JP2021167051A - 研磨用キャリア及びこの研磨用キャリアの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】被研磨物としてのディスク状被研磨物の外周面にスクラッチ（研磨の際に生ずる引っ掻き傷）が発生しない、好ましくは金属と樹脂とから成る積層体の被研磨物保持用キャリアを得ること及び該キャリアを正確かつ簡単に製造することができること。【解決手段】被研磨物用収納透孔を有するシート状基材と、このシート状基材の両面に積層状態に一体的に設けられた上下一組の合成樹脂シートから成る被研磨物保持用キャリアであって、前記被研磨物用収納透孔には、前記シート状基材の材質に比して硬度が低い材質の前記合成樹脂シートの一部を液状にした後に硬化することによって生じた樹脂製緩衝実体部を加工手段によって形成された被研磨物用環状緩衝保持部が一体的に設けられている、被研磨物保持用キャリア。【選択図】図１

Description

本発明は アルミニウム、ガラス、セラミックス等からなるディスク状被研磨物を保持することができる研磨用キャリア及びこの研磨用キャリアの製造方法に関する。

平面研磨装置を使用してアルミニウムやガラス、セラミックス等からなるディスク状被研磨物（ワーク）を研磨加工する際には、該被研磨物（ワーク）を保持するために、この技術分野の当業者に称されている「薄い板状のキャリア」が使用されている。普通一般にキャリアは金属や樹脂からなる薄い円板状体で、被研磨物（ワーク）を保持するための複数の貫通状のワーク保持穴を有すると共に、平面研磨装置の太陽歯車及び内歯歯車と噛合する係合歯を外周に備えている。そして、普通一般に、キャリアはガラス繊維をエポキシ樹脂で固めた繊維強化プラスチックにより形成され、各ワーク保持穴内にキャリアの肉厚よりもやや厚めの被研磨物（ワーク）を嵌合状態で保持するようになっている。

当業者に周知であるように、キャリアは、強化用繊維として折れ易いガラス繊維を使用していたため、該ガラス繊維が毛羽立った状態でワーク保持穴の周側壁から突出し、そのために、研磨の際、被研磨物（ワーク）の外周面に掻き傷を付け易いという欠点があった。

そこで、特許文献１の請求項１及び図３には、「ワークを研磨加工する平面研磨装置においてワークの保持に使用されるキャリヤであって、強化用繊維をプラスチックで固めた繊維強化プラスチックにより形成され、少なくとも中層部に、強化用繊維としてポリエステル繊維等の柔軟性ある繊維が配設されていることを特徴とする平面研磨装置用キャリヤ」が記載されている。そして、発明の詳細な説明の欄の段落００１６には、前記平面研磨装置用キャリアの製造方法が、次のように記載されている。………中層部１４に使用するのに適した強化用繊維（例えばポリエステル繊維）からなるシートに液状エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を含浸させた複数の中層用含浸シート１４ａの上下両面に、外層部１３に使用するのに適した強化用繊維（例えばガラス繊維）からなるシートに同様に熱硬化性樹脂を含浸させてなる複数の外層用含浸シート１３ａを重合し、これらの重合体を、剥離フィルム１６、変形防止用の金属板１７、緩衝用のクッション１８を介して両側から熱板１９，１９による熱プレスを施すことにより一体成形したあと、所要の形状に裁断してキャリヤ１０に仕上げるものである。これにより、ワーク外周面に掻き傷を付けることのない繊維強化プラスチック製の平面研磨装置用キャリアを提供することができる（符号は特許文献１のもの）。

この特許文献１に記載の平面研磨装置用キャリアは、薄い円盤状の被研磨物の外周面の略中央部にスクラッチ（研磨の際に生ずる引っ掻き傷）が発生しないという利点を有するものの、前記被研磨物の外周面が半径外方向に凸状に面取りされた被研磨物には相応しいが、例えば薄い円盤状の被研磨物の外周面が略垂直状態の場合には、必ずしも有効ではないという問題点がある。
次に、特許文献２の両面研磨用キャリアは、「薄肉状の被研磨物の両面研磨に使用する両面研磨用キャリアにおいて、被研磨物収納孔を有する、金属からなるキャリア本体と、上記キャリア本体の被研磨物収納孔の内周面に融着固定して形成した、樹脂材からなる被研磨物保持部とからなり、この被研磨物保持部に形成した被研磨物保持用孔に被研磨物を保持するようにしたこと（請求項１）」と、「上記被研磨物保持部は、被研磨物収納孔に樹脂材を注入して被研磨物収納孔の内周面に融着させ、その樹脂材を加圧成形して樹脂層を形成し、その樹脂層に被研磨物保持用孔を開けて形成すること（請求項２）」である。

この特許文献２の両面研磨用キャリアを理解するために、発明の詳細な説明の欄の段落００１６を参照にすると、「そして、この被研磨物保持部７２は、被研磨物収納孔７１に樹脂材を注入して被研磨物収納孔７１の内周面に融着させ、その樹脂材を加圧成形して被研磨物収納孔７１の全面に樹脂層を形成し、その樹脂層に被研磨物保持用孔７３を開けて形成されている。なお、被研磨物保持部７２を形成する樹脂材には、例えばポリイミド、ポリアミド、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリアセタール、エポキシ、ポリカーボネート、ペットボトル材などが使用される。また、被研磨物収納孔７１に注入する樹脂材の量は、被研磨物収納孔７１の全体を埋めるだけの量とする」と記載されている。

