light receiving unit 33 after being reflected by the ring frame RF, the adhesive sheet AS, or the like. The pass / fail judgment is made based on the difference between and. That is, when the front end AS1 of the adhesive sheet AS in the feeding direction is attached on the ring frame RF, the light receiving means 33 only receives the light LE reflected by the ring frame RF and the adhesive sheet AS, and is reflected by the reflecting surface 32A. It does not receive the reflected light LE. Then, before the adhesive sheet AS is attached to the adherend WK, the detection unit 30 determines that the attachment has passed, and the attachment unit 20 and the support unit 10 continue the above-described attaching operation.

一方、図1(B)に示すように、接着シートASの繰出方向先端AS1がリングフレームRF上に貼付されていないと、受光手段33は、反射面32Aによって反射された光LEを受光することとなる。すると、検知手段30が貼付不合格の判定を下し、代替部材供給手段40がリニアモータ41を駆動し、チャックシリンダ43を左方に移動させることで接着シートASと被着体WKとの間に代替部材SSを供給し、図1(B)中二点鎖線で示すように、接着シートASの未貼付部分を代替部材SSに貼付する。その後も、外側テーブル12およびチャックシリンダ43の左方への移動が続行され、接着シートASが代替部材SSおよびリングフレームRFに貼付され、先頭に次ぐ次の接着シートASの繰出方向先端部が剥離板23の剥離縁23Aで所定量剥離されると、貼付手段20が回動モータ25Aの駆動を停止する。その後、外側テーブル12およびチャックシリンダ43が押圧ローラ24の左方の所定位置に到達すると、支持手段10および代替部材供給手段40がリニアモータ11、41の駆動を停止した後、支持手段10が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面13A、12Aでの被着体WKおよびリングフレームRFの吸着保持を解除する。次に、代替部材供給手段40がチャックシリンダ43を駆動し、代替部材SSの把持を解除し、使用者または図示しない搬送手段が接着シートASを介して代替部材SSと一体化されたリングフレームRFを外側テーブル12上から除去するとともに、被着体WFを内側テーブル13上から除去すると、支持手段10および代替部材供給手段40がリニアモータ11、41を駆動し、外側テーブル12およびチャックシリンダ43を初期位置に復帰させる。そして、代替部材供給手段40がチャックシリンダ43を駆動し、使用者または図示しない搬送手段によって搬送された代替部材SSを把持すると、以降上記同様の動作が繰り返される。   On the other hand, as shown in FIG. 1 (B), if the feeding direction tip AS1 of the adhesive sheet AS is not stuck on the ring frame RF, the light receiving means 33 receives the light LE reflected by the reflecting surface 32A. Becomes Then, the detection unit 30 determines that the sticking has failed, and the substitute member supply unit 40 drives the linear motor 41 to move the chuck cylinder 43 to the left, thereby causing a gap between the adhesive sheet AS and the adherend WK. Then, the substitute member SS is supplied to the substitute member SS, and the unattached portion of the adhesive sheet AS is attached to the substitute member SS, as indicated by the chain double-dashed line in FIG. After that, the outer table 12 and the chuck cylinder 43 continue to move to the left, the adhesive sheet AS is affixed to the substitute member SS and the ring frame RF, and the leading end portion of the next adhesive sheet AS following the leading end is peeled off. When a predetermined amount is peeled off at the peeling edge 23A of the plate 23, the sticking means 20 stops driving the rotation motor 25A. After that, when the outer table 12 and the chuck cylinder 43 reach a predetermined position on the left side of the pressing roller 24, the supporting means 10 and the substitute member supplying means 40 stop driving the linear motors 11 and 41, and then the supporting means 10 is illustrated. The drive of the pressure reducing means is stopped, and the suction holding of the adherend WK and the ring frame RF on the support surfaces 13A, 12A is released. Next, the substitute member supply unit 40 drives the chuck cylinder 43 to release the grip of the substitute member SS, and the user or a transport unit (not shown) conveys the ring frame RF integrated with the substitute member SS via the adhesive sheet AS. When the adherend WF is removed from the outer table 12 and the adherend WF is removed from the inner table 13, the supporting means 10 and the substitute member supplying means 40 drive the linear motors 11 and 41 to move the outer table 12 and the chuck cylinder 43. Return to the initial position. Then, when the substitute member supply means 40 drives the chuck cylinder 43 and grips the substitute member SS conveyed by the user or the conveying means (not shown), the same operation as described above is repeated.

