JP2021181782A

JP2021181782A - Fluid transportation actuator

Info

Publication number: JP2021181782A
Application number: JP2021081319A
Authority: JP
Inventors: 莫皓然; Hao Ran Mo; 張鈞▲イ▼; Jyun Yi Jhang; 曾俊隆; Chun Lung Tseng; 陳世昌; Shih Chang Chen; 廖家▲ユ▼; Jia Yoo Liao; 黄啓峰; qi feng Huang; 韓永隆; yong long Han; 古暘; Yang Ku; 呂依庭; Yi Ting Lu
Original assignee: Microjet Technology Co Ltd
Current assignee: Microjet Technology Co Ltd
Priority date: 2020-05-19
Filing date: 2021-05-12
Publication date: 2021-11-25
Anticipated expiration: 2041-05-12
Also published as: US20210363984A1; TW202144677A

Abstract

To provide a fluid transportation actuator capable of improving operation resistance, preventing interference of driving frequency caused by adjacent resonance emission, enhancing structural strength and toughness, and reducing influence of physical damage on a piezoelectric thin plate.SOLUTION: A fluid transportation actuator comprises a silencing jet orifice sheet, a chamber frame, an actuator, an insulation frame, and a conductive frame. The silencing jet orifice sheet includes a silencing sheet, a suspension sheet, and a hollow hole, and the suspension sheet can be bent and vibrated. The actuator is reciprocally bent and vibrated by application of voltage. The actuator drives resonance of the silencing jet orifice sheet, so that the suspension sheet is reciprocally vibrated and displaced, and fluid is transported.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、流体輸送アクチュエータに関し、特に、異なる金属材料の構成要素で構成された流体輸送アクチュエータに関する。 The present invention relates to fluid transport actuators, in particular to fluid transport actuators composed of components of different metallic materials.

従来の流体輸送アクチュエータは、複数の機械的な構成要素を組み立て構成されており、装置全体の体積を減少して薄型化の目標を達成するために、各機械的な構成要素を小型化及び薄型化にすることを採用している。しかし、機械部品の小型化後は、寸法を精確に制御することは容易でなく、また、組立精度を維持するのも困難となるため、製品の歩留まり又は流体流量が不安定などの問題が生じる場合がある。また、機械部品が小型化されることにつれて、動作時、単一素材で構成された流体輸送アクチュエータの構造的靭性が不十分であり、干渉及び駆動点の認識が不明確などの問題が生じる場合もある。 Conventional fluid transport actuators are constructed by assembling multiple mechanical components, and each mechanical component is miniaturized and thinned in order to reduce the volume of the entire device and achieve the goal of thinning. It is adopted to make it. However, after the miniaturization of machine parts, it is not easy to control the dimensions accurately, and it is also difficult to maintain the assembly accuracy, which causes problems such as product yield or unstable fluid flow rate. In some cases. In addition, as mechanical parts become smaller, the structural toughness of fluid transport actuators made of a single material is insufficient during operation, causing problems such as interference and unclear recognition of drive points. There is also.

また、従来の流体輸送アクチュエータでは、輸送された流体が効果的に収集できないか、構成要素の寸法が小さすぎることによる流体推進力及び流体供給流量が不十分などの問題も生じる。 In addition, the conventional fluid transport actuator has problems such as the transported fluid cannot be effectively collected, or the fluid propulsion force and the fluid supply flow rate are insufficient due to the size of the component being too small.

本発明の目的は、流体輸送アクチュエータを提供することである。 An object of the present invention is to provide a fluid transport actuator.

本発明によって提供される流体輸送アクチュエータは、サイレンシングジェットオリフィスシートと、チャンバーフレームと、アクチュエータと、絶縁フレームと、導電性フレームとを備え、前記サイレンシングジェットオリフィスシートは、サイレンシングシートと、サスペンションシートと、中空孔とを備え、前記サスペンションシートが屈曲振動（折れ曲がるような振動）できる。前記サスペンションシートの中央部に、前記中空孔が設けられ、前記サイレンシングシートは、前記サスペンションシートの中央部に設けられた前記中空孔を覆うように配置され、前記チャンバーフレームは、前記サスペンションシートと重ね合わせるように配置され、前記アクチュエータは、前記チャンバーフレームと重ね合わせるように配置され、前記アクチュエータは、電圧印加によって屈曲振動し、前記アクチュエータは圧電薄板ピンを有し、前記絶縁フレームは、前記アクチュエータと重ね合わせるように配置され、前記導電性フレームは、前記絶縁フレームと重ね合わせるように配置され、且つ、導電性フレームピンを有し、前記アクチュエータと前記チャンバーフレームと前記サイレンシングジェットオリフィスシートとで共振チャンバーが形成され、前記アクチュエータは、前記サイレンシングジェットオリフィスシートの共振を駆動させることで、前記サイレンシングジェットオリフィスシートの前記サスペンションシートが往復振動変位して、流体輸送を実現する。 The fluid transport actuator provided by the present invention includes a silencing jet orifice sheet, a chamber frame, an actuator, an insulating frame, and a conductive frame, and the silencing jet orifice sheet includes a silencing sheet and a suspension. The suspension seat is provided with a seat and a hollow hole, and the suspension seat can perform bending vibration (vibration such as bending). The hollow hole is provided in the central portion of the suspension seat, the silencing sheet is arranged so as to cover the hollow hole provided in the central portion of the suspension seat, and the chamber frame is the suspension sheet. The actuator is arranged so as to be overlapped with the chamber frame, the actuator is flexed and vibrated by applying a voltage, the actuator has a piezoelectric thin plate pin, and the insulating frame is the actuator. The conductive frame is arranged so as to be overlapped with the insulating frame, and has a conductive frame pin, and the actuator, the chamber frame, and the silencing jet orifice sheet. A resonance chamber is formed, and the actuator drives the resonance of the silencing jet orifice sheet, so that the suspension sheet of the silencing jet orifice sheet is reciprocally vibrated and displaced to realize fluid transportation.