したがって、例えば特許文献２の図３に記載されている樹脂材から成るリング状の被研磨物保持部７２は、図示しないレーザー、超音波等の加工手段を、前記被研磨物収納孔７１に注入した樹脂材に照射することにより所要の大きさの開口を形成し、然る後に、円盤状の被加工物を弾性的に保持することができる環状の緩衝部材を、前記金属板の円形状の被研磨物収納孔７１に一体的に残した（環状の緩衝部材の外周面が被研磨物収納孔７１の内周面全体に融着した状態のもの）と理解することができる。この特許文献２の両面研磨用キャリアは、いわば実体部分に相当する注入樹脂材に、後からレーザー等の加工手段により、開口部を形成することにより、リング状の緩衝部材７２を形成する方式と言える。

しかしながら、この特許文献２は、リング状の緩衝部材７２を備えている点で、研磨の際、被研磨物（ワーク）の外周面に掻き傷を付け難いという利点を有するものの、キャリアは、基材としての金属板と、この金属板のワーク収納孔７１に融着固定された被研磨物保持部７２とから成るので、キャリア自体の弾性力が欠けるという問題点がある。

また、この特許文献２には、少なくとも１つ以上の被研磨物用収納透孔を有する所定形状のシート状基材を含む積層体から所望形状の「研磨用キャリア素板（積層体）」から「積層体仮キャリア（中間品）」を、簡単かつ正確に切抜く方法は記載されていない。なお、特許文献２の段落００１８〜段落００２０には、キャリア１を簡単に形成することができる、加工時間の短縮化によりコストの低減化を図ることができる、被研磨物保持部７２の耐久性を大幅に向上させることができる等の利点が記載されているものの、本発明の如く、研磨用キャリア素板（積層体）からどのような構成又は方法で、「積層体仮キャリア（中間品）」を得るのか記載され、示唆されていない（符号は特許文献２のもの）。

次に特許文献３は、特許文献２の発明の課題を前提として、「被研磨物を保持するための保持穴が設けられた研磨用キャリアプレートであって、金属板、および、前記金属板の両面に圧着された樹脂付基材からなり、外周にギヤが形成された円形を有し、前記金属板には少なくとも１つの保持穴が形成され、前記保持穴の内周に環状の部材から形成された環状緩衝部材が取り付けられており、前記樹脂付基材には、前記環状の緩衝部材の内径と同径の貫通穴が設けられており、前記環状の緩衝部材は２枚の前記樹脂付基材と圧着固定されていることにより、前記保持穴内に固定されていること」が記載されている。特に、特許文献３の段落００２３を中心として図２〜図５を参照にすると、この特許文献３の研磨用キャリアは、環状の樹脂緩衝部材を芯部に相当する金属板の保持穴３に嵌め込み、その後に、前記保持穴３の内径よりも小さい内径の貫通穴６を有する樹脂付基材５を、前記金属板の下面と上面に重ね、然る後に、上面と下面に位置する前記樹脂付基材５の小さい内径の貫通穴６を半径外方向に形成（加工）することにより、ワークを保持することができる環状緩衝部材４は、上下２枚の前記樹脂付基材にサンドイッチ状に圧着固定されているものと理解することができる。

この特許文献３は、本発明と同様に金属と樹脂から成る積層体を対象とするものであり、該積層体にワーク保持用環状緩衝部材４を設けるものであるが、前記ワーク保持用環状緩衝部材４完成前に、図２の（ａ）と（ｂ）で示すように、一枚又は二枚の樹脂基材から環状の樹脂積層体を切抜き、一方、図４の（ａ）と（ｂ）で示すように、芯材となる金属板の両面に重ねる上下の樹脂付基材５に環状緩衝部材４よりも小径の貫通孔６を形成し、前記環状緩衝部材４を前記上下の樹脂付基材５でサンドイッチ状に挟持するために、予め環状の樹脂積層体を金属板の保持穴に一体的に嵌合させ、次に、上下の樹脂付基材５でサンドイッチ状に挟持し、さらに、前記環状緩衝部材４と上下の樹脂付基材５の両方を圧着固定し、然る後に、ワークの外径寸法と一致するまで、前記上下の樹脂付基材５の小径の貫通孔６を半径外方向に拡大する点で、製造方法が非常に複雑である。

この特許文献３のキャリアの製造方法は、特許文献２の「実体部分に相当する注入樹脂材に、後からレーザー等の加工手段により、開口部を形成することにより、リング状の緩衝部材７２を形成する方式」とは全く異なるものと言える。

付言すると、樹脂製複合材からリング状の被研磨物保持部を大雑把に切抜きし、その後、非積層体の金属板２の被研磨物収納孔の内周面に前記リング状の被研磨物保持部４を強制的に嵌合し、この嵌合後に、前記被研磨物保持部７２の内径をディスク状被研磨物（ワーク）の外径寸法と一致するように前記非積層体の金属板２と前記リング状の被研磨物保持部４を、レーザー等の加工手段で半径外方向に内径を拡大する方法であるから、最終目的のリング状の被研磨物保持部の製造が面倒である、時間がかかる等の問題点がある。なお、特許文献３にも、本発明の如く、研磨用キャリア素板（積層体）からどのような方法で、「積層体仮キャリア（中間品）」を得るのか記載され、示唆されていない（符号は特許文献３のもの）。また特許文献４の図５には、両頭平面研磨盤の一例が斜視図で記載されている。なお、特許文献１及びこの明細書に於いて、「キャリヤ」と「キャリア」の用語は同義とする。

