JP7133432B2 - Sheet sticking device and sheet sticking method - Google Patents

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Description

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。 The present invention relates to a sheet sticking device and a sheet sticking method.

従来、フレーム部材および被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。 2. Description of the Related Art Conventionally, there is known a sheet sticking device that sticks an adhesive sheet to a frame member and an adherend (see, for example, Patent Document 1).

特開2017-204615号公報JP 2017-204615 A

しかしながら、特許文献1に記載されたような従来のテープ貼着装置2(シート貼付装置)では、円形状テープ3a(接着シート)がフレーム13(フレーム部材)の適切な位置に貼付されなかった場合、当該接着シートを被加工物11(被着体)から剥離したり、被着体を破棄したりしなくてはならず、接着シートの剥離時に被着体が破損したり、破棄によって被着体が無駄になったりするという不都合が発生する。 However, in the conventional tape sticking device 2 (sheet sticking device) as described in Patent Document 1, when the circular tape 3a (adhesive sheet) is not stuck on the appropriate position of the frame 13 (frame member) , the adhesive sheet must be peeled off from the workpiece 11 (adherend) or the adherend must be discarded. Inconvenience occurs that the body is wasted.

本発明の目的は、被着体の破損や無駄を抑制することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a sheet sticking apparatus and a sheet sticking method capable of suppressing damage and waste of an adherend.

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。 The present invention employs the configurations described in the claims.

本発明によれば、接着シートが被着体に貼付される前段で貼付不良を検知し、接着シートが被着体に貼付されないように、接着シートと被着体とを相対移動させるので、接着シートを被着体から剥離したり、被着体を破棄したりしなくてもよく、被着体の破損や無駄を抑制することができる。 According to the present invention, a failure in attachment is detected before the adhesive sheet is attached to the adherend, and the adhesive sheet and the adherend are moved relative to each other so that the adhesive sheet is not attached to the adherend. It is not necessary to separate the sheet from the adherend or discard the adherend, and damage and waste of the adherend can be suppressed.

(A)、(B)は、本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図。(A) and (B) are explanatory diagrams of a sheet sticking device according to an embodiment of the present invention. 本発明の変形例に係るシート貼付装置の説明図。FIG. 4 is an explanatory diagram of a sheet sticking device according to a modification of the present invention;

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1(A)の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1(A)中手前方向で「後」がその逆方向とする。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
Note that the X-axis, Y-axis, and Z-axis in this embodiment are orthogonal to each other, and the X-axis and Y-axis are axes within a predetermined plane, and the Z-axis is an axis orthogonal to the predetermined plane. do. Furthermore, in the present embodiment, when viewed from the front side of FIG. In terms of direction, "left" is the arrow direction of the X axis, "right" is the opposite direction, and "front" is the front direction in FIG. 1A parallel to the Y axis, and "back" is the opposite direction.

シート貼付装置EAは、開口部RF1を有するフレーム部材としてのリングフレームRFおよび被着体WKを支持する支持手段10と、接着シートASを供給し、当該接着シートASをリングフレームRFに貼付した後、当該接着シートASをリングフレームRFの開口部RF1内に配置された被着体WKにも貼付する貼付手段20と、接着シートASが被着体WKに貼付される前段で、リングフレームRFに対して接着シートASが所定の位置に貼付できていないことを貼付不良として検知する検知手段30と、検知手段30によって貼付不良が検知されると、接着シートASが被着体WKに貼付されないように、接着シートASと被着体WKとを相対移動させる貼付抑制手段40とを備えている。 The sheet sticking apparatus EA supplies a ring frame RF as a frame member having an opening RF1, a support means 10 for supporting an adherend WK, and an adhesive sheet AS, and after sticking the adhesive sheet AS to the ring frame RF affixing means 20 for affixing the adhesive sheet AS to the adherend WK arranged in the opening RF1 of the ring frame RF; On the other hand, a detection means 30 for detecting that the adhesive sheet AS is not adhered to a predetermined position as an adhesion failure, and when the adhesion failure is detected by the detection means 30, the adhesive sheet AS is prevented from being adhered to the adherend WK. is provided with a sticking suppressing means 40 for relatively moving the adhesive sheet AS and the adherend WK.

