JP2021171891A

JP2021171891A - Guide pulley and wire saw

Info

Publication number: JP2021171891A
Application number: JP2020079286A
Authority: JP
Inventors: 祥伍松田; Shogo Matsuda
Original assignee: Takatori Corp
Current assignee: Takatori Corp
Priority date: 2020-04-28
Filing date: 2020-04-28
Publication date: 2021-11-01

Abstract

To provide a guide pulley capable of improving a travel speed of a wire by restraining deviation during rotation.SOLUTION: A guide pulley 10 has a pully body 15 rotatable around a prescribed axial position and a guide body 11 which is installed on an outer peripheral side of the pulley body 15 and around which a wire 3 is wound. The guide pulley 10 also has a guide groove 12 for guiding the wire 3 provided in an outer peripheral part of the guide body 11, and a guide body side engagement part 13 provided on a side surface on at least one side of the guide body 11. The pulley body 15 has a body side engagement part 18 to engage with the guide body side engagement part 13, such that deviation of the guide body 15 to a radially outer side relative to the pully body 15 is regulated by engagement of the guide body side engagement part 13 and the body side engagement part 18. Thus, a linear velocity of the wound wire 3 can be enhanced to 1500 m/min or more.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、ワイヤを案内するガイドプーリ及び当該ガイドプーリを用いたワイヤソーに関する。 The present invention relates to a guide pulley for guiding a wire and a wire saw using the guide pulley.

従来から、走行するワイヤに被加工物を押し付けて、当該被加工物を切断するワイヤソーが知られている（例えば、特許文献１）。上述した特許文献１のワイヤソーでは、被加工物の切断にあたり、ダイヤモンド、ＣＢＮ、ＳｉＣ、ＧＣ、アルミナ等の砥粒がワイヤの外周に固定された固定砥粒ワイヤが用いられている。また、特許文献１のワイヤソーは、ワイヤ線速を１５００ｍ／分以上に速めることで被加工物の切断速度を速くし、これにより、切削抵抗を減らして切断精度を向上させている。 Conventionally, a wire saw that presses an workpiece against a traveling wire to cut the workpiece is known (for example, Patent Document 1). In the wire saw of Patent Document 1 described above, a fixed abrasive wire in which abrasive grains such as diamond, CBN, SiC, GC, and alumina are fixed on the outer circumference of the wire is used for cutting the workpiece. Further, the wire saw of Patent Document 1 increases the cutting speed of the workpiece by increasing the wire speed to 1500 m / min or more, thereby reducing the cutting resistance and improving the cutting accuracy.

特開２０１５−４６４７４号公報JP-A-2015-46474

上述したワイヤソーでは、被加工物の切断部までワイヤを案内して導くガイドプーリが複数設けられている。前記ガイドプーリは、巻き掛けられたワイヤとの摩擦力で回転駆動されている。しかしながら、ガイドプーリとワイヤとの摩擦力が低い場合、ガイドプーリとワイヤとがスリップし、上述したワイヤにより、ガイドプーリの案内溝が削られる問題がある。したがって、摩擦力を確保すべく、前記ガイドプーリは、ワイヤと接触する部分がウレタンゴムや高分子ポリエチレンといったゴムや樹脂などの素材が使用されている。特に、ダイヤモンド砥粒を用いる場合は、摩擦力の確保と、摩耗低減の観点から、ウレタンゴムなど熱可塑性ゴムや熱可塑性樹脂を素材とした弾性体が多く用いられている。 In the wire saw described above, a plurality of guide pulleys are provided to guide and guide the wire to the cut portion of the workpiece. The guide pulley is rotationally driven by a frictional force with the wound wire. However, when the frictional force between the guide pulley and the wire is low, there is a problem that the guide pulley and the wire slip and the guide groove of the guide pulley is cut by the above-mentioned wire. Therefore, in order to secure the frictional force, the guide pulley is made of a material such as rubber or resin whose portion in contact with the wire is urethane rubber or high molecular weight polyethylene. In particular, when diamond abrasive grains are used, elastic bodies made of thermoplastic rubber such as urethane rubber or thermoplastic resin are often used from the viewpoint of ensuring frictional force and reducing wear.

ところで、特許文献１のワイヤソーのようにワイヤ線速を速めた場合、ガイドプーリも高速に回転することとなる。しかしながら、上述のような弾性体で形成されたガイドプーリを高速で回転させた場合、弾性体が遠心力によって変形することにより、ガイドプーリが偏心回転する。そのため、ワイヤがガイドプーリの案内溝から脱線したり、ガイドプーリの外径変化によりワイヤ張力が変動してワイヤが断線したりする問題がある。また、ガイドプーリの案内溝が偏摩耗する問題もある。そのため、ワイヤを高速で走行させるができないという問題が生じている。 By the way, when the wire speed is increased as in the wire saw of Patent Document 1, the guide pulley also rotates at a high speed. However, when the guide pulley formed of the elastic body as described above is rotated at high speed, the elastic body is deformed by the centrifugal force, so that the guide pulley rotates eccentrically. Therefore, there is a problem that the wire derails from the guide groove of the guide pulley, or the wire tension fluctuates due to a change in the outer diameter of the guide pulley and the wire breaks. There is also a problem that the guide groove of the guide pulley is unevenly worn. Therefore, there is a problem that the wire cannot be run at high speed.

そこで、本発明は、回転時の偏位を抑制することで、ワイヤの走行速度を向上させることが可能なガイドプーリを提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a guide pulley capable of improving the traveling speed of the wire by suppressing the deviation during rotation.

上述した課題を解決すべく提供される本発明のガイドプーリは、ワイヤの走行を案内するガイドプーリであって、所定の軸心位置を中心として回動可能なプーリ本体と、前記プーリ本体の外周側に取り付けられ、前記ワイヤが巻き掛けられるガイド体と、を有し、前記ガイド体の外周部に、前記ワイヤを案内する案内溝が設けられ、前記ガイド体の少なくとも一方側の側面に、ガイド体側係合部が設けられ、前記プーリ本体が、前記ガイド体側係合部に係合する本体側係合部を有し、前記ガイド体側係合部と前記本体側係合部とが係合することにより、前記プーリ本体に対する前記ガイド体の径方向外側への偏位が規制されることを特徴とするものである。 The guide pulley of the present invention provided to solve the above-mentioned problems is a guide pulley that guides the traveling of a wire, and has a pulley body that can rotate around a predetermined axial position and an outer circumference of the pulley body. It has a guide body attached to the side and around which the wire is wound, and a guide groove for guiding the wire is provided on the outer peripheral portion of the guide body, and a guide is provided on at least one side surface of the guide body. A body-side engaging portion is provided, and the pulley body has a main body-side engaging portion that engages with the guide body-side engaging portion, and the guide body-side engaging portion and the main body-side engaging portion engage with each other. As a result, the deviation of the guide body to the outside of the pulley body in the radial direction is regulated.