特開平６−３０４８５９号公報 特開２００１−１０５３０３号公報 特開２０１９−１８８５２９号公報 特開２０１９−３４３５７号公報

本発明の主たる課題は、被研磨物としてのディスク状被研磨物の外周面にスクラッチ（研磨の際に生ずる引っ掻き傷）が発生しない、好ましくは金属と樹脂とから成る積層体の被研磨物保持用キャリアを簡単に製造することである。また本発明の付随的課題は、被研磨物を研磨加工する平面研磨装置において、好ましくは金属と樹脂とから成る積層体の研磨用キャリア素板から被研磨物の保持に使用される所望形状の積層体仮キャリアを、簡単かつ正確に切り出すことができる被研磨物保持用キャリアの製造方法を提供することである。

本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は次の説明を添付図面と照らし合わせて読むと、より完全に明らかになるであろう。ただし、図面はもっぱら解説のためのものであって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。

本発明の被研磨物保持用キャリアは、被研磨物用収納透孔を有するシート状基材と、このシート状基材の両面に積層状態に一体的に設けられた上下一組の合成樹脂シートから成る被研磨物保持用キャリアであって、前記被研磨物用収納透孔には、前記シート状基材の材質に比して硬度が低い材質の前記合成樹脂シートの一部を液状にした後に硬化することによって生じた樹脂製緩衝実体部を加工手段によって開口形成された被研磨物用環状緩衝保持部が一体的に設けられていることを特徴とする（第１の発明）。

また本発明の被研磨物保持用キャリアは、被研磨物用収納透孔を有するシート状基材と、このシート状基材の両面に積層状態に一体的に設けられた上下一組の合成樹脂シートから成る被研磨物保持用キャリアであって、前記被研磨物用収納透孔には、前記シート状基材の材質に比して硬度が低い材質の液状緩衝材を注入した後に該液状緩衝材を硬化することによって生じた樹脂製緩衝実体部を加工手段によって開口形成された被研磨物用環状緩衝保持部が一体的に設けられていることを特徴とする（第２の発明）。

また本発明の被研磨物保持用キャリアの製造方法は、シート状基材と、このシート状基材の両面に積層状態に一体的に設けられた上下一組の合成樹脂シートから成る被研磨物保持用キャリアの製造方法であって、被研磨物用収納透孔を有する前記シート状基材と、このシート状基材の両面に前記被研磨物用収納透孔を被覆する被研磨物用収納透孔を有しない合成樹脂シートを重ねるシート重合工程と、前記上下に位置する合成樹脂シートの少なくとも前記シート状基材の前記被研磨物用収納透孔に対応する部位を、液状化手段を介して液状化させることにより、該被研磨物用収納透孔に液状化した前記合成樹脂シートの緩衝材を充填する緩衝材充填工程と、前記被研磨物用収納透孔に充填した緩衝材を、冷却又は加熱手段のいずれかを介して硬化させることにより、前記被研磨物用収納透孔の内周面と一体の樹脂製緩衝実体部を生成する樹脂製緩衝実体部生成工程と、前記樹脂製緩衝実体部を加工手段によって前記被研磨物用収納透孔の内周面と一体の被研磨物用環状緩衝保持部を開口形成する被研磨物用環状緩衝保持部形成工程とを含むことを特徴とする（第３の発明）。

さらに、また本発明の被研磨物保持用キャリアの製造方法は、シート状基材と、このシート状基材の両面に積層状態に一体的に設けられた上下一組の合成樹脂シートから成る被研磨物保持用キャリアの製造方法であって、被研磨物用収納透孔を有する前記シート状基材と、このシート状基材の両面に前記被研磨物用収納透孔を被覆する被研磨物用収納透孔を有しない合成樹脂シートを重ねるシート重合工程と、前記シート状基材の前記被研磨物用収納透孔に該シート状基材の材質に比して硬度が低い材質の液状緩衝材を注入する緩衝材注入工程と、前記被研磨物用収納透孔に注入した緩衝材を冷却又は加熱手段のいずれかを介して硬化させることにより、前記被研磨物用収納透孔の内周面と一体の樹脂製緩衝実体部を生成する樹脂製緩衝実体部生成工程と、前記樹脂製緩衝実体部を加工手段によって前記被研磨物用収納透孔の内周面と一体の被研磨物用環状緩衝保持部を開口形成する被研磨物用環状緩衝保持部形成工程とを含むことを特徴とする（第４の発明）。

上記構成に於いて、好ましくは、積層体を構成するシート状基材は、薄い金属板（硬質材）であり、この薄い金属板の上面と下面に該薄い金属板よりも軟質の合成樹脂シートが重ねされていることを特徴とする。

そして、前記第１乃至第４の各発明に於いて、研磨用キャリア素板の実体部分に、該研磨用キャリア素板から係合歯形成前の積層体仮キャリアを切抜く場合の位置特定情報としての基準印が設けられ、この基準印の上方又は下方のいずれかには位置検出手段が配設され、該位置検出手段が検出した前記基準印の位置情報は、切抜き制御部に送信され、該切抜き制御部は、記憶部に記録されている被研磨物に関する情報と前記基準印の位置情報を演算処理して前記積層体仮キャリアを加工機の移動を制御して形成することを特徴とする。

