JP2021188094A - 混合ガス供給装置、金属窒化膜の製造装置、及び金属窒化膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また、本発明は、成膜速度が高く、生産性に優れる金属窒化膜の製造装置、及び金属窒化膜の製造方法を提供することを課題とする。
[1] 窒素含有化合物原料として、ヒドラジン化合物とアンモニアとを含む混合ガスを供給する装置であって、
前記ヒドラジン化合物を収容する原料容器と、
前記原料容器の周囲に位置し、前記原料容器を加熱する加熱器と、
前記加熱器の出力を調節する加熱器調節装置と、
前記原料容器にキャリアガスを導入する導入経路と、
前記原料容器から前記ヒドラジン化合物を含むガスを導出する導出経路と、
希釈ガスを供給する希釈ガス供給経路と、
前記アンモニアを供給するアンモニア供給経路と、
前記導出経路と接続され、前記混合ガスを導出する混合ガス導出経路と、
前記希釈ガス供給経路に位置し、前記希釈ガス供給経路に供給される希釈ガス流量を制御する希釈ガス流量制御装置と、
前記アンモニア供給経路に位置し、前記アンモニア供給経路に供給されるアンモニア流量を制御するアンモニア流量制御装置と、
前記混合ガス導出経路に位置し、前記混合ガス導出経路に導出される混合ガス流量を測定する混合ガス流量計と、
前記希釈ガス流量、前記アンモニア流量、及び前記混合ガス流量の値に基づいて、前記混合ガスに含まれるヒドラジン化合物流量を算出する、演算装置と、を備え、
前記アンモニア供給経路が、前記導入経路、前記導出経路、及び前記混合ガス導出経路のうち、少なくともいずれか1つに接続され、
前記希釈ガス供給経路が、前記導入経路及び前記導出経路の一方又は両方と接続される、混合ガス供給装置。
[2] 前記導入経路から分岐し、前記原料容器を経由することなく前記導出経路と合流するバイパス経路をさらに備える、前項[1]に記載の混合ガス供給装置。
[3] 前記導出経路に位置し、前記原料容器内の圧力を測定する圧力計と、
前記導出経路又は前記混合ガス導出経路に位置し、開度調整が可能な開閉弁と、
前記圧力計の測定値に基づいて、前記開閉弁の開度を調整する圧力調節装置と、を備える、前項[1]又は[2]に記載の混合ガス供給装置。
[4] 前記演算装置が、前記ヒドラジン化合物流量の算出値と設定値との差分を算出し、前記差分に基づいて、前記加熱器調節装置の設定値を更新する機能を有する、前項[1]乃至[3]のいずれかに記載の混合ガス供給装置。
[5] 前記演算装置が、前記混合ガスに含まれる前記ヒドラジン化合物の含有割合の算出値と設定値との差分を算出し、前記差分と前記混合ガス流量とに基づいて、前記希釈ガス流量制御装置及び前記アンモニア流量制御装置の設定値を更新する機能を有する、前項[1]乃至[3]のいずれかに記載の混合ガス供給装置。
[6] 前記演算装置が、前記混合ガスに含まれる前記ヒドラジン化合物の含有割合の算出値と設定値との差分を算出し、前記差分に基づいて、前記圧力調節装置の設定値を更新する機能を有する、前項[3]に記載の混合ガス供給装置。
[7] 前記窒素含有化合物原料に含まれるH2O濃度が、0.1ppm以下である、前項[1]乃至[6]のいずれかに記載の混合ガス供給装置。
[8] 前記ヒドラジン化合物に含まれるH2O濃度が、10ppm以下である、前項[1]乃至[7]のいずれかに記載の混合ガス供給装置。
[9] 前記ヒドラジン化合物が、ヒドラジン(N2H4)である、前項[1]乃至[8]のいずれかに記載の混合ガス供給装置。
[10] 金属化合物原料と窒素含有化合物原料とを用いた化学気相成長法により、被処理基材の表面の少なくとも一部に金属窒化膜を成膜する、金属窒化膜の製造装置であって、
前項[1]乃至[9]のいずれかに記載の混合ガス供給装置を備える、金属窒化膜の製造装置。
[11] 金属化合物原料と窒素含有化合物原料とを用いた化学気相成長法により、被処理基材の表面の少なくとも一部に金属窒化膜を成膜する、金属窒化膜の製造方法であって、
前記窒素含有化合物原料が、ヒドラジンとアンモニアとを含む、金属窒化膜の製造方法。
[12] 処理室内に前記被処理基材を設置し、前記被処理基材の表面温度を所要の温度に制御する準備工程と、
前記処理室内に、前記金属化合物原料を供給するステップと、
前記金属化合物原料の供給を停止するステップと、
前記処理室内に、前記窒素含有化合物原料を供給するステップと、
前記窒素含有化合物原料の供給を停止するステップと、を含むサイクルを繰り返して行う成膜工程と、を含む、前項[11]に記載の金属窒化膜の製造方法。
[13] 前記サイクルが、前記処理室内に前記アンモニア、又は不活性ガスで希釈した前記アンモニアを供給するステップをさらに含む、前項[12]に記載の金属窒化膜の製造方法。
[14] 前記処理室内に、前記窒素含有化合物原料を供給するステップにおいて、
所要の温度に加熱された、前記ヒドラジンを収容する原料容器に前記アンモニアを導入し、前記原料容器から導出される前記ヒドラジンと前記アンモニアとの混合ガスを、前記窒素含有化合物原料として用いる、前項[12]又は[13]に記載の金属窒化膜の製造方法。
[15] 前記混合ガスにおける、前記ヒドラジンと前記アンモニアとの含有割合が、体積流量比で1:99〜50:50である、前項[14]に記載の金属窒化膜の製造方法。
また、本発明の金属窒化膜の製造装置、及び金属窒化膜の製造方法は、成膜速度が高く、生産性に優れる。
