JP2021184423A - 処理装置、計測方法および物品製造方法 - Google Patents
処理装置、計測方法および物品製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021184423A JP2021184423A JP2020089073A JP2020089073A JP2021184423A JP 2021184423 A JP2021184423 A JP 2021184423A JP 2020089073 A JP2020089073 A JP 2020089073A JP 2020089073 A JP2020089073 A JP 2020089073A JP 2021184423 A JP2021184423 A JP 2021184423A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- result
- air pressure
- substrate
- measuring instrument
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 66
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 404
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 136
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 claims description 44
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 39
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 36
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 22
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 19
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 14
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 30
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 20
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 5
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000852 hydrogen donor Substances 0.000 description 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 1
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000006082 mold release agent Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0608—Height gauges
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
- G01B11/2504—Calibration devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/045—Correction of measurements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0092—Pressure sensor associated with other sensors, e.g. for measuring acceleration or temperature
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
Description
可動体21は、ほぼ水平姿勢を維持しながら(1)式に従って高さが変動する。よって、高さ計測器81によって計測された高さを補正するための補正係数をKwとすると、原点S0の1点のみにおける高さを計測した場合の補正係数Kwは、(2)式で表すことができる。
図3(B)には、基板1の中心を原点としたXY座標系における原点S0、X軸上の点S2、S4、Y軸上の点S1、S3を計測点として、該計測点における高さの変動を計測した結果が例示されている。上記と同様に、各計測点における高さ計測器81による高さの計測結果の変動幅ΔZw1と圧力計測器80による圧力の計測結果の変動幅ΔPw1との間には、極小領域においては、比例関係が成立するとみなすことができる。よって、K1、K2、K3、K4を係数とすると、(3)、(4)、(5)、(6)式が得られる。添え字は、計測点を表す。
ΔZw1_S2 = K2 × ΔPw1_S2 ・・・(4)
ΔZw1_S3 = K3 × ΔPw1_S3 ・・・(5)
ΔZw1_S4 = K4 × ΔPw1_S4 ・・・(6)
可動体21の高さは、(1)、(3)、(4)、(5)、(6)式に従って、エアー圧力の変動に追従して変化するので、S0〜S4の5つの計測点の高さを計測した場合の補正係数Kwは、(7)式で表すことができる。ここで、K2_x、K4_xは、計測点S2とS4のX軸座標を表し、K1_yとK3_yは計測点S1とS3のY軸座標を表している。また、X、Yは、前記XY座標系における基板1上の任意の点を表している。
+(K3−K1)÷(K3_y−K1_y)× Y + K0 ・・・(7)