本発明のガイドプーリは、ガイド体が、側面の少なくとも一方にガイド体側係合部を有しており、プーリ本体が、前記ガイド体側係合部と対向して設けられた本体側係合部を有している。また、前記ガイド体側係合部と前記本体側係合部とが係合することにより、ガイドプーリが回転した際に、遠心力によってガイド体が径方向外側に偏位することが抑制される。これにより、ガイドプーリが安定に回転し、巻き掛けられたワイヤが、案内溝から脱線することが抑制される。また、ガイド体の外径変化が抑制されているので、巻き掛けられたワイヤの張力変動を低減することができる。 In the guide pulley of the present invention, the guide body has a guide body side engaging portion on at least one of the side surfaces, and the pulley main body has a main body side engaging portion provided so as to face the guide body side engaging portion. Have. Further, by engaging the guide body side engaging portion with the main body side engaging portion, it is possible to prevent the guide body from being displaced outward in the radial direction due to centrifugal force when the guide pulley rotates. As a result, the guide pulley rotates stably, and the wound wire is prevented from derailing from the guide groove. Further, since the change in the outer diameter of the guide body is suppressed, the tension fluctuation of the wound wire can be reduced.

上述した課題を解決すべく提供される本発明のガイドプーリは、本体側係合部の回転中心側を向いている壁面と、その壁面に対向するガイド体側係合部の壁面とが係合することが望ましい。 In the guide pulley of the present invention provided to solve the above-mentioned problems, the wall surface of the main body side engaging portion facing the rotation center side and the wall surface of the guide body side engaging portion facing the wall surface are engaged with each other. Is desirable.

かかる構成によれば、係合（規制）する壁面以外の部分に隙間（遊び）を設けることができる。これにより、ガイド体側係合部と本体側係合部との係合を、容易に行うことができるので、作業性が向上する。 According to such a configuration, a gap (play) can be provided in a portion other than the wall surface to be engaged (regulated). As a result, the guide body side engaging portion and the main body side engaging portion can be easily engaged, so that workability is improved.

上述した課題を解決すべく提供される本発明のガイドプーリは、前記本体側係合部が、前記ガイド体の外周端と内周端との中間部から前記案内溝の底部に至るまでの間に形成されていることが望ましい。 In the guide pulley of the present invention provided to solve the above-mentioned problems, the main body side engaging portion extends from the intermediate portion between the outer peripheral end and the inner peripheral end of the guide body to the bottom portion of the guide groove. It is desirable that it is formed in.

かかる構成によれば、案内溝の近傍で本体側係合部とガイド体側係合部との係合構造を形成できるので、遠心力によるガイド体の径方向外側への偏位を抑制することができる。すなわち、案内溝の近傍が係合により束縛されているので、ガイド体の径方向外側への偏位をより一層抑制することができる。 According to such a configuration, since an engaging structure between the main body side engaging portion and the guide body side engaging portion can be formed in the vicinity of the guide groove, it is possible to suppress the deviation of the guide body to the outside in the radial direction due to centrifugal force. can. That is, since the vicinity of the guide groove is bound by engagement, the deviation of the guide body to the outside in the radial direction can be further suppressed.

上述した課題を解決すべく提供される本発明のガイドプーリは、前記ガイド体が、両側から前記プーリ本体に挟み込みによって保持されていることが望ましい。 In the guide pulley of the present invention provided to solve the above-mentioned problems, it is desirable that the guide body is held by being sandwiched between the pulley main body from both sides.

かかる構成によれば、ガイド体の取り外しが、挟み込みを解除するだけで行えるので、ガイド体を容易に交換することができる。ガイド体のプーリ本体への挟み込みは、上述した本体側係合部やガイド体側係合部をクランプ爪状に形成し、当該クランプ爪で挟持するようにすると良い。このように本体側係合部やガイド体側係合部をクランプ爪とすることにより、ガイド体が径方向外側に偏位することが抑制される。 According to such a configuration, the guide body can be removed only by releasing the sandwiching, so that the guide body can be easily replaced. For sandwiching the guide body into the pulley body, it is preferable to form the above-mentioned main body side engaging portion and guide body side engaging portion in the shape of a clamp claw and to sandwich the guide body with the clamp claw. By using the main body side engaging portion and the guide body side engaging portion as clamp claws in this way, it is possible to prevent the guide body from being displaced outward in the radial direction.

上述した課題を解決すべく提供される本発明のガイドプーリは、前記ガイド体が、熱可塑性ゴム又は熱可塑性樹脂のいずれかからなることが望ましい。 In the guide pulley of the present invention provided to solve the above-mentioned problems, it is desirable that the guide body is made of either a thermoplastic rubber or a thermoplastic resin.

かかる構成によれば、ガイドプーリとして一定の弾性や柔軟性を確保できるので、ガイドプーリとワイヤとの摩擦力を確保することができる。これにより、ガイドプーリとワイヤとのスリップが抑制され、ガイドプーリの摩耗を低減することができる。その一方で、遠心力による径方向外側への偏位量が増大するということが懸念される。しかしながら、本発明のガイドプーリは、本体側係合部とガイド体側係合部とが係合することにより、遠心力によるガイド体の径方向外側への偏位と、ガイドプーリの摩耗という二律背反した課題を解決することができる。したがって、より一層ワイヤを高速に走行させることができる。また、前記ガイド体が、熱可塑性ゴム又は熱可塑性樹脂を素材とする例えばウレタンゴムのような弾性体からなるものとすると良い。前記ガイド体を弾性体とすることにより、ガイドプーリとワイヤとの摩擦力をより一層高めることが期待できる。これにより、ワイヤがガイドプーリに対してスリップすることを抑制できるので、ガイドプーリのより一層の摩耗低減とワイヤのより一層の高速化とが期待できる。 According to such a configuration, since a certain elasticity and flexibility can be secured as the guide pulley, the frictional force between the guide pulley and the wire can be secured. As a result, slippage between the guide pulley and the wire is suppressed, and wear of the guide pulley can be reduced. On the other hand, there is a concern that the amount of radial outward deviation due to centrifugal force will increase. However, in the guide pulley of the present invention, the engagement portion on the main body side and the engaging portion on the guide body side engage with each other, which contradicts the deviation of the guide body to the outside in the radial direction due to centrifugal force and the wear of the guide pulley. The problem can be solved. Therefore, the wire can be run at a higher speed. Further, it is preferable that the guide body is made of an elastic body such as urethane rubber made of a thermoplastic rubber or a thermoplastic resin. By making the guide body an elastic body, it can be expected that the frictional force between the guide pulley and the wire is further increased. As a result, it is possible to prevent the wire from slipping with respect to the guide pulley, so that further wear reduction of the guide pulley and further speeding up of the wire can be expected.

上述した課題を解決すべく提供される本発明のガイドプーリは、前記プーリ本体が、前記案内溝の延長線上に形成されていることが望ましい。 In the guide pulley of the present invention provided to solve the above-mentioned problems, it is desirable that the pulley body is formed on an extension line of the guide groove.

かかる構成によれば、ガイドプーリの重心を案内溝の延長線上に位置させることができる。これにより、案内溝が幅方向に横振れすることを抑制でき、ワイヤを安定に走行させることができる。 According to such a configuration, the center of gravity of the guide pulley can be positioned on the extension line of the guide groove. As a result, it is possible to prevent the guide groove from swinging laterally in the width direction, and the wire can be stably traveled.

上述した課題を解決すべく提供される本発明のワイヤソーは、上述したガイドプーリを有し、前記ワイヤを被加工物に押し当てることにより、当該被加工物を切断するものであることを特徴とするものである。 The wire saw of the present invention provided to solve the above-mentioned problems is characterized in that it has the above-mentioned guide pulley and cuts the work piece by pressing the wire against the work piece. Is what you do.