「窒素含有化合物原料」とは、窒素原子を1以上有する窒素含有化合物を主成分とするものを意味する。また、窒素含有化合物原料は、適切な範囲内で2種以上の窒素含有化合物を含んでいてもよい。また、窒素含有化合物原料は、精製前の素原料、窒素含有化合物を合成する際に発生した副生成物、保管中に発生した副生成物を適切な範囲内で不純物として含んでいてもよい。
「金属窒化膜」とは、金属元素とN原子とを主成分として含む被膜を意味する。また、金属窒化膜は、適切な範囲内で膜中にO原子やC原子を含んでいてもよい。具体的には、金属窒化膜は、膜中にO原子を0〜30atm%含んでいてもよいし、C原子を0〜30atm%含んでいてもよい。
数値範囲を示す「〜」は、その前後に記載された数値を下限値及び上限値として含むことを意味する。
先ず、本発明の金属窒化膜の製造装置について、図面を参照しながら詳細に説明する。図1は、本発明の金属窒化膜の製造装置の一実施形態の構成を模式的に示す系統図である。
図1に示すように、本実施形態の金属窒化膜の製造装置(以下、単に「成膜装置」ともいう)1は、反応場となる処理室(チャンバ)2、処理室2内の被処理基材Pの表面温度を制御する温度制御装置3、処理室2にパージガスを供給するパージガス供給経路L1、処理室2内の雰囲気を排気する排気経路L2、金属化合物原料を原料ガスとして供給する原料ガス供給経路L3、及び窒素含有化合物原料を反応ガスとして供給する反応ガス供給経路L4を備える。
温度制御装置3は、処理室2内の被処理基材Pの表面温度を任意の温度となるように加熱することができる。具体的には、500℃以上の温度となるように制御することができ、500℃未満の温度にも制御することができる。さらに低温での成膜が必要な場合には、被処理基材Pの表面温度を450℃以下に制御することができる。
パージガスとしては、特に限定されないが、ヘリウム(He)、アルゴン(Ar)などの希ガス、窒素(N2)、水素(H2)などが挙げられる。また、パージガスは、これらのうちいずれか1つを用いてもよいし、2以上を混合して用いてもよい。
キャリアガスとしては、特に限定されないが、ヘリウム(He)、アルゴン(Ar)などの希ガス、窒素(N2)、水素(H2)などが挙げられる。キャリアガスは、これらのうちいずれか1つを用いてもよいし、2以上を混合して用いてもよい。
次に、本発明の混合ガス供給装置について、図面を参照しながら説明する。
本発明の混合ガス供給装置は、窒素含有化合物原料として、ヒドラジン化合物とアンモニアとを含む混合ガスを供給する装置である。
図2は、本発明の混合ガス供給装置の第1態様の構成を模式的に示す系統図である。
図2に示すように、第1態様の混合ガス供給装置10は、ヒドラジン化合物を収容する原料容器11と、原料容器11を加熱する加熱器12と、加熱器12の出力を調節する加熱器調節装置13と、原料容器11に接続される導入経路L11及び導出経路L12と、希釈ガスを供給する希釈ガス供給経路L13と、アンモニアを供給するアンモニア供給経路L14と、導出経路L12と接続される混合ガス導出経路L15と、導入経路L11と導出経路L12との間に位置するバイパス経路L16と、希釈ガス流量制御装置14と、アンモニア流量制御装置15と、混合ガス流量計16と、演算装置17と、を備える。
ヒドラジン化合物としては、特に限定されないが、ヒドラジン(N2H4)、モノメチルヒドラジン、ジメチルヒドラジン、ターシャリーブチルヒドラジン、フェニルヒドラジン、プロピルヒドラジンなどが挙げられる。ヒドラジン化合物としては、これらの群からいずれか1種を選択して用いてもよいし、2種以上を混合して用いてもよい。なお、本発明の金属窒化膜の製造装置及び製造方法では、ヒドラジン化合物としてヒドラジンを単独で用いることが好ましい。ヒドラジンのみを用いることにより、ヒドラジン化合物由来の炭素が金属窒化膜中に混入することがなく、電気特性の著しい劣化を防ぐことができる。
加熱器12は、原料容器11を加熱できるものであれば特に限定されない。加熱器12としては、ブリーズヒーター、マントルヒーター、ウォーターバス、オイルバスなどが挙げられる。これらの中でも、容器内のヒドラジン化合物を加温する際、均熱性および安全性の観点から、ウォーターバスやオイルバスを用いることが好ましい。
図3は、本発明の混合ガス供給装置の第2態様の構成を模式的に示す系統図である。
図3に示すように、第2態様の混合ガス供給装置20は、上述した混合ガス供給装置10を構成するアンモニア供給経路L14に替えて、アンモニア供給経路L24を備える点で混合ガス供給装置10と異なっており、その他の構成は同一である。したがって、本態様の混合ガス供給装置20では、混合ガス供給装置10と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
経路L24Aを選択した場合、経路L24Aが混合ガス導出経路L15に接続されているため、導出経路L12から供給されるヒドラジン化合物を含むガスにアンモニアを供給した後、混合ガスとして混合ガス導出経路L15に供給できる。また、演算装置17において、希釈ガス流量、アンモニア流量、及び混合ガス流量を監視するため、希釈ガスの有無によらずに混合ガスに含まれるヒドラジン化合物流量や、混合ガスに含まれるヒドラジン化合物の含有割合を把握できる。
経路L24Bを選択した場合、経路L24Bが混合ガス導出経路L15に接続されているため、混合ガス導出経路L15において、ヒドラジン化合物を含むガスとアンモニアとを混合できる。また、演算装置17において、希釈ガス流量、及び混合ガス流量を監視するため、希釈ガスの有無によらずにヒドラジン化合物流量を算出できる。さらに、アンモニア流量の値から、混合ガス流量計16の二次側の混合ガスに含まれるヒドラジン化合物の含有割合を把握できる。