第１角度から見た本発明の流体輸送アクチュエータの分解図である。It is an exploded view of the fluid transport actuator of this invention seen from the 1st angle. 第２角度から見た本発明の流体輸送アクチュエータの分解図である。It is an exploded view of the fluid transport actuator of this invention seen from the 2nd angle. 本発明の流体輸送アクチュエータの正面図である。It is a front view of the fluid transport actuator of this invention. 本発明の流体輸送アクチュエータの背面図である。It is a rear view of the fluid transport actuator of this invention. 図３に示す流体輸送アクチュエータの寸法を理解するための符号を示す図である。It is a figure which shows the code | symbol for understanding the dimension of the fluid transport actuator shown in FIG. 図３に示す流体輸送アクチュエータの４つの角部の符号を示す図である。It is a figure which shows the code | symbol of the four corners of the fluid transport actuator shown in FIG. 図６に示す流体輸送アクチュエータのＡ−Ａ接線の断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line AA of the fluid transport actuator shown in FIG. 図３に示す流体輸送アクチュエータの厚みを理解するための符号を示す図である。It is a figure which shows the code | symbol for understanding the thickness of the fluid transport actuator shown in FIG.

本発明の特徴及び利点を具体化する実施形態は、以下の内容において詳細に説明する。本発明には、様々な変更を加えることが可能であるが、その変更が本発明の範囲から逸脱するものではない。また、以下の説明及び図面は、本発明を説明するためのものであり、本発明を限定するものではない。 Embodiments that embody the features and advantages of the present invention will be described in detail below. Various changes can be made to the present invention, but the changes do not deviate from the scope of the present invention. Further, the following description and drawings are for explaining the present invention and do not limit the present invention.

本発明に関する図面において、左下に示す角方位（Ｍ、Ｎ、Ｏ、Ｐ）又は辺方位（Ｗ、Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、流体輸送アクチュエータの方向、各角部及び各辺を明確に定義・理解するためのものである。 In the drawings relating to the present invention, the angular orientation (M, N, O, P) or side orientation (W, X, Y, Z) shown in the lower left clearly defines the direction of the fluid transport actuator, each corner portion and each side.・ It is for understanding.

本発明に提供される流体輸送アクチュエータは、図１及び図２に示されている。流体輸送アクチュエータ２１は、サイレンシングジェットオリフィスシート２１１と、チャンバーフレーム２１２と、アクチュエータ２１３と、絶縁フレーム２１４と、導電性フレーム２１５とを備える。前記サイレンシングジェットオリフィスシート２１１は、サイレンシングシート２１１ａと、サスペンションシート２１１ｂと、中空孔２１１ｃとを備える。前記サスペンションシート２１１ｂが屈曲振動できる。前記サスペンションシート２１１ｂの中央部に、前記中空孔２１１ｃが設けられ、前記サイレンシングシート２１１ａが、前記サスペンションシート２１１ｂの中央部に設けられた前記中空孔２１１ｃを覆うように固定されている。前記チャンバーフレーム２１２は、前記サスペンションシート２１１ｂと重ね合わせるように配置されている。前記アクチュエータ２１３は、前記チャンバーフレーム２１２と重ね合わせるように配置され、前記アクチュエータ２１３は、電圧を印加すると往復屈曲振動する。前記アクチュエータ２１３には、圧電薄板ピン２１３ｅを備える。前記絶縁フレーム２１４は、前記アクチュエータ２１３と重ね合わせるように配置される。前記導電性フレーム２１５は、前記絶縁フレーム２１４と重ね合わせるように配置される。前記導電性フレーム２１５には、導電性フレームピン２１５ｅが設けられる。前記アクチュエータ２１３と前記チャンバーフレーム２１２と前記サイレンシングジェットオリフィスシート２１１との間に、共振チャンバーが形成されており、前記アクチュエータ２１３の駆動により、前記サイレンシングジェットオリフィスシート２１１が共振し、前記サイレンシングジェットオリフィスシート２１１の前記サスペンションシート２１１ｂを往復振動変位させる。これによって、流体輸送が実現できる。本発明の流体輸送アクチュエータ２１のアクチュエータ２１３は、圧電薄板２１３ａと、圧電厚板２１３ｂと、圧電シート２１３ｃとを備える。前記圧電薄板２１３ａは、前記チャンバーフレーム２１２と重ね合わせるように配置されている。前記圧電薄板ピン２１３ｅは、前記圧電薄板２１３ａの凸部である。前記圧電厚板２１３ｂは、前記圧電薄板２１３ａと重ね合わせるように配置される。前記圧電シート２１３ｃは、前記圧電厚板２１３ｂと重ね合わせるように配置される。前記圧電シート２１３ｃは、電圧を印加すると、前記圧電薄板２１３ａ及び圧電厚板２１３ｂが往復屈曲振動することを駆動させる。 The fluid transport actuators provided in the present invention are shown in FIGS. 1 and 2. The fluid transport actuator 21 includes a silencing jet orifice sheet 211, a chamber frame 212, an actuator 213, an insulating frame 214, and a conductive frame 215. The silencing jet orifice sheet 211 includes a silencing sheet 211a, a suspension sheet 211b, and a hollow hole 211c. The suspension seat 211b can bend and vibrate. The hollow hole 211c is provided in the central portion of the suspension sheet 211b, and the silencing sheet 211a is fixed so as to cover the hollow hole 211c provided in the central portion of the suspension sheet 211b. The chamber frame 212 is arranged so as to overlap with the suspension sheet 211b. The actuator 213 is arranged so as to overlap with the chamber frame 212, and the actuator 213 reciprocates and vibrates when a voltage is applied. The actuator 213 is provided with a piezoelectric thin plate pin 213e. The insulating frame 214 is arranged so as to overlap with the actuator 213. The conductive frame 215 is arranged so as to overlap with the insulating frame 214. The conductive frame 215 is provided with a conductive frame pin 215e. A resonance chamber is formed between the actuator 213, the chamber frame 212, and the silencing jet orifice sheet 211. By driving the actuator 213, the silencing jet orifice sheet 211 resonates and the silence is performed. The suspension sheet 211b of the jet orifice sheet 211 is reciprocally vibrated and displaced. As a result, fluid transportation can be realized. The actuator 213 of the fluid transport actuator 21 of the present invention includes a piezoelectric thin plate 213a, a piezoelectric thick plate 213b, and a piezoelectric sheet 213c. The piezoelectric thin plate 213a is arranged so as to overlap with the chamber frame 212. The piezoelectric thin plate pin 213e is a convex portion of the piezoelectric thin plate 213a. The piezoelectric thick plate 213b is arranged so as to overlap with the piezoelectric thin plate 213a. The piezoelectric sheet 213c is arranged so as to overlap with the piezoelectric thick plate 213b. When a voltage is applied, the piezoelectric sheet 213c drives the piezoelectric thin plate 213a and the piezoelectric thick plate 213b to reciprocally bend and vibrate.