本発明のワイヤソーは、上述したガイドプーリを有するものであるので、ワイヤを高速（例えば１５００ｍ／分以上）で走行させても、ガイドプーリを径方向に偏心させることなく、安定して回転させることができる。そのため、ワイヤを安定に走行させることができ、切断精度を向上させることができる。また、ワイヤが安定に走行するので、さらなるワイヤの高速化が期待できる。 Since the wire saw of the present invention has the guide pulley described above, even if the wire is run at a high speed (for example, 1500 m / min or more), the guide pulley can be stably rotated without being eccentric in the radial direction. Can be done. Therefore, the wire can be run stably and the cutting accuracy can be improved. Moreover, since the wire runs stably, further speeding up of the wire can be expected.

本発明によれば、回転時の偏位を抑制することができ、これにより、ワイヤの走行速度を向上させることが可能なガイドプーリを提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a guide pulley capable of suppressing deviation during rotation, thereby improving the traveling speed of the wire.

本発明のガイドプーリの一実施形態を示す正面図である。It is a front view which shows one Embodiment of the guide pulley of this invention. 図１のＡ−Ａ方向矢視断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 図２の要部拡大断面図である。FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a main part of FIG. （ａ）は、本発明の別の実施形態に係るガイドプーリの要部拡大断面図であり、（ｂ）は、本発明のさらに別の実施形態に係るガイドプーリの要部拡大断面図である。(A) is an enlarged cross-sectional view of a main part of a guide pulley according to another embodiment of the present invention, and (b) is an enlarged cross-sectional view of a main part of a guide pulley according to still another embodiment of the present invention. .. 本発明のガイドプーリを採用したワイヤソーの一実施形態を概略的に示す概略図である。It is the schematic which shows roughly one Embodiment of the wire saw which adopted the guide pulley of this invention.

本発明のガイドプーリ１０の一実施形態について、図１〜図３に基づいて以下に詳細を説明する。 An embodiment of the guide pulley 10 of the present invention will be described in detail below with reference to FIGS. 1 to 3.

図１及び図２に示すように、ガイドプーリ１０は、所定の軸心位置を中心として回動可能なプーリ本体１５と、プーリ本体１５の外周側に取り付けられ、ワイヤ３が巻き掛けられるガイド体１１等を有している。 As shown in FIGS. 1 and 2, the guide pulley 10 is attached to a pulley body 15 that can rotate about a predetermined axial position and an outer peripheral side of the pulley body 15 and is a guide body around which a wire 3 is wound. It has 11 mag.

ガイド体１１は、円環状に形成され、外周部にＶ字状の案内溝１２（図２参照）が形成されている。案内溝１２は、巻き掛けられたワイヤ３を保持して、ワイヤ３の脱線を抑制している。また、ガイド体１１は、例えば、熱可塑性ゴムや熱可塑性樹脂等を素材として用いられている。そのため、ガイド体１１が一定の弾性や柔軟性を有し、弾性体としての役割を果たすので、ガイド体１１の案内溝１２とワイヤ３との摩擦力が確保される。これにより、案内溝１２に対してワイヤ３がスリップすることが抑制され、案内溝１２の摩耗を低減することができる。また、ガイド体１１は、両側面の円周方向全周に亘ってガイド体側係合部１３が形成されている。本実施形態において、ガイド体側係合部１３は、断面がコの字状の溝として形成されている。 The guide body 11 is formed in an annular shape, and a V-shaped guide groove 12 (see FIG. 2) is formed on the outer peripheral portion thereof. The guide groove 12 holds the wound wire 3 and suppresses the derailment of the wire 3. Further, the guide body 11 uses, for example, a thermoplastic rubber, a thermoplastic resin, or the like as a material. Therefore, the guide body 11 has a certain degree of elasticity and flexibility and plays a role as an elastic body, so that the frictional force between the guide groove 12 of the guide body 11 and the wire 3 is secured. As a result, the wire 3 is prevented from slipping with respect to the guide groove 12, and the wear of the guide groove 12 can be reduced. Further, in the guide body 11, the guide body side engaging portion 13 is formed over the entire circumference in the circumferential direction of both side surfaces. In the present embodiment, the guide body side engaging portion 13 is formed as a groove having a U-shaped cross section.

プーリ本体１５は、円盤状のベース部１６と、ガイド体１１を保持する保持部１７と、回転軸２１周りの回動を許容する軸受部２２等を有している。保持部１７は、プーリ本体１５の外周縁に形成され、ガイド体１１の内周面と両側面とを支持している。また、プーリ本体１５は、高速回転時のイナーシャを減らすため、軸受部２２と、保持部１７との間が、軸受部２２や保持部１７よりも薄く形成されており、軽量化が図られている。また、保持部１７は、ガイド体側係合部１３と係合可能なように本体側係合部１８が突出形成されている。 The pulley main body 15 has a disk-shaped base portion 16, a holding portion 17 for holding the guide body 11, a bearing portion 22 that allows rotation around the rotation shaft 21, and the like. The holding portion 17 is formed on the outer peripheral edge of the pulley main body 15 and supports the inner peripheral surface and both side surfaces of the guide body 11. Further, in the pulley main body 15, in order to reduce inertia during high-speed rotation, the space between the bearing portion 22 and the holding portion 17 is formed thinner than the bearing portion 22 and the holding portion 17, and the weight is reduced. There is. Further, in the holding portion 17, the main body side engaging portion 18 is formed so as to be able to engage with the guide body side engaging portion 13.

図２及び図３に示すように、保持部１７は、蓋体１９を有しており、蓋体１９とプーリ本体１５の外周縁部とで、ガイド体１１を両側面から挟持している。蓋体１９は、内側面に、プーリ本体１５と同様の本体側係合部１８が形成されている。本体側係合部１８は、対向するガイド体側係合部１３と係合している。蓋体１９は、ベース部１６との間でガイド体１１を挟持し、ネジ１９ａによってプーリ本体１５に固定されている。これにより、ガイド体１１は、プーリ本体１５に一体的に保持されると共にガイド体１１が、プーリ本体１５に対して脱着可能とされている。そのため、ガイド体１１が摩耗した際に、ガイド体１１をプーリ本体１５から取り外して容易に交換することができる。 As shown in FIGS. 2 and 3, the holding portion 17 has a lid body 19, and the guide body 11 is sandwiched between the lid body 19 and the outer peripheral edge portion of the pulley main body 15 from both side surfaces. The lid body 19 is formed with a main body side engaging portion 18 similar to the pulley main body 15 on the inner side surface. The main body side engaging portion 18 is engaged with the opposing guide body side engaging portion 13. The lid body 19 sandwiches the guide body 11 with the base portion 16 and is fixed to the pulley main body 15 by screws 19a. As a result, the guide body 11 is integrally held by the pulley main body 15, and the guide body 11 can be attached to and detached from the pulley main body 15. Therefore, when the guide body 11 is worn, the guide body 11 can be removed from the pulley main body 15 and easily replaced.