この例では、計測点を原点S0、X軸上のS2、S4、Y軸上のS1、S3としたが、計測点の数および位置は、この例に限定されず、基板1上の任意の点を計測点とすることができる。また、高さ計測器81による第1計測および圧力計測器80によるエアー圧力計測は、エアー圧力の変動の少なくとも1周期にわたって行われることが望ましい。
− Kw ×(Pw2(x、y)−Pw2(0、0)) ・・・(8)
ここで、Pw2(0、0)は、基板1上のXY座標系における原点(0,0)の高さを計測する際に圧力計測器80によって計測される圧力である。ただし、基板1上の任意の点を基準点とすることができる。また、高さ計測器81による第2計測における複数の計測点の配置(あるいは、基板1の走査方法)は、X方向に平行な複数の列のそれぞれに計測点が配置されるように決定されてもよい。あるいは、高さ計測器81による第2計測における複数の計測点の配置(あるいは、基板1の走査方法)は、XまたはY方向に対して斜め方向の複数の列のそれぞれに計測点が配置されるように決定されてもよい。あるいは、高さ計測器81による第2計測における複数の計測点の配置(あるいは、基板1の走査方法)は、複数の計測点が渦巻き線の上に配置されるように決定されてもよい。
高さ計測器81によって計測された高さの変動における複数のピークの周波数Fzw1_1のいずれも主要周波数Fpw1_1と一致しない場合、基板1の高さ計測においてはエアー圧力の変動の影響はなかったとみなすことができる。ここでは、基板1上の原点S0を第1計測における計測点とした例を示したが、第1計測における計測点は任意に決定されうる。第2実施形態においても、高さ計測器81による第1高さ計測および圧力計測器80によるエアー圧力の計測は、エアー圧力の変動の少なくとも1周期にわたって行われることが望ましい。1周期未満の場合、本来存在しえない高周波成分が計測結果として加わるために、望ましい結果が得られない可能性がある。
可動体21は、ほぼ水平姿勢を維持しながら(10)式に従って高さが変動する。よって、高さ計測器82によって計測された高さを補正するための補正係数をKmとすると、原点M0の1点のみにおける高さを計測した場合の補正係数Kmは、(11)式で表すことができる。
図10(B)には、型41の中心を原点としたXY座標系における原点M0、X軸上の点M2、M4、Y軸上の点M1、M3を計測点として、該計測点における高さの変動を計測した結果が例示されている。上記と同様に、各計測点における高さ計測器82による高さの計測結果の変動幅ΔZm1と圧力計測器80による圧力の計測結果の変動幅ΔPm1との間には、極小領域においては、比例関係が成立するとみなすことができる。よって、KM1、KM2、KM3、KM4を係数とすると、(12)、(13)、(14)、(15)式が得られる。添え字は、計測点を表す。
ΔZm1_M2 = Km2 × ΔPm1_M2 ・・・(13)
ΔZm1_M3 = Km3 × ΔPm1_M3 ・・・(14)
ΔZm1_M4 = Km4 × ΔPm1_M4 ・・・(15)
可動体21の高さは、(10)、(12)、(13)、(14)、(15)式に従って、エアー圧力の変動に追従して変化するので、M0〜M4の5つの計測点の高さを計測した場合の補正係数Kmは、(16)式で表すことができる。ここで、KM2_x、K4M_xは、計測点M2MS4のX軸座標を表し、KM1_yとKM3_yは計測点M1とM3のY軸座標を表している。また、X、Yは、前記XY座標系におけるM41上の任意の点を表している。
+(KM3−KM1)÷(KM3_y−KM1_y)× Y + KM0 ・・・(16)
この例では、計測点を原点M0、X軸上のM2、M4、Y軸上のM1、M3としたが、計測点の数および位置は、この例に限定されず、型41上の任意の点を計測点とすることができる。また、高さ計測器82による第1計測および圧力計測器80によるエアー圧力計測は、エアー圧力の変動の少なくとも1周期にわたって行われることが望ましい。
− Km ×(Pm2(x、y)−Pm2(0、0)) ・・・(17)
ここで、Pm2(0、0)は、型41上のXY座標系における原点(0、0)の高さを計測する際の圧力計測器80によって計測される圧力である。ただし、型41上の任意の点を基準点とすることができる。また、高さ計測器82による第2計測における複数の計測点の配置は、X方向に平行な複数の列のそれぞれに計測点が配置されるように決定されてもよい。あるいは、高さ計測器81による第2計測における複数の計測点の配置は、XまたはY方向に対して斜め方向の複数の列のそれぞれに計測点が配置されるように決定されてもよい。あるいは、高さ計測器81による第2計測における複数の計測点の配置は、複数の計測点が渦巻き線の上に配置されるように決定されてもよい。
高さ計測器82によって計測された高さの変動における複数のピークの周波数Fzm1_1のいずれも主要周波数Fpm1_1と一致しない場合、型41の高さ計測においてはエアー圧力の変動の影響はなかったとみなすことができる。ここでは、型41上の原点M0を第1計測における計測点とした例を示したが、第1計測における計測点は任意に決定されうる。第4実施形態においても、高さ計測器82による第1高さ計測および圧力計測器80によるエアー圧力の計測は、エアー圧力の変動の少なくとも1周期にわたって行われることが望ましい。1周期未満の場合、本来存在しえない高周波成分が計測結果として加わるために、望ましい結果が得られない可能性がある。
発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。
Claims (18)
- 計測対象領域の少なくとも1つの計測点の高さを計測する第1計測、および、前記計測対象領域の複数の計測点の高さを計測する第2計測を行う高さ計測器と、
前記高さ計測器による前記第1計測および前記第2計測の結果に影響を与えるエアー圧力を計測する圧力計測器と、
前記高さ計測器による前記第1計測の結果および前記圧力計測器による前記エアー圧力の計測の結果に基づいて前記高さ計測器による前記第2計測の結果を補正することによって前記計測対象領域の形状を示す形状情報を得る演算部と、