図4は、本発明の混合ガス供給装置の第3態様の構成を模式的に示す系統図である。
図4に示すように、第3態様の混合ガス供給装置30は、上述した混合ガス供給装置10の構成に加えて、圧力計31、開閉弁32、及び圧力調節装置33をさらに備える点で混合ガス供給装置10と異なっており、その他の構成は同一である。したがって、本態様の混合ガス供給装置30では、混合ガス供給装置10と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
開閉弁32は、導出経路L12又は混合ガス導出経路L15に位置する。開閉弁32は、全閉(開度0%)から全開(開度100%)まで自在に開度調整が可能である。
図5は、本発明の混合ガス供給装置の第4態様の構成を模式的に示す系統図である。
図5に示すように、第4態様の混合ガス供給装置40は、上述した混合ガス供給装置30の構成に加えて、設定装置41をさらに備える点で混合ガス供給装置30と異なっており、その他の構成は同一である。したがって、本態様の混合ガス供給装置40では、混合ガス供給装置30と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
また、ヒドラジン化合物の供給停止に合わせて、アンモニア及び希釈ガスの供給も強制的に停止するように構成されていてもよいし、経路内にアンモニア及びヒドラジン化合物が残留しないように希釈ガスのみを自動的に供給するように構成されていてもよい。さらに、混合ガス供給装置40における全ての開閉弁を強制的に閉止するように構成されていてもよい。これらのインターロック機構を備えることで、ヒドラジン化合物の過剰供給を未然に防ぐことができるため、さらに安全に混合ガスを供給できる。
図6は、本発明の混合ガス供給装置の第5態様の構成を模式的に示す系統図である。
図6に示すように、第5態様の混合ガス供給装置50は、上述した混合ガス供給装置40を構成する演算装置17の機能が異なる点で混合ガス供給装置40と異なっており、その他の構成は同一である。したがって、本態様の混合ガス供給装置50では、混合ガス供給装置40と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
図7は、本発明の混合ガス供給装置の第6態様の構成を模式的に示す系統図である。
図7に示すように、第6態様の混合ガス供給装置60は、上述した混合ガス供給装置40,50を構成する演算装置17の機能が異なる点で混合ガス供給装置40,50と異なっており、その他の構成は同一である。したがって、本態様の混合ガス供給装置60では、混合ガス供給装置40,50と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
窒素含有化合物原料あるいはヒドラジン化合物中の水分濃度が高い場合には、混合ガス供給装置10〜60が、吸着剤や分離膜等を含む精製器を備える構成としてもよい。
本発明の金属窒化膜の製造方法は、金属化合物原料と窒素含有化合物原料とを用いた化学気相成長法により、被処理基材の表面の少なくとも一部に金属窒化膜を成膜する方法である。
化学気相成長法としては、特に限定されないが、例えば、CVD、プラズマCVD、MOCVD、及びALD、プラズマALDが挙げられる。これらの中でも、CVD、ALDが好ましく、ALDがより好ましい。
また、本発明の金属窒化膜の製造方法は、上述した第1〜第6の態様の混合ガス供給装置10〜60のいずれかを用いて、ヒドラジンとアンモニアとを含む混合ガスを窒素含有化合物原料として用いる。
先ず、準備工程として、処理室2内に基板(被処理基材)Pを設置し、基板Pの表面温度を所要の温度に制御する。
・ステップ1A:処理室2内の基板Pに、金属化合物原料を含む原料ガスを供給する。
・ステップ1B:処理室2内の基板Pに、窒素含有化合物原料を含む反応ガスを供給する。
原料ガスは、金属化合物原料以外に、上述したキャリアガスを共存ガスとして含んでもよい。
混合ガスは、上述した第1〜第6の態様の混合ガス供給装置10〜60のいずれかを用いて供給する。また、反応ガスは、混合ガス以外に、上述したキャリアガスを共存ガスとして含んでもよい。
ステップ1Aとステップ1Bは、同時に行ってもよいし(CVD法)、交互に行ってもよい(ALD法)。
方法2は、ALD法による金属窒化膜の製造方法(成膜方法)である。ここで、図8は、本発明の金属窒化膜の製造方法における成膜工程の一例を示すタイミングチャートである。
先ず、方法1と同様に、準備工程として、処理室2内に搬送された基板Pの表面温度を所要の温度に制御する。
・ステップ2A:処理室2内の基板Pに、金属化合物原料を含む原料ガスを供給する。
・ステップ2B:原料ガスの供給を停止する。
・ステップ2C:処理室2内の基板Pに、窒素含有化合物原料を含む反応ガスを供給する。
・ステップ2D:反応ガスの供給を停止する。
ステップ2Bでは、上述した化学吸着反応後に原料ガスの供給を停止する。
ステップ2Dでは、上述した金属化合物原料の窒化反応後に反応ガスの供給を停止する。
また、不活性ガスの供給を行わずに処理室2内を真空排気するステップを含めてもよい。
また、不活性ガスのみを供給するステップと真空排気するステップとを連続して行うステップを含めてもよい。