本発明の各独立請求項（第１乃至第４の各発明）は、被研磨物としてのディスク状被研磨物の外周面にスクラッチ（研磨の際に生ずる引っ掻き傷）が発生しない、好ましくは金属と樹脂とから成る積層体の被研磨物保持用キャリアを簡単に製造することができる。特に、製造方法の発明では、被研磨物を研磨加工する平面研磨装置において、好ましくは金属と樹脂とから成る積層体の研磨用キャリア素板から被研磨物の保持に使用される所望形状の積層体仮キャリアを、簡単かつ正確に切り出すことができる。

図１乃至図１０は本発明の第１実施形態のキャリアＸ２とその製造方法を示す各説明図。図１１及び図１２は本発明の第２実施形態のキャリアＸ２Ａとその製造方法を示す各説明図。図１３は基準印を別の箇所に設けた実施形態の説明図。
研磨用キャリア素板Ｘ、積層体仮キャリアＸ１（中間品）、キャリアＸ２（最終商品）を平面視から示す説明図。 キャリアＸ２の平面視からの説明図。 一つの環状緩衝保持部６を含む図２の３−３線拡大断面図。 一つの基準印を含む図２の４−４線拡大断面図。なお、Ｐ１、Ｐ２等は貫通してなくても良い。 要部（環状緩衝保持部及びその製造工程）を示す概略説明図。 第１実施形態のキャリアＸ２の製造方法を示す工程図。 キャリア素板に対する位置検出手段の配設位置を示す概略説明図。 切抜き制御部のシステムを示すブロック図。 制御部がキャリア素板の中心を求める場合の一例を示す説明図（第２実施形態の製造方法も同様）。 制御部がキャリア素板の中心を求める場合の他の例を示す説明図（第２実施形態の製造方法も同様）。 第２実施形態のキャリアＸ２Ａの製造方法を示す工程図。 図５と同様の説明図。 基準印をキャリア素板の積層体仮キャリアＸ１の実体部分の外側に複数個設けた実施形態を示す平面視からの説明図。

この明細書では、「研磨用キャリア素板Ｘ」と、この研磨用キャリア素板から切り出された「積層体仮キャリアＸ１」と、この積層体仮キャリアの外周縁部に平面研磨装置の内歯歯車と噛合する係合歯が連続形成された「キャリアＸ２」の各用語が出てくる。

前記研磨用キャリア素板Ｘは、最終商品としての被研磨物保持用のキャリアＸ２を製造するために用いられる。最終商品のキャリアは、周知のように、例えば一つ以上の被研磨物Ｗ用保持穴（例えば５個）を有する略真円形状又は多角形の平板状積層体の外周縁部に、平面研磨装置の内歯歯車と噛合する係合歯９が連続形成されている。これが被研磨物保持用キャリアＸ２であり、特許請求の範囲の請求項１及び請求項２に記載されている物の発明である。

一方、前記積層体仮キャリアＸ１は、研磨用キャリア素板Ｘから切り抜かれた円形又は多角形、あるいは又幾何学形状の切抜き部分である。したがって、この段階では、その外周縁部に平面研磨装置の内歯歯車と噛合する係合歯９が形成されている訳ではない。もちろん、理論的には、研磨用キャリア素板から直接最終商品のキャリアを製造することも可能ではあるが、実施形態では、所定形状（例えば方形、矩形、円形など）の積層体から係合歯を有しない所定形状（例えば円形、多角形など）の積層体仮キャリアＸ１を適当な加工手段を用いて切り出される。

加工手段を用いて切り出された積層体仮キャリアＸ１は、製造業者が直接又は譲受人が間接的に適当な歯車形成機を用いて、その外周縁部に係合歯９を形成することにより、最終商品としての被研磨物保持用のキャリアＸ２が出来上がる。

図１は、研磨用キャリア素板Ｘと、この研磨用キャリア素板Ｘ（積層体）から加工手段を用いて切り抜かれた積層体仮キャリアＸ１（中間品）と、この積層体仮キャリアの外周縁部に連続する係合歯９を有する被研磨物保持用キャリアＸ２（最終商品）を平面視から概略的に示す。なお、図１の研磨用キャリア素板Ｘの符号３は被研磨物用収納透孔であり、実施形態ではプリプレグ１ｂでカバーされているので、仮想線で示す。

まず、研磨用キャリア素板Ｘについて説明する。この研磨用キャリア素板Ｘは、金属製のシート状基材１ａ及びこのシート状基材の両面に垂直方向に積層状態に設けられた上下一組の合成樹脂シート１ｂ、１ｂと、少なくとも前記合成樹脂シート１ｂ又は前記シート状基材１ａのいずれか一方に設けられ、かつ、該積層体の一側面と略直交する上方又は下方のいずれかの位置に配設された位置検出手段１０（図７参照）で検出可能な単数又は複数個の基準印Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３…Ｐｎを有する。実施形態の積層体は、好ましくは金属と樹脂から成り、剛質機能及び弾性変形復帰機能の両方を有する。なお、前記金属製のシート状基材１ａにのみに、単数又は複数個の基準印Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３…Ｐｎを設けた場合には、前記シート状基材１ａの外層部に相当する合成樹脂シート１ｂの材質は、前記位置検出手段１０が前記基準印Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３…Ｐｎの情報を取得することができるように透明又は半透明であることが望ましい。