支持手段10は、駆動機器としてのリニアモータ11のスライダ11Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面12Aを有する外側テーブル12と、外側テーブル12に形成された凹部12B内に貼付抑制手段40を介して支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面13Aを有する内側テーブル13とを備えている。 The support means 10 is supported by a slider 11A of a linear motor 11 as a drive device, and has an outer table 12 having a support surface 12A that can be held by suction by a decompression means (not shown) such as a decompression pump or a vacuum ejector. An inner table 13 having a support surface 13A which is supported in the formed concave portion 12B via a sticking suppressing means 40 and can be held by suction by a decompression means (not shown) such as a decompression pump or a vacuum ejector is provided.

貼付手段20は、帯状の剥離シートRLの一方の面に接着シートASが所定の間隔を空けて仮着された原反RSを支持する支持ローラ21と、原反RSを案内するガイドローラ22と、剥離縁23Aで剥離シートRLを折り返し、当該剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離手段としての剥離板23と、接着シートASをリングフレームRFおよび被着体WKに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ24と、駆動機器としての回動モータ25Aによって駆動され、ピンチローラ25Bとで剥離シートRLを挟み込む駆動ローラ25と、図示しない駆動機器によって駆動され、ピンチローラ25Bとの間に存在する剥離シートRLに常に所定の張力を付与して回収する回収ローラ26と、当該貼付手段20を構成する前述の各部材を直接的にまたは間接的に支持するフレーム27とを備えている。 The sticking means 20 includes a support roller 21 for supporting the original sheet RS to which the adhesive sheet AS is temporarily adhered on one surface of the strip-shaped release sheet RL with a predetermined interval, and a guide roller 22 for guiding the original sheet RS. , a peeling plate 23 as peeling means for folding back the peeling sheet RL at the peeling edge 23A and peeling the adhesive sheet AS from the peeling sheet RL; Between a driving roller 25 driven by a pressing roller 24 as a means and a rotation motor 25A as a driving device and sandwiching the release sheet RL with a pinch roller 25B, and a pinch roller 25B driven by a driving device (not shown) It comprises a collection roller 26 that always applies a predetermined tension to the existing release sheet RL and collects it, and a frame 27 that directly or indirectly supports the above-described members constituting the sticking means 20 .

検知手段30は、紫外線、可視光線、赤外線、ガンマ線、X線等の電磁波を光LEとして発する発光手段31と、光LEを反射する鏡や反射板等の反射手段32と、反射手段32で反射した光LEを受光する受光手段33とを備え、貼付手段20の貼付動作中に接着シートASがリングフレームRFの所定の位置に貼付されたことを検知可能な位置に設けられ、発光手段31が発した光LEを反射手段32によって反射させ、当該反射した光LEを受光手段33で受光することで、貼付不良の判断を下す構成となっている。
発光手段31および受光手段33は、一体化されて光電センサ34を構成している。
反射手段32は、支持面12AにおけるリングフレームRFの開口部RF1の左端部から凹部12Bの左端部までの間に位置する反射面32Aを有している。
The detection means 30 includes a light emitting means 31 that emits electromagnetic waves such as ultraviolet rays, visible rays, infrared rays, gamma rays, and X-rays as light LE; A light-receiving means 33 for receiving the emitted light LE is provided at a position where it can be detected that the adhesive sheet AS is adhered to a predetermined position of the ring frame RF during the pasting operation of the pasting means 20. The emitted light LE is reflected by the reflecting means 32, and the reflected light LE is received by the light receiving means 33, thereby judging the sticking failure.
The light emitting means 31 and the light receiving means 33 are integrated to constitute a photoelectric sensor 34 .
The reflecting means 32 has a reflecting surface 32A positioned between the left end of the opening RF1 of the ring frame RF and the left end of the recess 12B on the support surface 12A.

貼付抑制手段40は、外側テーブル12の凹部12B内で支持され、出力軸41Aで内側テーブル13を支持する駆動機器としての直動モータ41を備えている。 The sticking suppressing means 40 is supported in the recessed portion 12B of the outer table 12 and includes a direct-acting motor 41 as a driving device that supports the inner table 13 with an output shaft 41A.

