JP2021192407A - 金属皮膜の製造方法、固体電解コンデンサの製造方法、及び固体電解コンデンサ - Google Patents
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Abstract
【課題】安価に製造できる小型の固体電解コンデンサ、金属皮膜の製造方法、及び固体電解コンデンサの製造方法を提供する。【解決手段】本開示の実施の形態に係る固体電解コンデンサの製造方法は、導電体である陰極体6を覆う外装体から陰極体6の一部である陰極体端部6a,6b,6cを露出させるとともに、露出した陰極体端部6a,6b,6cに金属皮膜であるコンタクト電極12を形成する工程を含む。【選択図】図2
Description
本開示は、金属皮膜の製造方法、固体電解コンデンサの製造方法、及び固体電解コンデンサに関する。
近年、パーソナルコンピュータ等の電子機器には、高周波領域でのインピーダンス特性に優れた固体電解コンデンサが用いられている。電子機器の高周波化に対応するため、固体電解コンデンサの低ESR(Equivalent Series Resistance:等価直列抵抗)化や低ESL(Equivalent Series Inductance:等価直列インダクタンス)化が要望されている。このような要望に応え、かつ小型な固体電解コンデンサを提供するために、陽極端面及び陰極端面を外部電極と直接接続する、端面集電構造が提案されている。端面集電構造を有する固体電解コンデンサは、例えば特許文献1に開示されている。
固体電解コンデンサを安価に製造するため、製造コストを削減することが強く要望されている。また、固体電解コンデンサのさらなる小型化も要望されている。
したがって、本開示の目的は、安価に製造できる小型の固体電解コンデンサ、金属皮膜の製造方法、および固体電解コンデンサの製造方法を提供することである。
本開示の一態様に係る金属皮膜の製造方法は、導電体を覆う外装体から前記導電体の一部を露出させるとともに、露出した前記導電体に金属皮膜を形成する工程を含む。
本開示の一態様に係る固体電解コンデンサの製造方法は、陽極体および陰極体を有する複数のコンデンサ素子を形成する工程と、前記複数のコンデンサ素子を互いに積層する工程と、前記複数のコンデンサ素子を外装体で被覆する工程と、前記複数のコンデンサ素子の前記陰極体側から固相の金属粒子を吹き付けて前記外装体を研削することで前記陰極体を露出させるとともに、露出した前記陰極体に前記金属粒子を衝突させて金属皮膜を形成する工程と、を含む。
本開示の一態様に係る固体電解コンデンサは、陽極体、前記陽極体を被覆する誘電体被膜、および、前記誘電体被膜上に形成された陰極体を有するコンデンサ素子と、前記陰極体が露出するように形成された外装体と、を備え、前記陰極体の前記外装体から露出した部分には、金属皮膜が形成されている。
本開示によれば、小型の固体電解コンデンサを安価に製造することができる。
以下、本開示の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、各図において共通する構成要素については同一の符号を付し、それらの説明は適宜省略する。
<第一の実施の形態>
本開示の第一の実施の形態に係る固体電解コンデンサの構成について、図1A,図1B及び図2を用いて説明する。図1Aは、本開示の第一の実施の形態に係る固体電解コンデンサの斜視図であり、図1Bは、固体電解コンデンサの上面図である。図2は、図1BのA−A’線断面図である。
本開示の第一の実施の形態に係る固体電解コンデンサの構成について、図1A,図1B及び図2を用いて説明する。図1Aは、本開示の第一の実施の形態に係る固体電解コンデンサの斜視図であり、図1Bは、固体電解コンデンサの上面図である。図2は、図1BのA−A’線断面図である。
本開示の第一の実施の形態の固体電解コンデンサ20は、コンデンサ素子1、支持部材7、外装体10、下地電極11、コンタクト電極12、導電層13、表面処理層14、陽極側外部電極15a、及び陰極側外部電極15bを有する。図2に示す例では、図の左側が陰極側であり、図の右側が陽極側である。本開示の第一の実施の形態では、図1及び図2に示すように、陽極側外部電極15aが配置されている平面と、陰極側外部電極15bが配置されている平面とは、互いに平行である、
(コンデンサ素子1)
コンデンサ素子1は、陽極体2、誘電体3、レジスト部4、陽極電極部5、陰極体6を有する。誘電体3は、例えば弁金属であるAl(アルミニウム)箔両面に化学エッチング等の方法で多孔質層を形成し、その多孔質層上に誘電体被膜及び固体電解質層を形成して得られる。
コンデンサ素子1は、陽極体2、誘電体3、レジスト部4、陽極電極部5、陰極体6を有する。誘電体3は、例えば弁金属であるAl(アルミニウム)箔両面に化学エッチング等の方法で多孔質層を形成し、その多孔質層上に誘電体被膜及び固体電解質層を形成して得られる。
陽極体2は、多孔質化されずに残っているAl箔の芯材部である。陽極体2の上面及び下面には、誘電体3が配置されている。
陽極体2の厚み及び誘電体3の厚みは、それぞれ、20μm以上80μm以下である。なお、陽極体2及び誘電体3の材料としては、Al箔に限定されず、例えば、コンデンサ材料として一般的に使用されるTa(タンタル)等であってもよい。
