JP2021181782A - Fluid transportation actuator - Google Patents

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JP2021181782A JP2021081319A JP2021081319A JP2021181782A JP 2021181782 A JP2021181782 A JP 2021181782A JP 2021081319 A JP2021081319 A JP 2021081319A JP 2021081319 A JP2021081319 A JP 2021081319A JP 2021181782 A JP2021181782 A JP 2021181782A
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莫皓然
Hao Ran Mo
張鈞▲イ▼
Jyun Yi Jhang
曾俊隆
Chun Lung Tseng
陳世昌
Shih Chang Chen
廖家▲ユ▼
Jia Yoo Liao
黄啓峰
qi feng Huang
韓永隆
yong long Han
古暘
Yang Ku
呂依庭
Yi Ting Lu
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Abstract

To provide a fluid transportation actuator capable of improving operation resistance, preventing interference of driving frequency caused by adjacent resonance emission, enhancing structural strength and toughness, and reducing influence of physical damage on a piezoelectric thin plate.SOLUTION: A fluid transportation actuator comprises a silencing jet orifice sheet, a chamber frame, an actuator, an insulation frame, and a conductive frame. The silencing jet orifice sheet includes a silencing sheet, a suspension sheet, and a hollow hole, and the suspension sheet can be bent and vibrated. The actuator is reciprocally bent and vibrated by application of voltage. The actuator drives resonance of the silencing jet orifice sheet, so that the suspension sheet is reciprocally vibrated and displaced, and fluid is transported.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、流体輸送アクチュエータに関し、特に、異なる金属材料の構成要素で構成された流体輸送アクチュエータに関する。 The present invention relates to fluid transport actuators, in particular to fluid transport actuators composed of components of different metallic materials.

従来の流体輸送アクチュエータは、複数の機械的な構成要素を組み立て構成されており、装置全体の体積を減少して薄型化の目標を達成するために、各機械的な構成要素を小型化及び薄型化にすることを採用している。しかし、機械部品の小型化後は、寸法を精確に制御することは容易でなく、また、組立精度を維持するのも困難となるため、製品の歩留まり又は流体流量が不安定などの問題が生じる場合がある。また、機械部品が小型化されることにつれて、動作時、単一素材で構成された流体輸送アクチュエータの構造的靭性が不十分であり、干渉及び駆動点の認識が不明確などの問題が生じる場合もある。 Conventional fluid transport actuators are constructed by assembling multiple mechanical components, and each mechanical component is miniaturized and thinned in order to reduce the volume of the entire device and achieve the goal of thinning. It is adopted to make it. However, after the miniaturization of machine parts, it is not easy to control the dimensions accurately, and it is also difficult to maintain the assembly accuracy, which causes problems such as product yield or unstable fluid flow rate. In some cases. In addition, as mechanical parts become smaller, the structural toughness of fluid transport actuators made of a single material is insufficient during operation, causing problems such as interference and unclear recognition of drive points. There is also.

また、従来の流体輸送アクチュエータでは、輸送された流体が効果的に収集できないか、構成要素の寸法が小さすぎることによる流体推進力及び流体供給流量が不十分などの問題も生じる。 In addition, the conventional fluid transport actuator has problems such as the transported fluid cannot be effectively collected, or the fluid propulsion force and the fluid supply flow rate are insufficient due to the size of the component being too small.

本発明の目的は、流体輸送アクチュエータを提供することである。 An object of the present invention is to provide a fluid transport actuator.

本発明によって提供される流体輸送アクチュエータは、サイレンシングジェットオリフィスシートと、チャンバーフレームと、アクチュエータと、絶縁フレームと、導電性フレームとを備え、前記サイレンシングジェットオリフィスシートは、サイレンシングシートと、サスペンションシートと、中空孔とを備え、前記サスペンションシートが屈曲振動(折れ曲がるような振動)できる。前記サスペンションシートの中央部に、前記中空孔が設けられ、前記サイレンシングシートは、前記サスペンションシートの中央部に設けられた前記中空孔を覆うように配置され、前記チャンバーフレームは、前記サスペンションシートと重ね合わせるように配置され、前記アクチュエータは、前記チャンバーフレームと重ね合わせるように配置され、前記アクチュエータは、電圧印加によって屈曲振動し、前記アクチュエータは圧電薄板ピンを有し、前記絶縁フレームは、前記アクチュエータと重ね合わせるように配置され、前記導電性フレームは、前記絶縁フレームと重ね合わせるように配置され、且つ、導電性フレームピンを有し、前記アクチュエータと前記チャンバーフレームと前記サイレンシングジェットオリフィスシートとで共振チャンバーが形成され、前記アクチュエータは、前記サイレンシングジェットオリフィスシートの共振を駆動させることで、前記サイレンシングジェットオリフィスシートの前記サスペンションシートが往復振動変位して、流体輸送を実現する。 The fluid transport actuator provided by the present invention includes a silencing jet orifice sheet, a chamber frame, an actuator, an insulating frame, and a conductive frame, and the silencing jet orifice sheet includes a silencing sheet and a suspension. The suspension seat is provided with a seat and a hollow hole, and the suspension seat can perform bending vibration (vibration such as bending). The hollow hole is provided in the central portion of the suspension seat, the silencing sheet is arranged so as to cover the hollow hole provided in the central portion of the suspension seat, and the chamber frame is the suspension sheet. The actuator is arranged so as to be overlapped with the chamber frame, the actuator is flexed and vibrated by applying a voltage, the actuator has a piezoelectric thin plate pin, and the insulating frame is the actuator. The conductive frame is arranged so as to be overlapped with the insulating frame, and has a conductive frame pin, and the actuator, the chamber frame, and the silencing jet orifice sheet. A resonance chamber is formed, and the actuator drives the resonance of the silencing jet orifice sheet, so that the suspension sheet of the silencing jet orifice sheet is reciprocally vibrated and displaced to realize fluid transportation.

第1角度から見た本発明の流体輸送アクチュエータの分解図である。It is an exploded view of the fluid transport actuator of this invention seen from the 1st angle. 第2角度から見た本発明の流体輸送アクチュエータの分解図である。It is an exploded view of the fluid transport actuator of this invention seen from the 2nd angle. 本発明の流体輸送アクチュエータの正面図である。It is a front view of the fluid transport actuator of this invention. 本発明の流体輸送アクチュエータの背面図である。It is a rear view of the fluid transport actuator of this invention. 図3に示す流体輸送アクチュエータの寸法を理解するための符号を示す図である。It is a figure which shows the code | symbol for understanding the dimension of the fluid transport actuator shown in FIG. 図3に示す流体輸送アクチュエータの4つの角部の符号を示す図である。It is a figure which shows the code | symbol of the four corners of the fluid transport actuator shown in FIG. 図6に示す流体輸送アクチュエータのA−A接線の断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line AA of the fluid transport actuator shown in FIG. 図3に示す流体輸送アクチュエータの厚みを理解するための符号を示す図である。It is a figure which shows the code | symbol for understanding the thickness of the fluid transport actuator shown in FIG.