以上のシート貼付装置EAにおいて、接着シートASをリングフレームRFおよび被着体WKに貼付して一体物を形成する手順について説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された図1(A)中実線で示す状態のシート貼付装置EAに対し、当該シート貼付装置EAの使用者(以下、単に「使用者」という)が、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転の信号を入力する。すると、貼付手段20が回動モータ25Aを駆動し、原反RSを繰り出し、図1(A)中実線で示すように、先頭の接着シートASの繰出方向先端部が剥離板23の剥離縁23Aで所定量剥離されると、回動モータ25Aの駆動を停止する。
In the sheet sticking apparatus EA described above, a procedure for sticking the adhesive sheet AS to the ring frame RF and the adherend WK to form an integral object will be described.
First, the user of the sheet sticking device EA (hereinafter simply referred to as the "user") operates the sheet sticking device EA in the state indicated by the solid line in FIG. A signal for automatic operation is input via an operation means (not shown) such as a panel or a personal computer. Then, the pasting means 20 drives the rotation motor 25A to feed the original sheet RS, and as shown by the solid line in FIG. When the predetermined amount of peeling is performed at , the rotation motor 25A is stopped.

次に、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が内側テーブル13上の所定の位置に被着体WKを載置するとともに、外側テーブル12上の所定の位置にリングフレームRFを載置すると、支持手段10が図示しない減圧手段を駆動し、支持面13A、12Aでの被着体WKおよびリングフレームRFの吸着保持を開始する。そして、支持手段10がリニアモータ11を駆動し、外側テーブル12を左方に移動させ、当該外側テーブル12が所定の位置に到達すると、貼付手段20が回動モータ25Aを駆動し、外側テーブル12の移動速度に合わせて原反RSを繰り出す。これにより、接着シートASが剥離板23で剥離シートRLから剥離され、押圧ローラ24によって被着体WKおよびリングフレームRFに押圧されて貼付されることで、被着体WKが接着シートASを介してリングフレームRFと一体化された一体物WK1が形成される。そして、次の接着シートASが剥離板23の剥離縁23Aで所定量剥離されると、貼付手段20が回動モータ25Aの駆動を停止する。 Next, a user or a conveying means (not shown) such as an articulated robot or a belt conveyor places the adherend WK at a predetermined position on the inner table 13, and the ring frame RF is placed at a predetermined position on the outer table 12. is placed, the support means 10 drives the depressurizing means (not shown) to start holding the adherend WK and the ring frame RF on the support surfaces 13A and 12A by suction. Then, the supporting means 10 drives the linear motor 11 to move the outer table 12 to the left, and when the outer table 12 reaches a predetermined position, the pasting means 20 drives the rotation motor 25A, causing the outer table 12 to rotate. The raw fabric RS is delivered according to the moving speed of . As a result, the adhesive sheet AS is separated from the release sheet RL by the release plate 23, and is pressed against the adherend WK and the ring frame RF by the pressure roller 24, whereby the adherend WK is attached via the adhesive sheet AS. An integrated body WK1 integrated with the ring frame RF is formed. Then, when the next adhesive sheet AS is peeled off by a predetermined amount at the peeling edge 23A of the peeling plate 23, the sticking means 20 stops driving the rotary motor 25A.

その後、外側テーブル12が押圧ローラ24の左方の所定位置に到達すると、支持手段10がリニアモータ11の駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面13A、12Aでの被着体WKおよびリングフレームRFの吸着保持を解除する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が、一体物WK1を次工程に搬送すると、支持手段10がリニアモータ11を駆動し、外側テーブル12を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。 After that, when the outer table 12 reaches a predetermined position on the left side of the pressing roller 24, the support means 10 stops driving the linear motor 11, and then stops driving the decompression means (not shown). The suction holding of the adherend WK and the ring frame RF is released. Next, when the user or unillustrated conveying means conveys the integrated work WK1 to the next process, the supporting means 10 drives the linear motor 11 to return the outer table 12 to the initial position, and thereafter the same operation as described above is repeated. .