陽極電極部5は、陽極体2の陽極側の端部である。陽極電極部5近傍において、陽極体2の上面及び下面には、レジスト部4が形成されている。レジスト部4により、陽極電極部5と、誘電体3および後述する陰極体6と、が電気的に分離されている。
レジスト部4の形成方法としては、既知の適宜の方法を採用すればよい。例えば、誘電体3の一部をレーザや化学エッチングで完全に除去した後に、陽極体2上に絶縁性の樹脂であるポリイミドや、ポリアミド、エポキシ等をコーティングする方法が採用されうる。または、例えば、誘電体3に圧縮応力を与えて緻密な層にすることで絶縁性を持たせる方法や、多孔質の誘電体3の一部に絶縁性の樹脂を含侵させる方法等が採用されてもよい。
また、図1ではレジスト部4が単構造である場合を例示しているが、レジスト部4は、異種材料を組み合わせた複合構造であってもよい。例えば、レジスト部4は、緻密なAl酸化膜とポリイミド樹脂との積層構造であってもよい。
レジスト部4により陽極電極部5と絶縁されている誘電体3は、Al箔両面に化学エッチング等の方法で形成された多孔質層に、固体電解質層が形成された構成である。固体電解質層は、例えば、ポリピロール、ポリチオフェン等の導電性高分子材料を用いて、化学重合または電解重合等の方法によって形成される。
誘電体3上には、陰極体6が形成されている。陰極体6は、例えば印刷法または転写法等により、カーボン層と導電性Ag(銀)ペースト層とが順次積層されたものである。
なお、陰極体6は、カーボン層及び導電性Agペースト層の積層構造に限定されない。例えば、陰極体6は、導電性Agペーストの代わりに、Ag以外のフィラーを用いた導電性ペースト、またはシンタリング材等を含むものであってもよい。Ag以外のフィラーの例としては、例えばCu(銅)や、Ni(ニッケル)コア材をAgコートしたものが挙げられる。
(コンデンサ素子1)
図2に示すように、固体電解コンデンサ20は、互いに積層された複数のコンデンサ素子1を有する。図2に示す例では、3つのコンデンサ素子1a,1b,1cが積層されているが、本開示では互いに積層されるコンデンサ素子1の数については3つに限定されるものではない。
図2に示すように、固体電解コンデンサ20は、互いに積層された複数のコンデンサ素子1を有する。図2に示す例では、3つのコンデンサ素子1a,1b,1cが積層されているが、本開示では互いに積層されるコンデンサ素子1の数については3つに限定されるものではない。
最も下側に配置されているコンデンサ素子1cは、支持部材7上に接着剤8を介して固定されている。固定されたコンデンサ素子1cの上には、導電性接着剤9を介してコンデンサ素子1b,1aが積層されている。なお、以下の説明において、積層されたコンデンサ素子1a,1b,1cのいずれか1つを指して、または複数のコンデンサ素子をまとめて、コンデンサ素子1と記載することがある。
支持部材7としては、例えば、ガラスエポキシ基板、BT(Bismaleimide-Triazine)レジンまたはポリイミド樹脂基板等の耐熱性に優れた基板、またはCu製のリードフレーム等を採用できる。ただし、リードフレーム等の導電材料を用いる場合では、陽極側と陰極側とを絶縁する必要がある。
導電性接着剤9としては、例えば、導電性Agペースト等の導電性ペーストが採用される。導電性接着剤9は、コンデンサ素子1の陰極体6と電気的に接続されている。
接着剤8としては、絶縁性の樹脂系接着剤の他、導電性接着剤9と同様の導電性ペーストが採用されてもよい。
なお、接着剤8及び導電性接着剤9は、ペースト状ではなく、貼り付け可能なシート状であってもよい。
また、図2に示す例では、隣接するコンデンサ素子間には導電性接着剤9のみが設けられているが、例えば、導電性接着剤9の他に、Al、Cu、またはIn(インジウム)等の金属箔を介在させてもよい。
複数のコンデンサ素子1の全体は、陽極側の端部及び陰極側の端部がそれぞれ露出するように、外装体10で被覆されている。
(下地電極11)
下地電極11は、コンデンサ素子1の陽極側の端部、すなわち陽極電極部5を覆うように設けられている。下地電極11は、陽極電極部5と電気的に接続されている。また、下地電極11は、導電性を有する陽極側外部電極15aで覆われている。
下地電極11は、コンデンサ素子1の陽極側の端部、すなわち陽極電極部5を覆うように設けられている。下地電極11は、陽極電極部5と電気的に接続されている。また、下地電極11は、導電性を有する陽極側外部電極15aで覆われている。
下地電極11は、例えば以下の方法で形成される。すなわち、陽極電極部5の端面に、無電解Niめっき処理を施した後、Agめっきを形成し、更に導電性Agペーストで被覆することで、下地電極11が形成される。また、別の方法として、コールドスプレー法により、陽極電極部5の端面に金属粒子を堆積させた後、導電性ペーストで被覆して下地電極11を形成する方法を採用してもよい。コールドスプレー法の詳細については後述する。なお、コールドスプレー法を採用した場合に用いられる金属粒子としては、例えばCuやZn(亜鉛)、Ni(ニッケル)、Sn(スズ)、Ag等の単元素金属の他、青銅や、黄銅等の合金等が採用される。また、導電性ペーストとしては、導電性Agペーストや、導電性Cuペーストの他、複合金属フィラーを樹脂に含有させたものや、シンタリング材等がある。また、導電性ペーストによる被覆をせずに、コールドスプレー法のみで下地電極11を形成してもよい。