を備えることを特徴とする処理装置。 - 前記圧力計測器は、前記第1計測と同期して前記エアー圧力の計測を行い、前記第2計測と同期して前記エアー圧力の計測を行い、
前記演算部は、前記第1計測の結果および前記第1計測と同期して行われる前記エアー圧力の計測の結果に基づいて補正係数を決定し、前記補正係数および前記第2計測と同期して行われる前記エアー圧力の計測の結果に基づいて前記第2計測の結果を補正することによって前記形状情報を得る、
ことを特徴とする請求項1に記載の処理装置。 - 前記高さ計測器による前記第1計測および前記圧力計測器による前記エアー圧力の計測は、前記エアー圧力の変動の少なくとも1周期にわたって行われる、
ことを特徴とする請求項2に記載の処理装置。 - 前記圧力計測器は、前記第1計測と同期して前記エアー圧力の計測を行い、
前記演算部は、前記第1計測の結果に含まれる前記エアー圧力の変動に起因する周波数成分に基づいて前記第2計測の結果を補正することによって前記形状情報を得る、
ことを特徴とする請求項1に記載の処理装置。 - 前記演算部は、前記第1計測の結果を周波数解析した結果においてピークを示す周波数と前記第2計測の結果を周波数解析した結果においてピークを示す周波数とが一致する場合に、前記ピークを示す周波数に基づいて前記第2計測の結果を補正することによって前記形状情報を得る、
ことを特徴とする請求項4に記載の処理装置。 - 基板の上のインプリント材に型を接触させ該インプリント材を硬化させる処理を行う、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の処理装置。 - 前記計測対象領域は、前記基板の表面の少なくとも一部を含む、
前記基板は、ガイド面の上で前記エアー圧力によって浮上した可動体に搭載された基板保持部によって保持される、
ことを特徴とする請求項6に記載の処理装置。 - 前記計測対象領域は、ガイド面の上で前記エアー圧力によって浮上した可動体に設けられ、前記基板を保持する基板保持部の基板保持面の少なくとも一部を含む、
ことを特徴とする請求項6に記載の処理装置。 - 前記計測対象領域は、前記型の表面の少なくとも一部を含み、
前記計測器は、ガイド面の上で前記エアー圧力によって浮上した可動体によって支持される、
ことを特徴とする請求項6に記載の処理装置。 - 計測対象領域の少なくとも1つの計測点の高さを計測する第1計測、および、前記第1計測の結果に影響を与えるエアー圧力を計測するエアー圧力計測を行う第1工程と、
前記計測対象領域の複数の計測点の高さを計測する第2計測を行う第2工程と、
前記第1工程で得られた結果に基づいて前記第2工程で得られた結果を補正することによって前記計測対象領域の形状を示す形状情報を得る第3工程と、
を含むことを特徴とする計測方法。 - 前記第1工程では、前記第1計測と同期して前記エアー圧力計測を行い、
前記第2工程では、前記第2計測と同期して前記エアー圧力計測を行い、
前記第3工程では、前記第1工程の結果に基づいて決定される補正係数および前記第2計測と同期して行われる前記エアー圧力計測の結果に基づいて前記第2計測の結果を補正することによって前記形状情報を得る、
ことを特徴とする請求項10に記載の計測方法。 - 前記第1工程は、前記エアー圧力の変動の少なくとも1周期にわたって行われる、
ことを特徴とする請求項11に記載の計測方法。 - 前記第1工程では、前記第1計測と同期して前記エアー圧力計測を行い、
前記第3工程では、前記第1計測の結果に含まれる前記エアー圧力の変動に起因する周波数成分に基づいて前記第2計測の結果を補正することによって前記形状情報を得る、
ことを特徴とする請求項10に記載の計測方法。 - 前記第3工程では、前記第1計測の結果を周波数解析した結果においてピークを示す周波数と前記第2計測の結果を周波数解析した結果においてピークを示す周波数とが一致する場合に、前記ピークを示す周波数に基づいて前記第2計測の結果を補正することによって前記形状情報を得る、
ことを特徴とする請求項13に記載の計測方法。 - 前記第1工程、前記第2工程および前記第3工程は、基板の上のインプリント材に型を接触させ該インプリント材を硬化させる処理を行うインプリント装置において実施され、
前記計測対象領域は、前記基板の表面の少なくとも一部を含む、
前記基板は、ガイド面の上で前記エアー圧力によって浮上した可動体に搭載された基板保持部によって保持される、
ことを特徴とする請求項10乃至14のいずれか1項に記載の計測方法。 - 前記第1工程、前記第2工程および前記第3工程は、基板の上のインプリント材に型を接触させ該インプリント材を硬化させる処理を行うインプリント装置において実施され、
前記計測対象領域は、ガイド面の上で前記エアー圧力によって浮上した可動体に設けられ前記基板を保持する基板保持部の基板保持面の少なくとも一部を含む、
ことを特徴とする請求項10乃至14のいずれか1項に記載の計測方法。 - 前記第1工程、前記第2工程および前記第3工程は、基板の上のインプリント材に型を接触させ該インプリント材を硬化させる処理を行うインプリント装置において実施され、
前記計測対象領域は、前記型の表面の少なくとも一部を含み、
前記第1工程および前記第2工程で前記計測対象領域の高さを計測する計測器は、ガイド面の上で前記エアー圧力によって浮上した可動体によって支持される、
ことを特徴とする請求項10乃至14のいずれか1項に記載の計測方法。 - 請求項6乃至9のいずれか1項に記載の処理装置を用いて基板の上にパターンを形成する形成工程と、
前記形成工程で前記パターンが形成された前記基板を処理する処理工程と、
を含み、前記処理工程を経た前記基板から物品を製造することを特徴とする物品製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020089073A JP7489829B2 (ja) | 2020-05-21 | 処理装置、計測方法および物品製造方法 | |