ここで、上述の貼付動作中、検知手段30が発光手段31および受光手段33を駆動し、発光手段31が光LEを発して反射手段32で反射された当該光LEを受光手段33が受光することで、接着シートASがリングフレームRFの所定の位置に貼付されたか否かの合否判定を行う。本実施形態の場合、検知手段30は、反射面32Aによって反射される光LEの光量を記憶しており、リングフレームRFや接着シートAS等によって反射されて受光手段33が受光した光LEの光量との違いによって合否判定を行う。すなわち、接着シートASの繰出方向先端AS1がリングフレームRF上に貼付されていると、受光手段33は、リングフレームRFや接着シートASによって反射された光LEを受光するだけで、反射面32Aによって反射された光LEを受光することはない。すると、接着シートASが被着体WKに貼付される前段で、検知手段30が貼付合格の判定を下し、貼付手段20および支持手段10は、上述の貼付動作を継続する。 Here, during the pasting operation described above, the detecting means 30 drives the light emitting means 31 and the light receiving means 33, the light emitting means 31 emits light LE, and the light receiving means 33 receives the light LE reflected by the reflecting means 32. Thus, a pass/fail determination is made as to whether or not the adhesive sheet AS has been attached to a predetermined position on the ring frame RF. In this embodiment, the detection means 30 stores the amount of light LE reflected by the reflecting surface 32A, and the amount of light LE received by the light receiving means 33 after being reflected by the ring frame RF, the adhesive sheet AS, etc. Pass/fail judgment is made based on the difference between That is, when the leading edge AS1 in the delivery direction of the adhesive sheet AS is attached to the ring frame RF, the light receiving means 33 simply receives the light LE reflected by the ring frame RF and the adhesive sheet AS, and the light LE is reflected by the reflecting surface 32A. It does not receive the reflected light LE. Then, before the adhesive sheet AS is attached to the adherend WK, the detection means 30 determines that the application has passed, and the application means 20 and the support means 10 continue the application operation.

一方、図1(B)に示すように、接着シートASの繰出方向先端AS1がリングフレームRF上に貼付されていないと、受光手段33は、反射面32Aによって反射された光LEを受光することとなる。すると、検知手段30が貼付不合格の判定を下し、図1(B)中二点鎖線で示すように、貼付抑制手段40が直動モータ41を駆動し、接着シートASが被着体WKに貼付されないように内側テーブル13を下降させる。その後も、外側テーブル12の左方への移動が続行され、接着シートAS全体がリングフレームRFに貼付され、先頭に次ぐ次の接着シートASの繰出方向先端部が剥離板23の剥離縁23Aで所定量剥離されると、貼付手段20が回動モータ25Aの駆動を停止する。その後、外側テーブル12が押圧ローラ24の左方の所定位置に到達すると、支持手段10がリニアモータ11の駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面12AでのリングフレームRFの吸着保持を解除する。次に、使用者または図示しない搬送手段がリングフレームRFを外側テーブル12上から除去すると、支持手段10がリニアモータ11を駆動するとともに、貼付抑制手段40が直動モータ41を駆動し、外側テーブル12および内側テーブル13を初期位置に復帰させる。そして、使用者または図示しない搬送手段が外側テーブル12上の所定の位置にリングフレームRFを載置すると、支持手段10が図示しない減圧手段を駆動し、支持面12AでのリングフレームRFの吸着保持を開始した後、以降上記同様の動作が繰り返される。 On the other hand, as shown in FIG. 1(B), if the feed-out direction leading end AS1 of the adhesive sheet AS is not attached onto the ring frame RF, the light receiving means 33 cannot receive the light LE reflected by the reflecting surface 32A. becomes. Then, the detection means 30 determines that the adhesion is not acceptable, and the adhesion suppressing means 40 drives the direct-acting motor 41 as indicated by the two-dot chain line in FIG. The inner table 13 is lowered so as not to be stuck to. After that, the outer table 12 continues to move to the left, and the entire adhesive sheet AS is attached to the ring frame RF, and the leading end of the next adhesive sheet AS in the delivery direction is aligned with the peeling edge 23A of the peeling plate 23. When the predetermined amount is peeled off, the sticking means 20 stops driving the rotary motor 25A. After that, when the outer table 12 reaches a predetermined position on the left side of the pressing roller 24, the support means 10 stops driving the linear motor 11 and then stops driving the decompression means (not shown), and the ring frame on the support surface 12A is stopped. Release the suction holding of RF. Next, when the user or the conveying means (not shown) removes the ring frame RF from the outer table 12, the supporting means 10 drives the linear motor 11, and the sticking suppressing means 40 drives the direct-acting motor 41 so that the outer table 12 and inner table 13 are returned to their initial positions. Then, when the user or the conveying means (not shown) places the ring frame RF at a predetermined position on the outer table 12, the supporting means 10 drives the depressurizing means (not shown) to attract and hold the ring frame RF on the supporting surface 12A. is started, the same operation as described above is repeated thereafter.