(コンタクト電極12)
上述したように、コンデンサ素子1の陰極側の端部である陰極体端部6a,6b,6cは、外装体10から露出している。陰極体端部6a,6b,6cとは、それぞれ、コンデンサ素子1a,1b,1cの陰極体6の陰極側の端部である。コンタクト電極12は、コンデンサ素子1の陰極側の端部、すなわち陰極体端部6a,6b,6cを覆うように設けられている。
上述したように、コンデンサ素子1の陰極側の端部である陰極体端部6a,6b,6cは、外装体10から露出している。陰極体端部6a,6b,6cとは、それぞれ、コンデンサ素子1a,1b,1cの陰極体6の陰極側の端部である。コンタクト電極12は、コンデンサ素子1の陰極側の端部、すなわち陰極体端部6a,6b,6cを覆うように設けられている。
コンタクト電極12は、金属フィラーを含む導電性ペーストからなる陰極体端部6a,6b,6cには形成されているが、樹脂系材料である外装体10及び支持部材7には形成されていない。
コンタクト電極12の材料としては、電気抵抗が低くイオン化傾向の小さい金属を用いることが好ましい。このような金属としては、例えば、Cu、Zn、Ni、Sn、Ag等が挙げられる。このような金属を用いることで、コンタクト電極12の表面における酸化膜の形成が抑制されるので、コンタクト電極12と導電層13との電気的接続を確実にすることができる。なお、コンタクト電極12は、単元素金属で構成される以外に、青銅や黄銅等の合金で構成されてもよいし、Cu及びAg等の異なる単金属が積層されて構成されてもよい。
(外装体10)
外装体10は、例えば絶縁フィラーが混入された樹脂で形成されており、上述したように積層されたコンデンサ素子1を、支持部材7及びコンデンサ素子1の両端部を除いて被覆している。絶縁フィラーとしては、例えばシリカ(SiO2)等の無機フィラーが採用される。また、樹脂としては例えばエポキシ樹脂等が採用される。
外装体10は、例えば絶縁フィラーが混入された樹脂で形成されており、上述したように積層されたコンデンサ素子1を、支持部材7及びコンデンサ素子1の両端部を除いて被覆している。絶縁フィラーとしては、例えばシリカ(SiO2)等の無機フィラーが採用される。また、樹脂としては例えばエポキシ樹脂等が採用される。
外装体10の絶縁フィラーの重量含有率は、陰極体6の導電性ペーストの金属フィラーの重量含有率よりも少ない事が望ましい。さらに言えば、コンタクト電極12の材料をCuまたはZn、外装体の樹脂をエポキシ樹脂、外装体の絶縁フィラーをシリカ、陰極体6の金属フィラーをAgとした場合、外装体10の絶縁フィラーの重量含有率は85%未満、陰極体6の導電性ペーストの金属フィラーの重量含有率は、85%以上が望ましく、さらに言えば、外装体10の絶縁フィラーの重量含有率は75%未満、陰極体6の導電性ペーストの金属フィラーの重量含有率は、86%以上の組み合わせとすると、より好ましい。
その理由は、詳細は後述するが、外装体10及び陰極体6がこのような関係を有することにより、コンタクト電極12が、陰極体端部6a,6b,6cに好適に形成されるからである。
(陽極側外部電極15a及び陰極側外部電極15b)
陽極側外部電極15a及び陰極側外部電極15bは、それぞれ、下地電極11、及びコンタクト電極12を覆うように形成されている。陽極側外部電極15a及び陰極側外部電極15bは、それぞれ、導電層13及び表面処理層14で構成される。
陽極側外部電極15a及び陰極側外部電極15bは、それぞれ、下地電極11、及びコンタクト電極12を覆うように形成されている。陽極側外部電極15a及び陰極側外部電極15bは、それぞれ、導電層13及び表面処理層14で構成される。
導電層13の材料としては、例えば、バインダとなる樹脂材料中にAgまたはCu等の金属フィラーを混入させた導電性ペースト材料が採用される。
表面処理層14は、導電層13の表面に形成された被膜層である。表面処理層14は、例えば、Ni層とSn層との積層構造である。なお、表面処理層14の材料は、その外表面が、はんだとの濡れ性に優れた金属であればよい。このような金属としては、例えば、Sn、Au(金)、Ag、Pd(パラジウム)等が挙げられる。
<第二の実施の形態>
次に、本開示の第二の実施の形態に係る固体電解コンデンサ30の構成について、図3、及び図4を用いて説明する。図3Aは、本開示の第二の実施の形態に係る固体電解コンデンサを示す斜視図であり、図3Bは、固体電解コンデンサの上面図である。図4は、図3のB−B’線断面図である。
次に、本開示の第二の実施の形態に係る固体電解コンデンサ30の構成について、図3、及び図4を用いて説明する。図3Aは、本開示の第二の実施の形態に係る固体電解コンデンサを示す斜視図であり、図3Bは、固体電解コンデンサの上面図である。図4は、図3のB−B’線断面図である。