また、前記合成樹脂シート１ｂにのみに、単数又は複数個の基準印を設ける場合に於いて、例えば前記位置検出手段１０が上方に配設された場合には、シート状基材１ａの上面に位置する合成樹脂シートにのみに基準印を設けても良い。また前記位置検出手段１０は適当なＣＣＤカメラ、ＣＭＯＳカメラ等が使用されるが、これらのカメラは単数又は複数であっても良い。例えばＣＣＤカメラが単数の場合には、研磨用キャリア素板Ｘの異なる部位に所定間隔離間して複数個の基準印（例えばキャリアの研磨剤通過ｏｒ透過用貫通小孔よりも小さな小孔や印）Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３…Ｐｎが設けられているので、該ＣＣＤカメラはカメラ用搬送手段を構成する可動アームを介して移動可能である。

前記積層体のシート状基材１ａには、後述するように、予め一つ以上の被研磨物用収納透孔３が形成されている。実施形態では、合計５個の被研磨物用収納透孔３が周方向に所定ピッチで形成されている。キャリアＸ２（最終商品）は中心孔２と研磨剤通過用貫通孔４と係合歯９を有するが、前記中心孔２と研磨剤通過用貫通孔４と係合歯９は、研磨用キャリア素板Ｘ及び積層体仮キャリアＸ１（中間品）には存在しない。

付言すると、実施形態の積層体仮キャリアＸ１（中間品）には、例えば合計５個の被研磨物用収納透孔３と、この被研磨物用収納透孔３の内周面に圧着及び切抜き加工により一体的に形成された環状緩衝保持部６と、複数個の基準印（例えば合計３個の小孔）Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３が設けられている。

しかして、前記シート状基材１ａの被研磨物用収納透孔３の各内周面には、前記シート状基材１ａの材質に比して硬度が低い材質の被研磨物用環状緩衝保持部６が一体的に設けられている。前記環状緩衝保持部６は、前記積層体の一部を構成する合成樹脂シート１ｂの前記被研磨物用収納透孔３に対応する部位を、液状化乃至硬化することにより生じた樹脂製緩衝実体部（第１実施形態）７に対して、加工手段１１によって開口形成される。それ故に、商品化されたキャリアＸ２は、平面研磨装置にセットされ、前記環状緩衝保持部６の内周面でディスク状の被研磨物を保持することができる。

〈物と方法の第１実施形態〉
まず、図１乃至図６を参照にして、第１実施形態の研磨用キャリアＸ２（以下、「キャリアＸ２」といい）の構成と、このキャリアＸ２の製造方法を説明する。
図２はキャリアＸ２の平面視、図３は一つの環状緩衝保持部６を含む図２の３−３線拡大断面図、図４は一つの基準印を含む図２の４−４線拡大断面図である。なお、前記図３は一つの環状緩衝保持部６の内周面の上縁および下縁は、図面上「角」に描いているが、多少アール（弧状）であっても良い。

これらの図に於いて、２は略真円形状のキャリアＸ２の中心に形成された貫通状の中心孔、３は前記中心孔２の同心円上に所定のピッチを有して形成された複数個（例えば５個）の被研磨物用収納透孔、４は複数個の被研磨物Ｗ用収納透孔３の間の適宜部位に形成された複数個の研磨剤通過用貫通孔である。

Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３が積層体を上下方向に貫通する複数個の基準印である。複数個の基準印Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３は、例えば図１で示すように、積層体の研磨用キャリア素板Ｘから係合歯形成前の積層体仮キャリア１を切抜く場合を想定した場合に、該積層体仮キャリア１の「一つ」以上の被研磨物用収納透孔３を除いた実体部分に設けられている。

付言すると、複数個の基準印は、研磨用キャリア素板Ｘから切り抜かれる対象部位に設けられている。もちろん、複数個の基準印の位置は、この第１実施形態に限定されるものではないから、後述する図１３で示すように前記実体部分の外側の適宜部位に形成しても良い。また複数個の基準印Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３…Ｐｎは、必ずしも貫通状の小孔である必要ではなく、黒点、黒丸、×、コード類等の検出可能な印であっても良い。実施形態では、容易に理解するために貫通孔Ｐ１（Ｐ２、Ｐ３）で図示している（例えば図４参照）。

６は各被研磨物用収納透孔３の内周面にそれぞれ一体的に設けられた環状緩衝保持部である。この環状緩衝保持部６はシート状基材１ａの材質に比して硬度が低い材質である。
前記環状緩衝保持部６は、後述するように、合成樹脂シートの前述した被研磨物用収納透孔３に対応する部位（例えばプリプレグの少なくとも一部）を埋めることにより生じた樹脂製緩衝実体部７が形成され、この樹脂製緩衝実体部７に対して、加工手段（例えばレーザーを噴射する加工手段、サンドブラストを噴射する加工手段など）１１によって形成され、該樹脂製緩衝実体部７の内孔が、いわゆるキャリアの被研磨物用の保持穴８となる。

図５は、合成樹脂シート１ｂのシート状基材１ａの被研磨物用収納透孔３に対応する部位（少なくともプリプレグの一部）を埋めることにより生じた樹脂製緩衝実体部７の概略説明図である。この図５では、積層体の構造体を構成するプリプレグ１ｂの少なくとも一部が、液状化手段（例えば加熱手段）を介して所定の温度で溶けて被研磨物用収納透孔３に流れ込んだ、或いは落ち込んだ（樹脂が液状化した状態）、被研磨物用収納透孔３に流れ込んだ樹脂が冷却又は加熱手段のいずれかを介して所定以上の高温となり、その結果、樹脂製緩衝実体部７となった状態（埋め込み状態）及びその後に加工手段を介してキャリアの被研磨物用の保持穴８が形成された状態を概念的に示している。

