JP2021176184A - 面内磁化膜、面内磁化膜多層構造、ハードバイアス層、磁気抵抗効果素子、およびスパッタリングターゲット - Google Patents
面内磁化膜、面内磁化膜多層構造、ハードバイアス層、磁気抵抗効果素子、およびスパッタリングターゲット Download PDFInfo
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Abstract
Description
(1−1)概要
図1は、本発明の第1実施形態に係る面内磁化膜10を、磁気抵抗効果素子12のハードバイアス層14に適用している状態を模式的に示す断面図である。なお、図1においては、下地膜(面内磁化膜10は下地膜の上に形成される)の記載は省略している。
本第1実施形態に係る面内磁化膜10は、前述したように、金属成分としてCoおよびPtを含有し、また、酸化物を含有する。
面内磁化膜10の厚さを薄くすると、単位面積当たりの残留磁化Mrtが小さくなる傾向があり、また、面内磁化膜10の厚さを厚くすると、保磁力Hcが小さくなる傾向があるので、両者を両立させる観点から、面内磁化膜10の厚さは、20nm以上80nm以下に設定することが標準的である。
面内磁化膜10中のCoPt合金磁性結晶粒の面内方向の平均粒径が大きくなると、(CoPt合金磁性結晶粒の面内方向の長さ)/(CoPt合金磁性結晶粒の膜厚方向の長さ)が大きくなり、面内磁化膜10中のCoPt合金磁性結晶粒の形状が扁平化する。これにより形状磁気異方性によって面内方向の反磁界が弱まり面内磁化膜10の保磁力Hcが向上する。
本第1実施形態に係る面内磁化膜10を形成する際に用いる下地膜としては、面内磁化膜10の磁性粒子(CoPt合金粒子)と同じ結晶構造(六方最密充填構造hcp)である金属RuまたはRu合金からなる下地膜(以下、Ru系下地膜と記すことがある。)が適している。Ru系下地膜は、表面が凹凸状になっており、CoPt−酸化物スパッタリングターゲットでスパッタリングを行った場合、凸部に金属成分が堆積しやすく、凹部に酸化物が堆積しやすくなっている。下地膜に飛来するスパッタ粒子から見ると、下地膜の凹部は影になるため、下地膜の凸部に金属が凝固し易く、そのため酸化物は下地膜の凹部に析出するからである。
本第1実施形態に係る面内磁化膜10を作製する際に用いるスパッタリングターゲットは、磁気抵抗効果素子12のハードバイアス層14の少なくとも一部として用いられる面内磁化膜10を室温成膜で形成する際に用いるスパッタリングターゲットであって、金属Co、金属Ptおよび酸化物を含有してなり、当該スパッタリングターゲットの金属成分の合計に対して、金属Coを50at%以上85at%以下含有し、金属Ptを15at%以上50at%以下含有し、当該スパッタリングターゲットの全体に対して前記酸化物を3vol%以上25vol%以下含有し、形成する面内磁化膜は、保磁力が2.00kOe以上で、かつ、単位面積当たりの残留磁化が2.00memu/cm2以上である。後述する「(E)面内磁化膜の組成分析(参考例1〜8)」に記載しているように、作製したCoPt−酸化物系の面内磁化膜の実際の組成(組成分析によって得られた組成)と、当該CoPt−酸化物系の面内磁化膜の作製に用いたスパッタリングターゲットの組成とはずれが生じるので、前記したスパッタリングターゲットに含まれる各元素の組成範囲は、本第1実施形態に係る面内磁化膜10に含まれる各元素の組成範囲とは一致していない。
本第1実施形態に係る面内磁化膜10は、前記「(1−6)スパッタリングターゲット」に記載したスパッタリングターゲットを用いてスパッタリングを行って、所定の下地膜(前記「(1−5)下地膜」に記載した下地膜)の上に成膜して形成する。なお、この成膜過程で加熱することは不要であり、本第1実施形態に係る面内磁化膜10は、室温成膜で形成することが可能である。
図2は、本発明の第2実施形態に係る面内磁化膜多層構造20を、磁気抵抗効果素子24のハードバイアス層26に適用している状態を模式的に示す断面図である。