本開示の第二の実施の形態では、図3A及び図3Bに示すように、陽極側外部電極15aが配置されている平面と直交する平面に、陰極側側面電極16が形成されている。このような構造により、陰極側側面電極16が形成されていない場合と比較して、陽極の近くに陰極側電極を配置できるので、固体電解コンデンサ30の周波数特性を向上させることができる。
なお、図3A及び図3Bにおいては、陰極側外部電極15bと、陰極側側面電極16と、の両方が形成されているが、例えば陰極側外部電極15bを形成せずに、陰極側側面電極16のみを形成してもよい。
図4に示すように、陰極側側面電極16は、陰極側外部電極15bと同様に、導電層13及び表面処理層14で構成されている。陰極側側面電極16は、陰極体6の外装体10から露出した部分に設けられたコンタクト電極12を覆うように配置されており、陰極体6と電気的に接続されている。その他の構成については、第一の実施の形態に係る固体電解コンデンサ20と同様である。
<製造方法>
次に、本開示に係る固体電解コンデンサの製造方法について説明する。以下では、図1及び図2に示す、第一の実施の形態に係る固体電解コンデンサ20の製造方法について、図5A〜図5C及び図6A〜図6Cを用いて説明する。図5A〜図5C及び図6A〜図6Cは、それぞれ、固体電解コンデンサの製造方法の各工程における固体電解コンデンサの断面図である。
次に、本開示に係る固体電解コンデンサの製造方法について説明する。以下では、図1及び図2に示す、第一の実施の形態に係る固体電解コンデンサ20の製造方法について、図5A〜図5C及び図6A〜図6Cを用いて説明する。図5A〜図5C及び図6A〜図6Cは、それぞれ、固体電解コンデンサの製造方法の各工程における固体電解コンデンサの断面図である。
(積層工程)
最初に、図5Aに示す積層工程が行われる。積層工程では、支持部材7上に接着剤8を適量塗布し、その上に、あらかじめ用意された複数のコンデンサ素子1のうちの1つ(コンデンサ素子1c)を精度良く載置する。
最初に、図5Aに示す積層工程が行われる。積層工程では、支持部材7上に接着剤8を適量塗布し、その上に、あらかじめ用意された複数のコンデンサ素子1のうちの1つ(コンデンサ素子1c)を精度良く載置する。
次に、コンデンサ素子1cの上に導電性接着剤9を適量塗布し、その上にコンデンサ素子1bを載置する。更に、コンデンサ素子1bの上に導電性接着剤9を適量塗布し、その上にコンデンサ素子1aを載置する。
接着剤8及び導電性接着剤9の塗布方法としては、例えば、ディスペンス方式、印刷、インクジェット法、ディップ法、または転写法等の既知の方法を適宜採用することができる。
そして、高温炉等を用いて接着剤8及び導電性接着剤9を熱硬化させ、各コンデンサ素子1の陰極体6同士を導通させる。なお、熱硬化の手段としては、高温炉に限定されず、例えば、ホットプレートまたはリフロー炉等を用いてもよい。
なお、上記説明では、支持部材7上の一箇所においてコンデンサ素子1を順次積層する場合について説明したが、支持部材7上の複数箇所において(例えば、複数列、複数行のマトリクス状に)複数のコンデンサ素子の積層が同時に行われてもよい。
(封止工程)
次に、図5Bに示す封止工程が行われる。封止工程では、図5Bに示すように、積層されたコンデンサ素子1全体を覆うように外装体10で封止する。この際、外装体10は、積層されたコンデンサ素子1同士の隙間、及び、支持部材7とコンデンサ素子1との隙間にも充填されることが好ましい。積層されたコンデンサ素子1同士の隙間、及び、支持部材7とコンデンサ素子1との隙間には、予め外装体10とは別の樹脂材料が充填されていてもよい。
次に、図5Bに示す封止工程が行われる。封止工程では、図5Bに示すように、積層されたコンデンサ素子1全体を覆うように外装体10で封止する。この際、外装体10は、積層されたコンデンサ素子1同士の隙間、及び、支持部材7とコンデンサ素子1との隙間にも充填されることが好ましい。積層されたコンデンサ素子1同士の隙間、及び、支持部材7とコンデンサ素子1との隙間には、予め外装体10とは別の樹脂材料が充填されていてもよい。
外装体10を用いてコンデンサ素子1を封止する方法としては、例えば、トランスファー法、コンプレッション法、または、液状樹脂を型に流し込んだ後に熱硬化させる方法等の既知の方法が適宜採用されればよい。
(端面出し工程)
次に、図5Cに示す端面出し工程が行われる。端面出し工程では、外装体10に封止されたコンデンサ素子1の陽極側については、陽極電極部5が外装体10から露出するように端面出しが行われる。これにより、陽極側端面17aが形成される。また、陰極側については、陰極体端部6a,6b,6cが露出しない程度に端面出しが行われる。これにより、陰極体端部6a,6b,6cが露出しない程度に外装体10を残した陰極側端面17bが形成される。
次に、図5Cに示す端面出し工程が行われる。端面出し工程では、外装体10に封止されたコンデンサ素子1の陽極側については、陽極電極部5が外装体10から露出するように端面出しが行われる。これにより、陽極側端面17aが形成される。また、陰極側については、陰極体端部6a,6b,6cが露出しない程度に端面出しが行われる。これにより、陰極体端部6a,6b,6cが露出しない程度に外装体10を残した陰極側端面17bが形成される。