すなわち、第１実施形態の樹脂製緩衝実体部７は、温度如何により、加熱前に材質自体により形態保持力を有し、温度条件によっては、個体状態から液体状態に、液体状態から個体状態になる樹脂材の性質を利用したもので、前記被研磨物用収納透孔３に前記プリプレグ１ｂの略全体又は一部、本実施形態では、少なくとも上方に位置するプリプレグ１ｂの一部を、液体状態に溶かすことにより、該被研磨物用収納透孔３の一部又は略全部を略均一状態に充填した後、所要時間（例えば３０分）静置状態にし、その後、水平加熱板を有する加熱装置を介して所定以上の高温（例えば１５０度）を与えることにより、液状化した樹脂が再び硬化する方法が採用されている。そして、前述したように、前記樹脂製緩衝実体部７に対して、加工手段１１を利用して、いわゆるキャリアの被研磨物用の保持穴８を形成する。

なお、シート状基材１ａの上方と下方に位置する合成樹脂シート１ｂを利用して樹脂製緩衝実体部７を形成する場合には、上方に位置する合成樹脂シート１ｂの肉厚と、シート状基材１ａの下方に位置する合成樹脂シート１ｂの肉厚は等しいことが望ましい。もちろん、前記肉厚は適宜に設計変更し得る事項である。

ここで、図３を参照にして研磨用キャリアＸ２の材質について説明する。図３に於いて、１ａは金属製のシート状基材である。金属は、重くて硬く、耐食性・耐熱性にすぐれた金属、例えばチタン、ステンレス鋼、ＫＨ鋼、ＳＫＤ鋼、ＳＵＪ鋼等が用いられている。付言すると、外部層の合成樹脂シート１ｂよりも硬質な芯材にするのであれば、金属製のシート状基材１ａは、少なくとも、その一側表面にセラミックスコーティングを施した金属製のもの、表面に金属メッキを被覆したＳＫ鋼製のもの、セラミックス粒子を溶着した後、その上にＤＬＣ薄膜（ダイヤモンド・ライク・カーボンの薄膜）を被覆したもの、金属製板の表面に強化繊維としてのポリエステル繊維を薄膜状に形成したもの等が適宜に用いられている。であるから、本実施形態ではその材質を特に限定するものではない。

次に１ｂは合成樹脂シートである。合成樹脂シートは、好ましくはプリプレグが用いられる。ここで「プリプレグ」の概念について簡単に説明すると、一般的・平均的な通常の当業者には、例えばシート状の基材に熱硬化性樹脂ワニスを含浸させ、かつ乾燥させて、該樹脂を半硬化状態にしたもの、と理解されている。

したがって、本実施形態の合成樹脂シート１ｂも、いわゆる半硬化状態（Ｂステージ）のものであり、シート状基材１ａよりも柔軟性があるもので、加熱プレスで所定以上の温度で加熱するＣステージ（完全硬化）前は、常温で、それ自体形態保持力を有し、例えば強化繊維（ポリエステル繊維、アラミド繊維等の強化繊維を主としたもの）、複数枚の熱硬化性樹脂を含浸させたガラス繊維（ガラス繊維を主としたもの、或いは複合繊維）、ガラス繊維をエポキシ樹脂で固めた繊維強化プラスチック等で適宜形状に形成されている。この合成樹脂シート１ｂは、前述したように、半硬化状態（Ｂステージ）から液状（Ａステージ）にもなる。

以上の説明から明らかなように、第１実施形態の研磨用キャリアＸ２は、被研磨物用収納透孔３を有する、好ましくは金属製のシート状基材１ａと、この金属製のシート状基材の両面に積層状態に一体的に設けられた上下一組の合成樹脂シート１ｂとから成る被研磨物保持用キャリアであって、前記被研磨物用収納透孔３には、前記シート状基材１ａの材質に比して硬度が低い材質の前記合成樹脂シート１ｂの一部を液状にした後に硬化することによって生じた樹脂製緩衝実体部７を加工手段によって開口形成された被研磨物用環状緩衝保持部６が一体的に設けられている。

次に、図６はキャリアＸ２の第１の製造方法Ｙである。この第１の製造方法Ｙに説明に当たって、前述した研磨用キャリアＸ２の説明に用いた符号はそのまま援用し、重複する説明を割愛する。

図６に於いて、符号ＹはキャリアＸ２の製造方法をブロック図で概略的に示したものである。このキャリアＸ２の製造方法Ｙは、好ましくは金属製のシート状基材１ａと、この金属製のシート状基材の両面に積層状態に一体的に設けられた上下一組の合成樹脂シート１ｂ、１ｂとから成る積層体の被研磨物保持用キャリアを製造することを前提とする。前記シート状基材１ａと合成樹脂シート１ｂ、１ｂの材質は前述した通りである。