さらに、処理室2内に、アンモニア、又は不活性ガスで希釈したアンモニアを供給するステップをさらに含む構成としてもよい。
なお、方法2では、上述したサイクルにおいてステップ2A〜2Dをこの順に行うが、直前のステップの完了後に次のステップを開始してもよいし、直前のステップが完了する前に次のステップを開始してもよいし、ステップ2B、2Dのステップを省略してもよい。このように、一部のステップをオーバーラップさせたり、一部のステップを省略したりすることで、1サイクル当たりの時間を短縮できる。さらに、成膜速度が所要の速度となるように制御することができる。
図9は、本発明の金属窒化膜の製造方法における成膜工程の一例を示すタイミングチャートである。
先ず、方法1と同様に、準備工程として、処理室2内に搬送された基板Pの表面温度を所要の温度に制御する。
・ステップ3A:処理室2内の基板Pに、金属化合物原料を含む原料ガスを供給する。
・ステップ3B:原料ガスの供給を停止し、処理室2内に不活性ガスを供給する。
・ステップ3C:不活性ガスの供給を停止し、処理室2内の基板Pに、窒素含有化合物原料を含む反応ガスを供給する。
・ステップ3D:反応ガスの供給を停止し、処理室2内に不活性ガスを供給する。
・ステップ3E:不活性ガスの供給を停止する。
ステップ3Bでは、上述した化学吸着反応後に原料ガスの供給を停止し、処理室2内に残留する未反応の金属化合物原料を除去するために不活性ガスを供給し、処理室2内をパージする。
ステップ3Dでは、上述した金属化合物原料の窒化反応後に反応ガスの供給を停止し、処理室2内に残留する未反応の窒素含有化合物原料を除去するために不活性ガスを供給し、処理室2内をパージする。
ステップ3Eでは、不活性ガスの供給を停止する。
図10は、本発明の金属窒化膜の製造方法における成膜工程の一例を示すタイミングチャートである。
先ず、方法1と同様に、準備工程として、処理室2内に搬送された基板Pの表面温度を所要の温度に制御する。
・ステップ4A:処理室2内の基板Pに、金属化合物原料を含む原料ガスを供給する。
・ステップ4B:原料ガスの供給を停止し、処理室2内を真空排気する。
・ステップ4C:処理室2内の基板Pに、窒素含有化合物原料を含む反応ガスを供給する。
・ステップ4D:反応ガスの供給を停止し、処理室内を真空排気する。
ステップ4Bでは、上述した化学吸着反応後に原料ガスの供給を停止し、処理室2内に残留する未反応の金属化合物原料を除去するために、処理室2内を真空排気する。
ステップ4Cでは、処理室2内の基板Pに対して、真空下で反応ガスを供給する。反応ガスとしては、上述した方法1のステップ1Bで示したヒドラジンとアンモニアとを含む混合ガスを適用できる。これにより、ステップ4Aにおいて基板の表面に吸着した金属化合物原料を窒化させる。
ステップ4Dでは、上述した金属化合物原料の窒化反応後に反応ガスの供給を停止し、処理室2内に残留する未反応の窒素含有化合物を除去するために、処理室2内を真空排気する。
図11は、本発明の金属窒化膜の製造方法における成膜工程の一例を示すタイミングチャートである。
先ず、方法1と同様に、準備工程として、処理室2内に搬送された基板Pの表面温度を所要の温度に制御する。
・ステップ5A:処理室2内の基板Pに、金属化合物原料を含む原料ガスを供給する。
・ステップ5B:原料ガスの供給を停止し、処理室2内を真空排気する。
・ステップ5C:処理室2内に不活性ガスを供給する。
・ステップ5D:不活性ガスの供給を停止し、処理室2内を真空排気する。
・ステップ5E:処理室2内の基板に、窒素含有化合物原料を含む反応ガスを供給する。
・ステップ5F:反応ガスの供給を停止し、処理室2内を真空排気する。
・ステップ5G:処理室2内に不活性ガスを供給する。
・ステップ5H:不活性ガスの供給を停止し、処理室2内を真空排気する。
ステップ5Bでは、上述した化学吸着反応後に原料ガスの供給を停止し、処理室2内に残留する未反応の金属化合物原料を除去するために、処理室2内を真空排気する。
ステップ5Cでは、処理室2内に不活性ガスを供給し、処理室2内をパージする。
ステップ5Dでは、不活性ガスの供給を停止し、処理室2内に残留する不活性ガスを除去するために、処理室2内を真空排気する。
ステップ5Eでは、処理室2内の基板Pに対して、真空下で反応ガスを供給する。反応ガスとしては、ヒドラジンとアンモニアとを含む混合ガスを適用できる。これにより、ステップ5Aにおいて基板Pの表面に吸着した金属化合物原料を窒化させる。
ステップ5Fでは、上述した金属化合物原料の窒化反応後に反応ガスの供給を停止し、処理室2内に残留する未反応の窒素含有化合物を除去するために、処理室2内を真空排気する。
ステップ5Gでは、処理室2内に不活性ガスを供給し、処理室2内をパージする。
ステップ5Hでは、不活性ガスの供給を停止し、処理室2内に残留する不活性ガスを除去するために、処理室2内を真空排気する。
図12は、本発明の金属窒化膜の製造方法における成膜工程の一例を示すタイミングチャートである。
先ず、方法1と同様に、準備工程として、処理室2内に搬送された基板Pの表面温度を所要の温度に制御する。
・ステップ6A:処理室2内の基板Pに、金属化合物原料を含む原料ガスを供給する。
・ステップ6B:原料ガスの供給を停止し、処理室2内に不活性ガスを供給する。
・ステップ6C:不活性ガスの供給を停止し、処理室2内の基板に、窒素含有化合物原料を含む第1反応ガスを供給する。
・ステップ6D:第1反応ガスの供給を停止し、処理室2内に不活性ガスを供給する。