本発明の特徴及び利点を具体化する実施形態は、以下の内容において詳細に説明する。本発明には、様々な変更を加えることが可能であるが、その変更が本発明の範囲から逸脱するものではない。また、以下の説明及び図面は、本発明を説明するためのものであり、本発明を限定するものではない。 Embodiments that embody the features and advantages of the present invention will be described in detail below. Various changes can be made to the present invention, but the changes do not deviate from the scope of the present invention. Further, the following description and drawings are for explaining the present invention and do not limit the present invention.

本発明に関する図面において、左下に示す角方位(M、N、O、P)又は辺方位(W、X、Y、Z)は、流体輸送アクチュエータの方向、各角部及び各辺を明確に定義・理解するためのものである。 In the drawings relating to the present invention, the angular orientation (M, N, O, P) or side orientation (W, X, Y, Z) shown in the lower left clearly defines the direction of the fluid transport actuator, each corner portion and each side.・ It is for understanding.

本発明に提供される流体輸送アクチュエータは、図1及び図2に示されている。流体輸送アクチュエータ21は、サイレンシングジェットオリフィスシート211と、チャンバーフレーム212と、アクチュエータ213と、絶縁フレーム214と、導電性フレーム215とを備える。前記サイレンシングジェットオリフィスシート211は、サイレンシングシート211aと、サスペンションシート211bと、中空孔211cとを備える。前記サスペンションシート211bが屈曲振動できる。前記サスペンションシート211bの中央部に、前記中空孔211cが設けられ、前記サイレンシングシート211aが、前記サスペンションシート211bの中央部に設けられた前記中空孔211cを覆うように固定されている。前記チャンバーフレーム212は、前記サスペンションシート211bと重ね合わせるように配置されている。前記アクチュエータ213は、前記チャンバーフレーム212と重ね合わせるように配置され、前記アクチュエータ213は、電圧を印加すると往復屈曲振動する。前記アクチュエータ213には、圧電薄板ピン213eを備える。前記絶縁フレーム214は、前記アクチュエータ213と重ね合わせるように配置される。前記導電性フレーム215は、前記絶縁フレーム214と重ね合わせるように配置される。前記導電性フレーム215には、導電性フレームピン215eが設けられる。前記アクチュエータ213と前記チャンバーフレーム212と前記サイレンシングジェットオリフィスシート211との間に、共振チャンバーが形成されており、前記アクチュエータ213の駆動により、前記サイレンシングジェットオリフィスシート211が共振し、前記サイレンシングジェットオリフィスシート211の前記サスペンションシート211bを往復振動変位させる。これによって、流体輸送が実現できる。本発明の流体輸送アクチュエータ21のアクチュエータ213は、圧電薄板213aと、圧電厚板213bと、圧電シート213cとを備える。前記圧電薄板213aは、前記チャンバーフレーム212と重ね合わせるように配置されている。前記圧電薄板ピン213eは、前記圧電薄板213aの凸部である。前記圧電厚板213bは、前記圧電薄板213aと重ね合わせるように配置される。前記圧電シート213cは、前記圧電厚板213bと重ね合わせるように配置される。前記圧電シート213cは、電圧を印加すると、前記圧電薄板213a及び圧電厚板213bが往復屈曲振動することを駆動させる。 The fluid transport actuators provided in the present invention are shown in FIGS. 1 and 2. The fluid transport actuator 21 includes a silencing jet orifice sheet 211, a chamber frame 212, an actuator 213, an insulating frame 214, and a conductive frame 215. The silencing jet orifice sheet 211 includes a silencing sheet 211a, a suspension sheet 211b, and a hollow hole 211c. The suspension seat 211b can bend and vibrate. The hollow hole 211c is provided in the central portion of the suspension sheet 211b, and the silencing sheet 211a is fixed so as to cover the hollow hole 211c provided in the central portion of the suspension sheet 211b. The chamber frame 212 is arranged so as to overlap with the suspension sheet 211b. The actuator 213 is arranged so as to overlap with the chamber frame 212, and the actuator 213 reciprocates and vibrates when a voltage is applied. The actuator 213 is provided with a piezoelectric thin plate pin 213e. The insulating frame 214 is arranged so as to overlap with the actuator 213. The conductive frame 215 is arranged so as to overlap with the insulating frame 214. The conductive frame 215 is provided with a conductive frame pin 215e. A resonance chamber is formed between the actuator 213, the chamber frame 212, and the silencing jet orifice sheet 211. By driving the actuator 213, the silencing jet orifice sheet 211 resonates and the silence is performed. The suspension sheet 211b of the jet orifice sheet 211 is reciprocally vibrated and displaced. As a result, fluid transportation can be realized. The actuator 213 of the fluid transport actuator 21 of the present invention includes a piezoelectric thin plate 213a, a piezoelectric thick plate 213b, and a piezoelectric sheet 213c. The piezoelectric thin plate 213a is arranged so as to overlap with the chamber frame 212. The piezoelectric thin plate pin 213e is a convex portion of the piezoelectric thin plate 213a. The piezoelectric thick plate 213b is arranged so as to overlap with the piezoelectric thin plate 213a. The piezoelectric sheet 213c is arranged so as to overlap with the piezoelectric thick plate 213b. When a voltage is applied, the piezoelectric sheet 213c drives the piezoelectric thin plate 213a and the piezoelectric thick plate 213b to reciprocally bend and vibrate.