以上のような実施形態によれば、接着シートASが被着体WKに貼付される前段で貼付不良を検知し、接着シートASが被着体WKに貼付されないように、接着シートASと被着体WKとの間に当該接着シートASが貼付される代替部材SSを供給するので、接着シートASを被着体WKから剥離したり、被着体WKを破棄したりしなくてもよく、被着体WKの破損や無駄を抑制することができる。   According to the above-described embodiment, the adhesive sheet AS and the adhesive sheet AS are adhered to each other so that the adhesive failure is detected before the adhesive sheet AS is adhered to the adherend WK and the adhesive sheet AS is not adhered to the adherend WK. Since the substitute member SS to which the adhesive sheet AS is attached is supplied to the body WK, it is not necessary to peel the adhesive sheet AS from the adherend WK or discard the adherend WK. It is possible to suppress damage and waste of the wearing body WK.

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。   As described above, the best configuration, method and the like for carrying out the present invention have been disclosed in the above description, but the present invention is not limited to this. That is, the present invention is mainly illustrated and described mainly with respect to specific embodiments, but without departing from the technical idea and the scope of the object of the present invention, with respect to the embodiments described above, the shape, Those skilled in the art can make various modifications in the material, quantity, and other detailed configurations. Further, the description of limiting the shape, the material, etc. disclosed above is described as an example for facilitating the understanding of the present invention and does not limit the present invention. The description with the name of the member from which some or all of the above restrictions are removed is included in the present invention.

例えば、支持手段10は、外側テーブル12と内側テーブル13とが一体的に形成されていてもよいし、他の装置でリングフレームRFおよび被着体WKを支持する場合、なくてもよい。
支持手段10は、外側テーブル12を停止または移動させつつ、貼付手段20および検知手段30を移動させ、接着シートASを被着体WKやリングフレームRFに貼付してもよい。
For example, the supporting means 10 may be formed by integrally forming the outer table 12 and the inner table 13, or may be omitted when the ring frame RF and the adherend WK are supported by another device.
The supporting means 10 may move the attaching means 20 and the detecting means 30 while stopping or moving the outer table 12 to attach the adhesive sheet AS to the adherend WK or the ring frame RF.

貼付手段20は、帯状の接着シートが帯状の剥離シートRLに仮着された原反や、剥離シートRLに仮着されていない帯状の接着シートからなる原反が採用された場合、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材や、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断する切断手段で帯状の接着シートを所定形状に切断して接着シートASを形成してもよいし、リングフレームRFの開口部RF1を完全に覆うように接着シートASを貼付してもよいし、一部を覆わないように接着シートASを貼付してもよい。   When the sticking means 20 employs a raw material in which a strip-shaped adhesive sheet is temporarily attached to the strip-shaped release sheet RL or a raw material made of a strip-shaped adhesive sheet that is not temporarily attached to the release sheet RL, a cutter blade, Laser cutter, ion beam, thermal power, heat, water pressure, heating wire, cutting member for spraying gas, liquid, etc., or a combination of appropriate driving equipment to move the cutting member to cut it in a strip shape. The adhesive sheet may be cut into a predetermined shape to form the adhesive sheet AS, the adhesive sheet AS may be attached so as to completely cover the opening portion RF1 of the ring frame RF, or a part thereof may not be covered. The adhesive sheet AS may be attached to.