端面出しの方法としては、例えば、ダイヤモンド粒子をボンド材で固定したダイシングブレードを高速回転させて外装体10に封止されたコンデンサ素子1をカットする方法が採用されればよい。
なお、陰極側端面17bは、上述した封止工程で予め形成されていてもよい。また、上記説明では、端面出し工程において、陰極体端部6a,6b,6cが外装体10から露出しない程度に端面出しを行うとしたが、陰極体端部6a,6b,6cの一部が外装体10から露出してもよい。
(コンタクト電極形成工程)
次に、図6Aに示すコンタクト電極形成工程が行われる。コンタクト電極形成工程では、コールドスプレー法が用いられる。
次に、図6Aに示すコンタクト電極形成工程が行われる。コンタクト電極形成工程では、コールドスプレー法が用いられる。
コールドスプレー法は、空気、窒素、ヘリウム等の圧縮された気体により、数μmから数十μmオーダーの金属粒子を亜音速から超音速に加速して、固相状態のまま基材に衝突させて金属粒子を基材と接合させ、金属皮膜を形成する技術である。
コールドスプレー法では、基材が金属である場合、金属粒子の基材への衝突エネルギーによって金属粒子または金属基材が塑性変形し、新生面が露出することによって金属表面が活性化し、金属粒子と基材とが接合されると考えられる。
一方、基材が樹脂である場合、樹脂の硬度がある程度高ければ、金属粒子の衝突により生じた樹脂基材の表面の凹凸に、塑性変形した金属粒子が食い込むことによって、機械的に接合されると考えられる。なお、樹脂の硬度がある程度低い場合には、金属粒子の衝突によって樹脂基材が破壊されるため、樹脂基材の表面には金属粒子が接合されない。
本開示に係る固体電解コンデンサの製造方法では、コールドスプレー法を利用して、陰極体端部6a,6b,6cが外装体10から露出していない陰極側端面17bに対して金属粒子を吹き付ける。これにより、樹脂材料である外装体10の破壊と、金属材料である陰極体端部6a,6b,6cへの金属粒子の接合と、を一度に行うことが可能となっている。
なお、コールドスプレー法によって外装体10を好適に破壊し、陰極体端部6a,6b,6cの表面に金属皮膜を形成するためには、外装体10の硬度を好ましい硬度範囲に調整する必要がある。好ましい硬度範囲とは、金属粒子が外装体10に衝突するエネルギーにより、金属粒子が効率よく塑性変形するとともに基材が効率よく破壊される硬度範囲である。
金属粒子をCuまたはZn、外装体10をエポキシ樹脂とフィラー(シリカ)との混合材料とした場合、上述したように、外装体10のフィラー重量含有率を85%未満とすることで、外装体10が好ましい硬度範囲となることが実験によりわかっている。
また、陰極体6をエポキシ樹脂とフィラー(Ag)との混合材料とした場合、陰極体6の金属フィラー重量含有率を85%以上とすることで、陰極体端部6a,6b,6cの表面に金属粒子が好適に接合され、金属皮膜が形成される。
さらに、外装体10の絶縁フィラーの重量含有率を75%未満、陰極体6の金属フィラーの重量含有率を86%以上の組み合わせとすると、金属粒子が外装体10を好適に研削し、金属皮膜が陰極体端部6a,6b,6cの表面に選択的に形成されるため、より好ましい。
なお、金属粒子にCuやZnよりもヤング率、硬度ともに低いSn等の材料を使用する場合は、外装体10における絶縁フィラーの重量含有率、及び陰極体6における金属フィラー重量含有率をより低い値に設定すればよい。
図7A〜図7Dは、コンタクト電極形成工程における、コンタクト電極12が形成される様子を説明するための図である。図7A〜図7Dにおいて、23はコールドスプレー装置、24はコールドスプレー装置23から高速で噴射される金属粒子、25は陰極体端部6a,6b,6cに形成された金属皮膜である。
まず、図7Aに示すように、外装体10で覆われたコンデンサ素子1a,1b,1cを用意する。次に、図7Bに示すように、コールドスプレー装置23から加速した金属粒子24を噴射させ、コールドスプレー装置23を徐々に移動させて、外装体10を研削する。
図7Cに示すように、コールドスプレー装置23を引き続き移動させることで、コンデンサ素子1a.1b.1cを覆う外装体10を削り、陰極体端部6a,6b,6cを順次露出させる。このとき、陰極体端部6a,6b,6cの露出した箇所には金属粒子24が接合され、金属皮膜25が形成される。したがって、陰極体端部6a,6b,6cの露出した箇所は、ほとんど研削されずに金属皮膜25によって被覆される。
図7Dでは、陰極体端部6a,6b,6cが外装体10から露出し、それぞれに金属皮膜25が形成された様子が示されている。
なお、陰極体6を被覆する外装体10を研削する方法としては、上記説明した方法以外に、例えばアルミナ等の研削砥粒を高速で吹き付けて研削を行うサンドブラスト法等が考えられる。しかしながら、サンドブラスト法の場合、外装体10の研削とともに、露出された陰極体6及び誘電体3も同時に研削されてしまい、本来誘電体3で絶縁されている陽極体2と陰極体6が電気的にリークしてしまう恐れがある(図1参照)。これを防止するためには、例えば陰極体6の厚みを厚くする必要がある。