本発明の実施形態では、流体輸送アクチュエータ21は、サイレンシングジェットオリフィスシート211と、チャンバーフレーム212と、アクチュエータ213と、絶縁フレーム214と、導電性フレーム215とを順に積み重ねたものである。サイレンシングジェットオリフィスシート211は、サイレンシングシート211aと、サスペンションシート211bと、中空孔211cとを備える。サスペンションシート211bは、4つのサスペンションシート角部(R1M、R1N、R1O及びR1P)を有する。サスペンションシート211bが電力駆動により屈曲振動できる。サスペンションシート211bの中央部に、中空孔211cが設けられている。サイレンシングシート211aは、サスペンションシート211bの中空孔211cの上方部に隣接する。チャンバーフレーム212は、4つのチャンバーフレーム角部(R2M、R2N、R2O及びR2P)を有する。チャンバーフレーム212は、サスペンションシート211bと重ね合わせるように配置されている。アクチュエータ213は、チャンバーフレーム212と重ね合わせるように配置される。アクチュエータ213は、圧電薄板213aと、圧電厚板213bと、圧電シート213cとを備える。アクチュエータ213は、電圧印加により、往復屈曲振動する。アクチュエータ213は、圧電薄板ピン213eを有する。圧電薄板ピン213eは、圧電薄板213aの凸部であり、電圧印加の接続のために用いられている。圧電薄板213aは、チャンバーフレーム212と重ね合わせるように配置される。圧電厚板213bは、圧電薄板213aと重ね合わせるように配置される。圧電シート213cは、圧電厚板213bと重ね合わせるように配置される。圧電シート213cは印加電圧により変形して、圧電薄板213a及び圧電厚板213bが往復屈曲振動することを駆動させる。絶縁フレーム214は、4つの絶縁フレーム角部(R4M、R4N、R4O及びR4P)を有する。絶縁フレーム214は、アクチュエータ213と重ね合わせるように配置され、すなわち、絶縁フレーム214は、アクチュエータ213の圧電薄板213aと重ね合わせるように配置される。導電性フレーム215は、絶縁フレーム214と重ね合わせるように配置される。導電性フレーム215は、導電性フレームピン215eを備える。導電性フレームピン215eは、導電性フレーム215の凸部であり、電圧印加の接続のために用いられている。アクチュエータ213とチャンバーフレーム212とサイレンシングジェットオリフィスシート211との間は、共振チャンバーを形成し、アクチュエータ213の駆動により、サイレンシングジェットオリフィスシート211が共振し、サイレンシングジェットオリフィスシート211のサスペンションシート211bが往復振動変位する。これによって、流体輸送が実現する。 In the embodiment of the present invention, the fluid transport actuator 21 is a stack of a silencing jet orifice sheet 211, a chamber frame 212, an actuator 213, an insulating frame 214, and a conductive frame 215 in this order. The silencing jet orifice sheet 211 includes a silencing sheet 211a, a suspension sheet 211b, and a hollow hole 211c. The suspension seat 211b has four suspension seat corners (R1M, R1N, R1O and R1P). The suspension seat 211b can be flexed and vibrated by electric power drive. A hollow hole 211c is provided in the center of the suspension seat 211b. The silencing sheet 211a is adjacent to the upper portion of the hollow hole 211c of the suspension sheet 211b. The chamber frame 212 has four chamber frame corners (R2M, R2N, R2O and R2P). The chamber frame 212 is arranged so as to overlap with the suspension seat 211b. The actuator 213 is arranged so as to overlap with the chamber frame 212. The actuator 213 includes a piezoelectric thin plate 213a, a piezoelectric thick plate 213b, and a piezoelectric sheet 213c. The actuator 213 reciprocates and vibrates when a voltage is applied. The actuator 213 has a piezoelectric thin plate pin 213e. The piezoelectric thin plate pin 213e is a convex portion of the piezoelectric thin plate 213a and is used for connecting a voltage application. The piezoelectric thin plate 213a is arranged so as to overlap with the chamber frame 212. The piezoelectric thick plate 213b is arranged so as to overlap with the piezoelectric thin plate 213a. The piezoelectric sheet 213c is arranged so as to overlap with the piezoelectric thick plate 213b. The piezoelectric sheet 213c is deformed by the applied voltage to drive the piezoelectric thin plate 213a and the piezoelectric thick plate 213b to reciprocally bend and vibrate. The insulating frame 214 has four insulating frame corners (R4M, R4N, R4O and R4P). The insulating frame 214 is arranged so as to overlap with the actuator 213, that is, the insulating frame 214 is arranged so as to overlap with the piezoelectric thin plate 213a of the actuator 213. The conductive frame 215 is arranged so as to overlap with the insulating frame 214. The conductive frame 215 includes a conductive frame pin 215e. The conductive frame pin 215e is a convex portion of the conductive frame 215 and is used for connecting a voltage application. A resonance chamber is formed between the actuator 213, the chamber frame 212, and the silencing jet orifice sheet 211, and the silencing jet orifice sheet 211 resonates due to the drive of the actuator 213, and the suspension sheet 211b of the silencing jet orifice sheet 211. Is reciprocating vibration displacement. This enables fluid transport.

本発明の流体輸送アクチュエータ21では、圧電薄板213a及び圧電厚板213bは、異なる熱膨張係数、異なるたわみ度、異なる剛性を有する、ステンレス鋼でない金属である。 In the fluid transport actuator 21 of the present invention, the piezoelectric thin plate 213a and the piezoelectric thick plate 213b are non-stainless steel metals having different coefficients of thermal expansion, different degrees of deflection, and different rigidity.

圧電薄板213a及び圧電厚板213bは、異なる熱膨張係数を有するため、その異なる熱膨張係数の金属材料で構成されたアクチュエータ213は、共振周波数の重なり(共振周波数帯は重なりがあることによる干渉)を回避し、隣接する共振周波数による駆動周波数の干渉を防ぐことができる。また、アクチュエータ213の抵抗(インピーダンスまたはリアクタンス)が低減され、アクチュエータ213の動作効率を改善するための効果的な電気駆動を達成することができる。従来の単一素材(ステンレス鋼など)で構成されたアクチュエータは、マイクロブロワーアクチュエータを駆動する場合、強度や靭性が不足し、干渉を受けやすい。本発明の実施形態によって提供されるアクチュエータ21では、圧電薄板213a又は圧電厚板213bの一方の材料がリン青銅であってもよく、圧電薄板213a及び圧電厚板213bは両方ともリン青銅であっても良い。両方ともリン青銅である場合、リン青銅の化学組成比が異なる。化学組成比が異なることによって、熱膨張係数、たわみ度及び剛性が異なる。 Since the piezoelectric thin plate 213a and the piezoelectric thick plate 213b have different coefficients of thermal expansion, the actuator 213 made of a metal material having different coefficients of thermal expansion has overlapping resonance frequencies (interference due to the overlap of resonance frequency bands). Can be avoided and interference of the drive frequency due to adjacent resonance frequencies can be prevented. In addition, the resistance (impedance or reactance) of the actuator 213 is reduced, and effective electric drive for improving the operating efficiency of the actuator 213 can be achieved. Conventional single-material (stainless steel, etc.) actuators lack strength and toughness when driving microblower actuators and are susceptible to interference. In the actuator 21 provided by the embodiment of the present invention, one of the material of the piezoelectric thin plate 213a or the piezoelectric thick plate 213b may be phosphor bronze, and both the piezoelectric thin plate 213a and the piezoelectric thick plate 213b are phosphor bronze. Is also good. When both are phosphor bronze, the chemical composition ratio of phosphor bronze is different. Due to the difference in the chemical composition ratio, the coefficient of thermal expansion, the degree of deflection and the rigidity are different.