検知手段30は、光電センサ34を支持手段10に設け、反射手段32を押圧ローラ24の左方側および右方側のうち一方側に設けてもよいし、光電センサ34に代えて、発光手段31および受光手段33がそれぞれ別体で構成されたものでもよいし、光電センサ34に代えてまたは併用して、撮像手段や、送波器および受波器を有する超音波センサ等の各種センサを採用してもよく、撮像手段のみを採用する場合は、反射手段32がなくてもよいし、押圧ローラ24の左方側および右方側のうち一方側に発光手段31を設け、他方側に受光手段33を設けてもよいし、支持手段10に発光手段31および受光手段33のうち一方の手段を設け、押圧ローラ24の左方側に他方の手段を設けてもよく、この場合、反射手段32がなくてもよい。
反射手段32は、支持手段10に設けられていなくてもよいし、支持面12AにおけるリングフレームRFの外縁よりも内側の領域全面に反射面を設けてもよいし、凹部12Bの内縁から内側テーブル13までの間に反射面を設けてもよいし、反射面が支持面12Aと同一平面でなくてもよいし、支持面12Aや凹部12Bの底面を光LEの反射率がリングフレームRFや接着シートASと異なるように表面処理した構成してもよいし、光LEの反射率がリングフレームRFや接着シートASに対して高くてもよいし低くてもよい。
The detection unit 30 may be provided with the photoelectric sensor 34 on the support unit 10 and the reflection unit 32 on one of the left side and the right side of the pressing roller 24. Instead of the photoelectric sensor 34, the light emitting unit may be provided. 31 and the light receiving means 33 may be configured separately, and instead of or in combination with the photoelectric sensor 34, various sensors such as an imaging means and an ultrasonic sensor having a wave transmitter and a wave receiver may be provided. If only the image pickup means is adopted, the reflecting means 32 may be omitted, or the light emitting means 31 may be provided on one of the left side and the right side of the pressing roller 24 and the other side thereof. The light receiving means 33 may be provided, or the supporting means 10 may be provided with one of the light emitting means 31 and the light receiving means 33, and the other means may be provided on the left side of the pressing roller 24. The means 32 may be omitted
The reflecting means 32 does not have to be provided on the supporting means 10, a reflecting surface may be provided on the entire surface of the supporting surface 12A inside the outer edge of the ring frame RF, or from the inner edge of the recess 12B to the inner table. 13 may be provided with a reflection surface, the reflection surface may not be flush with the support surface 12A, and the bottom surface of the support surface 12A or the recess 12B may have a ring LE having a reflectance of the light LE or an adhesive. The surface of the sheet may be different from that of the sheet AS, and the reflectance of the light LE may be higher or lower than that of the ring frame RF or the adhesive sheet AS.

代替部材供給手段40は、接着シートASの貼付動作開始前に、代替部材SSを図1(A)中右側の二点鎖線で示す位置に供給せずに、検知手段30が接着シートASの貼付不良を検知したときに代替部材SSを供給してもよいし、リングフレームRFの前後方向の幅よりも小さい幅を有する代替部材SSを供給してもよいし、被着体WKの直径よりも小さい幅を有する代替部材SSを供給してもよいし、軸部材に巻回支持された帯状のシート部材を切断手段で切断することにより形成された代替部材SSを接着シートASと被着体WKとの間に供給してもよく、この場合、帯状のシート部材の切断は、チャックシリンダ43による代替部材SSの把持前でもよいし把持後であってもよい。
代替部材供給手段40は、検知手段30が接着シートASの貼付不良を検知しない場合、当該接着シートASの貼付動作中にチャックシリンダ43を初期位置に復帰させてもよいし、当該接着シートASの貼付動作終了後にチャックシリンダ43を初期位置に復帰させなくてもよいし、検知手段30が接着シートASの貼付不良を検知した場合、チャックシリンダ43を駆動し、代替部材SSの把持を解除して当該代替部材SSを被着体WK上に載置してもよいし、リニアモータ41、ブラケット42およびチャックシリンダ43に代えてまたは併用して、アームを有する駆動機器としての多関節ロボットを備えてもよく、この場合、接着シートASと被着体WKとの間に、アームで保持した代替部材SSを供給してもよいし、アーム自体を代替部材として位置させてもよい。
The substitute member supply means 40 does not supply the substitute member SS to the position shown by the two-dot chain line on the right side in FIG. 1A before the adhesive sheet AS attaching operation is started, and the detection means 30 attaches the adhesive sheet AS. The substitute member SS may be supplied when a defect is detected, the substitute member SS having a width smaller than the width of the ring frame RF in the front-rear direction may be supplied, or may be larger than the diameter of the adherend WK. The substitute member SS having a small width may be supplied, or the substitute member SS formed by cutting the strip-shaped sheet member wound and supported by the shaft member by the cutting means may be used as the adhesive sheet AS and the adherend WK. And the strip-shaped sheet member may be cut before or after the alternative member SS is gripped by the chuck cylinder 43.
When the detection unit 30 does not detect the sticking failure of the adhesive sheet AS, the substitute member supply unit 40 may return the chuck cylinder 43 to the initial position during the sticking operation of the adhesive sheet AS, and The chuck cylinder 43 does not have to be returned to the initial position after the sticking operation is completed, and when the detection means 30 detects a sticking failure of the adhesive sheet AS, the chuck cylinder 43 is driven to release the grip of the substitute member SS. The substitute member SS may be placed on the adherend WK, or instead of or in combination with the linear motor 41, the bracket 42, and the chuck cylinder 43, a multi-joint robot as a drive device having an arm is provided. In this case, the substitute member SS held by the arm may be supplied between the adhesive sheet AS and the adherend WK, or the arm itself may be supplied. It may be located as a replacement member.