上記説明したコールドスプレー法であれば、コンデンサ素子1を被覆する外装体10を研削して陰極体端部6a,6b,6cを露出させる工程と、露出した箇所に金属皮膜を形成する工程を一度に行うことができる。このため、サンドブラスト法を採用した場合と比較して、陰極体6の厚みを薄くしても、外装体10とともに陰極体6が研削されてしまう事態を防止することができるとともに、外装体10から露出した陰極体端部6a,6b,6c表面に金属皮膜25を確実に形成する事ができる。なお、本開示に係る固体電解コンデンサでは、陰極体6(陰極体端部6a,6b,6c)の厚みを、例えば200μm以下とすることができる。
図6Aの説明に戻る。図7C及び図7Dに示す金属皮膜25が、図6Aに示すコンタクト電極12である。すなわち、コールドスプレー法を用いて、外装体10を研削して陰極体端部6a,6b,6cを露出させるとともに、陰極体端部6a,6b,6cにコンタクト電極12を形成させることができる。
なお、図5A〜図5C及び図6A〜図6Cに示すように、積層された複数のコンデンサ素子1において、陰極体端部6a,6b,6cの水平方向の位置が互いに異なっていることがある。これは、例えば複数のコンデンサ素子1を積層する際の載置誤差、コンデンサ素子自体のサイズばらつき、または接着剤8や導電性接着剤9を硬化させる際の膨張もしくは収縮等に起因して生じうる。
コンタクト電極形成工程では、全ての陰極体端部6a,6b,6cを露出させる必要がある。このため、図7C等に示す、コールドスプレー法を用いて外装体10を研削する工程において、金属粒子を加速させる速度や金属粒子の噴射量は、コールドスプレーが行われる外装体10の表面から最も深い位置にある陰極体端部(図5Cの例では6b)を確実に露出させることができる値に設定される。金属粒子を加速させる速度や金属粒子の噴射量と、外装体10の表面から最も深い位置にある陰極体端部までの距離との関係は、例えばあらかじめ実験等によって求められていればよい。
なお、コールドスプレー法を用いたコンタクト電極12の形成が一度開始されると、コンタクト電極12の形成が終了するまで、金属粒子を加速させる速度や金属粒子の噴射量は一定である。このため、コールドスプレーが行われる外装体10の表面から陰極体端部6a,6b,6cの表面までの距離に応じて、陰極体端部6a,6b,6cに形成される金属皮膜(コンタクト電極12)の厚みが異なる。
具体例を挙げて説明する。比較的深い位置にある陰極体端部(図5Cの例では6b)よりも、比較的浅い位置にある陰極体端部(図5Cの例では6a)の方が、陰極体端部が露出するまでに研削されるべき外装体10の量が少なくて済む。このため、比較的深い位置にある陰極体端部を露出させるための時間よりも、比較的浅い位置にある陰極体端部を露出させるための時間の方が、短くなる。時間あたり、単位面積あたりに対して噴射される金属粒子の量は一定であるため、比較的深い位置にある陰極体端部の表面に形成される金属皮膜の厚みよりも、比較的浅い位置にある陰極体端部の表面に形成される金属皮膜の厚みの方が、厚くなる。
(下地電極形成工程)
次に、図6Bに示すように、下地電極形成工程が行われる。なお、本実施例においては、コンタクト電極形成工程の後に下地電極形成工程を実施しているが、コンタクト電極形成工程の前に、下地電極形成工程を実施してもよい。
次に、図6Bに示すように、下地電極形成工程が行われる。なお、本実施例においては、コンタクト電極形成工程の後に下地電極形成工程を実施しているが、コンタクト電極形成工程の前に、下地電極形成工程を実施してもよい。
図6Bに示すように、陽極側端面17aを被覆するように下地電極11が形成される。下地電極11の形成方法としては、例えば、コールドスプレー法を用いて陽極電極部5の端面にCu等の金属粒子を衝突させて金属被膜を形成した後に、導電性Agペーストをディップ法等で陽極側端面17a全面を被膜する方法がある。
また、コンタクト電極形成工程と同様に、外装体10で陽極電極部5の一部が被覆された状態から、コールドスプレー法で外装体10を研削して陽極電極部5の端面を露出すると同時に、金属皮膜を形成して、下地電極11を形成してもよい。
更に、他の方法としては、めっき法によって、陽極電極部5の端面にめっきで金属皮膜を形成した後に、導電性Agペーストを被膜する方法を採用してもよい。
(形成工程)
最後に、図6Cに示すように、陽極側外部電極15a及び陰極側外部電極15bの形成工程が行われる。陽極側外部電極15a及び陰極側外部電極15bの形成工程では、まず下地電極11及びコンタクト電極12の表面を覆うように導電層13が形成された後、導電層13の表面を覆うように表面処理層14が形成される。
最後に、図6Cに示すように、陽極側外部電極15a及び陰極側外部電極15bの形成工程が行われる。陽極側外部電極15a及び陰極側外部電極15bの形成工程では、まず下地電極11及びコンタクト電極12の表面を覆うように導電層13が形成された後、導電層13の表面を覆うように表面処理層14が形成される。
導電層13は、例えば導電性Agペーストを、ディップ法、転写法、印刷法、ディスペンス法等で各端面に塗布し、その後、高温で硬化させることによって形成される。
表面処理層14は、例えば電解めっき法の一つであるバレルめっき法で形成されればよい。表面処理層14は、例えばNiとSnとの積層構造である。