本発明の実施形態では、流体輸送アクチュエータ２１は、サイレンシングジェットオリフィスシート２１１と、チャンバーフレーム２１２と、アクチュエータ２１３と、絶縁フレーム２１４と、導電性フレーム２１５とを順に積み重ねたものである。サイレンシングジェットオリフィスシート２１１は、サイレンシングシート２１１ａと、サスペンションシート２１１ｂと、中空孔２１１ｃとを備える。サスペンションシート２１１ｂは、４つのサスペンションシート角部（Ｒ１Ｍ、Ｒ１Ｎ、Ｒ１Ｏ及びＲ１Ｐ）を有する。サスペンションシート２１１ｂが電力駆動により屈曲振動できる。サスペンションシート２１１ｂの中央部に、中空孔２１１ｃが設けられている。サイレンシングシート２１１ａは、サスペンションシート２１１ｂの中空孔２１１ｃの上方部に隣接する。チャンバーフレーム２１２は、４つのチャンバーフレーム角部（Ｒ２Ｍ、Ｒ２Ｎ、Ｒ２Ｏ及びＲ２Ｐ）を有する。チャンバーフレーム２１２は、サスペンションシート２１１ｂと重ね合わせるように配置されている。アクチュエータ２１３は、チャンバーフレーム２１２と重ね合わせるように配置される。アクチュエータ２１３は、圧電薄板２１３ａと、圧電厚板２１３ｂと、圧電シート２１３ｃとを備える。アクチュエータ２１３は、電圧印加により、往復屈曲振動する。アクチュエータ２１３は、圧電薄板ピン２１３ｅを有する。圧電薄板ピン２１３ｅは、圧電薄板２１３ａの凸部であり、電圧印加の接続のために用いられている。圧電薄板２１３ａは、チャンバーフレーム２１２と重ね合わせるように配置される。圧電厚板２１３ｂは、圧電薄板２１３ａと重ね合わせるように配置される。圧電シート２１３ｃは、圧電厚板２１３ｂと重ね合わせるように配置される。圧電シート２１３ｃは印加電圧により変形して、圧電薄板２１３ａ及び圧電厚板２１３ｂが往復屈曲振動することを駆動させる。絶縁フレーム２１４は、４つの絶縁フレーム角部（Ｒ４Ｍ、Ｒ４Ｎ、Ｒ４Ｏ及びＲ４Ｐ）を有する。絶縁フレーム２１４は、アクチュエータ２１３と重ね合わせるように配置され、すなわち、絶縁フレーム２１４は、アクチュエータ２１３の圧電薄板２１３ａと重ね合わせるように配置される。導電性フレーム２１５は、絶縁フレーム２１４と重ね合わせるように配置される。導電性フレーム２１５は、導電性フレームピン２１５ｅを備える。導電性フレームピン２１５ｅは、導電性フレーム２１５の凸部であり、電圧印加の接続のために用いられている。アクチュエータ２１３とチャンバーフレーム２１２とサイレンシングジェットオリフィスシート２１１との間は、共振チャンバーを形成し、アクチュエータ２１３の駆動により、サイレンシングジェットオリフィスシート２１１が共振し、サイレンシングジェットオリフィスシート２１１のサスペンションシート２１１ｂが往復振動変位する。これによって、流体輸送が実現する。 In the embodiment of the present invention, the fluid transport actuator 21 is a stack of a silencing jet orifice sheet 211, a chamber frame 212, an actuator 213, an insulating frame 214, and a conductive frame 215 in this order. The silencing jet orifice sheet 211 includes a silencing sheet 211a, a suspension sheet 211b, and a hollow hole 211c. The suspension seat 211b has four suspension seat corners (R1M, R1N, R1O and R1P). The suspension seat 211b can be flexed and vibrated by electric power drive. A hollow hole 211c is provided in the center of the suspension seat 211b. The silencing sheet 211a is adjacent to the upper portion of the hollow hole 211c of the suspension sheet 211b. The chamber frame 212 has four chamber frame corners (R2M, R2N, R2O and R2P). The chamber frame 212 is arranged so as to overlap with the suspension seat 211b. The actuator 213 is arranged so as to overlap with the chamber frame 212. The actuator 213 includes a piezoelectric thin plate 213a, a piezoelectric thick plate 213b, and a piezoelectric sheet 213c. The actuator 213 reciprocates and vibrates when a voltage is applied. The actuator 213 has a piezoelectric thin plate pin 213e. The piezoelectric thin plate pin 213e is a convex portion of the piezoelectric thin plate 213a and is used for connecting a voltage application. The piezoelectric thin plate 213a is arranged so as to overlap with the chamber frame 212. The piezoelectric thick plate 213b is arranged so as to overlap with the piezoelectric thin plate 213a. The piezoelectric sheet 213c is arranged so as to overlap with the piezoelectric thick plate 213b. The piezoelectric sheet 213c is deformed by the applied voltage to drive the piezoelectric thin plate 213a and the piezoelectric thick plate 213b to reciprocally bend and vibrate. The insulating frame 214 has four insulating frame corners (R4M, R4N, R4O and R4P). The insulating frame 214 is arranged so as to overlap with the actuator 213, that is, the insulating frame 214 is arranged so as to overlap with the piezoelectric thin plate 213a of the actuator 213. The conductive frame 215 is arranged so as to overlap with the insulating frame 214. The conductive frame 215 includes a conductive frame pin 215e. The conductive frame pin 215e is a convex portion of the conductive frame 215 and is used for connecting a voltage application. A resonance chamber is formed between the actuator 213, the chamber frame 212, and the silencing jet orifice sheet 211, and the silencing jet orifice sheet 211 resonates due to the drive of the actuator 213, and the suspension sheet 211b of the silencing jet orifice sheet 211. Is reciprocating vibration displacement. This enables fluid transport.

本発明の流体輸送アクチュエータ２１では、圧電薄板２１３ａ及び圧電厚板２１３ｂは、異なる熱膨張係数、異なるたわみ度、異なる剛性を有する、ステンレス鋼でない金属である。 In the fluid transport actuator 21 of the present invention, the piezoelectric thin plate 213a and the piezoelectric thick plate 213b are non-stainless steel metals having different coefficients of thermal expansion, different degrees of deflection, and different rigidity.