本体側係合部１８は、ガイド体１１の両側面と対向するそれぞれの面に円環状に形成されている。本実施形態では、本体側係合部１８として断面がコの字状のクランプ爪が形成されており、ガイド体側係合部１３と係合して、ガイド体１１を挟持している。これにより、ガイド体１１が遠心力により径方向外側に伸びたり、移動したりすることを抑制できる。したがって、ガイド体１１の径方向外側への偏心等による偏位が抑制される。なお、プーリ本体１５におけるベース部１６は、案内溝１２の延長線５上に形成されていることが望ましい。これにより、ガイドプーリ１０の回転時に、ガイド体１１が横方向に芯振れすることを抑制することができ、ガイドプーリ１０を安定に回転させることができる。 The main body side engaging portion 18 is formed in an annular shape on each surface facing both side surfaces of the guide body 11. In the present embodiment, a clamp claw having a U-shaped cross section is formed as the main body side engaging portion 18, and the guide body 11 is sandwiched by engaging with the guide body side engaging portion 13. As a result, it is possible to prevent the guide body 11 from extending or moving radially outward due to centrifugal force. Therefore, the deviation of the guide body 11 due to the eccentricity outward in the radial direction is suppressed. It is desirable that the base portion 16 of the pulley main body 15 is formed on the extension line 5 of the guide groove 12. As a result, it is possible to prevent the guide body 11 from swinging in the lateral direction when the guide pulley 10 is rotated, and the guide pulley 10 can be rotated stably.

図３に示すように、本体側係合部１８を、例えば、ガイド体側係合部１３よりも、僅かに小さく形成し、ガイド体側係合部１３の少なくとも内周側の壁面１３ａが、本体側係合部１８の少なくとも内周側の壁面１８ａと係合するようにすると良い。すなわち、本体側係合部の回転中心側を向いている壁面と、その壁面に対向するガイド体側係合部の壁面とが係合（規制）する状態となる。これにより、ガイド体側係合部１３と本体側係合部１８との間に隙間（遊び）が形成されていても、ガイド体１１の径方向外側への偏位を抑制できる。 As shown in FIG. 3, the main body side engaging portion 18 is formed to be slightly smaller than, for example, the guide body side engaging portion 13, and at least the inner peripheral side wall surface 13a of the guide body side engaging portion 13 is on the main body side. It is preferable to engage with at least the inner peripheral side wall surface 18a of the engaging portion 18. That is, the wall surface facing the rotation center side of the main body side engaging portion and the wall surface of the guide body side engaging portion facing the wall surface are engaged (regulated). As a result, even if a gap (play) is formed between the guide body side engaging portion 13 and the main body side engaging portion 18, the deviation of the guide body 11 to the outside in the radial direction can be suppressed.

また、本体側係合部１８は、例えば、ガイド体１１の外周端と内周端との中間部１８ｂから案内溝１２の底部に至るまでの間に形成されていると良い。かかる構成とすることにより、案内溝１２の近傍で本体側係合部１８とガイド体側係合部１３との係合構造を形成できるので、遠心力によるガイド体１１の径方向外側への偏心等による偏位を抑制することができる。すなわち、案内溝１２の近傍が係合により束縛されているので、ガイド体１１の径方向外側への偏位をより一層抑制することができる。 Further, the main body side engaging portion 18 may be formed, for example, from the intermediate portion 18b between the outer peripheral end and the inner peripheral end of the guide body 11 to the bottom portion of the guide groove 12. With such a configuration, an engaging structure between the main body side engaging portion 18 and the guide body side engaging portion 13 can be formed in the vicinity of the guide groove 12, so that the guide body 11 is eccentric outward in the radial direction due to centrifugal force. It is possible to suppress the deviation due to. That is, since the vicinity of the guide groove 12 is bound by engagement, the deviation of the guide body 11 to the outside in the radial direction can be further suppressed.

図１及び図２に示すように、軸受部２２は、ガイドプーリ１０の中央に設けられ、ガイドプーリ１０を回動可能に支持する回転軸２１と、回転軸２１の外周に装着されたベアリング２３等を有している。回転軸２１は、例えば後述するワイヤソー３０に軸止めされる。 As shown in FIGS. 1 and 2, the bearing portion 22 is provided in the center of the guide pulley 10, and has a rotating shaft 21 that rotatably supports the guide pulley 10 and a bearing 23 mounted on the outer periphery of the rotating shaft 21. Etc. The rotating shaft 21 is pivotally fixed to, for example, a wire saw 30 described later.

ベアリング２３は、後方側が押え部材２４で押さえ込まれており、プーリ本体１５に保持されている。また、ベアリング２３は、ゴム等のシール部材２９等で、加工液の侵入が抑制されている。押え部材２４は、ネジ２４ａで固定されており、ベアリング２３の交換時に着脱が可能である。また、ベアリング２３に回転軸２１が嵌め込まれることにより、プーリ本体１５が回転軸２１に対して回動可能に支持されている。すなわち、回転軸２１周りにガイドプーリ１０が回動自在とされている。 The rear side of the bearing 23 is pressed by the pressing member 24, and is held by the pulley main body 15. Further, the bearing 23 is a sealing member 29 or the like made of rubber or the like, so that the intrusion of the processing liquid is suppressed. The pressing member 24 is fixed with a screw 24a and can be attached and detached when the bearing 23 is replaced. Further, by fitting the rotating shaft 21 into the bearing 23, the pulley body 15 is rotatably supported with respect to the rotating shaft 21. That is, the guide pulley 10 is rotatable around the rotating shaft 21.

ガイドプーリ１０の案内溝１２には、ワイヤ３が巻き掛けられる。これにより、ワイヤ３の走行に伴って、ガイドプーリ１０が回転する。なお、本実施形態では、回転軸２１やベアリング２３が、ガイドプーリ１０側に装着されているが、回転軸２１やベアリング２３がワイヤソー３０側に設けられているものであっても良い。以上が、本発明のガイドプーリ１０の一実施形態である。 The wire 3 is wound around the guide groove 12 of the guide pulley 10. As a result, the guide pulley 10 rotates as the wire 3 travels. In the present embodiment, the rotating shaft 21 and the bearing 23 are mounted on the guide pulley 10 side, but the rotating shaft 21 and the bearing 23 may be provided on the wire saw 30 side. The above is one embodiment of the guide pulley 10 of the present invention.

次に、ガイドプーリ１０の他の実施形態について、図４（ａ）及び図４（ｂ）を参照しながら以下に説明する。本実施形態では、ガイド体側係合部１３と、本体側係合部１８との形状が異なる以外は、上述の実施形態と同様であるので、説明を一部省略する。また、上述の実施形態と同一の部材は同一の符号を付していることに留意されたい。 Next, another embodiment of the guide pulley 10 will be described below with reference to FIGS. 4 (a) and 4 (b). The present embodiment is the same as the above-described embodiment except that the shapes of the guide body side engaging portion 13 and the main body side engaging portion 18 are different, and thus some description thereof will be omitted. Also, it should be noted that the same members as those in the above-described embodiment have the same reference numerals.

図４（ａ）に示すように、ガイド体側係合部１３は、内周側の壁面が回転軸２１と平行に形成され、外周側の壁面が内側方向に傾斜するように形成されている。なお、前記傾斜の角度は、任意に変更することが可能である。また、本体側係合部１８が、ガイド体側係合部１３に沿った形状に形成されている。したがって、ガイド体１１をプーリ本体１５に保持させる際に、ガイド体側係合部１３と本体側係合部１８とが係合する。これにより、ガイド体１１が径方向外側へ偏心等により偏位することが抑制される。 As shown in FIG. 4A, the guide body side engaging portion 13 is formed so that the inner peripheral side wall surface is formed parallel to the rotation shaft 21 and the outer peripheral side wall surface is inclined inward. The angle of inclination can be changed arbitrarily. Further, the main body side engaging portion 18 is formed in a shape along the guide body side engaging portion 13. Therefore, when the guide body 11 is held by the pulley main body 15, the guide body side engaging portion 13 and the main body side engaging portion 18 are engaged with each other. As a result, the guide body 11 is prevented from being displaced outward in the radial direction due to eccentricity or the like.