・ステップ6E:不活性ガスの供給を停止し、処理室2内の基板に、アンモニアを含む第2反応ガスを供給する。
・ステップ6F:第2反応ガスの供給を停止し、処理室2内に不活性ガスを供給する。
・ステップ6G:不活性ガスの供給を停止する。
ステップ6Bでは、原料ガスの供給を停止し、処理室2内に残留する未反応の金属化合物原料を除去するために、処理室2内に不活性ガスを供給し、パージする。
ステップ6Cでは、不活性ガスの供給を停止し、処理室2内の基板に対して、真空下で第1反応ガスを供給する。第1反応ガスとしては、ヒドラジンとアンモニアとを含む混合ガスを適用できる。
ステップ6Dでは、第1反応ガスの供給を停止し、処理室2内に残留する未反応の第1反応ガスを除去するために、処理室2内に不活性ガスを供給し、パージする。
ステップ6Eでは、不活性ガスの供給を停止し、アンモニアを含む第2反応ガスを供給する。
ステップ6Fでは、第2反応ガスの供給を停止し、処理室2内に残留する未反応の第2反応ガスを除去するために、処理室2内に不活性ガスを供給し、パージする。
ステップ6Gでは、不活性ガスの供給を停止する。
方法6において、ガス供給を行わず処理室2内を真空排気するステップを含めても良いし、不活性ガスのみを供給するステップと真空排気するステップを連続して行っても良い。
図13は、本発明の金属窒化膜の製造方法における成膜工程の一例を示すタイミングチャートである。
先ず、方法1と同様に、準備工程として、処理室2内に搬送された基板Pの表面温度を所要の温度に制御する。
・ステップ7A:処理室2内の基板Pに、金属化合物原料を含む原料ガスを供給する。
・ステップ7B:原料ガスの供給を停止し、処理室2内に不活性ガスを供給する。
・ステップ7C:不活性ガスの供給を停止し、処理室2内の基板Pに、アンモニアを含む第1反応ガスを供給する。
・ステップ7D:第1反応ガスの供給を停止し、処理室2内に不活性ガスを供給する。
・ステップ7E:不活性ガスの供給を停止し、処理室2内の基板Pに、窒素含有化合物原料を含む第2反応ガスを供給する。
・ステップ7F:第2反応ガスの供給を停止し、処理室2内に不活性ガスを供給する。
・ステップ7G:不活性ガスの供給を停止する。
ステップ7Bでは、原料ガスの供給を停止し、処理室2内に残留する未反応の金属化合物原料を除去するために、処理室2内に不活性ガスを供給し、パージする。
ステップ7Cでは、不活性ガスの供給を停止し、処理室2内の基板Pに対して、真空下で第1反応ガスを供給する。反応ガスとしては、アンモニアを含む第1反応ガスを供給する。
ステップ7Dでは、第1反応ガスの供給を停止し、処理室2内に残留する未反応の第1反応ガスを除去するために、処理室2内に不活性ガスを供給し、パージする。
ステップ7Eでは、不活性ガスの供給を停止し、真空下で第2反応ガスを供給する。アンモニアを含む第2反応ガスを供給する。第2反応ガスとしては、ヒドラジンとアンモニアとを含む混合ガスを適用できる。
ステップ7Fでは、第2反応ガスの供給を停止し、処理室2内に残留する未反応の第2反応ガスを除去するために、処理室2内に不活性ガスを供給し、パージする。
ステップ6Gでは、不活性ガスの供給を停止する。
方法7において、不活性ガスの供給を行わずに処理室2内を真空排気するステップを含めても良いし、不活性ガスのみを供給するステップと真空排気するステップとを連続して行っても良い。
(1)ヒドラジンは、アンモニアと比べて反応性に富むため、混合ガスにおけるヒドラジンとアンモニアとの合計100体積%中、ヒドラジンの含有割合が1体積%以上であれば、金属窒化膜の成膜温度を低温化させる効果が得られる。
(2)ヒドラジンは、アンモニアと比べて還元性が高いため、不純物である膜中塩素含有量を低減できる。なお、膜中塩素は、電気抵抗の劣化要因となるだけでなく、膜中水素(H)との反応によって発生する塩化水素(HCl)が基板にダメージを与える。特に、成膜温度を低温化させると、膜中塩素含有量が増加する傾向にある。
(3)ヒドラジンは、アンモニアと比べて反応性に富むため、混合ガスにおけるヒドラジンとアンモニアとの合計100体積%中、ヒドラジンの含有割合が1体積%以上であれば、金属窒化膜の成膜速度が向上して、生産性が向上する効果が得られる。
本発明の金属窒化膜の製造方法によって得られた金属窒化膜の薄膜は、以下の方法により、膜質、成膜量、及び膜の緻密性を評価できる。
薄膜の膜質は、市販の分光エリプソメトリー(例えば、SOPRA社製分光エリプソメーター)を用いた膜厚及び屈折率の測定値から評価できる。
一方、屈折率が1.80以上である場合、特に屈折率1.9を超えている場合は、膜中に30%以上酸素成分が混入していることを意味し、チタン酸化膜またはチタン酸窒化膜の性質を示す。
一方、屈折率が1.8未満であるとき、シリコン窒化膜は粗な膜構造であると評価できる。なお、屈折率の数値が小さいほど、膜中に酸素成分が混入していることを意味する。
また、屈折率が1.6以下の場合には、一般的にシリコン酸化膜またはシリコン酸窒化膜の性質を示す。
なお、屈折率が1.8を超えている場合、膜中に炭素成分が含まれている場合があり、炭素成分の含有量が多いほど、屈折率の数値が大きくなる傾向がある。
得られた膜厚から、1サイクルあたりの成膜量であるGPC(Growth per cycle)を算出できる。
薄膜の電気抵抗率は、市販の低抵抗率計(例えば、三菱化学アナリテック製:ロレスタ−GP)を用い、室温にて4探針法で測定する。電極探針は、TFPプローブ(探針間隔:1mm)を用いることができる。
