JP2021170495A5 - - Google Patents
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Description
本実施形態で用いる金属繊維シートにおける金属繊維の金属成分及び第２の金属成分は特に限定されないが、いずれも、銅をはじめとして、ステンレス、鉄、アルミニウム、青銅、黄銅、ニッケル、クロム等、複数の金属の合金等、任意の金属を用いることができる。
アンテナ固定枠１４は、高周波アンテナ１１、保護板１２及び強度補強板１３の側面を囲む枠本体部１４１と、該枠本体部１４１から強度補強板１３の高周波アンテナ１１とは反対側の表面にせり出して該表面の一部を覆うせり出し部１４２とを有する。強度補強板１３側を上側とすると、アンテナ固定枠１４は強度補強板１３に垂直な断面において逆Ｌ字形の形状を呈している。枠本体部１４１には上面から下面に貫く孔が設けられており、この孔に挿通されたボルトによって、アンテナ固定枠１４は、開口部２１３の周囲にある真空容器２１の壁（上壁）２１１に固定されている。壁（上壁）２１１の上面の枠本体部１４１よりも内側には気密保持部１５が配置されており、積層体１１０はせり出し部１４２と気密保持部１５に上下を挟まれた状態で固定されている。気密保持部１５は、枠状部材１５１の上面にシール材（Ｏリング）１５２が、下面にシール材（Ｏリング）１５３が、それぞれ設けられたものである。上面のシール材１５２は保護板１２に押さえつけられ、下面のシール材１５３は壁（上壁）２１１に押さえつけられる。
本実施形態のプラズマ処理装置１では、高周波アンテナ１１及び保護板１２に加えて強度補強板１３を用い、高周波アンテナ１１と保護板１２、及び高周波アンテナ１１と強度補強板１３を密着させて一体化させることにより、開口部２１３を気密に閉鎖する蓋の機械的強度を高くすることができる。それに伴い、強度補強板１３が無い場合よりも保護板１２の強度が弱いことが許容されるため、保護板１２を薄く（例えば強度補強板１３よりも薄く）することができる。これにより、高周波アンテナ１１によって保護板１２を通して真空容器２１の内部空間２１２に生成される高周波電磁界の強度を高くすることができる。
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