JP2021173684A - カバーソケット、ハンドリング装置、半導体検査書き込み装置及び半導体検査書き込み方法 - Google Patents
カバーソケット、ハンドリング装置、半導体検査書き込み装置及び半導体検査書き込み方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021173684A JP2021173684A JP2020079136A JP2020079136A JP2021173684A JP 2021173684 A JP2021173684 A JP 2021173684A JP 2020079136 A JP2020079136 A JP 2020079136A JP 2020079136 A JP2020079136 A JP 2020079136A JP 2021173684 A JP2021173684 A JP 2021173684A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cover
- tip tool
- semiconductor device
- semiconductor
- writing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 120
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 29
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
Description
本発明の一態様は、半導体デバイスのテスト又はプログラム等の書き込みに用いるカバーソケットであって、前記半導体デバイスの外形に対応する対応形状を有するデバイスカバー部を備える先端具と、当該先端具を収容する収容部を有するとともに前記半導体デバイスの端子に接触するピンを保持する基体具とを有するカバーソケットである。
半導体デバイスのテスト又はプログラム等の書き込みに用いるカバーソケットについて、半導体デバイスの外形に対応する対応形状を有するデバイスカバー部を備える先端具を有しているため、この先端具を半導体デバイスに当接させることで半導体デバイスに対する先端具の相対的な位置取りを確実にし、半導体デバイスに対してカバーソケットを正確に位置決めし確実な導通を図ることができる。
先端具が半導体デバイスに当接した状態で前記ピンが前記半導体デバイスの端子の上面に接触可能なカバーソケットとしたため、半導体デバイスとカバーソケットとの位置関係を所定の位置関係に確実に置くことができ、両者の位置ズレを防止することができる。そして、カバーソケットに設けたピンを半導体デバイスの端子の上面に接触させるため、半導体デバイスが既に回路に接続され、端子の下面が既に回路と接続されて解放されていない場合においても、半導体デバイスのテストや、プログラム等のさらなる書き込みを行うことができる。よって、新品の半導体デバイスだけでなく、使用済み又は使用中の半導体デバイスに対するテストや、プログラム等の書き込みを行うことができる。また、ピンを端子の上面に上方から接触させるため、端子の側面や下面に接触させる場合に比べて端子の変形を起こし難く、傷つけ難い。端子の上面から接触し押圧しても端子の下面が接地しており安定であるのに対し、端子の側面や底面から接触し押圧すると、その反対面は固定されていないため、不安定であるからである。
前記先端具は、前記対応形状を形成するカバー片を有するため、カバー片を半導体ソケットの外縁に当接させることができ、先端具と半導体ソケットの位置関係を確定し両者を位置決めすることができる。また、カバー片により半導体ソケットと当接させるため、カバー片の傾き等の調整により簡単に当接状態を微調整できる。
先端具は前記収容部内を上下動可能であり、当該先端具の上下動に寄与するエア通路を前記基体具に有するカバーソケットとしたため、後述する先端具の上下動を吸引や圧縮、又は除圧により行うことができる。そのため、カバーソケットの構造を簡単にすることができ、また操作も容易である。加えて、半導体チップの移動や、従来の半導体デバイスへの検査又はプログラムの書き込み等に用いていたピックアップ装置を改良して簡単にハンドリング装置を製造することができる。
先端具は前記収容部内を上下動可能であり、前記先端具の突出状態と引き込み状態を位置決めするストッパー機構を有するため、前記エア通路を通じた吸引、圧縮、除圧の何れかを行うだけで先端具を所定の突出状態と引き込み状態に置くことができる。また簡単な構造で先端具を所定の位置に留め置くことができる。あるいはまたこうしたストッパー機構を備えるため、ピンが端子に接触する位置で先端具が止まるようにストッパー機構を設定すれば、カバーソケットに設けたピンが半導体デバイスに設けた端子に対して過度に押圧することがない。したがって、端子の折れ曲がり等の変形や、損傷を防止することができる。
ストッパー機構は、前記収容部と前記先端具の何れか一方に設けた突起と、前記収容部と前記先端具の何れか他方に設けた溝とで形成したため、突起と溝による簡単な嵌合構成でストッパー機能を発揮することができる。そのため構造が簡単で、カバーソケットの重さも軽くすることができる。
本発明を、前記カバーソケットを備えるハンドリング装置としたため、テストやプログラム等の書き込みの対象となる半導体デバイスをピックアップすることなく、目的のテストやプログラム等の書き込みを行うことができる。また、多用途で用いられているピックアップ装置を利用、又は転用して用いることができる。