得られた抵抗値とサンプルの膜厚とから、電気抵抗率を算出する。例えば、チタン窒化膜であれば、電気抵抗率が低いほど、膜質が良いと評価できる。一方、電気抵抗率が高いほど、酸素、塩素、炭素などの膜中不純物が多く、膜質が悪いと評価できる。
薄膜の不純物量は、二次イオン質量分析法(SIMS)により、膜中塩素、酸素、炭素含有量を評価することができる。装置としては、例えば、アルバックファイ社製:「PHI ADEPT−1010」を用いることができる。
シリコン窒化膜のフッ酸耐性は、フッ酸エッチングレートによって評価できる。
フッ酸エッチングレートは、フッ化水素(HF):水=1:100の割合で希釈したフッ酸溶液にシリコン含有薄膜のサンプルを浸漬し、所定時間経過した後、速やかに純水で洗浄し、窒素ガス等を吹きかけて乾燥させた後、フッ酸浸漬前後の膜厚変化から単位時間におけるフッ酸エッチングレートを算出する。
また、本発明の混合ガス供給装置によれば、混合ガスにおけるヒドラジン化合物の流量や、アンモニアとの混合割合を安全かつ安定して制御できるため、取扱いが容易である。
・成膜手法:ALD
・原料ガス:テトラクロロチタン(TiCl4)、ヘキサクロロジシラン(HCDS)
・反応ガス:ヒドラジン(N2H4)、モノメチルヒドラジン(MMH)、アンモニア(NH3)
・反応ガス(混合ガス)の体積流量比:表1、表2、表3に記載
・原料ガス分圧:0.004(Torr)
・反応ガス分圧:0.04(Torr)
・成膜温度:表1、表2、表3にそれぞれ記載
・3ステップについて:表2に詳細記載
実施例1〜3、5〜7、及び比較例1〜5は、上述した方法3で成膜した。
・ステップ3A:処理室内の基板に、金属化合物原料を含む原料ガスを2秒供給する。
・ステップ3B:原料ガスの供給を停止し、処理室内に不活性ガスを10秒供給する。
・ステップ3C:不活性ガスの供給を停止し、処理室内の基板に、窒素含有化合物原料を含む反応ガスを2秒供給する。
・ステップ3D:反応ガスの供給を停止し、処理室内に不活性ガスを10秒供給する。
・ステップ3E:不活性ガスの供給を停止する。
・サイクルの繰り返し回数:1000回
・ステップ7A:処理室内の基板に、金属化合物原料を含む原料ガスを2秒供給する。
・ステップ7B:原料ガスの供給を停止し、処理室内に不活性ガスを10秒供給する。
・ステップ7C:不活性ガスの供給を停止し、処理室内の基板に、アンモニアを含む第1反応ガスを2秒供給する。
・ステップ7D:第1反応ガスの供給を停止し、処理室内に不活性ガスを10秒供給する。
・ステップ7E:不活性ガスの供給を停止し、処理室内の基板に、窒素含有化合物原料を含む第2反応ガスを2秒供給する。
・ステップ7F:第2反応ガスの供給を停止し、処理室内に不活性ガスを10秒供給する。
・ステップ7G:不活性ガスの供給を停止する。
・サイクルの繰り返し回数:1000回
なお、薄膜の評価結果は、表1〜4にそれぞれ示した。
(1)GPCと膜質
表1に示すように、比較例1と2において、反応ガスとしてヒドラジンを用いた比較例2の方が、各成膜温度において総じてGPCが上昇し、良質なチタン窒化膜(TiN)が形成された。
特に、比較例1に示すように、反応ガスとしてアンモニアを用いた場合、成膜温度が低くなるにつれてGPCが減少し、屈折率が1.8を超える傾向であった。
これに対して、比較例2に示すように、反応ガスとしてヒドラジンを用いた場合、GPCが向上し、屈折率に差異がない傾向であった。
これは、アンモニア(NH3)よりもヒドラジン(N2H4)の方が、反応性が高いため、成膜温度が低温の領域においても窒化反応が進行したといえる。
実施例1に示すように、体積流量比(N2H4:NH3)が50:50の混合ガスを反応ガスとして用いた場合では、反応ガスとしてヒドラジン単体を用いた比較例2以上の成膜特性(GPCが向上、屈折率が減少)であった。
実施例3に示すように、体積流量比が1:99までに減少させた混合ガスを反応ガスとして用いた場合でも、反応ガスとしてアンモニア単体を用いた比較例1と比較して、成膜特性(GPC)が向上し、屈折率が減少して、反応ガスとしてヒドラジン単体を用いた比較例2とおおよそ同等の結果が得られた。
以上の結果より、実施例1〜3は、反応ガスとしてヒドラジンとアンモニアとの混合ガスを用いることで、ヒドラジン(N2H4)の供給流量を低減しつつ、反応ガスとしてヒドラジン単体を用いた比較例2とおおよそ同等の成膜結果が得られた。また、実施例1〜3は、反応ガスとしてヒドラジン単体を用いた比較例2よりも、50%以上コストを削減できることがわかった。
表1に示すように、比較例1と2において、反応ガスとしてヒドラジンを用いた比較例2の方が、各成膜温度において総じて塩素や酸素などの膜中不純物が少ない傾向であった。
特に、比較例1に示すように、反応ガスとしてアンモニアを用いた場合、成膜温度が350℃を下回ると、急激に膜中の塩素量及び酸素量が増加した。膜中の塩素量の増加は、成膜温度が低温になるほど基板の表面に吸着したTiCl4構造に対し、窒化エネルギーが足りずに窒化反応が進行しなかったため(すなわち、Ti−Cl結合が多く膜中に残留したため)である。
また、膜中の酸素量の増加は、窒化反応が進行しないことで粗な膜が形成されてしまい、大気中の酸素や水分が膜中に混入されたためである。
これに対して、比較例2に示すように、反応ガスとしてヒドラジンを用いた場合、ヒドラジンの窒化力が高いため、成膜温度が350℃を下回った場合でも、比較例1と比べて膜中不純物が少なく、良質なチタン窒化膜が形成された。