実施例1、比較例1では、(Co-30Pt)−10vol%WO3スパッタリングターゲットを用いて、厚さ30nmの (Co-34.7Pt)−11.0vol%WO3面内磁化膜単層構造を作製したが、用いたRu下地膜の厚さは、実施例1では30nmとし、比較例1では10nmとした。そして、実施例1、比較例1で作製した(Co-34.7Pt)−11.0vol%WO3面内磁化膜単層構造について、保磁力Hc、単位面積当たりの残留磁化Mrt、面内磁化膜中のCoPt合金磁性結晶粒の面内方向の平均粒径を測定した。
実施例2、3、比較例2で形成した面内磁化膜多層構造は、厚さ15nmのCoPt−WO3面内磁化膜を、厚さ2nmのRu非磁性中間層を間に挟んで4層積み重ねた多層構造であるが、用いたRu下地膜の厚さを30nm(実施例2)、100nm(実施例3)、10nm(比較例1)と変化させており、実施例2、3、比較例2の面内磁化膜多層構造の面内磁化膜中のCoPt合金磁性結晶粒の面内方向の平均粒径が異なるようにして実験データを取得した実施例および比較例である。
実施例4〜11、14で形成した面内磁化膜多層構造は、厚さ15nmのCoPt−WO3面内磁化膜を、厚さ2nmのRu非磁性中間層を間に挟んで4層積み重ねた多層構造であり、面内磁化膜多層構造中のCoPt−WO3面内磁化膜の酸化物(WO3)含有量を3.0vol%から20.6vol%まで変化させて実験データを取得した実施例である。
実施例12では、実施例7の面内磁化膜多層構造の面内磁化膜を作製する際に用いた(Co−40Pt)−8vol%WO3スパッタリングターゲットの酸化物をWO3からB2O3に置き替えた(Co−40Pt)−8vol%B2O3スパッタリングターゲットを用いた以外は実施例7と同様にして面内磁化膜多層構造を作製して、実施例7と同様に測定を行った。
参考例1〜8の面内磁化膜の組成分析を行って、作製したCoPt−WO3面内磁化膜の実際の組成(組成分析によって得られた組成)と、当該CoPt−WO3面内磁化膜の作製に用いたスパッタリングターゲットの組成との間のずれの程度を確認した。以下、参考例7の面内磁化膜に対して行った組成分析の手法の手順について概要を説明した後、各手順の内容を具体的に説明する。
Y/X−1<0.05
を満たすこと。
実施例1〜14、比較例1、2において、CoPt面内磁化膜中のCoPt合金磁性結晶粒の面内方向の平均粒径の測定を行った。以下、行った測定の手法の手順について概要を説明した後、各手順の内容を具体的に説明する。ここでは実施例1における測定結果に基づいて説明する。ここでの説明においては、CoPt合金磁性結晶粒を「磁性粒子」と記して説明を行う。
12、24…磁気抵抗効果素子
14、26…ハードバイアス層
16、28…フリー磁性層
20…面内磁化膜多層構造
22…非磁性中間層
40…下地膜
50…絶縁層
52…ピン層
54…バリア層
80…薄片化サンプル
82…黒丸(面内磁化膜に含まれる任意の点)
84…白丸(黒丸82から観察像の長手方向に左右10nmの位置の点)
84A…白線
86…二重白丸(面内磁化膜の組成分析のための基準点)
88…黒破線(二重白丸86(基準点)から観察像の長手方向に引いた補助線)
90…白破線(黒破線88(補助線)上の100nmの直線領域)
92…両端に矢印を付した白線(白線84Aに対し10nm以上離れた距離を示す)
300…直線
302…磁性粒子
304…隣接する磁性粒子302同士の間の間隔(非磁性材料による結晶粒界の幅)
Claims (13)
- 磁気抵抗効果素子のハードバイアス層として用いられる面内磁化膜であって、
金属Co、金属Ptおよび酸化物を含有してなり、厚さが20nm以上80nm以下であり、
当該面内磁化膜の金属成分の合計に対して、金属Coを45at%以上80at%以下含有し、金属Ptを20at%以上55at%以下含有し、
当該面内磁化膜の全体に対して前記酸化物を3vol%以上25vol%以下含有し、
当該面内磁化膜の磁性結晶粒の面内方向の平均粒径は15nm以上30nm以下であることを特徴とする面内磁化膜。 - CoPt合金結晶粒と前記酸化物の結晶粒界とからなるグラニュラ構造を有してなることを特徴とする請求項1に記載の面内磁化膜。