図3及び図4は、図1及び図2に示す構成を組み立てた構造の概念図である。図5は、図3に示す要素の寸法を示す概念図である。本発明の流体輸送アクチュエータ21では、圧電薄板213aは、少なくとも1つの第1辺L3aWYと、少なくとも1つの第2辺L3aXZとを有し、第1辺L3aWYの長さは、第2辺L3aXZの長さと同じである。圧電厚板213bは、少なくとも1つの第3辺L3bWYと、少なくとも1つの第4辺L3bXZとを有し、第3辺L3bWYの長さは、第4辺L3bXZの長さと同じである。圧電シート213cは、少なくとも1つの第5辺L3cWYと少なくとも1つの第6辺L3cXZを有し、第5辺L3cWYの長さは、第6辺L3cXZの長さと同じである。 3 and 4 are conceptual diagrams of the structure assembled with the configurations shown in FIGS. 1 and 2. FIG. 5 is a conceptual diagram showing the dimensions of the elements shown in FIG. In the fluid transport actuator 21 of the present invention, the piezoelectric thin plate 213a has at least one first side L3aWY and at least one second side L3aXZ, and the length of the first side L3aWY is the length of the second side L3aXZ. Is the same as. The piezoelectric thick plate 213b has at least one third side L3bWY and at least one fourth side L3bXZ, and the length of the third side L3bWY is the same as the length of the fourth side L3bXZ. The piezoelectric sheet 213c has at least one fifth side L3cWY and at least one sixth side L3cXZ, and the length of the fifth side L3cWY is the same as the length of the sixth side L3cXZ.

圧電薄板213aは、2つの第1辺L3aWYと、2つの第2辺L3aXZと、全部で4つの辺を有する。圧電薄板213aは正方形であるが、これには限定されない。他の実施形態では、圧電薄板213aが環形状、円形状、長方形状、又は多辺形状であっても良い。圧電厚板213bは、2つの第3辺L3bWYと、2つの第4辺L3bXZと、全部で4つの辺を有する。圧電厚板213bは正方形であるが、これには限定されない。他の実施形態では、圧電厚板213bが環形状、円形状、長方形状、又は多辺形状であっても良い。圧電シート213cは、2つの第5辺L3cWYと、2つの第6辺L3cXZと、全部で4つの辺を有する。圧電シート213cは正方形であるが、これには限定されない。他の実施形態では、圧電シート213cが環形状、円形状、長方形状、又は多辺形状であっても良い。導電性フレーム215が凸部を有しない(すなわち、導電性フレームピン215eを備えない)場合は、2つの第9辺L5WYBと、2つの第8辺L5XZと、全部で4つの辺を有する。なお、凸部を備える導電性フレーム215の最も長い辺が第7辺L5WYAである。 The piezoelectric thin plate 213a has two first sides L3aWY and two second sides L3aXZ, for a total of four sides. The piezoelectric thin plate 213a is square, but is not limited thereto. In another embodiment, the piezoelectric thin plate 213a may have a ring shape, a circular shape, a rectangular shape, or a multi-sided shape. The piezoelectric plate 213b has two third sides L3bWY and two fourth sides L3bXZ, for a total of four sides. The piezoelectric plate 213b is square, but is not limited thereto. In another embodiment, the piezoelectric plate 213b may have a ring shape, a circular shape, a rectangular shape, or a multi-sided shape. The piezoelectric sheet 213c has two fifth sides L3cWY and two sixth sides L3cXZ, for a total of four sides. The piezoelectric sheet 213c is square, but is not limited thereto. In other embodiments, the piezoelectric sheet 213c may be ring-shaped, circular, rectangular, or multi-sided. When the conductive frame 215 has no convex portion (that is, does not have the conductive frame pin 215e), it has two ninth sides L5WYB and two eighth sides L5XZ, for a total of four sides. The longest side of the conductive frame 215 provided with the convex portion is the seventh side L5WYA.

図6は、図3の4つの角部を示す符号を示す概念図である。本発明の流体輸送アクチュエータ21では、前記圧電薄板213aは、少なくとも1つの圧電薄板角部(R3aN、R3aO、又はR3aP)を有し、前記圧電薄板角部が円角形状(fillet)であり、円角形状の角Rが2.0mmよりも小さい。圧電薄板213aは、少なくとも1つの圧電薄板角部(R3aM)を有し、前記圧電薄板角部(R3aM)が非円角形状である。本発明の流体輸送アクチュエータ21では、前記圧電厚板213bは、少なくとも1つの圧電厚板角部(R3bM、R3bN、R3bO、又はR3bP)を有し、前記圧電厚板角部(R3bM、R3bN、R3bO、又はR3bP)が円角形状であり、円角形状の角Rが2.0mmよりも小さい。本発明の流体輸送アクチュエータ21では、前記圧電シート213cは、4つの圧電シート角部(R3cM、R3cN、R3cO、及びR3cP)を有し、前記4つの圧電シート角部(R3cM、R3cN、R3cO、及びR3cP)が直角形状である。 FIG. 6 is a conceptual diagram showing reference numerals indicating the four corners of FIG. In the fluid transport actuator 21 of the present invention, the piezoelectric thin plate 213a has at least one piezoelectric thin plate corner portion (R3aN, R3aO, or R3aP), and the piezoelectric thin plate corner portion has a circular shape (fillet) and is circular. The angle R of the angular shape is smaller than 2.0 mm. The piezoelectric thin plate 213a has at least one piezoelectric thin plate corner portion (R3aM), and the piezoelectric thin plate corner portion (R3aM) has a non-circular shape. In the fluid transport actuator 21 of the present invention, the piezoelectric thick plate 213b has at least one piezoelectric thick plate corner portion (R3bM, R3bN, R3bO, or R3bP), and the piezoelectric thick plate corner portion (R3bM, R3bN, R3bO). , Or R3bP) has a circular shape, and the angle R of the circular square shape is smaller than 2.0 mm. In the fluid transport actuator 21 of the present invention, the piezoelectric sheet 213c has four piezoelectric sheet corners (R3cM, R3cN, R3cO, and R3cP), and the four piezoelectric sheet corners (R3cM, R3cN, R3cO, and R3cO). R3cP) has a right-angled shape.