以上のような実施形態によれば、接着シートASが被着体WKに貼付される前段で貼付不良を検知し、接着シートASが被着体WKに貼付されないように、接着シートASと被着体WKとを相対移動させるので、接着シートASを被着体WKから剥離したり、被着体WKを破棄したりしなくてもよく、被着体WKの破損や無駄を抑制することができる。 According to the embodiment as described above, a failure in adhesion is detected before the adhesive sheet AS is adhered to the adherend WK, and the adhesive sheet AS is prevented from being adhered to the adherend WK. Since the adhesive sheet AS is moved relative to the adherend WK, it is not necessary to separate the adhesive sheet AS from the adherend WK or discard the adherend WK, and damage and waste of the adherend WK can be suppressed. .

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。 As described above, the best configuration, method, etc. for carrying out the present invention are disclosed in the above description, but the present invention is not limited thereto. That is, although the present invention has been particularly illustrated and described primarily with respect to certain embodiments, it is understood that there may be modifications to the above-described embodiments without departing from the spirit and scope of the invention. Various modifications can be made by those skilled in the art in terms of materials, quantity, and other detailed configurations. In addition, the descriptions that limit the shape, material, etc. disclosed above are exemplified to facilitate understanding of the present invention, and do not limit the present invention. The description by the name of the member that removes some or all of the limitations such as is included in the present invention.

例えば、支持手段10は、外側テーブル12を停止または移動させつつ、貼付手段20および検知手段30を移動させ、接着シートASを被着体WKやリングフレームRFに貼付してもよい。 For example, the support means 10 may move the sticking means 20 and the detection means 30 while stopping or moving the outer table 12 to stick the adhesive sheet AS to the adherend WK or the ring frame RF.

貼付手段20は、帯状の接着シートが帯状の剥離シートRLに仮着された原反や、剥離シートRLに仮着されていない帯状の接着シートからなる原反が採用された場合、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材や、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断する切断手段で帯状の接着シートを所定形状に切断して接着シートASを形成してもよいし、リングフレームRFの開口部RF1を完全に覆うように接着シートASを貼付してもよいし、一部を覆わないように接着シートASを貼付してもよい。 The pasting means 20 uses a strip-shaped adhesive sheet temporarily attached to a strip-shaped release sheet RL, or a strip-shaped adhesive sheet that is not temporarily attached to a release sheet RL. Cutting means such as laser cutter, ion beam, thermal power, heat, water pressure, heating wire, spraying of gas or liquid, etc., and suitable driving equipment are combined to move the cutting member to cut the strip. The adhesive sheet AS may be formed by cutting the adhesive sheet into a predetermined shape, or the adhesive sheet AS may be affixed so as to completely cover the opening RF1 of the ring frame RF, or may not be partially covered. An adhesive sheet AS may be attached to the .

検知手段30は、光電センサ34を支持手段10に設け、反射手段32を押圧ローラ24の左方側および右方側のうち一方側に設けてもよいし、光電センサ34に代えて、発光手段31および受光手段33がそれぞれ別体で構成されたものでもよいし、光電センサ34に代えてまたは併用して、撮像手段や、送波器および受波器を有する超音波センサ等の各種センサを採用してもよく、撮像手段のみを採用する場合は、反射手段32がなくてもよいし、押圧ローラ24の左方側および右方側のうち一方側に発光手段31を設け、他方側に受光手段33を設けてもよいし、支持手段10に発光手段31および受光手段33のうち一方の手段を設け、押圧ローラ24の左方側に他方の手段を設けてもよく、この場合、反射手段32がなくてもよい。
反射手段32は、支持手段10に設けられていなくてもよいし、支持面12AにおけるリングフレームRFの外縁よりも内側の領域全面に反射面を設けてもよいし、凹部12Bの内縁から内側テーブル13までの間に反射面を設けてもよいし、反射面が支持面12Aと同一平面でなくてもよいし、支持面12Aや凹部12Bの底面を光LEの反射率がリングフレームRFや接着シートASと異なるように表面処理した構成してもよいし、光LEの反射率がリングフレームRFや接着シートASに対して高くてもよいし低くてもよい。
The detection means 30 may be provided with the photoelectric sensor 34 on the support means 10 and the reflection means 32 on one of the left and right sides of the pressing roller 24. 31 and light-receiving means 33 may be configured separately, or various sensors such as an imaging means and an ultrasonic sensor having a transmitter and a receiver may be used in place of or in combination with the photoelectric sensor 34. If only the imaging means is used, the reflecting means 32 may be omitted, and the light emitting means 31 may be provided on one of the left and right sides of the pressure roller 24, and the light emitting means 31 may be provided on the other side. The light receiving means 33 may be provided, or one of the light emitting means 31 and the light receiving means 33 may be provided in the support means 10, and the other means may be provided on the left side of the pressure roller 24. Means 32 may be omitted.
The reflecting means 32 may not be provided on the supporting means 10, the reflecting surface may be provided on the entire area inside the outer edge of the ring frame RF on the supporting surface 12A, or the reflecting surface may extend from the inner edge of the recess 12B to the inner table. 13 may be provided, or the reflective surface may not be flush with the support surface 12A. The surface treatment may be different from that of the sheet AS, and the reflectance of the light LE may be higher or lower than that of the ring frame RF and the adhesive sheet AS.