- 前記酸化物は、Ti、Si、W、B、Mo、Ta、Nbの酸化物のうちの少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の面内磁化膜。
- 前記面内磁化膜は、ホウ素を、金属成分の合計に対して0.5at%以上3.5at%以下含有していることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の面内磁化膜。
- 磁気抵抗効果素子のハードバイアス層として用いられる面内磁化膜多層構造であって、
複数の面内磁化膜と、
結晶構造が六方最密充填構造である非磁性中間層と、
を有してなり、
前記非磁性中間層は、前記面内磁化膜同士の間に配置されており、かつ、前記非磁性中間層を挟んで隣り合う前記面内磁化膜同士は強磁性結合をしており、
前記面内磁化膜は、
金属Co、金属Ptおよび酸化物を含有してなり、
当該面内磁化膜の金属成分の合計に対して、金属Coを45at%以上80at%以下含有し、金属Ptを20at%以上55at%以下含有し、
当該面内磁化膜の全体に対して前記酸化物を3vol%以上25vol%以下含有しており、
当該面内磁化膜の磁性結晶粒の面内方向の平均粒径は15nm以上30nm以下であり、
前記複数の面内磁化膜の合計の厚さは20nm以上であることを特徴とする面内磁化膜多層構造。 - 磁気抵抗効果素子のハードバイアス層として用いられる面内磁化膜多層構造であって、
複数の面内磁化膜と、
非磁性中間層と、
を有してなり、
前記非磁性中間層は、前記面内磁化膜同士の間に配置されており、かつ、前記非磁性中間層を挟んで隣り合う前記面内磁化膜同士は強磁性結合をしており、
前記面内磁化膜は、
金属Co、金属Ptおよび酸化物を含有してなり、
当該面内磁化膜の金属成分の合計に対して、金属Coを45at%以上80at%以下含有し、金属Ptを20at%以上55at%以下含有し、
当該面内磁化膜の全体に対して前記酸化物を3vol%以上25vol%以下含有しており、
当該面内磁化膜の磁性結晶粒の面内方向の平均粒径は15nm以上30nm以下であり、
前記面内磁化膜多層構造は、保磁力が2.00kOe以上であり、かつ、単位面積当たりの残留磁化が2.00memu/cm2以上であることを特徴とする面内磁化膜多層構造。 - 前記非磁性中間層は、RuまたはRu合金からなることを特徴とする請求項5または6に記載の面内磁化膜多層構造。
- 前記面内磁化膜は、CoPt合金結晶粒と前記酸化物の結晶粒界とからなるグラニュラ構造を有してなることを特徴とする請求項5〜7のいずれかに記載の面内磁化膜多層構造。
- 前記酸化物は、Ti、Si、W、B、Mo、Ta、Nbの酸化物のうちの少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項5〜8のいずれかに記載の面内磁化膜多層構造。
- 前記面内磁化膜の1層あたりの厚さは、5nm以上30nm以下であることを特徴とする請求項5〜9のいずれかに記載の面内磁化膜多層構造。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の面内磁化膜または請求項5〜10のいずれかに記載の面内磁化膜多層構造を有してなることを特徴とするハードバイアス層。
- 請求項11に記載のハードバイアス層を有してなることを特徴とする磁気抵抗効果素子。
- 磁気抵抗効果素子のハードバイアス層の少なくとも一部として用いられる面内磁化膜を室温成膜で形成する際に用いるスパッタリングターゲットであって、
金属Co、金属Ptおよび酸化物を含有してなり、
当該スパッタリングターゲットの金属成分の合計に対して、金属Coを50at%以上85at%以下含有し、金属Ptを15at%以上50at%以下含有し、
当該スパッタリングターゲットの全体に対して前記酸化物を3vol%以上25vol%以下含有し、
形成する前記面内磁化膜は、保磁力が2.00kOe以上で、かつ、単位面積当たりの残留磁化が2.00memu/cm2以上であることを特徴とするスパッタリングターゲット。
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