圧電シート213cは、4つの角部を有し、それぞれ、圧電シート角部R3cM、圧電シート角部R3cN、圧電シート角部R3cO、及び圧電シート角部R3cPである。当該4つの角部が直角形状である。なお、圧電シート213cの4つの角部は、実需要に応じて変更することができ、例えば、当該4つの角部の一部又は全部を直角形状、斜角形状(bevel)、又は多辺形状にしても良い。圧電厚板213bは、4つの角部を有し、それぞれ、圧電厚板角部R3bM、圧電厚板角部R3bN、圧電厚板角部R3bO、及び圧電厚板角部R3bPである。当該4つの角部が円角形状であり、円角形状の角Rが2.0mmよりも小さい。なお、圧電厚板213bの4つの角部は、実需要に応じて変更することができ、例えば、当該4つの角部の一部又は全部を直角形状、斜角形状、又は多辺形状にしても良い。圧電薄板213aは、4つの角部を有し、それぞれ、圧電薄板角部R3aM、圧電薄板角部R3aN、圧電薄板角部R3aO、及び圧電薄板角部R3aPである。なお、圧電薄板213aの圧電薄板角部R3aMが斜角形状であり、圧電薄板角部R3aN、圧電薄板角部R3aO及び圧電薄板角部R3aPは、円角形状であり、円角形状の角Rが2.0mmよりも小さい。圧電薄板213aの4つの角部は、実需要に応じて変更することができ、例えば、当該4つの角部の一部又は全部を直角形状、斜角形状、又は多辺形状にしても良い。導電性フレーム215は、4つの角部を有し、それぞれ、導電性フレーム角部R5M、導電性フレーム角部R5N、導電性フレーム角部R5O、及び導電性フレーム角部R5Pである。なお、導電性フレーム215の導電性フレーム角部R5Mは斜角形状であり、導電性フレーム角部R5N、導電性フレーム角部R5O及び導電性フレーム角部R5Pは円角形状であり、円角形状の角Rが2.0mmよりも小さい。導電性フレーム215の4つの角部は、実需要に応じて変更することができ、例えば、当該4つの角部の一部又は全部を直角形状、斜角形状、又は多辺形状にしても良い。 The piezoelectric sheet 213c has four corners, which are the piezoelectric sheet corner R3cM, the piezoelectric sheet corner R3cN, the piezoelectric sheet corner R3cO, and the piezoelectric sheet corner R3cP, respectively. The four corners have a right-angled shape. The four corners of the piezoelectric sheet 213c can be changed according to actual demand. For example, a part or all of the four corners may have a right angle shape, a bevel shape, or a multisided shape. You can do it. The piezoelectric thick plate 213b has four corner portions, which are a piezoelectric thick plate square portion R3bM, a piezoelectric thick plate square portion R3bN, a piezoelectric thick plate square portion R3bO, and a piezoelectric thick plate square portion R3bP, respectively. The four corners have a circular shape, and the angle R of the circular shape is smaller than 2.0 mm. The four corners of the piezoelectric thick plate 213b can be changed according to actual demand. For example, a part or all of the four corners may be formed into a right angle shape, an oblique angle shape, or a multisided shape. Is also good. The piezoelectric thin plate 213a has four corner portions, which are the piezoelectric thin plate square portion R3aM, the piezoelectric thin plate square portion R3aN, the piezoelectric thin plate square portion R3aO, and the piezoelectric thin plate square portion R3aP, respectively. The piezoelectric thin plate corner portion R3aM of the piezoelectric thin plate 213a has an oblique angle shape, and the piezoelectric thin plate corner portion R3aN, the piezoelectric thin plate corner portion R3aO, and the piezoelectric thin plate corner portion R3aP have a circular angle shape, and the angular shape corner R is formed. It is smaller than 2.0 mm. The four corners of the piezoelectric thin plate 213a can be changed according to actual demand, and for example, a part or all of the four corners may be a right angle shape, an oblique angle shape, or a multisided shape. The conductive frame 215 has four corners, which are a conductive frame corner R5M, a conductive frame corner R5N, a conductive frame corner R5O, and a conductive frame corner R5P, respectively. The conductive frame corner portion R5M of the conductive frame 215 has an oblique angle shape, and the conductive frame corner portion R5N, the conductive frame corner portion R5O, and the conductive frame corner portion R5P have a circular angle shape. The angle R of is smaller than 2.0 mm. The four corners of the conductive frame 215 can be changed according to actual demand, and for example, a part or all of the four corners may be a right angle shape, an oblique angle shape, or a multisided shape. ..

図7は、図6の接線A−Aの断面図である。図8は、図6に示す圧電薄板213a、圧電厚板213b、圧電シート213cの分解構造の寸法を示す図である。本発明の流体輸送アクチュエータ21では、第1辺L3aWYの長さは第3辺L3bWYの長さよりも長い。第1辺L3aWYの長さは第5辺L3cWYの長さよりも長い。第3辺L3bWYの長さは第5辺L3cWYの長さ以上である。本発明の流体輸送アクチュエータ21では、第1辺L3aWYの長さ及び第2辺L3aXZの長さが5.0〜16.0mmである。本発明の流体輸送アクチュエータ21では、第3辺L3bWYの長さ及び第4辺L3bXZの長さが3.5〜9.5mmである。本発明の流体輸送アクチュエータ21では、第5辺L3cWYの長さ及び第6辺L3cXZの長さが2.95〜9.0mmである。 FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. FIG. 8 is a diagram showing the dimensions of the disassembled structure of the piezoelectric thin plate 213a, the piezoelectric thick plate 213b, and the piezoelectric sheet 213c shown in FIG. In the fluid transport actuator 21 of the present invention, the length of the first side L3aWY is longer than the length of the third side L3bWY. The length of the first side L3aWY is longer than the length of the fifth side L3cWY. The length of the third side L3bWY is equal to or greater than the length of the fifth side L3cWY. In the fluid transport actuator 21 of the present invention, the length of the first side L3aWY and the length of the second side L3aXZ are 5.0 to 16.0 mm. In the fluid transport actuator 21 of the present invention, the length of the third side L3bWY and the length of the fourth side L3bXZ are 3.5 to 9.5 mm. In the fluid transport actuator 21 of the present invention, the length of the fifth side L3cWY and the length of the sixth side L3cXZ are 2.95 to 9.0 mm.