次に、本発明のガイドプーリ１０のさらに別の実施形態について、図４（ｂ）を参照しながら以下に説明する。図示のように、本実施形態では、ガイド体側係合部１３が、両側の側面から凸状に突出している。また、ガイド体側係合部１３と対向するように、ベース部１６及び蓋体１９にコの字状の溝が形成されている。したがって、ガイド体１１をプーリ本体１５に保持させる際に、ガイド体側係合部１３と本体側係合部１８とが係合する。これにより、ガイド体１１が径方向外側へ偏心等により偏位することが抑制される。 Next, yet another embodiment of the guide pulley 10 of the present invention will be described below with reference to FIG. 4 (b). As shown in the figure, in the present embodiment, the guide body side engaging portion 13 projects convexly from the side surfaces on both sides. Further, a U-shaped groove is formed in the base portion 16 and the lid body 19 so as to face the guide body side engaging portion 13. Therefore, when the guide body 11 is held by the pulley main body 15, the guide body side engaging portion 13 and the main body side engaging portion 18 are engaged with each other. As a result, the guide body 11 is prevented from being displaced outward in the radial direction due to eccentricity or the like.

ガイド体１１の径方向外周への偏心による変位を効率的に抑えるために、凸状のガイド体側係合部１３及び凹状の本体側係合部１８における外周側の壁面同士が互いに係合している。つまり、図４（ｂ）に示すガイドプーリ１０は、規制と遊びにおける径方向の位置関係が、図３に示すガイドプーリ１０と逆であるが、本体側係合部１８の回転中心側を向いている壁面と、その壁面に対向するガイド体側係合部１３の壁面とが係合する状態となっている。 In order to efficiently suppress the displacement of the guide body 11 due to eccentricity to the outer circumference in the radial direction, the outer peripheral wall surfaces of the convex guide body side engaging portion 13 and the concave main body side engaging portion 18 are engaged with each other. There is. That is, the guide pulley 10 shown in FIG. 4B has a radial positional relationship between regulation and play, which is opposite to that of the guide pulley 10 shown in FIG. 3, but faces the rotation center side of the main body side engaging portion 18. The wall surface is in a state of being engaged with the wall surface of the guide body side engaging portion 13 facing the wall surface.

次に、本発明のガイドプーリ１０を採用したワイヤソー３０の一実施形態について、図５を参照しつつ以下に詳細を説明する。本実施形態では、ワイヤソー３０として、サファイアやシリコン等の被加工物２を複数のウエハとして切断するマルチワイヤソーを例として説明する。また、ワイヤソー３０に用いられるワイヤ３として、ダイヤモンド等の砥粒が外周面に電着等により固定された固定砥粒方式のワイヤソーについて説明する。なお、ガイドプーリ１０を遊離砥粒方式のワイヤソーに用いる場合は、ワイヤ３としてブラスメッキ等された鋼線を用い、加工液にダイヤモンドやシリコンカーバイド等の砥粒が混合されたスラリーを用いれば良い。 Next, an embodiment of the wire saw 30 that employs the guide pulley 10 of the present invention will be described in detail below with reference to FIG. In the present embodiment, as the wire saw 30, a multi-wire saw that cuts a workpiece 2 such as sapphire or silicon as a plurality of wafers will be described as an example. Further, as the wire 3 used in the wire saw 30, a fixed abrasive grain type wire saw in which abrasive grains such as diamond are fixed to the outer peripheral surface by electrodeposition or the like will be described. When the guide pulley 10 is used for a free-abrasive wire saw, a brass-plated steel wire may be used as the wire 3, and a slurry in which abrasive grains such as diamond and silicon carbide are mixed in the processing liquid may be used. ..

図５に示すように、ワイヤソー３０は、１本のワイヤ３が多重に巻き掛けられた供給リール３１と、ワイヤ３が巻き取られる回収リール３２と、一対のワークローラ３３ａ，３３ｂと、ワイヤ３を案内する本発明の複数のガイドプーリ１０等を有している。また、ワイヤソー３０は、一対のワークローラ３３ａ，３３ｂ上に被加工物２を保持する保持テーブル３５を有している。 As shown in FIG. 5, the wire saw 30 includes a supply reel 31 on which one wire 3 is wound in multiple directions, a recovery reel 32 on which the wire 3 is wound, a pair of work rollers 33a and 33b, and a wire 3. It has a plurality of guide pulleys 10 and the like of the present invention to guide the reels. Further, the wire saw 30 has a holding table 35 for holding the workpiece 2 on the pair of work rollers 33a and 33b.

供給リール３１及び回収リール３２は、図示しない支持枠に回動可能に支持されると共にそれぞれ図示しないモータにより正逆回転駆動が可能である。供給リール３１から供給されたワイヤ３は、供給リール軸に沿って往復駆動されるトラバースプーリ２５でトラバースされながら、複数のガイドプーリ１０を経由して、供給側のテンションプーリ２６ａに導かれる。ガイドプーリ１０は、回転軸２１が、ワイヤソー３０の図示しない支持枠に軸止めされている。したがって、ガイドプーリ１０は、ワイヤソー３０に回動自在に支持されている。 The supply reel 31 and the recovery reel 32 are rotatably supported by a support frame (not shown) and can be driven in forward and reverse rotation by a motor (not shown). The wire 3 supplied from the supply reel 31 is guided to the tension pulley 26a on the supply side via the plurality of guide pulleys 10 while being traversed by the traverse pulley 25 that is reciprocally driven along the supply reel shaft. In the guide pulley 10, the rotating shaft 21 is pivotally fixed to a support frame (not shown) of the wire saw 30. Therefore, the guide pulley 10 is rotatably supported by the wire saw 30.

テンションプーリ２６ａは、テンションアーム２７の一端側に回動可能に支持されている。テンションアーム２７の他端側には、モータ２８が接続されており、モータ２８の出力により、テンションアーム２７がテンションプーリ２６ａと一体的に揺動する。これにより、テンションプーリ２６ａを介してワイヤ３に所定の張力が付与される。所定の張力が付与されたれたワイヤ３は、テンションプーリ２６ａによって所定の張力が付与された後、ワークローラ３３ａ，３３ｂに導かれる。 The tension pulley 26a is rotatably supported on one end side of the tension arm 27. A motor 28 is connected to the other end side of the tension arm 27, and the tension arm 27 swings integrally with the tension pulley 26a due to the output of the motor 28. As a result, a predetermined tension is applied to the wire 3 via the tension pulley 26a. The wire 3 to which a predetermined tension is applied is guided to the work rollers 33a and 33b after the predetermined tension is applied by the tension pulley 26a.