しかして、Ａはシート重合工程で、このシート重合工程Ａでは、被研磨物用収納透孔３を有する好ましくは金属製のシート状基材１ａと、この金属製のシート状基材の両面に前記被研磨物用収納透孔３に符合する第２の被研磨物用収納透孔を有しない合成樹脂シート１ｂ、１ｂを重ねる。このシート重合工程Ａでは、加熱及び加圧することができる加熱プレス機が工場内の適宜箇所に設置され、該加熱プレス機の上方に位置する加熱板と下方に位置する加熱板１６の間にシート状基材１ａ及び合成樹脂シート１ｂ、１ｂがセットされる。加熱板１６は上下方向及び左右方向に移動可能である。

また上方と下方に位置する前記合成樹脂シート１ｂの略全部又は一部を液状化することができる液状化手段としての加熱装置の液状化手段（加熱板）１５を加熱プレス機の近傍に配設する。上方の液状化手段（加熱板）１５も加熱板１６と同様に上下及び左右方向に移動可能である。

次に、Ｂは緩衝材充填工程で、この緩衝材充填工程Ｂでは、前記上方に位置する合成樹脂シート１ｂの少なくとも前記シート状基材１ａの前記被研磨物用収納透孔３に対応する部位を、液状化手段１５（図５参照）を介して液状化させることにより、該被研磨物用収納透孔３に液状化（流動化も含む）した前記合成樹脂シート１ｂの緩衝材を充填する。この実施形態では、前記緩衝材は、予め被研磨物用収納透孔３に液状化した緩衝材を、管、光媒体等を介して注入するのではなく、シート状基材１ａの上方と下方に重ねられた合成樹脂シート１ｂ自体の素材の一部を利用する。

次に、Ｃは樹脂製緩衝実体部生成工程で、この樹脂製緩衝実体部生成工程Ｃでは、前記被研磨物用収納透孔３に充填した緩衝材を、加熱手段の上下一組の加熱体１６、１６（例えば加熱プレス機の上方に位置する加熱板と下方に位置する加熱板）を介して硬化させることにより、前記被研磨物用収納透孔の内周面と一体の樹脂製緩衝実体部７を生成する。なお、この樹脂製緩衝実体部生成工程Ｃは、上下の合成樹脂シート１ｂ、１ｂをその熱硬化性樹脂の性質を利用してシート状基材１ａに一体的に積層する工程を兼用している。

次に、Ｄは被研磨物用環状緩衝保持部形成工程で、この被研磨物用環状緩衝保持部形成工程では、前記樹脂製緩衝実体部７を加工手段によって前記被研磨物用収納透孔３の内周面と一体の被研磨物用環状緩衝保持部６を開口形成する。これにより、被研磨物を保持する保持穴８ができる。

ところで、本発明の製造方法の第１実施形態では、上記Ａ乃至Ｄの各工程を含む被研磨物保持用キャリアの製造方法であって、前述した研磨用キャリア素板Ｘの実体部分に、該研磨用キャリア素板から係合歯形成前の積層体仮キャリアＸ１を切抜く場合の位置特定情報としての基準印Ｐ１が、少なくとも一つ以上設けられ、この基準印の上方又は下方のいずれかには位置検出手段１０が配設されている。

そして、該位置検出手段１０が検出した前記基準印の位置情報は、図８で示すように、入力部１９を介して切抜き制御部２０に送信され、該切抜き制御部２０は、記憶部２１に記録されている被研磨物に関する情報２２と前記基準印の位置情報Ｐ１を演算処理し、そして、該切抜き制御部２０は、この演算情報に基づいて出力部２３を介して前記積層体仮キャリアＸ１用の切抜き加工機３０等の移動を制御する。

なお、符号２４は、位置検出手段１０が基準印の位置に一致しているか否かを見る座標情報を示す表示部で、例えば液晶画面が用いられている。また特に図示しないが、実施形態の切抜き制御部２０は、キャリアを製造するために必要な駆動装置（位置情報検出手段、切抜き加工機等）を適宜に制御する。

図７は、研磨用キャリア素板Ｘから積層体仮キャリアＸ１を切抜く前に、例えば研磨用キャリア素板Ｘの上方に配設した一台の位置検出手段１０（例えばＣＣＤカメラ）を下向きに位置付けた状態を示す（ＣＣＤカメラの実践が第１の停止位置、ＣＣＤカメラの仮想線が移動後に停止した位置）。

前記基準印が、Ｐ１乃至Ｐ３であると仮定した場合、これらの基準印Ｐ１乃至Ｐ３は、少なくとも前記位置検出手段の第１停止位置で取得することができる第１の位置情報（Ｐ１）と、前記位置検出手段が前記第１の停止位置から空間を移動した後に停止した位置で取得することができる第２位置情報（Ｐ２）と、この第２位置情報の停止位置から空間を移動した後に停止した位置で取得することができる第３位置情報（Ｐ３）である。

これらの位置情報Ｐ１、Ｐ２及びＰ３は、有線又は無線で切抜き制御部２０に送信されると、演算処理機能を有する該切抜き制御部２０は、例えば図９で示すように、各位置情報Ｐ１、Ｐ２及びＰ３をそれぞれ基準にして真円形状を求める演算をして各円の中心点を決定する。切抜き制御部２０は、この各円の中心点からの所定距離、移動方向等により、切抜き対象の積層体仮キャリアの形状及び大きさを特定することができる。

ところで、前記記憶部に記録されている積層体仮キャリアに関する情報は、加工対象である研磨用キャリア素板の識別情報（ａ０００１）、形状情報（ｂ００１０）、半径情報（ｃ０１００）、Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、…Ｐｎに関するマトリックス座標情報、加工履歴等であり、前記形状情報、半径情報等の情報は、前記研磨用キャリア素板の識別情報に紐づけされている。