シート貼付装置EAは、上記実施形態において、検知手段30が貼付不良を検知したときに、外側テーブル12の移動および接着シートASの繰出速度を速くしてもよいし遅くしてもよい。   In the above embodiment, the sheet sticking apparatus EA may increase or decrease the movement speed of the outer table 12 and the feeding speed of the adhesive sheet AS when the detection unit 30 detects a sticking failure.

フレーム部材は、リングフレームRF以外に、環状でない(外周が繋がっていない)ものや、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよいし、フレーム部材の外形状は、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。   In addition to the ring frame RF, the frame member may have a non-annular shape (the outer peripheries are not connected), a circular shape, an elliptical shape, a polygonal shape of a triangle or more, and other shapes. The outer shape of the frame member is The shape may be a circle, an ellipse, a polygon more than a triangle, or another shape.

代替部材SSの材質、種別、形状等は、特に限定されることはなく、例えば、紙製、樹脂製、ガラス製、金属製であってもよいし、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよい。   The material, type, shape, etc. of the substitute member SS are not particularly limited, and may be, for example, paper, resin, glass, or metal, and may be circular, elliptical, triangular, quadrangular, or the like. It may be polygonal or any other shape.

また、本発明における接着シートASおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートASは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートASが採用された場合は、当該接着シートASを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートASは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。   Further, the materials, types, shapes, etc. of the adhesive sheet AS and the adherend in the present invention are not particularly limited. For example, the adhesive sheet AS may have a circular shape, an elliptic shape, a polygonal shape such as a triangle or a quadrangle, or any other shape, or may have an adhesive form such as pressure-sensitive adhesiveness or heat-sensitive adhesiveness. When the heat-sensitive adhesive sheet AS is adopted, it may be adhered by an appropriate method such as providing an appropriate coil heater for heating the adhesive sheet AS, a heating means such as a heating side such as a heat pipe, or the like. Further, such an adhesive sheet AS is, for example, a single layer having only an adhesive layer, an adhesive sheet having an intermediate layer between the base material sheet and the adhesive layer, having a cover layer on the upper surface of the base material sheet, etc. It may have three or more layers, or may be a so-called double-sided adhesive sheet capable of peeling the base material sheet from the adhesive layer. The double-sided adhesive sheet may be a single-layer or multi-layer intermediate layer. It may have one or a single layer or multiple layers without an intermediate layer. As the adherend, for example, foods, resin containers, semiconductor wafers such as silicon semiconductor wafers and compound semiconductor wafers, circuit boards, information recording substrates such as optical disks, glass plates, steel plates, pottery, wooden boards or resin plates, Members and articles in any form can also be targeted. It should be noted that the adhesive sheet AS may be changed to a functional or purposed reading, for example, any label such as an information label, a decorative label, a protective sheet, a dicing tape, a die attach film, a die bonding tape, a recording layer forming resin sheet, etc. An arbitrary sheet, film, tape or the like having a shape can be attached to an arbitrary adherend as described above.