ワークローラ３３ａ，３３ｂは、間隔を空けて図示しない支持枠にそれぞれ回動可能に支持されている。ワークローラ３３ａ，３３ｂの外周面には、所定のピッチで多数の環状溝（図示しない）が形成されている。ワークローラ３３ａ，３３ｂの環状溝間には、ワイヤ３が螺旋状に巻き回されることにより、ワイヤ列３４が形成されている。なお、図５において、ワイヤ列３４は、紙面奥行方向に形成されている。また、ワークローラ３３ａ，３３ｂは、図示しないモータ等の駆動源が接続されており、駆動源の出力により、それぞれが同期して回転する。 The work rollers 33a and 33b are rotatably supported by support frames (not shown) at intervals. A large number of annular grooves (not shown) are formed on the outer peripheral surfaces of the work rollers 33a and 33b at a predetermined pitch. A wire row 34 is formed by spirally winding the wire 3 between the annular grooves of the work rollers 33a and 33b. In FIG. 5, the wire row 34 is formed in the depth direction of the paper surface. Further, the work rollers 33a and 33b are connected to a drive source such as a motor (not shown), and each of the work rollers 33a and 33b rotates in synchronization with the output of the drive source.

また、本実施形態では、ワークローラ３３ａ，３３ｂが、ワークローラ３３ａ，３３ｂの間の中央付近に配置される回転軸心（図示しない）を支点として、一体的に回動が可能なように上述の支持枠に支持されている。したがって、図示しない駆動源によって、図示二点鎖線のように一対のワークローラ３３ａ，３３ｂが揺動円弧運動可能とされている。 Further, in the present embodiment, the work rollers 33a and 33b are described above so as to be integrally rotatable with a rotation axis (not shown) arranged near the center between the work rollers 33a and 33b as a fulcrum. It is supported by the support frame of. Therefore, the pair of work rollers 33a and 33b can move in a swinging circular arc as shown by the alternate long and short dash line by a drive source (not shown).

ワイヤ列３４の上方には、被加工物２を保持する保持テーブル３５が設けられている。被加工物２はセラミックスやカーボン等からなるダミー材４を介して、保持テーブル３５の下面側に保持されている。保持テーブル３５は、ワイヤソー３０の本体に昇降可能に支持されている。また、保持テーブル３５には、モータ３６が接続されており、モータ３６の出力により、所定ピッチで被加工物２をワイヤ列３４に向けて押し付けることが可能である。また、ワイヤ列３４の上方側で被加工物２の両側には、加工液を供給するノズル３７が設けられている。ノズル３７は、ワークローラ３３ａ，３３ｂと共に揺動することが可能である。加工液には、例えば、界面活性剤が添加された水や、グリコール類からなる冷却液等が用いられる。 A holding table 35 for holding the workpiece 2 is provided above the wire row 34. The workpiece 2 is held on the lower surface side of the holding table 35 via a dummy material 4 made of ceramics, carbon, or the like. The holding table 35 is supported by the main body of the wire saw 30 so as to be able to move up and down. Further, a motor 36 is connected to the holding table 35, and the output of the motor 36 can push the workpiece 2 toward the wire row 34 at a predetermined pitch. Further, nozzles 37 for supplying a machining fluid are provided on both sides of the workpiece 2 on the upper side of the wire row 34. The nozzle 37 can swing together with the work rollers 33a and 33b. As the processing liquid, for example, water to which a surfactant is added, a cooling liquid made of glycols, or the like is used.

ワイヤ３は、ワイヤ列３４で切断に寄与した後、ワークローラ３３ａ，３３ｂから、複数のガイドプーリ１０を経て、回収側のテンションプーリ２６ｂに導かれる。なお、供給側のテンションプーリ２６ａと、回収側のテンションプーリ２６ｂとは、同様の機構であるので説明を省略する。 After contributing to cutting in the wire row 34, the wire 3 is guided from the work rollers 33a and 33b to the tension pulley 26b on the recovery side via the plurality of guide pulleys 10. Since the tension pulley 26a on the supply side and the tension pulley 26b on the recovery side have the same mechanism, the description thereof will be omitted.

テンションプーリ２６ｂにより、所定の張力が付与されたワイヤ３は、複数のガイドプーリ１０に案内されて、回収リール３２に巻き取られる。本実施形態では、ワイヤ３は、一定の周期で往復走行するものとされ、供給リール３１と回収リール３２とが逆転することにより、ワイヤ３は、逆転走行が可能である。ワイヤ３は、逆転走行時間よりも正転走行時間を長くすることにより、所定量ずつ回収リール３２側に送られて巻き取られる。ワイヤ３の送り量は、切断する被加工物２の形状や材質等に応じて適宜変更が可能である。 The wire 3 to which a predetermined tension is applied by the tension pulley 26b is guided by the plurality of guide pulleys 10 and wound on the recovery reel 32. In the present embodiment, the wire 3 is assumed to reciprocate in a fixed cycle, and the wire 3 can travel in the reverse direction by reversing the supply reel 31 and the recovery reel 32. By making the forward rotation travel time longer than the reverse travel time, the wire 3 is sent to the recovery reel 32 side by a predetermined amount and wound up. The feed amount of the wire 3 can be appropriately changed according to the shape, material, and the like of the workpiece 2 to be cut.

次に、上述したワイヤソー３０での被加工物２の切断について、以下に説明する。まず、切断に先立って、被加工物２とダミー材４とが接着される。被加工物２が接着されたダミー材４を図示しない貼り付け台等に接着し、当該貼り付け台を介して被加工物２を保持テーブル３５に保持させる。 Next, the cutting of the workpiece 2 with the wire saw 30 described above will be described below. First, prior to cutting, the workpiece 2 and the dummy material 4 are adhered to each other. The dummy material 4 to which the work piece 2 is adhered is adhered to a sticking table or the like (not shown), and the work piece 2 is held on the holding table 35 via the sticking table or the like.

ワイヤソー３０を起動し、例えば、ワイヤ３の線速が２５００ｍ／分以上（遊離砥粒方式のワイヤソーであれば、例えば１５００ｍ／分）となるように制御する。この状態で、ワイヤ列３４を回転軸心に対して例えば±３〜±３５°の範囲で揺動円弧運動させながら、保持テーブル３５を下降させることで、被加工物２がワイヤ列３４に押し付けられる。これにより、被加工物２の切断が開始される。この後、所定の周期でワイヤ３を往復走行させながら、保持テーブル３５が所定速度で下降し、被加工物２が切断される。なお、ワイヤ列３４を揺動させることにより、ワイヤ３と被加工物２との接触を点接触に近づけることができるので、ワイヤ３への抵抗が弱まって、加工速度を向上させることができる。また、このとき、ワイヤ３の傾斜方向に沿って切断部への加工液の供給が促進され、切断屑の排出も円滑に行われる。また、ワイヤ３の揺動に伴い、被加工物２の切断面が研磨されるので、被加工物２の切断精度が向上する。これらにより、加工速度と加工精度を向上させることができる。なお、揺動円弧運動させない場合であっても、本発明のガイドプーリ１０を採用することにより、加工速度を向上でき、これに伴って加工精度も向上させることができる。 The wire saw 30 is started and controlled so that the wire speed of the wire 3 is 2500 m / min or more (for example, 1500 m / min in the case of a free-abrasive wire saw). In this state, the work piece 2 is pressed against the wire row 34 by lowering the holding table 35 while moving the wire row 34 with respect to the rotation axis in a swinging arc motion in a range of, for example, ± 3 to ± 35 °. Be done. As a result, cutting of the workpiece 2 is started. After that, the holding table 35 is lowered at a predetermined speed while the wire 3 is reciprocated at a predetermined cycle, and the workpiece 2 is cut. By swinging the wire row 34, the contact between the wire 3 and the workpiece 2 can be brought close to the point contact, so that the resistance to the wire 3 is weakened and the machining speed can be improved. Further, at this time, the supply of the processing liquid to the cutting portion is promoted along the inclined direction of the wire 3, and the cutting waste is smoothly discharged. Further, as the wire 3 swings, the cut surface of the workpiece 2 is polished, so that the cutting accuracy of the workpiece 2 is improved. As a result, the machining speed and machining accuracy can be improved. Even when the swinging arc is not moved, the machining speed can be improved by adopting the guide pulley 10 of the present invention, and the machining accuracy can be improved accordingly.