前記ハンドリング装置と、前記半導体デバイスに対する検査又はプログラム等の書き込みを行う装置本体部と、制御装置とを備える半導体検査書き込み装置としたため、制御装置がハンドリング装置や装置本体部の動作を制御することができ、前記ハンドリング装置に半導体デバイスと導通接触させるカバーソケットを設けることができ、装置本体部が半導体デバイスに対するテストや、プログラム等の書き込みを行うことができる。
また、半導体デバイスの上方からカバーソケットに設けたピンを接触させるため、既に回路等に組み込まれ取り付けられている半導体デバイスに対するテストや、プログラム等の書き込みを行うことができる。そのため、新品の半導体デバイスだけでなく、製品に組み込まれた既使用の半導体デバイスに対して適用することができる。
カバーソケットをハンドリング装置に設けたため、カバーソケットを半導体デバイスに対して相対的に動かすことができる。そして、当該ハンドリング装置を動かして前記カバーソケットのピンを半導体デバイスの端子に接触させるため、半導体デバイスをピックアップするなど動かす必要がない。そのため、半導体デバイスを動かすことによる端子の折れ曲がり等の変形や損傷を防ぐことができる。また、半導体デバイスを動かすことによるハンドリング時間よりもハンドリング装置を動かすハンドリング時間の方が短くできるため、作業時間を短縮することができる。
本発明の半導体検査書き込み装置1のブロック図を図1に示す。半導体検査書き込み装置1は、半導体デバイス(以下、単に「デバイス」ともいう)の検査又は書き込みを行うリーダーやライター等からなる装置本体部2と、個々のデバイスが置かれた位置にカバーソケット10を動かしてそのデバイスにカバーソケット10を接触させるハンドリング装置3と、装置本体部2とハンドリング装置3の動作を制御する制御装置4とを有している。
また、ピン24の先端には汎用的なコンタクトプローブを用いることができ、その先端形状はニードルや、クラウンとすることができる。
デバイスDの検査、又はデバイスDへのプログラム等の書き込み工程において、図6及び図9(A)で示すように、ハンドリング装置の本体(図示せず)の先端に設けたカバーソケット10は、操作対象となる次のデバイスDに向かって横方向に動き、また図7及び図9(B)で示すように、カバーソケット10がデバイスDの上部を覆うように下方に移動する。このとき、デバイスDの上部外形に対して、デバイスカバー部33のカバー片32が当接する対応形状に形成されており、またエア通路27及び貫通孔36を通じて吸引されるため、デバイスDの微細な位置ズレがあったとしても先端具30に対して正確に位置決めされる。この状態では図7の部分拡大図R1で示すように、先端具30はデバイスDの上部に接触しているものの、カバーソケット10に備わるピン24は接触していない。
ハンドリング装置3としては、従来のデバイステストやプログラム等の書き込みの際に用いていたピックアップ装置を利用してそのアーム部分の先端にカバーソケット10を取り付けることでハンドリング装置3に改良することができ、適用が容易である。
第1実施形態では、一つのカバーソケット10を、トレーT内に縦横に収容された複数のデバイスDに対して一つずつ動かして、デバイスDのテスト又はプログラム等の書き込みを行う例を挙げて説明したが、本実施形態の半導体検査書き込み装置(図示せず)は、予め複数個のカバーソケット10をハンドリング装置3に準備しておき、一度の動作で複数のカバーソケット10を動かして、複数の半導体デバイスDに対して同時に処理ができるようにしたものである。
こうした態様によれば、ハンドリング時間をさらに短縮することができる。
上記実施形態ではハンドリング装置3を半導体デバイスに対して動かすものとしたが、半導体デバイスの入ったトレーTを動かすようにしても良い。こうした場合には、トレーTを保持する部位をハンドリング装置3に設け、カバーソケット10に対してトレーTを保持する部分を動かすように構成する。
2 装置本体部
3 ハンドリング装置
10 カバーソケット
20 基体具
21 取付部
22 収容部
23 配線
24 ピン
25 通し孔
26 ビス
27 エア通路
30 先端具
31 下面
32 カバー片
32a 内側面
33 デバイスカバー部
34 被収容部
35 ビス用溝
36 貫通孔
4 制御装置
D デバイス
P (デバイスの)端子
T トレー
U 凹部
R1〜R4 部分拡大図
Claims (10)
- 半導体デバイスのテスト又はプログラム等の書き込みに用いるカバーソケットであって、
前記半導体デバイスの外形に対応する対応形状を有するデバイスカバー部を備える先端具と、当該先端具を収容する収容部を有するとともに前記半導体デバイスの端子に接触するピンを保持する基体具とを有するカバーソケット。 - 前記先端具が半導体デバイスに当接した状態で前記ピンが前記半導体デバイスの端子の上面に接触可能な請求項1記載のカバーソケット。
- 前記先端具は、前記対応形状を形成するカバー片を有する請求項1又は請求項2記載のカバーソケット。
- 前記先端具は前記収容部内を上下動可能であり、当該先端具の上下動に寄与するエア通路を前記基体具に有する請求項1〜請求項3何れか1項記載のカバーソケット。
- 前記先端具は前記収容部内を上下動可能であり、前記先端具の突出状態と引き込み状態を位置決めするストッパー機構を有する請求項1〜請求項4何れか1項記載のカバーソケット。
- 前記ストッパー機構は、前記収容部と前記先端具の何れか一方に設けた突起と、前記収容部と前記先端具の何れか他方に設けた溝とで形成される請求項5記載のカバーソケット。
- 請求項1〜請求項6何れか1項記載の前記カバーソケットを備えるハンドリング装置。