なお、図5C等に示すように陰極体端部6a,6b,6cの水平方向の位置が異なっている場合、陰極側外部電極15bの外側の面からみて、陰極体端部6a,6b,6cは凹凸を形成している。このような場合、陰極体端部が凹凸を形成していない場合と比較して、陰極体端部6a,6b,6cと、これらを被覆する導電層13との結合強度が強くなりやすい。このため、陰極側外部電極15bに外力が掛かったとしても、陰極側外部電極15bが陰極体端部6a,6b,6cが外れてしまう事態が低減されうる。
<作用、効果>
本開示の実施の形態に係る固体電解コンデンサの製造方法は、導電体である陰極体6を覆う外装体から陰極体6の一部である陰極体端部6a,6b,6cを露出させるとともに、露出した陰極体端部6a,6b,6cに金属皮膜であるコンタクト電極12を形成する工程を含む。
本開示の実施の形態に係る固体電解コンデンサの製造方法は、導電体である陰極体6を覆う外装体から陰極体6の一部である陰極体端部6a,6b,6cを露出させるとともに、露出した陰極体端部6a,6b,6cに金属皮膜であるコンタクト電極12を形成する工程を含む。
このように、本開示の実施の形態に係る固体電解コンデンサの製造方法によれば、陰極体端部6a,6b,6cの外装体10からの露出と、露出した陰極体端部6a,6b,6cにおけるコンタクト電極12の形成とを、一度に行うことができる。このため、固体電解コンデンサの製造に必要な工数を削減することができるので、陰極体端部6a,6b,6cの外装体10からの露出と、露出した陰極体端部6a,6b,6cにおけるコンタクト電極12の形成とを別々に行う場合と比較して、安価に固体電解コンデンサを製造することができる。
また、本開示の実施の形態に係る固体電解コンデンサの製造方法によれば、図5C等に示すように、コンデンサ素子1の陰極体端部6a,6b,6cの水平方向の位置が互いに異なっている場合でも、それぞれの表面にコンタクト電極12を好適に形成することができる。コンタクト電極12を導電層13で被覆し、導電層13の表面を覆うように表面処理層14を形成することで、小型な固体電解コンデンサを製造することができる。
以下では、本開示の実施の形態に係る固体電解コンデンサの製造方法で製造された固体電解コンデンサが比較的小型である理由について、比較例と比較しながら説明する。
図8は、本開示の実施の形態に係る固体電解コンデンサの比較例である、従来の製造方法で製造された固体電解コンデンサを示す断面図である。図8に示す例では、固体電解コンデンサ100は、上述した実施の形態の固体電解コンデンサ20,30と同様に、3つのコンデンサ素子101a,101b,101cが積層されて構成されている。
それぞれの素子の陰極体106は、導電性接着剤109によって互いに接着されており、互いに電気的に接続されている。複数の素子は、絶縁性の樹脂等の外装体110によって、陰極側および陽極側の電極、並びに基板107を除いて被覆されている。なお、図8に示す例では、図の左側が陰極側、右側が陽極側である。
図9は、図8における陰極側外部電極115b周辺の拡大図である。陰極体106の端部である陰極体端部106a,106b,106cは、外装体110から露出しており、導電性ペースト112および中間電極113を介して外部電極114と接続されている。
導電性ペースト112は、中間電極113と外部電極114とを電気的に接続する役割を果たす。導電性ペースト112は、図9に示すように、水平方向の位置が互いに異なる陰極体端部106a,106b,106cを、確実に、中間電極113と接続するために設けられている。
図10は、図8及び図9に示す、固体電解コンデンサ100の製造方法の一部を説明するための図である。図10に示すように、互いに積層された複数のコンデンサ素子101a,101b,101cの陰極体端部106a,106b,106cを、導電性ペースト112で覆い、ダイシング等で適宜のカット位置113aにて導電性ペースト112をカットする。その後、カット面に中間電極113及び外部電極114を形成することで、陰極側外部電極115bが形成されている。
図9等に示す従来の固体電解コンデンサ100の構造と、図1等に示す本開示の実施の形態に係る製造方法で製造された固体電解コンデンサ20とを比較すると、以下のようなことが言える。すなわち、本開示の実施の形態に係る製造方法で製造された固体電解コンデンサ20では、陰極体端部6a,6b,6cと導電層13とが直接接合されているため、陰極体端部106a,106b,106cと中間電極113とが導電性ペースト112を介して接続されている従来の製造方法で製造された固体電解コンデンサ100と比較して、導電性ペーストの使用量を低減することができる。
導電性ペーストには、主にAg(銀)を主成分とするペーストが用いられることが多く、また、導電性Agペーストは高価であることから、導電性ペーストの使用量を低減させることで、固体電解コンデンサを製造するためのコストを低減させることができる。すなわち、本開示の実施の形態に係る製造方法で製造された固体電解コンデンサ20は、図8、図9等に示す、従来の製造方法で製造された固体電解コンデンサ100と比較して、より安価に製造することができる。