圧電薄板２１３ａ及び圧電厚板２１３ｂは、異なる熱膨張係数を有するため、その異なる熱膨張係数の金属材料で構成されたアクチュエータ２１３は、共振周波数の重なり（共振周波数帯は重なりがあることによる干渉）を回避し、隣接する共振周波数による駆動周波数の干渉を防ぐことができる。また、アクチュエータ２１３の抵抗（インピーダンスまたはリアクタンス）が低減され、アクチュエータ２１３の動作効率を改善するための効果的な電気駆動を達成することができる。従来の単一素材（ステンレス鋼など）で構成されたアクチュエータは、マイクロブロワーアクチュエータを駆動する場合、強度や靭性が不足し、干渉を受けやすい。本発明の実施形態によって提供されるアクチュエータ２１では、圧電薄板２１３ａ又は圧電厚板２１３ｂの一方の材料がリン青銅であってもよく、圧電薄板２１３ａ及び圧電厚板２１３ｂは両方ともリン青銅であっても良い。両方ともリン青銅である場合、リン青銅の化学組成比が異なる。化学組成比が異なることによって、熱膨張係数、たわみ度及び剛性が異なる。 Since the piezoelectric thin plate 213a and the piezoelectric thick plate 213b have different coefficients of thermal expansion, the actuator 213 made of a metal material having different coefficients of thermal expansion has overlapping resonance frequencies (interference due to the overlap of resonance frequency bands). Can be avoided and interference of the drive frequency due to adjacent resonance frequencies can be prevented. In addition, the resistance (impedance or reactance) of the actuator 213 is reduced, and effective electric drive for improving the operating efficiency of the actuator 213 can be achieved. Conventional single-material (stainless steel, etc.) actuators lack strength and toughness when driving microblower actuators and are susceptible to interference. In the actuator 21 provided by the embodiment of the present invention, one of the material of the piezoelectric thin plate 213a or the piezoelectric thick plate 213b may be phosphor bronze, and both the piezoelectric thin plate 213a and the piezoelectric thick plate 213b are phosphor bronze. Is also good. When both are phosphor bronze, the chemical composition ratio of phosphor bronze is different. Due to the difference in the chemical composition ratio, the coefficient of thermal expansion, the degree of deflection and the rigidity are different.

図３及び図４は、図１及び図２に示す構成を組み立てた構造の概念図である。図５は、図３に示す要素の寸法を示す概念図である。本発明の流体輸送アクチュエータ２１では、圧電薄板２１３ａは、少なくとも１つの第１辺Ｌ３ａＷＹと、少なくとも１つの第２辺Ｌ３ａＸＺとを有し、第１辺Ｌ３ａＷＹの長さは、第２辺Ｌ３ａＸＺの長さと同じである。圧電厚板２１３ｂは、少なくとも１つの第３辺Ｌ３ｂＷＹと、少なくとも１つの第４辺Ｌ３ｂＸＺとを有し、第３辺Ｌ３ｂＷＹの長さは、第４辺Ｌ３ｂＸＺの長さと同じである。圧電シート２１３ｃは、少なくとも１つの第５辺Ｌ３ｃＷＹと少なくとも１つの第６辺Ｌ３ｃＸＺを有し、第５辺Ｌ３ｃＷＹの長さは、第６辺Ｌ３ｃＸＺの長さと同じである。 3 and 4 are conceptual diagrams of the structure assembled with the configurations shown in FIGS. 1 and 2. FIG. 5 is a conceptual diagram showing the dimensions of the elements shown in FIG. In the fluid transport actuator 21 of the present invention, the piezoelectric thin plate 213a has at least one first side L3aWY and at least one second side L3aXZ, and the length of the first side L3aWY is the length of the second side L3aXZ. Is the same as. The piezoelectric thick plate 213b has at least one third side L3bWY and at least one fourth side L3bXZ, and the length of the third side L3bWY is the same as the length of the fourth side L3bXZ. The piezoelectric sheet 213c has at least one fifth side L3cWY and at least one sixth side L3cXZ, and the length of the fifth side L3cWY is the same as the length of the sixth side L3cXZ.

圧電薄板２１３ａは、２つの第１辺Ｌ３ａＷＹと、２つの第２辺Ｌ３ａＸＺと、全部で４つの辺を有する。圧電薄板２１３ａは正方形であるが、これには限定されない。他の実施形態では、圧電薄板２１３ａが環形状、円形状、長方形状、又は多辺形状であっても良い。圧電厚板２１３ｂは、２つの第３辺Ｌ３ｂＷＹと、２つの第４辺Ｌ３ｂＸＺと、全部で４つの辺を有する。圧電厚板２１３ｂは正方形であるが、これには限定されない。他の実施形態では、圧電厚板２１３ｂが環形状、円形状、長方形状、又は多辺形状であっても良い。圧電シート２１３ｃは、２つの第５辺Ｌ３ｃＷＹと、２つの第６辺Ｌ３ｃＸＺと、全部で４つの辺を有する。圧電シート２１３ｃは正方形であるが、これには限定されない。他の実施形態では、圧電シート２１３ｃが環形状、円形状、長方形状、又は多辺形状であっても良い。導電性フレーム２１５が凸部を有しない（すなわち、導電性フレームピン２１５ｅを備えない）場合は、２つの第９辺Ｌ５ＷＹＢと、２つの第８辺Ｌ５ＸＺと、全部で４つの辺を有する。なお、凸部を備える導電性フレーム２１５の最も長い辺が第７辺Ｌ５ＷＹＡである。 The piezoelectric thin plate 213a has two first sides L3aWY and two second sides L3aXZ, for a total of four sides. The piezoelectric thin plate 213a is square, but is not limited thereto. In another embodiment, the piezoelectric thin plate 213a may have a ring shape, a circular shape, a rectangular shape, or a multi-sided shape. The piezoelectric plate 213b has two third sides L3bWY and two fourth sides L3bXZ, for a total of four sides. The piezoelectric plate 213b is square, but is not limited thereto. In another embodiment, the piezoelectric plate 213b may have a ring shape, a circular shape, a rectangular shape, or a multi-sided shape. The piezoelectric sheet 213c has two fifth sides L3cWY and two sixth sides L3cXZ, for a total of four sides. The piezoelectric sheet 213c is square, but is not limited thereto. In other embodiments, the piezoelectric sheet 213c may be ring-shaped, circular, rectangular, or multi-sided. When the conductive frame 215 has no convex portion (that is, does not have the conductive frame pin 215e), it has two ninth sides L5WYB and two eighth sides L5XZ, for a total of four sides. The longest side of the conductive frame 215 provided with the convex portion is the seventh side L5WYA.

