JP2021181628A - 電気めっき用金型およびその製造プロセス - Google Patents
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- C25D1/20—Separation of the formed objects from the electrodes with no destruction of said electrodes
- C25D1/22—Separating compounds
Abstract
Description
−後続する電気めっきステップをシードするための導電面を含む基板を提供するステップと、
−導電シード面に(ポリイミド)フォトレジスト層を適用するステップと、
−フォトレジスト層に所望する微細構造の輪郭に対応するマスクを通してUVを照射するステップと、
−フォトレジスト金型を得るために、未照射のフォトレジスト層を溶解することによって、未照射のフォトレジスト層の部分を現像するステップと、
−金型の開口部に開口部の高さまでニッケルを電着するステップと、
−得た金属構造を基板から分離するステップと、
−フォトレジスト金型を除去するステップ。
a)金型の高さに少なくとも等しい厚さの感光ガラスからなる第1の基板を提供するステップと、
b)第1の基板に、金型の凹部に対応する窓を有するマスクを通じてUV光線を照射し、照射区域を生成するステップと、
c)ステップb)で得た第1の基板に熱処理を実施し、照射区域を結晶化するステップと、
d)少なくとも1つの導電層を表面に有する第2の基板を提供するステップと、
e)ステップc)で得た第1の基板を第2の基板に結合し、それによって導電層を第1の基板と第2の基板との間に配置するステップと、
f)第1の基板の照射されて結晶化した区域を除去し、導電層を露出し、少なくとも1つの空洞を形成するステップであって、少なくとも1つの空洞の側壁と導電層によって覆われる底面は金型を形成するステップ。
g)微細加工部品の金型を、前述の金型を製造するプロセスを用いて製造するステップと、
h)金型を、導電層からガルバニック成長法によって金属で充填し、微細加工部品を形成するステップと、
i)ステップh)で得た微細加工部品を金型から解放するステップ。
1’ :微細加工部品
3 :金型
3’ :金型
5 :第1の基板
7 :照射区域
7’ :照射区域
8 :第2の基板
10 :導電層
12 :空洞
12’ :空洞
14 :複数金型板
16 :レジスト層
Claims (11)
- 金属を電気めっきするための金型(3、3’)を製造するプロセスであって、
a)前記金型(3、3’)の高さに少なくとも等しい厚さの感光ガラスからなる第1の基板(5)を提供するステップと、
b)前記第1の基板(5)に、前記金型(3、3’)の凹部に対応する窓を有するマスクを通じてUV光線を照射し、照射区域(7、7’)を生成するステップと、
c)ステップb)で得た前記第1の基板(5)に熱処理を実施し、前記照射区域(7、7’)を結晶化するステップと、
d)少なくとも1つの導電層(10)を表面に有する第2の基板(8)を提供するステップと、
e)ステップc)で得た前記第1の基板(5)を前記第2の基板(8)に結合し、それによって前記導電層(10)を前記第1の基板(5)と前記第2の基板(8)との間に配置するステップと、
f)前記第1の基板(5)の前記照射されて結晶化した区域(7、7’)を除去し、前記導電層(10)を露出し、少なくとも1つの空洞(12、12’)を形成するステップであって、前記少なくとも1つの空洞(12、12’)の側壁および前記導電層(10)によって覆われる底面は前記金型(3、3’)を形成するステップと、
を備え、
前記第1の基板(5)と第2の基板(8)を結合する前記ステップe)は、前記第1の基板(5)と前記導電層(10)との間にレジスト層(16)配置することによって実施される
プロセス。 - 請求項1に記載のプロセスであって、前記第2の基板(8)はシリコン系であることを特徴とする、プロセス。
- 請求項1または2に記載のプロセスであって、前記導電層(10)は、前記第2の基板(8)上に、クロミウム、チタニウムおよび金を含む群から選択される金属層を堆積することによって形成されることを特徴とする、プロセス。
- 請求項1〜3のいずれかに記載のプロセスであって、前記第1の基板(5)と第2の基板(8)を結合する前記ステップe)は、前記第2の基板(8)の前記導電層(10)を前記第1の基板(5)にはんだ付けすることによって実施されることを特徴とする、プロセス。
- 請求項1に記載のプロセスであって、ステップf)は、前記第1の基板(5)の前記照射されて結晶化した区域(7、7’)を除去した後に、前記空洞(12、12’)内で露出した前記レジスト層(16)を除去し、前記導電層(10)を露出するサブステップf’)を備えることを特徴とする、プロセス。
- 請求項1〜5のいずれかに記載のプロセスであって、前記第1の基板(5)の前記照射されて結晶化した区域(7、7’)を除去する前記ステップf)は化学エッチングによって実施されることを特徴とする、プロセス。
- 請求項1〜6のいずれかに記載のプロセスであって、複数の金型(3、3’)は同じ前記第1の基板(5)において製造されることを特徴とする、プロセス。
- 電気めっきによって、金属微細加工部品(1、1’)を製造するプロセスであって、
g)前記微細加工部品(1、1’)の金型(3、3’)を、請求項1〜7のいずれかに記載の前記金型(3、3’)を製造するプロセスを用いて製造するステップと、
h)前記金型(3、3’)を、前記導電層(10)からガルバニック成長法によって金属で充填し、前記微細加工部品(1、1’)を形成するステップと、
i)ステップh)で得た前記微細加工部品(1、1’)を前記金型(3、3’)から解放するステップと、
を備えることを特徴とする、プロセス。 - 少なくとも1つの微細加工部品(1、1’)を電気めっきで製造するための複数金型板(14)であって、前記微細加工部品(1、1’)の高さと少なくとも等しい厚さの感光ガラスからなる第1の基板(5)と、前記第1の基板(5)にしっかりと固定される第2の基板(8)と、前記第1の基板(5)と第2の基板(8)との間に配置される少なくとも1つの導電層(10)とを含み、前記第1の基板(5)は前記微細加工部品(1、1’)用の少なくとも1つの金型(3、3’)を含み、前記金型は前記第1の基板(5)に形成される空洞(12、12’)によって形成され、前記金型の底面は前記導電層(10)によって覆われ、金属はガルバニック成長法によって前記空洞(12、12’)内に堆積し、前記微細加工部品(1、1’)を形成可能であり、
前記第1の基板(5)と前記導電層(10)との間に配置されるレジスト層(16)を備える
ことを特徴とする、複数金型板。 - 請求項9に記載の複数金型板(14)であって、前記第2の基板(8)はシリコン系であることを特徴とする、複数金型板。
- 請求項9または10に記載の複数金型板(14)であって、前記導電層(10)はクロミウム、チタニウムおよび金を含む群から選択される金属層であることを特徴とする、複数金型板。
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