また、ガイドプーリ１０は、ガイド体１１として、例えば、ウレタンゴム等の熱可塑性ゴムや熱可塑性樹脂等が用いられている。したがって、ガイド体１１として一定の弾性や柔軟性を確保できるので、案内溝１２とワイヤ３との摩擦力を確保することができる。これにより、ガイド体１１とワイヤ３とのスリップが抑制され、案内溝１２の摩耗を低減することができる。その一方で、遠心力による径方向外側への偏位量が増大するということが懸念される。 Further, in the guide pulley 10, for example, a thermoplastic rubber such as urethane rubber, a thermoplastic resin, or the like is used as the guide body 11. Therefore, since a certain elasticity and flexibility can be secured as the guide body 11, the frictional force between the guide groove 12 and the wire 3 can be secured. As a result, slippage between the guide body 11 and the wire 3 is suppressed, and wear of the guide groove 12 can be reduced. On the other hand, there is a concern that the amount of radial outward deviation due to centrifugal force will increase.

しかしながら、本発明のガイドプーリ１０は、本体側係合部１８とガイド体側係合部１３とが係合することにより、遠心力によるガイド体の径方向外側への偏位と、ガイドプーリ１０の摩耗という二律背反した課題を解決することができる。したがって、より一層ワイヤ３を高速に走行させることができる。また、ガイド体１１が、熱可塑性ゴム又は熱可塑性樹脂を素材とする例えばウレタンゴムのような弾性体からなるものとすると良い。ガイド体１１を弾性体とすることにより、ガイドプーリとワイヤとの摩擦力をより一層高めることが期待できる。これにより、ワイヤ３がガイドプーリ１０に対してスリップすることを抑制できるので、ガイドプーリ１０のより一層の摩耗低減とワイヤ３のより一層の高速化とが期待できる。 However, in the guide pulley 10 of the present invention, when the main body side engaging portion 18 and the guide body side engaging portion 13 are engaged, the guide body is displaced outward in the radial direction due to centrifugal force, and the guide pulley 10 is displaced. It is possible to solve the contradictory problem of wear. Therefore, the wire 3 can be run at a higher speed. Further, it is preferable that the guide body 11 is made of an elastic body such as urethane rubber made of a thermoplastic rubber or a thermoplastic resin. By making the guide body 11 an elastic body, it can be expected that the frictional force between the guide pulley and the wire is further increased. As a result, it is possible to prevent the wire 3 from slipping with respect to the guide pulley 10, so that further reduction in wear of the guide pulley 10 and further speeding up of the wire 3 can be expected.

以上が、本発明のガイドプーリ１０及びワイヤソー３０の実施形態であるが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、発明の範囲内で適宜の変更を行うことができる。 The above is the embodiment of the guide pulley 10 and the wire saw 30 of the present invention, but the present invention is not limited to the above-described embodiment, and appropriate modifications can be made within the scope of the invention.

本実施形態のガイドプーリ１０は、ガイド体側係合部１３と、本体側係合部１８とが両側面に設けられるものであったが、ガイドプーリ１０は、ガイド体側係合部１３と本体側係合部１８とが片側の側面だけに設けられるものであっても良い。また、ガイド体側係合部１３や本体側係合部１８の形状は、上述の実施形態に限定されるものではなく、互いに係合することが可能なものであれば、各種の形状のものとすることができる。ガイド体側係合部１３と本体側係合部１８とを設ける位置についても、適宜変更することができる。また、一方側の側面に形成される一対のガイド体側係合部１３及び本体側係合部１８が、他方側の側面に形成される一対のガイド体側係合部１３及び本体側係合部１８と異なる形状の組合せとなるようにしても良い。また、本実施形態では、ガイド体１１の両側面のそれぞれに１つずつガイド体側係合部１３と本体側係合部１８とを設けたが、ガイド体側係合部１３及び本体側係合部１８が、ガイド体１１の両側面のそれぞれに複数設けられるようにしても良い。 In the guide pulley 10 of the present embodiment, the guide body side engaging portion 13 and the main body side engaging portion 18 are provided on both side surfaces, but the guide pulley 10 has the guide body side engaging portion 13 and the main body side. The engaging portion 18 may be provided only on one side surface. Further, the shapes of the guide body side engaging portion 13 and the main body side engaging portion 18 are not limited to the above-described embodiment, and can be of various shapes as long as they can be engaged with each other. can do. The positions where the guide body side engaging portion 13 and the main body side engaging portion 18 are provided can also be appropriately changed. Further, the pair of guide body side engaging portions 13 and the main body side engaging portion 18 formed on one side surface are formed on the other side surface, and the pair of guide body side engaging portions 13 and the main body side engaging portion 18 are formed on the other side surface. It may be a combination of different shapes. Further, in the present embodiment, one guide body side engaging portion 13 and one main body side engaging portion 18 are provided on each of both side surfaces of the guide body 11, but the guide body side engaging portion 13 and the main body side engaging portion are provided. A plurality of 18 may be provided on each of both side surfaces of the guide body 11.

本実施形態では、ワイヤソー３０として固定砥粒方式のワイヤを用いるものを例示したが、本発明のガイドプーリ１０やワイヤソー３０は、遊離砥粒方式のワイヤを用いるものであっても良い。かかる場合は、ワイヤ３として、例えば、ブラスメッキ等した鋼線を用い、加工液としてダイヤモンドやシリコンカーバイド等の砥粒がオイル等に混合されたスラリーを用いれば良い。 In the present embodiment, a wire saw 30 using a fixed-abrasive wire is exemplified, but the guide pulley 10 and the wire saw 30 of the present invention may use a free-abrasive wire. In such a case, for example, a steel wire plated with brass may be used as the wire 3, and a slurry in which abrasive grains such as diamond and silicon carbide are mixed with oil or the like may be used as the processing liquid.

本実施形態では、複数枚のウエハを切り出すマルチワイヤソーを例示したが、ガイドプーリ１０が、一本切りのシングルワイヤソーに適用されるものでも良い。また、ワイヤ３の線速も１５００ｍ／分以上のものだけではなく、これより低速のものであっても良い。また、ワークローラ３３ａ，３３ｂは、２本だけではなく、３本以上のものであっても良い。ワイヤソー３０は、被加工物２や保持テーブル３５が複数設けられたものであっても良い。また、本実施形態では、ワークローラ３３ａ，３３ｂが揺動するものとしたが、ワークローラ３３ａ，３３ｂが、揺動しないものであっても良い。また、ワークローラ３３ａ，３３ｂの揺動に代えて、被加工物２が揺動するものや両者が揺動するものであっても良い。また、被加工物２は、上方からワイヤ列３４に押し付けるものだけでなく、側方や下方から被加工物２をワイヤ列３４に押し付けるものであっても良い。 In the present embodiment, a multi-wire saw that cuts out a plurality of wafers has been illustrated, but the guide pulley 10 may be applied to a single-cut single wire saw. Further, the wire speed of the wire 3 is not limited to 1500 m / min or more, but may be lower than this. Further, the work rollers 33a and 33b may be not only two but also three or more. The wire saw 30 may be provided with a plurality of workpieces 2 and holding tables 35. Further, in the present embodiment, the work rollers 33a and 33b are assumed to swing, but the work rollers 33a and 33b may not swing. Further, instead of the swing of the work rollers 33a and 33b, the work piece 2 may swing or both may swing. Further, the workpiece 2 may not only be pressed against the wire row 34 from above, but may also be pressed against the wire row 34 from the side or below.