図６は、図３の４つの角部を示す符号を示す概念図である。本発明の流体輸送アクチュエータ２１では、前記圧電薄板２１３ａは、少なくとも１つの圧電薄板角部（Ｒ３ａＮ、Ｒ３ａＯ、又はＲ３ａＰ）を有し、前記圧電薄板角部が円角形状（ｆｉｌｌｅｔ）であり、円角形状の角Ｒが２．０ｍｍよりも小さい。圧電薄板２１３ａは、少なくとも１つの圧電薄板角部（Ｒ３ａＭ）を有し、前記圧電薄板角部（Ｒ３ａＭ）が非円角形状である。本発明の流体輸送アクチュエータ２１では、前記圧電厚板２１３ｂは、少なくとも１つの圧電厚板角部（Ｒ３ｂＭ、Ｒ３ｂＮ、Ｒ３ｂＯ、又はＲ３ｂＰ）を有し、前記圧電厚板角部（Ｒ３ｂＭ、Ｒ３ｂＮ、Ｒ３ｂＯ、又はＲ３ｂＰ）が円角形状であり、円角形状の角Ｒが２．０ｍｍよりも小さい。本発明の流体輸送アクチュエータ２１では、前記圧電シート２１３ｃは、４つの圧電シート角部（Ｒ３ｃＭ、Ｒ３ｃＮ、Ｒ３ｃＯ、及びＲ３ｃＰ）を有し、前記４つの圧電シート角部（Ｒ３ｃＭ、Ｒ３ｃＮ、Ｒ３ｃＯ、及びＲ３ｃＰ）が直角形状である。 FIG. 6 is a conceptual diagram showing reference numerals indicating the four corners of FIG. In the fluid transport actuator 21 of the present invention, the piezoelectric thin plate 213a has at least one piezoelectric thin plate corner portion (R3aN, R3aO, or R3aP), and the piezoelectric thin plate corner portion has a circular shape (fillet) and is circular. The angle R of the angular shape is smaller than 2.0 mm. The piezoelectric thin plate 213a has at least one piezoelectric thin plate corner portion (R3aM), and the piezoelectric thin plate corner portion (R3aM) has a non-circular shape. In the fluid transport actuator 21 of the present invention, the piezoelectric thick plate 213b has at least one piezoelectric thick plate corner portion (R3bM, R3bN, R3bO, or R3bP), and the piezoelectric thick plate corner portion (R3bM, R3bN, R3bO). , Or R3bP) has a circular shape, and the angle R of the circular square shape is smaller than 2.0 mm. In the fluid transport actuator 21 of the present invention, the piezoelectric sheet 213c has four piezoelectric sheet corners (R3cM, R3cN, R3cO, and R3cP), and the four piezoelectric sheet corners (R3cM, R3cN, R3cO, and R3cO). R3cP) has a right-angled shape.

圧電シート２１３ｃは、４つの角部を有し、それぞれ、圧電シート角部Ｒ３ｃＭ、圧電シート角部Ｒ３ｃＮ、圧電シート角部Ｒ３ｃＯ、及び圧電シート角部Ｒ３ｃＰである。当該４つの角部が直角形状である。なお、圧電シート２１３ｃの４つの角部は、実需要に応じて変更することができ、例えば、当該４つの角部の一部又は全部を直角形状、斜角形状（ｂｅｖｅｌ）、又は多辺形状にしても良い。圧電厚板２１３ｂは、４つの角部を有し、それぞれ、圧電厚板角部Ｒ３ｂＭ、圧電厚板角部Ｒ３ｂＮ、圧電厚板角部Ｒ３ｂＯ、及び圧電厚板角部Ｒ３ｂＰである。当該４つの角部が円角形状であり、円角形状の角Ｒが２．０ｍｍよりも小さい。なお、圧電厚板２１３ｂの４つの角部は、実需要に応じて変更することができ、例えば、当該４つの角部の一部又は全部を直角形状、斜角形状、又は多辺形状にしても良い。圧電薄板２１３ａは、４つの角部を有し、それぞれ、圧電薄板角部Ｒ３ａＭ、圧電薄板角部Ｒ３ａＮ、圧電薄板角部Ｒ３ａＯ、及び圧電薄板角部Ｒ３ａＰである。なお、圧電薄板２１３ａの圧電薄板角部Ｒ３ａＭが斜角形状であり、圧電薄板角部Ｒ３ａＮ、圧電薄板角部Ｒ３ａＯ及び圧電薄板角部Ｒ３ａＰは、円角形状であり、円角形状の角Ｒが２．０ｍｍよりも小さい。圧電薄板２１３ａの４つの角部は、実需要に応じて変更することができ、例えば、当該４つの角部の一部又は全部を直角形状、斜角形状、又は多辺形状にしても良い。導電性フレーム２１５は、４つの角部を有し、それぞれ、導電性フレーム角部Ｒ５Ｍ、導電性フレーム角部Ｒ５Ｎ、導電性フレーム角部Ｒ５Ｏ、及び導電性フレーム角部Ｒ５Ｐである。なお、導電性フレーム２１５の導電性フレーム角部Ｒ５Ｍは斜角形状であり、導電性フレーム角部Ｒ５Ｎ、導電性フレーム角部Ｒ５Ｏ及び導電性フレーム角部Ｒ５Ｐは円角形状であり、円角形状の角Ｒが２．０ｍｍよりも小さい。導電性フレーム２１５の４つの角部は、実需要に応じて変更することができ、例えば、当該４つの角部の一部又は全部を直角形状、斜角形状、又は多辺形状にしても良い。 The piezoelectric sheet 213c has four corners, which are the piezoelectric sheet corner R3cM, the piezoelectric sheet corner R3cN, the piezoelectric sheet corner R3cO, and the piezoelectric sheet corner R3cP, respectively. The four corners have a right-angled shape. The four corners of the piezoelectric sheet 213c can be changed according to actual demand. For example, a part or all of the four corners may have a right angle shape, a bevel shape, or a multisided shape. You can do it. The piezoelectric thick plate 213b has four corner portions, which are a piezoelectric thick plate square portion R3bM, a piezoelectric thick plate square portion R3bN, a piezoelectric thick plate square portion R3bO, and a piezoelectric thick plate square portion R3bP, respectively. The four corners have a circular shape, and the angle R of the circular shape is smaller than 2.0 mm. The four corners of the piezoelectric thick plate 213b can be changed according to actual demand. For example, a part or all of the four corners may be formed into a right angle shape, an oblique angle shape, or a multisided shape. Is also good. The piezoelectric thin plate 213a has four corner portions, which are the piezoelectric thin plate square portion R3aM, the piezoelectric thin plate square portion R3aN, the piezoelectric thin plate square portion R3aO, and the piezoelectric thin plate square portion R3aP, respectively. The piezoelectric thin plate corner portion R3aM of the piezoelectric thin plate 213a has an oblique angle shape, and the piezoelectric thin plate corner portion R3aN, the piezoelectric thin plate corner portion R3aO, and the piezoelectric thin plate corner portion R3aP have a circular angle shape, and the angular shape corner R is formed. It is smaller than 2.0 mm. The four corners of the piezoelectric thin plate 213a can be changed according to actual demand, and for example, a part or all of the four corners may be a right angle shape, an oblique angle shape, or a multisided shape. The conductive frame 215 has four corners, which are a conductive frame corner R5M, a conductive frame corner R5N, a conductive frame corner R5O, and a conductive frame corner R5P, respectively. The conductive frame corner portion R5M of the conductive frame 215 has an oblique angle shape, and the conductive frame corner portion R5N, the conductive frame corner portion R5O, and the conductive frame corner portion R5P have a circular angle shape. The angle R of is smaller than 2.0 mm. The four corners of the conductive frame 215 can be changed according to actual demand, and for example, a part or all of the four corners may be a right angle shape, an oblique angle shape, or a multisided shape. ..