実施例3に示すように、体積流量比が1:99までに減少させた混合ガスを反応ガスとして用いた場合でも、反応ガスとしてアンモニア単体を用いた比較例1と比較して、膜中不純物が少ない結果であった。
以上の結果より、アンモニアにヒドラジンが少量でも含まれた混合ガスを反応ガスとして用いることで、膜中不純物が少ないチタン窒化膜が得られることがわかった。
表1に示すように、比較例1と2において、反応ガスとしてヒドラジンを用いた比較例2の方が、各成膜温度において総じて電気抵抗率が低い傾向であった。
特に、比較例1に示すように、反応ガスとしてアンモニアを用いた場合、成膜温度が350℃以下になる顕著に増加する傾向が確認された。
これに対して、比較例2に示すように、反応ガスとしてヒドラジンを用いた場合、成膜温度に対して差異が少なく、良好な抵抗率を示す傾向が確認された。
反応ガスとしてアンモニア単体を用いる場合に電気抵抗率が増加するのは、成膜温度が低温であるほど膜中不純物が多く残留し、膜質が大きく劣化するためと推察される。
実施例1に示すように、体積流量比(N2H4:NH3)が50:50の混合ガスを反応ガスとして用いた場合では、比較例2以上の低抵抗率であった。
実施例3に示すように、体積流量比が1:99までに減少させた混合ガスを反応ガスとして用いた場合でも、比較例1よりも低い抵抗率を示し、比較例2と同等程度の結果が得られた。
表2に示すように、実施例2では、比較例1(成膜温度:400℃)と比べて、インキュベーションタイムを低減できた。
以上の結果より、ヒドラジンとアンモニアとの混合ガスを用いることで、インキュベーションタイムの低減効果が確認された。
以上より、良質な金属窒化膜を形成させるためには、窒素含有化合物原料であるヒドラジン中に含まれる水分含有量が10ppm以下、より好ましくは1ppm以下である必要が確認された。
以上の結果より、3ステップでの成膜の効果が確認された。
比較例6の反応ガスの供給量は、比較例1、比較例2及び実施例3と比較して1/100であり、実施例3で供給した混合ガスに含まれるヒドラジン流量と同一であった。
比較例2、実施例3、及び比較例6を比較すると、反応ガスとしてヒドラジンのみを少量供給する比較例6では、成膜温度300℃において薄膜が形成されるが、電気抵抗率や膜中不純物などの膜質が悪化した。
また、比較例1に示すように、反応ガスとしてアンモニア単体を用い、供給流量を比較例2や実施例3と同様に多くしたとしても、劣悪な膜質が形成されることが確認された。
以上より、反応ガスとしてヒドラジンを少量供給する場合、良質な金属窒化膜を形成するためには、反応ガスである窒素含有化合物原料としてヒドラジンだけではなくアンモニアを含めることが必要であることが確認された。また、実施例3のように、アンモニア中にヒドラジンを少量添加した混合ガスを反応ガスとして用いた効果が確認された。
表4に示すように、比較例7と8において、反応ガスとしてヒドラジンを用いた比較例8の方が、各成膜温度において総じてGPCならびにフッ酸耐性が向上し、良質なシリコン窒化膜が形成された。
これは、アンモニア(NH3)よりもヒドラジン(N2H4)の方が、反応性が高いため、成膜温度が低温の領域においても窒化反応が進行したといえる。
実施例6,7に示すように、体積流量比が1:99までに減少させた混合ガスを反応ガスとして用いた場合でも、反応ガスとしてアンモニア単体を用いた比較例7よりもGPC、フッ酸耐性が向上した。また、膜中不純物量についても、反応ガスとしてヒドラジン単体を用いた比較例8と同等の結果であった。
以上の結果より、シリコン窒化膜を成膜する場合においても、反応ガスとしてヒドラジンとアンモニアとの混合ガスを用いることで、ヒドラジン(N2H4)の供給流量を低減しつつ、反応ガスとしてアンモニア単体を用いた比較例7とおおよそ同等の成膜結果が得られた。また、実施例5〜7は、反応ガスとしてヒドラジン単体を用いた比較例8よりも、50%以上コストを削減できた。
また、反応ガスとしてヒドラジンを少量供給する場合、膜中不純物が少ないシリコン窒化膜を成膜するためには、反応ガスである窒素含有化合物原料としてヒドラジンだけではなくアンモニアを含めることが必要であることが確認された。
それ以外の結果についても、チタン窒化膜の成膜評価の結果と同様の傾向であった。
その他の窒化膜についても、チタン窒化膜、シリコン窒化膜の成膜評価の結果と同様の傾向であった。
なお、その他の窒化膜を成膜する際の原料ガスとして、タンタル窒化膜(TaN)の成膜では五塩化タンタル(TaCl5)を、窒化アルミニウム(AlN)の成膜ではトリメチルアルミニウム(TMA)や塩化アルミニウム(AlCl3)を、窒化ガリウム(GaN)の成膜では塩化ガリウム(GaCl3)やトリメチルガリウム(TMG)を、それぞれ用いた。
2・・・処理室(チャンバ)
3・・・温度制御装置
4・・・減圧装置
10,20,30,40,50,60・・・混合ガス供給装置
11・・・原料容器
12・・・加熱器
13・・・加熱器調節装置
14・・・希釈ガス流量制御装置
15・・・アンモニア流量制御装置
16・・・混合ガス流量計
17・・・演算装置
18・・・配管ヒータ
31・・・圧力計
32・・・開閉弁
33・・・圧力調節装置
41・・・設定装置
P・・・被処理基材(基板)
L1・・・パージガス供給経路
L2・・・排気経路
L3・・・原料ガス供給経路
L4・・・反応ガス供給経路
L11・・・導入経路
L12・・・導出経路
L13・・・希釈ガス供給経路