すなわち、圧電薄板213aの第1辺L3aWYの長さは、圧電厚板213bの第3辺L3bWYの長さよりも長く、且つ、圧電シート213cの第5辺L3cWYの長さ以上である。なお、本発明の実施形態では、圧電薄板213aの第1辺L3aWYの長さは第2辺L3aXZの長さと同じであり、圧電厚板213bの第3辺L3bWYの長さは第4辺L3bXZの長さと同じであり、圧電シート213cの第5辺L3cWYの長さは第6辺L3cXZの長さと同じであり、導電性フレーム215の第9辺L5WYBの長さは第8辺L5XZの長さと同じであるが、これには限定されない。他の実施形態では、圧電薄板213aの第1辺L3aWYの長さは、第2辺L3aXZの長さと異なっても良く、圧電厚板213bの第3辺L3bWYの長さは、第4辺L3bXZの長さと異なっても良く、圧電シート213cの第5辺L3cWYの長さは、第6辺L3cXZの長さと異なっても良く、導電性フレーム215の第9辺L5WYBの長さは、第8辺L5XZの長さと異なっても良い。本発明の実施形態では、圧電厚板213bの第3辺L3bWYの長さ及び第4辺L3bXZの長さは、8.40mmであり、圧電薄板213aの第1辺L3aWYの長さ及び第2辺L3aXZの長さは、12.80mmであり、導電性フレーム215の第7辺L5WYAの長さは、15.20mmである。なお、これには限定されない。他の実施形態では、第1辺L3aWY、第2辺L3aXZ、第3辺L3bWY、第4辺L3bXZ、第5辺L3cWY、第6辺L3cXZ、第7辺L5WYA、第8辺L5XZ及び第9辺L5WYBの長さは、実需要に応じて調整することができる。 That is, the length of the first side L3aWY of the piezoelectric thin plate 213a is longer than the length of the third side L3bWY of the piezoelectric thick plate 213b, and is longer than the length of the fifth side L3cWY of the piezoelectric sheet 213c. In the embodiment of the present invention, the length of the first side L3aWY of the piezoelectric thin plate 213a is the same as the length of the second side L3aXX, and the length of the third side L3bWY of the piezoelectric thick plate 213b is the fourth side L3bXZ. It is the same as the length, the length of the fifth side L3cWY of the piezoelectric sheet 213c is the same as the length of the sixth side L3cXZ, and the length of the ninth side L5WYB of the conductive frame 215 is the same as the length of the eighth side L5XZ. However, it is not limited to this. In another embodiment, the length of the first side L3aWY of the piezoelectric thin plate 213a may be different from the length of the second side L3aXX, and the length of the third side L3bWY of the piezoelectric thick plate 213b is the length of the fourth side L3bXZ. The length may be different from the length, the length of the fifth side L3cWY of the piezoelectric sheet 213c may be different from the length of the sixth side L3cXZ, and the length of the ninth side L5WYB of the conductive frame 215 may be different from the length of the eighth side L5XZ. It may be different from the length of. In the embodiment of the present invention, the length of the third side L3bWY of the piezoelectric thick plate 213b and the length of the fourth side L3bXZ are 8.40 mm, and the length of the first side L3aWY and the second side of the piezoelectric thin plate 213a. The length of L3aXZ is 12.80 mm, and the length of the seventh side L5WYA of the conductive frame 215 is 15.20 mm. The method is not limited to this. In other embodiments, the first side L3aWY, the second side L3aXZ, the third side L3bWY, the fourth side L3bXZ, the fifth side L3cWY, the sixth side L3cXZ, the seventh side L5WYA, the eighth side L5XZ and the ninth side L5WYB. The length of can be adjusted according to the actual demand.

本発明の流体輸送アクチュエータは、第5辺L3cWYの長さと第3辺L3bWYの長さの比は、1:1〜1:1.5である。すなわち、圧電シート213cの第5辺L3cWYの長さは、第3辺L3bWYの長さ以下である。 In the fluid transport actuator of the present invention, the ratio of the length of the fifth side L3cWY to the length of the third side L3bWY is 1: 1 to 1: 1.5. That is, the length of the fifth side L3cWY of the piezoelectric sheet 213c is equal to or less than the length of the third side L3bWY.

本発明の流体輸送アクチュエータでは、前記圧電厚板213bは、圧電厚板の厚さT3bを有し、前記圧電厚板の厚さT3bが0.05〜0.5mmである。本発明の流体輸送アクチュエータでは、前記圧電薄板213aは圧電薄板の厚さT3aを有し、前記圧電薄板の厚さT3aが0.05〜0.2mmである。アクチュエータ213の厚さは、圧電薄板213aの圧電薄板の厚さT3aと、圧電厚板213bの圧電厚板の厚さT3bと、圧電シート213cの圧電シートの厚さT3cの和である。圧電厚板の厚さT3bが0.05〜0.5mmであり、圧電薄板の厚さT3aが0.05〜0.2mmであり、圧電厚板の厚さT3bは圧電薄板の厚さT3aよりも厚い。 In the fluid transport actuator of the present invention, the piezoelectric thick plate 213b has a piezoelectric thick plate thickness T3b, and the piezoelectric thick plate thickness T3b is 0.05 to 0.5 mm. In the fluid transport actuator of the present invention, the piezoelectric thin plate 213a has a piezoelectric thin plate thickness T3a, and the piezoelectric thin plate thickness T3a is 0.05 to 0.2 mm. The thickness of the actuator 213 is the sum of the thickness T3a of the piezoelectric thin plate 213a, the thickness T3b of the piezoelectric thick plate of the piezoelectric thick plate 213b, and the thickness T3c of the piezoelectric sheet of the piezoelectric sheet 213c. The thickness T3b of the piezoelectric thick plate is 0.05 to 0.5 mm, the thickness T3a of the piezoelectric thin plate is 0.05 to 0.2 mm, and the thickness T3b of the piezoelectric thick plate is from the thickness T3a of the piezoelectric thin plate. Is also thick.