図７は、図６の接線Ａ−Ａの断面図である。図８は、図６に示す圧電薄板２１３ａ、圧電厚板２１３ｂ、圧電シート２１３ｃの分解構造の寸法を示す図である。本発明の流体輸送アクチュエータ２１では、第１辺Ｌ３ａＷＹの長さは第３辺Ｌ３ｂＷＹの長さよりも長い。第１辺Ｌ３ａＷＹの長さは第５辺Ｌ３ｃＷＹの長さよりも長い。第３辺Ｌ３ｂＷＹの長さは第５辺Ｌ３ｃＷＹの長さ以上である。本発明の流体輸送アクチュエータ２１では、第１辺Ｌ３ａＷＹの長さ及び第２辺Ｌ３ａＸＺの長さが５．０〜１６．０ｍｍである。本発明の流体輸送アクチュエータ２１では、第３辺Ｌ３ｂＷＹの長さ及び第４辺Ｌ３ｂＸＺの長さが３．５〜９．５ｍｍである。本発明の流体輸送アクチュエータ２１では、第５辺Ｌ３ｃＷＹの長さ及び第６辺Ｌ３ｃＸＺの長さが２．９５〜９．０ｍｍである。 FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. FIG. 8 is a diagram showing the dimensions of the disassembled structure of the piezoelectric thin plate 213a, the piezoelectric thick plate 213b, and the piezoelectric sheet 213c shown in FIG. In the fluid transport actuator 21 of the present invention, the length of the first side L3aWY is longer than the length of the third side L3bWY. The length of the first side L3aWY is longer than the length of the fifth side L3cWY. The length of the third side L3bWY is equal to or greater than the length of the fifth side L3cWY. In the fluid transport actuator 21 of the present invention, the length of the first side L3aWY and the length of the second side L3aXZ are 5.0 to 16.0 mm. In the fluid transport actuator 21 of the present invention, the length of the third side L3bWY and the length of the fourth side L3bXZ are 3.5 to 9.5 mm. In the fluid transport actuator 21 of the present invention, the length of the fifth side L3cWY and the length of the sixth side L3cXZ are 2.95 to 9.0 mm.

すなわち、圧電薄板２１３ａの第１辺Ｌ３ａＷＹの長さは、圧電厚板２１３ｂの第３辺Ｌ３ｂＷＹの長さよりも長く、且つ、圧電シート２１３ｃの第５辺Ｌ３ｃＷＹの長さ以上である。なお、本発明の実施形態では、圧電薄板２１３ａの第１辺Ｌ３ａＷＹの長さは第２辺Ｌ３ａＸＺの長さと同じであり、圧電厚板２１３ｂの第３辺Ｌ３ｂＷＹの長さは第４辺Ｌ３ｂＸＺの長さと同じであり、圧電シート２１３ｃの第５辺Ｌ３ｃＷＹの長さは第６辺Ｌ３ｃＸＺの長さと同じであり、導電性フレーム２１５の第９辺Ｌ５ＷＹＢの長さは第８辺Ｌ５ＸＺの長さと同じであるが、これには限定されない。他の実施形態では、圧電薄板２１３ａの第１辺Ｌ３ａＷＹの長さは、第２辺Ｌ３ａＸＺの長さと異なっても良く、圧電厚板２１３ｂの第３辺Ｌ３ｂＷＹの長さは、第４辺Ｌ３ｂＸＺの長さと異なっても良く、圧電シート２１３ｃの第５辺Ｌ３ｃＷＹの長さは、第６辺Ｌ３ｃＸＺの長さと異なっても良く、導電性フレーム２１５の第９辺Ｌ５ＷＹＢの長さは、第８辺Ｌ５ＸＺの長さと異なっても良い。本発明の実施形態では、圧電厚板２１３ｂの第３辺Ｌ３ｂＷＹの長さ及び第４辺Ｌ３ｂＸＺの長さは、８．４０ｍｍであり、圧電薄板２１３ａの第１辺Ｌ３ａＷＹの長さ及び第２辺Ｌ３ａＸＺの長さは、１２．８０ｍｍであり、導電性フレーム２１５の第７辺Ｌ５ＷＹＡの長さは、１５．２０ｍｍである。なお、これには限定されない。他の実施形態では、第１辺Ｌ３ａＷＹ、第２辺Ｌ３ａＸＺ、第３辺Ｌ３ｂＷＹ、第４辺Ｌ３ｂＸＺ、第５辺Ｌ３ｃＷＹ、第６辺Ｌ３ｃＸＺ、第７辺Ｌ５ＷＹＡ、第８辺Ｌ５ＸＺ及び第９辺Ｌ５ＷＹＢの長さは、実需要に応じて調整することができる。 That is, the length of the first side L3aWY of the piezoelectric thin plate 213a is longer than the length of the third side L3bWY of the piezoelectric thick plate 213b, and is longer than the length of the fifth side L3cWY of the piezoelectric sheet 213c. In the embodiment of the present invention, the length of the first side L3aWY of the piezoelectric thin plate 213a is the same as the length of the second side L3aXX, and the length of the third side L3bWY of the piezoelectric thick plate 213b is the fourth side L3bXZ. It is the same as the length, the length of the fifth side L3cWY of the piezoelectric sheet 213c is the same as the length of the sixth side L3cXZ, and the length of the ninth side L5WYB of the conductive frame 215 is the same as the length of the eighth side L5XZ. However, it is not limited to this. In another embodiment, the length of the first side L3aWY of the piezoelectric thin plate 213a may be different from the length of the second side L3aXX, and the length of the third side L3bWY of the piezoelectric thick plate 213b is the length of the fourth side L3bXZ. The length may be different from the length, the length of the fifth side L3cWY of the piezoelectric sheet 213c may be different from the length of the sixth side L3cXZ, and the length of the ninth side L5WYB of the conductive frame 215 may be different from the length of the eighth side L5XZ. It may be different from the length of. In the embodiment of the present invention, the length of the third side L3bWY of the piezoelectric thick plate 213b and the length of the fourth side L3bXZ are 8.40 mm, and the length of the first side L3aWY and the second side of the piezoelectric thin plate 213a. The length of L3aXZ is 12.80 mm, and the length of the seventh side L5WYA of the conductive frame 215 is 15.20 mm. The method is not limited to this. In other embodiments, the first side L3aWY, the second side L3aXZ, the third side L3bWY, the fourth side L3bXZ, the fifth side L3cWY, the sixth side L3cXZ, the seventh side L5WYA, the eighth side L5XZ and the ninth side L5WYB. The length of can be adjusted according to the actual demand.