貼付抑制手段40は、直動モータ41に代えてまたは併用して、リニアモータ11によって構成してもよい。この場合、検知手段30によって貼付不良が検知されると、貼付抑制手段40がリニアモータ11を駆動し、図2中二点鎖線で示すように、接着シートASが被着体WKに貼付されないように、外側テーブル12を初期位置の方向に移動させればよい。
貼付抑制手段40は、図2に示すように、直動モータ41に代えてまたは併用して、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端のアーム42Bで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット42Aと、先端のアーム42Bに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段で吸着保持が可能な搬送アーム42Cとを備えた貼付抑制機構42を採用してもよい。この場合、検知手段30によって貼付不良が検知されると、貼付抑制手段40が図示しない減圧手段および多関節ロボット42Aを駆動し、接着シートASが被着体WKに貼付されないように、内側テーブル13で支持されている被着体WKを当該内側テーブル13上から除去すればよい。この際、支持手段10がリニアモータ11の駆動を停止して外側テーブル12の左方への移動を停止してもよいし、停止しなくてもよい。また、貼付手段20が回動モータ25Aの駆動を停止して接着シートASの繰り出しを停止してもよいし、停止しなくてもよい。
貼付抑制手段40は、図2に示すように、直動モータ41に代えてまたは併用して、出力軸43Aで剥離板23における剥離縁23Aの反対側の端部を支持する駆動機器としての回動モータ43を備えてもよい。この場合、検知手段30によって貼付不良が検知されると、貼付抑制手段40が回動モータ43を駆動し、図2中二点鎖線で示すように、接着シートASが被着体WKに貼付されないように、剥離板23を回動させ、接着シートASと被着体WKとを相対移動させればよい。
貼付抑制手段40は、図2に示すように、直動モータ41に代えてまたは併用して、出力軸44Aでフレーム27を支持する駆動機器としての直動モータ44を備えてもよい。この場合、検知手段30によって貼付不良が検知されると、貼付抑制手段40が直動モータ44を駆動し、図2中二点鎖線で示すように、接着シートASが被着体WKに貼付されないように、フレーム27を上昇させ、接着シートASと被着体WKとを相対移動させればよい。
なお、貼付抑制手段40として貼付抑制機構42、回動モータ43または直動モータ44等を採用し、他の装置でリングフレームRFおよび被着体WKを支持する場合、支持手段10は、本発明のシート貼付装置EAに備わっていなくてもよい。
The sticking suppressing means 40 may be configured by the linear motor 11 instead of or in combination with the direct-acting motor 41 . In this case, when a sticking failure is detected by the detection means 30, the sticking suppressing means 40 drives the linear motor 11 to prevent the adhesive sheet AS from sticking to the adherend WK as indicated by the chain double-dashed line in FIG. Then, the outer table 12 should be moved toward the initial position.
As shown in FIG. 2, the sticking suppressing means 40 is composed of a plurality of arms instead of or in combination with the direct-acting motor 41, and is supported by an arm 42B at the tip, which is a working portion, within its working range. is supported by a so-called articulated robot 42A as a driving device that can be displaced to any position and any angle, and an arm 42B at the tip, and can be sucked and held by decompression means (not shown) such as a decompression pump and a vacuum ejector. A sticking suppressing mechanism 42 having an arm 42C may be employed. In this case, when the detection means 30 detects an adhesion failure, the adhesion suppression means 40 drives the decompression means (not shown) and the articulated robot 42A to prevent the adhesive sheet AS from being adhered to the adherend WK. The adherend WK supported by is removed from the inner table 13 . At this time, the support means 10 may stop driving the linear motor 11 to stop the leftward movement of the outer table 12, or may not stop. Further, the pasting means 20 may stop driving the rotation motor 25A to stop feeding the adhesive sheet AS, or may not stop.
As shown in FIG. 2, the sticking suppressing means 40 is a rotating device as a driving device that supports the opposite end of the peeling edge 23A of the peeling plate 23 with the output shaft 43A in place of or in combination with the direct-acting motor 41. A moving motor 43 may be provided. In this case, when the sticking failure is detected by the detection means 30, the sticking suppressing means 40 drives the rotary motor 43, and the adhesive sheet AS is not stuck to the adherend WK as indicated by the chain double-dashed line in FIG. , the release plate 23 is rotated to move the adhesive sheet AS and the adherend WK relative to each other.
As shown in FIG. 2, the sticking suppressing means 40 may be provided with a direct-acting motor 44 as a driving device that supports the frame 27 with the output shaft 44A instead of or in combination with the direct-acting motor 41 . In this case, when the sticking failure is detected by the detection means 30, the sticking suppressing means 40 drives the direct-acting motor 44, so that the adhesive sheet AS is not stuck to the adherend WK as indicated by the chain double-dashed line in FIG. , the frame 27 is raised to move the adhesive sheet AS and the adherend WK relative to each other.
Note that when the sticking suppressing mechanism 42, the rotation motor 43, the direct-acting motor 44, or the like is adopted as the sticking suppressing means 40, and the ring frame RF and the adherend WK are supported by another device, the supporting means 10 is the same as that of the present invention. may not be provided in the sheet sticking device EA.