また、本開示の実施の形態に係る製造方法で製造された固体電解コンデンサ20では、従来の固体電解コンデンサ100における導電性ペースト112層が不要であるため、導電性ペースト112の水平方向の厚みの分、水平方向に小型化することができる。
なお、本開示は、上記実施の形態の説明に限定されず、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の変形が可能である。
本開示の固体電解コンデンサは、良好な電気特性を維持しながら、高い信頼性及び生産性を有するため、電子機器(例えば、パソコン、携帯端末)、産業用装置、車載用装置等、あらゆる分野のコンデンサとして有用である。
20,30 固体電解コンデンサ
1,1a,1b,1c コンデンサ素子
2 陽極体
3 誘電体
4 レジスト部
5 陽極電極部
6 陰極体
6a,6b,6c 陰極体端部
7 支持部材
8 接着剤
9 導電性接着剤
10 外装体
11 下地電極
12 コンタクト電極
13 導電層
14 表面処理層
15a 陽極側外部電極
15b 陰極側外部電極
16 陰極側側面電極
17a 陽極側端面
17b 陰極側端面
1,1a,1b,1c コンデンサ素子
2 陽極体
3 誘電体
4 レジスト部
5 陽極電極部
6 陰極体
6a,6b,6c 陰極体端部
7 支持部材
8 接着剤
9 導電性接着剤
10 外装体
11 下地電極
12 コンタクト電極
13 導電層
14 表面処理層
15a 陽極側外部電極
15b 陰極側外部電極
16 陰極側側面電極
17a 陽極側端面
17b 陰極側端面
Claims (16)
- 導電体を覆う外装体から前記導電体の一部を露出させるとともに、露出した前記導電体に金属皮膜を形成する工程を含む、
金属皮膜の製造方法。 - 前記工程は、亜音速、音速または超音速に加速した固相の金属粒子を前記外装体及び前記導電体に衝突させる工程を含む、
請求項1に記載の金属皮膜の製造方法。 - 前記導電体は、コンデンサ素子の一部である、
請求項1または請求項2に記載の金属皮膜の製造方法。 - 前記コンデンサ素子は、陽極体と、前記陽極体を被覆する誘電体と、前記誘電体上に形成された陰極体と、を有し、
前記導電体は、前記陰極体である、
請求項3に記載の金属皮膜の製造方法。 - 前記陰極体は、樹脂内に金属フィラーを混入した導電性ペーストで形成されている、
請求項4に記載の金属皮膜の製造方法。 - 前記陰極体は、200μm以下の厚みを有する、
請求項4または請求項5に記載の金属皮膜の製造方法。 - 前記外装体は、絶縁フィラーを混入した樹脂材料で構成されており、
前記外装体の絶縁フィラー重量含有率は、前記陰極体の金属フィラー重量含有率よりも少ない、
請求項4から請求項6のいずれか一項に記載の金属皮膜の製造方法。 - 前記コンデンサ素子は、陽極体と、前記陽極体を被覆する誘電体と、前記誘電体から予め露出された前記陽極体の一部である陽極電極部と、前記誘電体上に形成された陰極体と、を有し、
前記導電体は、前記陽極電極部である、
請求項3に記載の金属皮膜の形成方法。 - 陽極体および陰極体を有する複数のコンデンサ素子を形成する工程と、
前記複数のコンデンサ素子を互いに積層する工程と、
前記複数のコンデンサ素子を外装体で被覆する工程と、
前記複数のコンデンサ素子の前記陰極体側から固相の金属粒子を吹き付けて前記外装体を研削することで前記陰極体を露出させるとともに、露出した前記陰極体に前記金属粒子を衝突させて金属皮膜を形成する工程と、
を含む、固体電解コンデンサの製造方法。 - 陽極体、前記陽極体を被覆する誘電体被膜、および、前記誘電体被膜上に形成された陰極体を有するコンデンサ素子と、
前記陰極体が露出するように形成された外装体と、
を備え、
前記陰極体の前記外装体から露出した部分には、金属皮膜が形成されている、
固体電解コンデンサ。 - 前記陰極体は、樹脂内に金属フィラーを混入した導電性ペーストで形成されている、
請求項10記載の固体電解コンデンサ。 - 前記陰極体は、200μm以下の厚みを有する、
請求項10または請求項11記載の固体電解コンデンサ。 - 前記外装体は、絶縁フィラーを混入した樹脂材料で構成されており、
前記外装体の絶縁フィラー含有体積率は、前記陰極体の金属フィラー含有体積率よりも少ない、
請求項11または請求項12記載の固体電解コンデンサ。 - 前記誘電体被膜と電気的に接続される陽極側外部電極が配置されている平面と、前記金属皮膜と電気的に接続される陰極側外部電極が配置されている平面とは、互いに平行である、
請求項10から請求項13のいずれか一項に記載の固体電解コンデンサ。 - 前記誘電体被膜と電気的に接続される陽極側外部電極が配置されている平面と、前記金属皮膜と電気的に接続される陰極側外部電極が配置されている平面とは、互いに直交する、
請求項10から請求項14のいずれか一項に記載の固体電解コンデンサ。 - 複数の前記コンデンサ素子が積層されており、
前記金属被膜の厚みは、前記外装体からの前記陰極体の突出長さが長いほど厚い、
請求項10から請求項15のいずれか一項に記載の固体電解コンデンサ。
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