本発明の流体輸送アクチュエータは、第５辺Ｌ３ｃＷＹの長さと第３辺Ｌ３ｂＷＹの長さの比は、１：１〜１：１．５である。すなわち、圧電シート２１３ｃの第５辺Ｌ３ｃＷＹの長さは、第３辺Ｌ３ｂＷＹの長さ以下である。 In the fluid transport actuator of the present invention, the ratio of the length of the fifth side L3cWY to the length of the third side L3bWY is 1: 1 to 1: 1.5. That is, the length of the fifth side L3cWY of the piezoelectric sheet 213c is equal to or less than the length of the third side L3bWY.

本発明の流体輸送アクチュエータでは、前記圧電厚板２１３ｂは、圧電厚板の厚さＴ３ｂを有し、前記圧電厚板の厚さＴ３ｂが０．０５〜０．５ｍｍである。本発明の流体輸送アクチュエータでは、前記圧電薄板２１３ａは圧電薄板の厚さＴ３ａを有し、前記圧電薄板の厚さＴ３ａが０．０５〜０．２ｍｍである。アクチュエータ２１３の厚さは、圧電薄板２１３ａの圧電薄板の厚さＴ３ａと、圧電厚板２１３ｂの圧電厚板の厚さＴ３ｂと、圧電シート２１３ｃの圧電シートの厚さＴ３ｃの和である。圧電厚板の厚さＴ３ｂが０．０５〜０．５ｍｍであり、圧電薄板の厚さＴ３ａが０．０５〜０．２ｍｍであり、圧電厚板の厚さＴ３ｂは圧電薄板の厚さＴ３ａよりも厚い。 In the fluid transport actuator of the present invention, the piezoelectric thick plate 213b has a piezoelectric thick plate thickness T3b, and the piezoelectric thick plate thickness T3b is 0.05 to 0.5 mm. In the fluid transport actuator of the present invention, the piezoelectric thin plate 213a has a piezoelectric thin plate thickness T3a, and the piezoelectric thin plate thickness T3a is 0.05 to 0.2 mm. The thickness of the actuator 213 is the sum of the thickness T3a of the piezoelectric thin plate 213a, the thickness T3b of the piezoelectric thick plate of the piezoelectric thick plate 213b, and the thickness T3c of the piezoelectric sheet of the piezoelectric sheet 213c. The thickness T3b of the piezoelectric thick plate is 0.05 to 0.5 mm, the thickness T3a of the piezoelectric thin plate is 0.05 to 0.2 mm, and the thickness T3b of the piezoelectric thick plate is from the thickness T3a of the piezoelectric thin plate. Is also thick.

上述したように、本発明によって提供される流体輸送アクチュエータは、異なる熱膨張係数、異なる程度のたわみ、および異なる剛性を有する金属で構成されたアクチュエータの圧電薄板及び圧電厚板を備えることによって、従来の単一素材の流体輸送アクチュエータの動作抵抗を改善し、隣接する共振終発によって引き起こされる駆動周波数の干渉を回避するとともに、リン青銅材料で構成され、構造強度と靭性を強化し、圧電厚板の丸角構造の設計によって圧電薄板への物理的損傷の影響を低減する効果を奏することができる。 As mentioned above, the fluid transport actuators provided by the present invention are conventionally provided by comprising piezoelectric lamellae and piezo thick plates of actuators made of metals with different thermal expansion coefficients, different degrees of deflection, and different rigidity. Improves the operating resistance of single material fluid transport actuators, avoids drive frequency interference caused by adjacent resonance terminations, and is composed of phosphor bronze material to enhance structural strength and toughness, of the piezoelectric planks. The design of the rounded corner structure can achieve the effect of reducing the influence of physical damage to the piezoelectric thin plate.

本発明は、当業者によって様々な形態に変更することができるが、それらのいずれも、本発明の特許請求の範囲に含まれている。 The present invention can be modified into various forms by those skilled in the art, all of which are included in the claims of the present invention.