シート貼付装置EAは、上記実施形態において、検知手段30が貼付不良を検知したときに、外側テーブル12の移動および接着シートASの繰出速度を速くしてもよいし遅くしてもよい。 In the above-described embodiment, the sheet sticking device EA may speed up or slow down the movement of the outer table 12 and the delivery speed of the adhesive sheet AS when the detecting means 30 detects a sticking failure.

フレーム部材は、リングフレームRF以外に、環状でない(外周が繋がっていない)ものや、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよいし、フレーム部材の外形状は、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。 Other than the ring frame RF, the frame member may have a non-annular shape (the outer periphery is not connected), a circle, an ellipse, a polygon with a triangle or more, or any other shape. It may be circular, elliptical, triangular or more polygonal, or any other shape.

また、本発明における接着シートASおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートASは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートASが採用された場合は、当該接着シートASを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートASは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。 Further, the material, type, shape, etc. of the adhesive sheet AS and the adherend in the present invention are not particularly limited. For example, the adhesive sheet AS may have a circular shape, an elliptical shape, a polygonal shape such as a triangle or a quadrangle, or other shapes, and may have adhesive forms such as pressure-sensitive adhesiveness and heat-sensitive adhesiveness. When a heat-sensitive adhesive sheet AS is used, it may be adhered by an appropriate method such as providing a heating means such as a suitable coil heater or heat pipe for heating the adhesive sheet AS. Further, such adhesive sheet AS includes, for example, a single-layer adhesive layer only, an intermediate layer between the base sheet and the adhesive layer, and a cover layer on the upper surface of the base sheet. Three or more layers, or a so-called double-sided adhesive sheet that allows the base sheet to be peeled off from the adhesive layer may be used. It may have a single layer or multiple layers without an intermediate layer. Examples of adherends include food, resin containers, semiconductor wafers such as silicon semiconductor wafers and compound semiconductor wafers, information recording substrates such as circuit boards and optical discs, glass plates, steel plates, pottery, wood plates, resin plates, etc. Any form of member, article, or the like can also be targeted. In addition, the adhesive sheet AS is replaced with a functional and application reading, for example, an information label, a decorative label, a protective sheet, a dicing tape, a die attach film, a die bonding tape, a recording layer forming resin sheet, etc. Sheets, films, tapes, etc. in any shape can be applied to any adherend as described above.