上述したように、本発明によって提供される流体輸送アクチュエータは、異なる熱膨張係数、異なる程度のたわみ、および異なる剛性を有する金属で構成されたアクチュエータの圧電薄板及び圧電厚板を備えることによって、従来の単一素材の流体輸送アクチュエータの動作抵抗を改善し、隣接する共振終発によって引き起こされる駆動周波数の干渉を回避するとともに、リン青銅材料で構成され、構造強度と靭性を強化し、圧電厚板の丸角構造の設計によって圧電薄板への物理的損傷の影響を低減する効果を奏することができる。 As mentioned above, the fluid transport actuators provided by the present invention are conventionally provided by comprising piezoelectric lamellae and piezo thick plates of actuators made of metals with different thermal expansion coefficients, different degrees of deflection, and different rigidity. Improves the operating resistance of single material fluid transport actuators, avoids drive frequency interference caused by adjacent resonance terminations, and is composed of phosphor bronze material to enhance structural strength and toughness, of the piezoelectric planks. The design of the rounded corner structure can achieve the effect of reducing the influence of physical damage to the piezoelectric thin plate.

本発明は、当業者によって様々な形態に変更することができるが、それらのいずれも、本発明の特許請求の範囲に含まれている。 The present invention can be modified into various forms by those skilled in the art, all of which are included in the claims of the present invention.

21:流体輸送アクチュエータ
211:サイレンシングジェットオリフィスシート
211a:サイレンシングシート
211b:サスペンションシート
211c:中空孔
212:チャンバーフレーム
213:アクチュエータ
213a:圧電薄板
213b:圧電厚板
213c:圧電シート
213e:圧電薄板ピン
214:絶縁フレーム
215:導電性フレーム
215e:導電性フレームピン
A−A:接線
L3aWY:第1辺
L3bWY:第3辺
L3cWY:第5辺
L3aXZ:第2辺
L3bXZ:第4辺
L3cXZ:第6辺
L5XZ:第8辺
L5WYA:第7辺
L5WYB:第9辺
M、N、O、P:角方位
R1M、R1N、R1O、R1P:サスペンションシート角部
R2M、R2N、R2O、R2P:チャンバーフレーム角部
R3aM、R3aN、R3aO、R3aP:圧電薄板角部
R3bM、R3bN、R3bO、R3bP:圧電厚板角部
R3cM、R3cN、R3cO、R3cP:圧電シート角部
R4M、R4N、R4O、R4P:絶縁フレーム角部
R5M、R5N、R5O、R5P:導電性フレーム角部
T3a:圧電薄板の厚さ
T3b:圧電厚板の厚さ
T3c:圧電シートの厚さ
W、X、Y、Z:辺方位
21: Fluid transport actuator 211: Silencing jet orifice sheet 211a: Silencing sheet 211b: Suspension sheet 211c: Hollow hole 212: Chamber frame 213: Actuator 213a: Piezoelectric thin plate 213b: Piezoelectric thick plate 213c: Piezoelectric sheet 213e: Piezoelectric thin plate pin 214: Insulated frame 215: Conductive frame 215e: Conductive frame pin AA: tangent line L3aWY: 1st side L3bWY: 3rd side L3cWY: 5th side L3aXX: 2nd side L3bXZ: 4th side L3cXZ: 6th side L5XZ: 8th side L5WYA: 7th side L5WYB: 9th side M, N, O, P: angular orientation R1M, R1N, R1O, R1P: suspension seat corners R2M, R2N, R2O, R2P: chamber frame corners R3aM , R3aN, R3aO, R3aP: Piezoelectric thin plate corners R3bM, R3bN, R3bO, R3bP: Piezoelectric thick plate corners R3cM, R3cN, R3cO, R3cP: Piezoelectric sheet corners R4M, R4N, R4O, R4P: Insulated frame corners R5M, R5N, R5O, R5P: Conductive frame corner T3a: Piezoelectric thin plate thickness T3b: Piezoelectric thick plate thickness T3c: Piezoelectric sheet thickness W, X, Y, Z: Side orientation

Claims (14)