また、本実施形態では、ワイヤ３の線速は１５００ｍ／分以上としたが、線速は、被加工物２の種類や切断する厚み、ワイヤ３の太さ等に応じて適宜変更することができ、線速が例えば１５００ｍ／分未満のものであっても良い。なお、固定砥粒方式のワイヤソーにガイドプーリ１０を用いる場合は、線速を２５００ｍ／分程度に高めて使用すると良い。これにより、被加工物２の切断速度や切断精度の向上が期待できる。また、上述の実施形態では、ワークローラ３３ａ，３３ｂの揺動角度を回転軸心に対して±３〜±３５°としたが、本発明はこれに限定されるものではなく、揺動角度は、被加工物２の種類や切断する厚み、ワイヤ３の太さ等に応じて適宜変更することができる。 Further, in the present embodiment, the linear velocity of the wire 3 is 1500 m / min or more, but the linear velocity may be appropriately changed according to the type of the workpiece 2, the thickness to be cut, the thickness of the wire 3, and the like. The line speed may be less than 1500 m / min, for example. When the guide pulley 10 is used for the fixed abrasive grain type wire saw, it is preferable to increase the linear velocity to about 2500 m / min. This can be expected to improve the cutting speed and cutting accuracy of the workpiece 2. Further, in the above-described embodiment, the swing angles of the work rollers 33a and 33b are set to ± 3 to ± 35 ° with respect to the rotation axis, but the present invention is not limited to this, and the swing angle is not limited to this. , It can be appropriately changed according to the type of the workpiece 2, the thickness to be cut, the thickness of the wire 3, and the like.

また、ワイヤソー３０に設けられるガイドプーリ１０の数は任意のものであり、レイアウトに応じて、適宜の数量とすることができる。また、トラバースプーリ２５やテンションプーリ２６ａ，２６ｂにも、本発明のガイドプーリ１０と同様の構造を採用することができる。また、ガイドプーリ１０やガイド体１１の外径も各種の径のものを採用することができる。また、ガイド体１１の材質も熱可塑性ゴムや熱可塑性樹脂だけでなく、熱硬化性樹脂やセラミックス、炭素繊維強化樹脂等の各種の素材を採用することができる。 Further, the number of guide pulleys 10 provided on the wire saw 30 is arbitrary, and can be an appropriate number depending on the layout. Further, the traverse pulley 25 and the tension pulleys 26a and 26b can also have the same structure as the guide pulley 10 of the present invention. Further, as the outer diameter of the guide pulley 10 and the guide body 11, various diameters can be adopted. Further, as the material of the guide body 11, not only thermoplastic rubber and thermoplastic resin but also various materials such as thermosetting resin, ceramics, and carbon fiber reinforced resin can be adopted.

本実施形態では、ガイド体側係合部１３と本体側係合部１８との間に隙間を形成することを例示したが、隙間がないものとしても良い。また、当該隙間の大きさは、適宜変更することができる。 In the present embodiment, it is illustrated that a gap is formed between the guide body side engaging portion 13 and the main body side engaging portion 18, but there may be no gap. In addition, the size of the gap can be changed as appropriate.

なお、本発明は上述した実施形態や変形例において例示したものに限定されるものではなく、特許請求の範囲を逸脱しない範囲でその教示及び精神から他の実施形態があり得ることは当業者に容易に理解できよう。 It should be noted that the present invention is not limited to those illustrated in the above-described embodiments and modifications, and it is possible to those skilled in the art that there may be other embodiments from the teaching and spirit within the scope of the claims. It will be easy to understand.

本発明のガイドプーリは、各種のワイヤを所定方向に案内する巻線機やワイヤソーなどに利用することが可能である。本発明のワイヤソーは、サファイア、シリコンカーバイド、ガリウムヒ素やタンタル酸リチウム等の化合物半導体、シリコン、水晶等各種の被加工物の切断に利用することが可能である。 The guide pulley of the present invention can be used for a winding machine, a wire saw, or the like that guides various wires in a predetermined direction. The wire saw of the present invention can be used for cutting various workpieces such as sapphire, silicon carbide, compound semiconductors such as gallium arsenide and lithium tantalate, silicon, and crystal.

２：被加工物
３：ワイヤ
１０：ガイドプーリ
１１：ガイド体
１２：案内溝
１３：ガイド体側係合部
１３ａ：内周側壁面
１５：プーリ本体
１６：ベース部
１７：保持部
１８：本体側係合部
１８ａ：内周側壁面
１８ｂ：中間部
１９：蓋体
３０：ワイヤソー
３１：供給リール
３２：回収リール
３３ａ：ワークローラ
３３ｂ：ワークローラ
３４：ワイヤ列
３５：保持テーブル 2: Work piece 3: Wire 10: Guide pulley 11: Guide body 12: Guide groove 13: Guide body side engaging part 13a: Inner peripheral side wall surface 15: Pulley body 16: Base part 17: Holding part 18: Body side engagement Joint part 18a: Inner peripheral side wall surface 18b: Intermediate part 19: Cover body 30: Wire saw 31: Supply reel 32: Recovery reel 33a: Work roller 33b: Work roller 34: Wire row 35: Holding table

Claims

It is a guide pulley that guides the running of the wire.
A pulley body that can rotate around a predetermined axial position,
It has a guide body attached to the outer peripheral side of the pulley body and around which the wire is wound.
A guide groove for guiding the wire is provided on the outer peripheral portion of the guide body.
A guide body side engaging portion is provided on at least one side surface of the guide body.
The pulley body has a body-side engaging portion that engages with the guide body-side engaging portion.
A guide pulley characterized in that the displacement of the guide body to the outside in the radial direction with respect to the pulley body is restricted by engaging the guide body side engaging portion and the main body side engaging portion.

The guide pulley according to claim 1, wherein a wall surface facing the rotation center side of the main body side engaging portion and a wall surface of the guide body side engaging portion facing the wall surface are engaged with each other.

The main body side engaging portion
The guide pulley according to claim 1 or 2, wherein the guide pulley is formed between an intermediate portion between the outer peripheral end and the inner peripheral end of the guide body and the bottom portion of the guide groove.

The guide pulley according to any one of claims 1 to 3, wherein the guide body is held by being sandwiched between the pulley bodies from both sides.

The guide pulley according to any one of claims 1 to 4, wherein the guide body is made of either a thermoplastic rubber or a thermoplastic resin.

The guide pulley according to any one of claims 1 to 5, wherein the pulley main body is formed on an extension line of the guide groove.

The guide pulley according to any one of claims 1 to 6 is provided.
A wire saw characterized in that the work piece is cut by pressing the wire against the work piece.