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、貼付手段は、接着シートを供給し、当該接着シートをフレーム部材に貼付した後、当該接着シートをフレーム部材の開口部内に配置された被着体にも貼付可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合は、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材を支持または保持する構成のものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよい。
The means and steps in the present invention are not limited in any way as long as they can perform the operations, functions or steps described for those means and steps. The process is not limited at all. For example, if the sticking means supplies an adhesive sheet, sticks the adhesive sheet to the frame member, and then sticks the adhesive sheet to the adherend placed in the opening of the frame member, the application There is no limitation as long as it is within the technical scope in light of the original technical common sense (description of other means and steps is omitted).
In addition, the drive equipment in the above embodiments includes electric equipment such as rotating motors, direct-acting motors, linear motors, single-axis robots, articulated robots, actuators such as air cylinders, hydraulic cylinders, rodless cylinders and rotary cylinders. In addition, it is also possible to employ a direct or indirect combination of them (some of which overlap with those exemplified in the embodiments).
In the above-described embodiment, when rollers are employed, a driving device for rotating each roller may be provided, or the surface of each roller may be made of an elastically deformable member such as rubber or resin. However, each roller may be composed of a member that does not elastically deform, and if a pressing means or pressing member such as a pressing roller or a pressing head is employed, the roller may be used in place of or in combination with the above examples. , A pressing member made of a round bar, a blade material, rubber, resin, sponge, etc. may be employed, or a configuration in which pressing is performed by blowing air such as the atmosphere or gas may be employed. The part may be composed of an elastically deformable member such as rubber or resin, or may be composed of a non-elastically deformable member. It may be composed of a round bar, a roller, or the like, or if a support (holding) means or supporting (holding) member or other structure that supports or holds a member to be supported is adopted, a mechanical chuck, a chuck cylinder, or the like. A configuration in which the supported member is supported (held) by a gripping means, Coulomb force, an adhesive, an adhesive, a magnetic force, Bernoulli adsorption, a driving device, or the like may be employed.

20 貼付手段
30 検知手段
40 貼付抑制手段
AS 接着シート
EA シート貼付装置
RF リングフレーム(フレーム部材)
RF1 開口部
WK 被着体
20 Sticking Means 30 Detecting Means 40 Sticking Suppressing Means AS Adhesive Sheet EA Sheet Sticking Device RF Ring Frame (Frame Member)
RF1 opening WK adherend

Claims (2)

接着シートを供給し、当該接着シートをフレーム部材に貼付した後、当該接着シートを前記フレーム部材の開口部内に配置された被着体にも貼付する貼付手段と、
前記接着シートが前記被着体に貼付される前段で、前記フレーム部材に対して前記接着シートが所定の位置に貼付できていないことを貼付不良として検知する検知手段と、
前記検知手段によって前記貼付不良が検知されると、前記接着シートが前記被着体に貼付されないように、前記接着シートと前記被着体とを相対移動させる貼付抑制手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
a sticking means for supplying an adhesive sheet, sticking the adhesive sheet to the frame member, and then sticking the adhesive sheet to an adherend placed in the opening of the frame member;
detection means for detecting, as an adhesion failure, that the adhesive sheet has not been adhered to a predetermined position on the frame member before the adhesive sheet is adhered to the adherend;
a sticking suppressing means for relatively moving the adhesive sheet and the adherend so that the adhesive sheet is not stuck to the adherend when the bad sticking is detected by the detection means. A sheet pasting device characterized by:
接着シートを供給し、当該接着シートをフレーム部材に貼付した後、当該接着シートを前記フレーム部材の開口部内に配置された被着体にも貼付する貼付工程と、
前記接着シートが前記被着体に貼付される前段で、前記フレーム部材に対して前記接着シートが所定の位置に貼付できていないことを貼付不良として検知する検知工程と、
前記検知工程によって前記貼付不良が検知されると、前記接着シートが前記被着体に貼付されないように、前記接着シートと前記被着体とを相対移動させる貼付抑制工程とを実施することを特徴とするシート貼付方法。
an affixing step of supplying an adhesive sheet, affixing the adhesive sheet to a frame member, and then affixing the adhesive sheet to an adherend placed in an opening of the frame member;
a detection step of detecting, as an adhesion failure, that the adhesive sheet has not been adhered to a predetermined position on the frame member before the adhesive sheet is adhered to the adherend;
and an adhesion suppression step of relatively moving the adhesive sheet and the adherend so that the adhesive sheet is not adhered to the adherend when the adhesion failure is detected by the detection step. How to attach the sheet.
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