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、貼付手段は、接着シートを供給し、当該接着シートをフレーム部材に貼付した後、当該接着シートをフレーム部材の開口部内に配置された被着体にも貼付可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合は、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材を支持または保持する構成のものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよい。
The means and steps in the present invention are not limited in any way as long as they can perform the operations, functions or steps described for the means and steps, let alone the constituents of one embodiment shown in the above-mentioned embodiment. The process is not limited at all. For example, as long as the attaching means can supply the adhesive sheet, attach the adhesive sheet to the frame member, and then attach the adhesive sheet to an adherend arranged in the opening portion of the frame member, In light of the initial common general knowledge, there is no limitation as long as it is within the technical scope (the explanation of other means and steps is omitted).
Further, the drive device in the above-described embodiment includes an electric device such as a rotary motor, a direct drive motor, a linear motor, a single-axis robot, an articulated robot, an actuator such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, a rodless cylinder, and a rotary cylinder. In addition to being adopted, it is also possible to adopt a combination of them directly or indirectly (some overlap with those exemplified in the embodiment).
In the above-mentioned embodiment, when rollers are adopted, a driving device for rotating and driving each roller may be provided, or the surface of each roller may be made of an elastically deformable member such as rubber or resin. However, each roller may be configured by a member that does not elastically deform, and when a pressing unit or a pressing member such as a pressing roller or a pressing head is adopted, the roller may be used in place of or in combination with those exemplified above. Alternatively, a pressing member made of a round bar, a blade material, rubber, resin, sponge, or the like may be adopted, or a structure of pressing by blowing air such as air or gas may be adopted. The part may be made of an elastically deformable member such as rubber or resin, or may be made of a member that is not elastically deformable, and if a peeling means or a peeling member is adopted, a plate-like member, Consists of round bars and rollers Alternatively, when a structure for supporting or holding a supported member such as a supporting (holding) means or a supporting (holding) member is adopted, a gripping means such as a mechanical chuck or a chuck cylinder, a Coulomb force, an adhesive You may employ | adopt the structure which supports (holds) a to-be-supported member with an agent, an adhesive, magnetic force, Bernoulli adsorption | suction, a drive device, etc.

20 貼付手段
30 検知手段
40 代替部材供給手段
AS 接着シート
AS0 接着面
EA シート貼付装置
RF リングフレーム(フレーム部材)
RF1 開口部
SS 代替部材
WK 被着体
20 Adhering Means 30 Detecting Means 40 Alternative Member Supplying Means AS Adhesive Sheets AS0 Adhesive Surfaces EA Sheet Adhering Devices RF Ring Frames (Frame Members)
RF1 opening SS substitute member WK adherend

Claims (2)

接着シートを供給し、当該接着シートをフレーム部材に貼付した後、当該接着シートを前記フレーム部材の開口部内に配置された被着体にも貼付する貼付手段と、
前記接着シートが前記被着体に貼付される前段で、前記フレーム部材に対して前記接着シートが所定の位置に貼付できていないことを貼付不良として検知する検知手段と、
前記検知手段によって前記貼付不良が検知されると、前記接着シートが前記被着体に貼付されないように、当該接着シートと当該被着体との間に当該接着シートが貼付される代替部材を供給する代替部材供給手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
An adhesive means that supplies an adhesive sheet and attaches the adhesive sheet to a frame member, and also attaches the adhesive sheet to an adherend arranged in the opening of the frame member,
In the previous stage where the adhesive sheet is attached to the adherend, a detection unit that detects that the adhesive sheet cannot be attached at a predetermined position with respect to the frame member as an attachment failure,
When the sticking failure is detected by the detection means, a substitute member for sticking the adhesive sheet between the adhesive sheet and the adherend is supplied so that the adhesive sheet is not stuck to the adherend. And a substitute member supply means for performing the sheet pasting device.
接着シートを供給し、当該接着シートをフレーム部材に貼付した後、当該接着シートを前記フレーム部材の開口部内に配置された被着体にも貼付する貼付工程と、
前記接着シートが前記被着体に貼付される前段で、前記フレーム部材に対して前記接着シートが所定の位置に貼付できていないことを貼付不良として検知する検知工程と、
前記検知工程によって前記貼付不良が検知されると、前記接着シートが前記被着体に貼付されないように、当該接着シートと当該被着体との間に当該接着シートが貼付される代替部材を供給する代替部材供給工程とを実施することを特徴とするシート貼付方法。
An attaching step of supplying an adhesive sheet, attaching the adhesive sheet to a frame member, and then attaching the adhesive sheet to an adherend arranged in the opening of the frame member,
In the previous stage where the adhesive sheet is attached to the adherend, a detection step of detecting that the adhesive sheet is not attached at a predetermined position with respect to the frame member as an attachment failure,
When the sticking failure is detected by the detection step, a substitute member for sticking the adhesive sheet between the adhesive sheet and the adherend is supplied so that the adhesive sheet is not stuck to the adherend. And a substitute member supplying step.
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