US17/320,312 US20210364274A1 (en) | 2020-05-21 | 2021-05-14 | Processing apparatus, measurement method, and article manufacturing method |
KR1020210064545A KR20210144594A (ko) | 2020-05-21 | 2021-05-20 | 처리 장치, 계측 방법 및 물품 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020089073A JP7489829B2 (ja) | 2020-05-21 | 処理装置、計測方法および物品製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021184423A true JP2021184423A (ja) | 2021-12-02 |
JP7489829B2 JP7489829B2 (ja) | 2024-05-24 |
Family
ID=
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20210144594A (ko) | 2021-11-30 |
US20210364274A1 (en) | 2021-11-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7087056B2 (ja) | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 | |
JP6061524B2 (ja) | インプリント装置および物品の製造方法 | |
JP5686779B2 (ja) | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 | |
US9810979B2 (en) | Imprint apparatus and article manufacturing method | |
US9254608B2 (en) | Imprint apparatus, imprint method, and method of manufacturing article | |
JP6180131B2 (ja) | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 | |
JP6029268B2 (ja) | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 | |
JP6300459B2 (ja) | インプリント装置およびインプリント方法、それを用いた物品の製造方法 | |
JP2015008279A (ja) | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 | |
US11768444B2 (en) | Imprint apparatus and method of manufacturing article | |
TWI756514B (zh) | 壓印方法、壓印裝置、模具之製造方法及物品之製造方法 | |
KR20200136827A (ko) | 리소그래피 장치 및 물품의 제조 방법 | |
JP7489829B2 (ja) | 処理装置、計測方法および物品製造方法 | |
JP2017063111A (ja) | モールド、インプリント方法、インプリント装置および物品の製造方法 | |
JP2021184423A (ja) | 処理装置、計測方法および物品製造方法 | |
KR20190132216A (ko) | 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 | |
JP7433861B2 (ja) | インプリント装置、インプリント方法、物品の製造方法、基板、および、型 | |
JP5865528B2 (ja) | インプリント装置、インプリント方法、及びデバイス製造方法 | |
KR102195515B1 (ko) | 임프린트 장치 및 물품의 제조 방법 | |
JP2021072352A (ja) | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 | |
US11988956B2 (en) | Measurement method, imprint apparatus, and article manufacturing method | |
JP7449171B2 (ja) | インプリント装置及び物品の製造方法 | |
JP2022125867A (ja) | 計測装置、リソグラフィ装置、および物品製造方法 | |
KR20160007377A (ko) | 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 | |
JP2017022242A (ja) | インプリント装置および物品製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20210103 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210113 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230428 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20231226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20240109 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240307 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240415 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240514 |