２１：流体輸送アクチュエータ
２１１：サイレンシングジェットオリフィスシート
２１１ａ：サイレンシングシート
２１１ｂ：サスペンションシート
２１１ｃ：中空孔
２１２：チャンバーフレーム
２１３：アクチュエータ
２１３ａ：圧電薄板
２１３ｂ：圧電厚板
２１３ｃ：圧電シート
２１３ｅ：圧電薄板ピン
２１４：絶縁フレーム
２１５：導電性フレーム
２１５ｅ：導電性フレームピン
Ａ−Ａ：接線
Ｌ３ａＷＹ：第１辺
Ｌ３ｂＷＹ：第３辺
Ｌ３ｃＷＹ：第５辺
Ｌ３ａＸＺ：第２辺
Ｌ３ｂＸＺ：第４辺
Ｌ３ｃＸＺ：第６辺
Ｌ５ＸＺ：第８辺
Ｌ５ＷＹＡ：第７辺
Ｌ５ＷＹＢ：第９辺
Ｍ、Ｎ、Ｏ、Ｐ：角方位
Ｒ１Ｍ、Ｒ１Ｎ、Ｒ１Ｏ、Ｒ１Ｐ：サスペンションシート角部
Ｒ２Ｍ、Ｒ２Ｎ、Ｒ２Ｏ、Ｒ２Ｐ：チャンバーフレーム角部
Ｒ３ａＭ、Ｒ３ａＮ、Ｒ３ａＯ、Ｒ３ａＰ：圧電薄板角部
Ｒ３ｂＭ、Ｒ３ｂＮ、Ｒ３ｂＯ、Ｒ３ｂＰ：圧電厚板角部
Ｒ３ｃＭ、Ｒ３ｃＮ、Ｒ３ｃＯ、Ｒ３ｃＰ：圧電シート角部
Ｒ４Ｍ、Ｒ４Ｎ、Ｒ４Ｏ、Ｒ４Ｐ：絶縁フレーム角部
Ｒ５Ｍ、Ｒ５Ｎ、Ｒ５Ｏ、Ｒ５Ｐ：導電性フレーム角部
Ｔ３ａ：圧電薄板の厚さ
Ｔ３ｂ：圧電厚板の厚さ
Ｔ３ｃ：圧電シートの厚さ
Ｗ、Ｘ、Ｙ、Ｚ：辺方位 21: Fluid transport actuator 211: Silencing jet orifice sheet 211a: Silencing sheet 211b: Suspension sheet 211c: Hollow hole 212: Chamber frame 213: Actuator 213a: Piezoelectric thin plate 213b: Piezoelectric thick plate 213c: Piezoelectric sheet 213e: Piezoelectric thin plate pin 214: Insulated frame 215: Conductive frame 215e: Conductive frame pin AA: tangent line L3aWY: 1st side L3bWY: 3rd side L3cWY: 5th side L3aXX: 2nd side L3bXZ: 4th side L3cXZ: 6th side L5XZ: 8th side L5WYA: 7th side L5WYB: 9th side M, N, O, P: angular orientation R1M, R1N, R1O, R1P: suspension seat corners R2M, R2N, R2O, R2P: chamber frame corners R3aM , R3aN, R3aO, R3aP: Piezoelectric thin plate corners R3bM, R3bN, R3bO, R3bP: Piezoelectric thick plate corners R3cM, R3cN, R3cO, R3cP: Piezoelectric sheet corners R4M, R4N, R4O, R4P: Insulated frame corners R5M, R5N, R5O, R5P: Conductive frame corner T3a: Piezoelectric thin plate thickness T3b: Piezoelectric thick plate thickness T3c: Piezoelectric sheet thickness W, X, Y, Z: Side orientation

Claims

The fluid transport actuator comprises a silencing jet orifice sheet, a chamber frame, an actuator, an insulating frame, and a conductive frame.
The silencing jet orifice sheet includes a silencing sheet, a suspension sheet, and a hollow hole, the suspension sheet can bend and vibrate, and the hollow hole is provided in the center of the suspension sheet, and the silencing sheet is provided. Is arranged so as to cover the hollow hole provided in the central portion of the suspension seat.
The chamber frame is arranged so as to overlap with the suspension seat.
The actuator is arranged so as to overlap with the chamber frame, the actuator bends and vibrates by applying a voltage, and the actuator has a piezoelectric thin plate pin.
The insulating frame is arranged so as to overlap with the actuator.
The conductive frame is arranged so as to overlap with the insulating frame and has a conductive frame pin.
A resonance chamber is formed by the actuator, the chamber frame, and the silencing jet orifice sheet, and the actuator drives the resonance of the silencing jet orifice sheet to cause the suspension sheet of the silencing jet orifice sheet. A fluid transport actuator characterized by reciprocating vibration displacement to transport fluid.

The actuator includes a piezoelectric thin plate, a piezoelectric thick plate, and a piezoelectric sheet.
The piezoelectric thin plate is arranged so as to be overlapped with the chamber frame, and the piezoelectric thin plate pin is a convex portion of the piezoelectric thin plate.
The piezoelectric thick plate is arranged so as to overlap with the piezoelectric thin plate.
The claim is characterized in that the piezoelectric sheet is arranged so as to be overlapped with the piezoelectric thick plate, and the piezoelectric sheet drives the piezoelectric thin plate and the piezoelectric thick plate to reciprocally bend and vibrate by applying a voltage. Item 1. The fluid transport actuator according to Item 1.

The fluid transport actuator according to claim 2, wherein the piezoelectric thin plate and the piezoelectric thick plate are made of a non-stainless steel metal having different coefficients of thermal expansion, different degrees of deflection, and different rigidity.

The piezoelectric thin plate includes at least one first side and at least one second side, and the length of the first side is the same as the length of the second side.
The piezoelectric plate includes at least one third side and at least one fourth side, and the length of the third side is the same as the length of the fourth side.
The claim is characterized in that the piezoelectric sheet includes at least one fifth side and at least one sixth side, and the length of the fifth side is the same as the length of the sixth side. 3. The fluid transport actuator according to 3.

The length of the first side is longer than the length of the third side, the length of the first side is longer than the length of the fifth side, and the length of the third side is the fifth side. The fluid transport actuator according to claim 4, wherein the length is equal to or larger than the length of the side.

The fluid transport actuator according to claim 5, wherein the ratio of the length of the fifth side to the length of the third side is 1: 1 to 1: 1.5.

The fluid transport actuator according to claim 5, wherein the length of the first side and the length of the second side are 5.0 to 16.0 mm.

The fluid transport actuator according to claim 5, wherein the length of the third side and the length of the fourth side are 3.5 to 9.5 mm.

The fluid transport actuator according to claim 5, wherein the length of the fifth side and the length of the sixth side are 2.95 to 9.0 mm.

The piezoelectric thin plate has at least one piezoelectric thin plate corner portion, the at least one piezoelectric thin plate corner portion has a circular shape, and the angular corner radius R is smaller than 2.0 mm. The fluid transport actuator according to claim 3, further comprising at least one non-circular shape piezoelectric thin plate corner portion.

The piezoelectric thick plate has at least one piezoelectric thick plate corner portion, and the at least one piezoelectric thick plate corner portion has a circular shape, and the angle R of the circular square shape is smaller than 2.0 mm. The fluid transport actuator according to claim 3.

The fluid transport actuator according to claim 11, wherein the piezoelectric thick plate has a thickness of the piezoelectric thick plate, and the thickness of the piezoelectric thick plate is 0.05 to 0.5 mm.

The fluid transport actuator according to claim 3, wherein the piezoelectric sheet has four piezoelectric sheet corners, and the piezoelectric sheet corners have a right-angled shape.

The fluid transport actuator according to claim 13, wherein the piezoelectric thin plate has a thickness of the piezoelectric thin plate, and the thickness of the piezoelectric thin plate is 0.05 to 0.2 mm.