流体輸送アクチュエータは、サイレンシングジェットオリフィスシートと、チャンバーフレームと、アクチュエータと、絶縁フレームと、導電性フレームとを備え、
前記サイレンシングジェットオリフィスシートは、サイレンシングシートと、サスペンションシートと、中空孔とを備え、前記サスペンションシートが屈曲振動でき、前記サスペンションシートの中央部に、前記中空孔が設けられ、前記サイレンシングシートは、前記サスペンションシートの中央部に設けられた前記中空孔を覆うように配置され、
前記チャンバーフレームは、前記サスペンションシートと重ね合わせるように配置され、
前記アクチュエータは、前記チャンバーフレームと重ね合わせるように配置され、前記アクチュエータは、電圧印加によって屈曲振動し、前記アクチュエータは圧電薄板ピンを有し、
前記絶縁フレームは、前記アクチュエータと重ね合わせるように配置され、
前記導電性フレームは、前記絶縁フレームと重ね合わせるように配置され、且つ、導電性フレームピンを有し、
前記アクチュエータと前記チャンバーフレームと前記サイレンシングジェットオリフィスシートとで共振チャンバーが形成され、前記アクチュエータは、前記サイレンシングジェットオリフィスシートの共振を駆動させることで、前記サイレンシングジェットオリフィスシートの前記サスペンションシートが往復振動変位して、流体輸送を行う、ことを特徴とする流体輸送アクチュエータ。
The fluid transport actuator comprises a silencing jet orifice sheet, a chamber frame, an actuator, an insulating frame, and a conductive frame.
The silencing jet orifice sheet includes a silencing sheet, a suspension sheet, and a hollow hole, the suspension sheet can bend and vibrate, and the hollow hole is provided in the center of the suspension sheet, and the silencing sheet is provided. Is arranged so as to cover the hollow hole provided in the central portion of the suspension seat.
The chamber frame is arranged so as to overlap with the suspension seat.
The actuator is arranged so as to overlap with the chamber frame, the actuator bends and vibrates by applying a voltage, and the actuator has a piezoelectric thin plate pin.
The insulating frame is arranged so as to overlap with the actuator.
The conductive frame is arranged so as to overlap with the insulating frame and has a conductive frame pin.
A resonance chamber is formed by the actuator, the chamber frame, and the silencing jet orifice sheet, and the actuator drives the resonance of the silencing jet orifice sheet to cause the suspension sheet of the silencing jet orifice sheet. A fluid transport actuator characterized by reciprocating vibration displacement to transport fluid.
前記アクチュエータは、圧電薄板と圧電厚板と圧電シートとを備え、
前記圧電薄板は、前記チャンバーフレームと重ね合わせるように配置され、前記圧電薄板ピンは、前記圧電薄板の凸部であり、
前記圧電厚板は、前記圧電薄板と重ね合わせるように配置され、
前記圧電シートは、前記圧電厚板と重ね合わせるように配置され、前記圧電シートは、電圧印加により、前記圧電薄板及び前記圧電厚板が往復屈曲振動することを駆動させる、ことを特徴とする請求項1に記載の流体輸送アクチュエータ。
The actuator includes a piezoelectric thin plate, a piezoelectric thick plate, and a piezoelectric sheet.
The piezoelectric thin plate is arranged so as to be overlapped with the chamber frame, and the piezoelectric thin plate pin is a convex portion of the piezoelectric thin plate.
The piezoelectric thick plate is arranged so as to overlap with the piezoelectric thin plate.
The claim is characterized in that the piezoelectric sheet is arranged so as to be overlapped with the piezoelectric thick plate, and the piezoelectric sheet drives the piezoelectric thin plate and the piezoelectric thick plate to reciprocally bend and vibrate by applying a voltage. Item 1. The fluid transport actuator according to Item 1.
前記圧電薄板及び前記圧電厚板は、異なる熱膨張係数、異なるたわみ度、異なる剛性を有する、ステンレス鋼でない金属で構成される、ことを特徴とする請求項2に記載の流体輸送アクチュエータ。 The fluid transport actuator according to claim 2, wherein the piezoelectric thin plate and the piezoelectric thick plate are made of a non-stainless steel metal having different coefficients of thermal expansion, different degrees of deflection, and different rigidity. 前記圧電薄板は、少なくとも1つの第1辺と、少なくとも1つの第2辺とを備え、前記第1辺の長さは、前記第2辺の長さと同じであり、
前記圧電厚板は、少なくとも1つの第3辺と、少なくとも1つの第4辺とを備え、前記第3辺の長さは、前記第4辺の長さと同じであり、
前記圧電シートは、少なくとも1つの第5辺と、少なくとも1つの第6辺とを備え、前記第5辺の長さは、前記第6辺の長さと同じである、ことを特徴とする請求項3に記載の流体輸送アクチュエータ。
The piezoelectric thin plate includes at least one first side and at least one second side, and the length of the first side is the same as the length of the second side.
The piezoelectric plate includes at least one third side and at least one fourth side, and the length of the third side is the same as the length of the fourth side.
The claim is characterized in that the piezoelectric sheet includes at least one fifth side and at least one sixth side, and the length of the fifth side is the same as the length of the sixth side. 3. The fluid transport actuator according to 3.
前記第1辺の長さは、前記第3辺の長さよりも長く、前記第1辺の長さは、前記第5辺の長さよりも長く、前記第3辺の長さは、前記第5辺の長さ以上である、ことを特徴とする請求項4に記載の流体輸送アクチュエータ。 The length of the first side is longer than the length of the third side, the length of the first side is longer than the length of the fifth side, and the length of the third side is the fifth side. The fluid transport actuator according to claim 4, wherein the length is equal to or larger than the length of the side. 前記第5辺の長さと前記第3辺の長さとの比が1:1〜1:1.5である、ことを特徴とする請求項5に記載の流体輸送アクチュエータ。 The fluid transport actuator according to claim 5, wherein the ratio of the length of the fifth side to the length of the third side is 1: 1 to 1: 1.5. 前記第1辺の長さ及び前記第2辺の長さは、5.0〜16.0mmである、ことを特徴とする請求項5に記載の流体輸送アクチュエータ。 The fluid transport actuator according to claim 5, wherein the length of the first side and the length of the second side are 5.0 to 16.0 mm. 前記第3辺の長さ及び前記第4辺の長さは、3.5〜9.5mmである、ことを特徴とする請求項5に記載の流体輸送アクチュエータ。 The fluid transport actuator according to claim 5, wherein the length of the third side and the length of the fourth side are 3.5 to 9.5 mm. 前記第5辺の長さ及び前記第6辺の長さは、2.95〜9.0mmである、ことを特徴とする請求項5に記載の流体輸送アクチュエータ。 The fluid transport actuator according to claim 5, wherein the length of the fifth side and the length of the sixth side are 2.95 to 9.0 mm. 前記圧電薄板は、少なくとも1つの圧電薄板角部を有し、前記少なくとも1つの圧電薄板角部が円角形状であり、円角形状の角Rが2.0mmよりも小さく、前記圧電薄板は、少なくとも1つの非円角形状の圧電薄板角部を有する、ことを特徴とする請求項3に記載の流体輸送アクチュエータ。 The piezoelectric thin plate has at least one piezoelectric thin plate corner portion, the at least one piezoelectric thin plate corner portion has a circular shape, and the angular corner radius R is smaller than 2.0 mm. The fluid transport actuator according to claim 3, further comprising at least one non-circular shape piezoelectric thin plate corner portion. 前記圧電厚板は、少なくとも1つの圧電厚板角部を有し、前記少なくとも1つの圧電厚板角部が円角形状であり、円角形状の角Rが2.0mmよりも小さい、ことを特徴とする請求項3に記載の流体輸送アクチュエータ。 The piezoelectric thick plate has at least one piezoelectric thick plate corner portion, and the at least one piezoelectric thick plate corner portion has a circular shape, and the angle R of the circular square shape is smaller than 2.0 mm. The fluid transport actuator according to claim 3. 前記圧電厚板は圧電厚板の厚さを有し、前記圧電厚板の厚さが0.05〜0.5mmである、ことを特徴とする請求項11に記載の流体輸送アクチュエータ。 The fluid transport actuator according to claim 11, wherein the piezoelectric thick plate has a thickness of the piezoelectric thick plate, and the thickness of the piezoelectric thick plate is 0.05 to 0.5 mm. 前記圧電シートは、4つの圧電シート角部を有し、前記圧電シート角部が直角形状である、ことを特徴とする請求項3に記載の流体輸送アクチュエータ。 The fluid transport actuator according to claim 3, wherein the piezoelectric sheet has four piezoelectric sheet corners, and the piezoelectric sheet corners have a right-angled shape. 前記圧電薄板は圧電薄板の厚さを有し、前記圧電薄板の厚さが0.05〜0.2mmである、ことを特徴とする請求項13に記載の流体輸送アクチュエータ。 The fluid transport actuator according to claim 13, wherein the piezoelectric thin plate has a thickness of the piezoelectric thin plate, and the thickness of the piezoelectric thin plate is 0.05 to 0.2 mm.
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