L14,L24・・・アンモニア供給経路
L15・・・混合ガス導出経路
L16・・・バイパス経路
Claims (15)
- 窒素含有化合物原料として、ヒドラジン化合物とアンモニアとを含む混合ガスを供給する装置であって、
前記ヒドラジン化合物を収容する原料容器と、
前記原料容器の周囲に位置し、前記原料容器を加熱する加熱器と、
前記加熱器の出力を調節する加熱器調節装置と、
前記原料容器にキャリアガスを導入する導入経路と、
前記原料容器から前記ヒドラジン化合物を含むガスを導出する導出経路と、
希釈ガスを供給する希釈ガス供給経路と、
前記アンモニアを供給するアンモニア供給経路と、
前記導出経路と接続され、前記混合ガスを導出する混合ガス導出経路と、
前記希釈ガス供給経路に位置し、前記希釈ガス供給経路に供給される希釈ガス流量を制御する希釈ガス流量制御装置と、
前記アンモニア供給経路に位置し、前記アンモニア供給経路に供給されるアンモニア流量を制御するアンモニア流量制御装置と、
前記混合ガス導出経路に位置し、前記混合ガス導出経路に導出される混合ガス流量を測定する混合ガス流量計と、
前記希釈ガス流量、前記アンモニア流量、及び前記混合ガス流量の値に基づいて、前記混合ガスに含まれるヒドラジン化合物流量を算出する、演算装置と、を備え、
前記アンモニア供給経路が、前記導入経路、前記導出経路、及び前記混合ガス導出経路のうち、少なくともいずれか1つに接続され、
前記希釈ガス供給経路が、前記導入経路及び前記導出経路の一方又は両方と接続される、混合ガス供給装置。 - 前記導入経路から分岐し、前記原料容器を経由することなく前記導出経路と合流するバイパス経路をさらに備える、請求項1に記載の混合ガス供給装置。
- 前記導出経路に位置し、前記原料容器内の圧力を測定する圧力計と、
前記導出経路又は前記混合ガス導出経路に位置し、開度調整が可能な開閉弁と、
前記圧力計の測定値に基づいて、前記開閉弁の開度を調整する圧力調節装置と、を備える、請求項1又は2に記載の混合ガス供給装置。 - 前記演算装置が、前記ヒドラジン化合物流量の算出値と設定値との差分を算出し、前記差分に基づいて、前記加熱器調節装置の設定値を更新する機能を有する、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の混合ガス供給装置。
- 前記演算装置が、前記混合ガスに含まれる前記ヒドラジン化合物の含有割合の算出値と設定値との差分を算出し、前記差分と前記混合ガス流量とに基づいて、前記希釈ガス流量制御装置及び前記アンモニア流量制御装置の設定値を更新する機能を有する、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の混合ガス供給装置。
- 前記演算装置が、前記混合ガスに含まれる前記ヒドラジン化合物の含有割合の算出値と設定値との差分を算出し、前記差分に基づいて、前記圧力調節装置の設定値を更新する機能を有する、請求項3に記載の混合ガス供給装置。
- 前記窒素含有化合物原料に含まれるH2O濃度が、0.1ppm以下である、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の混合ガス供給装置。
- 前記ヒドラジン化合物に含まれるH2O濃度が、10ppm以下である、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の混合ガス供給装置。
- 前記ヒドラジン化合物が、ヒドラジン(N2H4)である、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の混合ガス供給装置。
- 金属化合物原料と窒素含有化合物原料とを用いた化学気相成長法により、被処理基材の表面の少なくとも一部に金属窒化膜を成膜する、金属窒化膜の製造装置であって、
請求項1乃至9のいずれか一項に記載の混合ガス供給装置を備える、金属窒化膜の製造装置。 - 金属化合物原料と窒素含有化合物原料とを用いた化学気相成長法により、被処理基材の表面の少なくとも一部に金属窒化膜を成膜する、金属窒化膜の製造方法であって、
前記窒素含有化合物原料が、ヒドラジンとアンモニアとを含む、金属窒化膜の製造方法。 - 処理室内に前記被処理基材を設置し、前記被処理基材の表面温度を所要の温度に制御する準備工程と、
前記処理室内に、前記金属化合物原料を供給するステップと、
前記金属化合物原料の供給を停止するステップと、
前記処理室内に、前記窒素含有化合物原料を供給するステップと、
前記窒素含有化合物原料の供給を停止するステップと、を含むサイクルを繰り返して行う成膜工程と、を含む、請求項11に記載の金属窒化膜の製造方法。 - 前記サイクルが、前記処理室内に前記アンモニア、又は不活性ガスで希釈した前記アンモニアを供給するステップをさらに含む、請求項12に記載の金属窒化膜の製造方法。
- 前記処理室内に、前記窒素含有化合物原料を供給するステップにおいて、
所要の温度に加熱された、前記ヒドラジンを収容する原料容器に前記アンモニアを導入し、前記原料容器から導出される前記ヒドラジンと前記アンモニアとの混合ガスを、前記窒素含有化合物原料として用いる、請求項12又は13に記載の金属窒化膜の製造方法。 - 前記混合ガスにおける、前記ヒドラジンと前記アンモニアとの含有割合が、体積流量比で1:99〜50:50である、請求項14に記載の金属窒化膜の製造方法。
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