- 請求項7記載のハンドリング装置と、前記半導体デバイスに対する検査又はプログラム等の書き込みを行う装置本体部と、制御装置とを備える半導体検査書き込み装置。
- 半導体デバイスのテスト又はプログラム等の書き込みを行う半導体検査書き込み方法において、
前記半導体デバイスの外形に対応する対応形状を有するデバイスカバー部を備える先端具と、当該先端具を収容する収容部を有するとともに前記半導体デバイスの端子に接触するピンを保持する基体具とを有するカバーソケットを前記半導体デバイスの上方から接触させて、半導体デバイスのテスト又はプログラム等の書き込みを行う半導体検査書き込み方法。 - 前記カバーソケットをハンドリング装置に設け、当該ハンドリング装置を動かして前記カバーソケットのピンを半導体デバイスの端子に接触させる請求項9記載の半導体検査書き込み方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020079136A JP2021173684A (ja) | 2020-04-28 | 2020-04-28 | カバーソケット、ハンドリング装置、半導体検査書き込み装置及び半導体検査書き込み方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020079136A JP2021173684A (ja) | 2020-04-28 | 2020-04-28 | カバーソケット、ハンドリング装置、半導体検査書き込み装置及び半導体検査書き込み方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021173684A true JP2021173684A (ja) | 2021-11-01 |
Family
ID=78281549
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020079136A Pending JP2021173684A (ja) | 2020-04-28 | 2020-04-28 | カバーソケット、ハンドリング装置、半導体検査書き込み装置及び半導体検査書き込み方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2021173684A (ja) |
-
2020
- 2020-04-28 JP JP2020079136A patent/JP2021173684A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102146731B1 (ko) | 시험용 캐리어 및 캐리어 조립장치 | |
US8143909B2 (en) | Universal test socket and semiconductor package testing apparatus using the same | |
TWI821332B (zh) | 檢查工具及檢查裝置 | |
CN111742399B (zh) | 接触精度保证方法、接触精度保证机构和检查装置 | |
TW201400821A (zh) | 探針裝置 | |
KR20160107035A (ko) | 검사장치 | |
JPH0370900B2 (ja) | ||
JP2021173684A (ja) | カバーソケット、ハンドリング装置、半導体検査書き込み装置及び半導体検査書き込み方法 | |
CN114994424B (zh) | 测试用载具 | |
JP2002365310A (ja) | 垂直型プローブカード | |
JP3610919B2 (ja) | 回路基板の検査用治具、検査方法、および製造方法 | |
JP2022072245A (ja) | 測定用ソケット | |
KR20220030017A (ko) | 디바이스 테스트용 핸들러 | |
JPH1152000A (ja) | プリント配線基板の検査装置及び検査方法 | |
TWM587274U (zh) | 測試設備 | |
JP2575013B2 (ja) | 液晶表示体検査装置 | |
JP3783074B2 (ja) | ウエハ検査装置 | |
JPS63302377A (ja) | 回路基板検査装置 | |
TWI717803B (zh) | 測試設備及測試方法 | |
JP3256455B2 (ja) | ソケット | |
JPH1151999A (ja) | プリント配線基板の検査装置、プレート状検査治具及び検査方法 | |
JPH0758168A (ja) | プローブ装置 | |
KR100647494B1 (ko) | 전자회로 검사장치 및 그 검사방법 | |
KR200421330Y1 (ko) | 전자회로 검사장치 | |
JP2575072B2 (ja) | ウエハプローブ方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230411 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20231115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231128 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240119 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20240402 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240507 |