また、図１０は切抜き制御部２０がキャリア素板Ｘの中心を求める場合の他の例を示す説明図で、この場合には、切抜き制御部２０は、各位置情報Ｐ１、Ｐ２（二点間）をそれぞれ基準にして真円形状を求める、又は一方の位置情報Ｐ１を軸として他方の位置情報Ｐ２を求めて各円の中心点を決定する等の演算をする。

しかして、切抜き制御部２０は、研磨用キャリア素板Ｘの中心点（キャリアＸ２の中心孔２に相当する位置）、積層体仮キャリアの外形寸法及び加工形状を決定したならば、切抜き加工機３０の移動を制御する。切抜き加工機３０は、例えば積層体仮キャリアが真円形状ならば、真円の軌道を描く。

〈物と方法の第２実施形態〉
次に、図１１及び図１２を参照にして、第２実施形態の研磨用キャリアＸ２Ａ（以下、「キャリアＸ２Ａ」といい）の構成と、このキャリアＸ２Ａの第２の製造方法Ｙ１を説明する。

図１１は、図６と同様に第２実施形態のキャリアＸ２Ａの第２の製造方法Ｙ１を示す工程図である。また図１２は図１１の要部（緩衝材注入工程Ｂ１、樹脂製緩衝実体部生成工程Ｃ１）の説明図である。なお、第２の製造方法で得られるキャリアＸ２Ａは、第１の製造方法Ｙで得られるキャリアＸ２と全く同一なので、第２実施形態のキャリアＸ２Ａには第１実施形態のそれと同様の符号を付す。それ故に、第２実施形態のキャリアＸ２Ａの平面視、断面図等は、図２、図３及び図４をそのまま援用する。第２実施形態は樹脂製緩衝実体部７Ａの製造過程が異なる。したがって、同一の構成部分には同一の符号を付して重複する説明を割愛する。

第２実施形態の研磨用キャリアＸ２Ａは、被研磨物用収納透孔３を有するシート状基材１ａと、このシート状基材の両面に積層状態に一体的に設けられた上下一組の合成樹脂シート１ｂ、１ｂとから成る被研磨物保持用キャリアである。前記被研磨物用収納透孔３には、前記シート状基材１ａの材質に比して硬度が低い材質の液状緩衝材を注入した後に該液状緩衝材を硬化することによって生じた樹脂製緩衝実体部７Ａを加工手段によって形成された被研磨物用環状緩衝保持部６Ａが一体的に設けられている（図１２を参照）。

したがって、図１１及び図１２で示すように、キャリアＸ２Ａの製造方法Ｙ１は、好ましくは金属製のシート状基材１ａと、この金属製のシート状基材の両面に積層状態に一体的に設けられた上下一組の合成樹脂シート１ｂ、１ｂとから成る被研磨物保持用キャリアの製造方法Ｙ１に於いて、被研磨物用収納透孔３を有する前記シート状基材１ａと、このシート状基材の両面に前記被研磨物用収納透孔３に符合する第２の被研磨物用収納透孔を有しない合成樹脂シート１ｂ、１ｂを重ねるシート重合工程Ａと、前記シート状基材の前記被研磨物用収納透孔３に該シート状基材１ａの材質に比して硬度が低い材質の液状緩衝材ｂを注入する緩衝材注入工程Ｂ１と、前記被研磨物用収納透孔３に注入した緩衝材ｂを、冷却又は加熱手段のいずれかを介して硬化させることにより、前記被研磨物用収納透孔３の内周面と一体の樹脂製緩衝実体部７Ａを生成する樹脂製緩衝実体部生成工程Ｃ１と、前記樹脂製緩衝実体部７Ａを加工手段によって前記被研磨物用収納透孔の内周面と一体の被研磨物用環状緩衝保持部６Ａを開口形成する被研磨物用環状緩衝保持部形成工程Ｄとを含む。以下、その余の行程は、第１実施形態の製造方法と同一なので、第１製造方法の説明を援用する。

最後に、図１３は基準印Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３…Ｐｎをキャリア素板Ｘの積層体仮キャリアＸ１の実体部分の外側に複数個（例えば３個）設けた実施形態を示す平面視からの説明図である。この図１３は、研磨用キャリア素板Ｘに基準印を設ける場合、その箇所は切抜き対象である積層体仮キャリアＸ１の実体部分ではなく、その外側に多数設けても良い旨を示したものである。キャリア素板Ｘの切抜き対象である積層体仮キャリアＸ１の実体部分ではなく、その外側に多数の基準印Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３…Ｐｎを設けた場合には、単純な円形又は四角形以外に、六角形、八角形、達磨形状、瓢箪形状など所望の積層体仮キャリアＸ１をキャリア素板Ｘから得ることが可能となる。

本発明は、金属と樹脂からなる積層体に樹脂製緩衝実体部（７、７Ａ）を設け、この樹脂製緩衝実体部に環状緩衝保持部６を形成する点で、単一層のみである金属板のワーク収納孔に樹脂材を注入して該ワーク収納孔の内周面に樹脂製緩衝実体部を設け、この樹脂製緩衝実体部に環状緩衝保持部を開口形成する特許文献２（特開２００１−１０５３０３号公報）とは相違する。また前記特許文献２に対して、本発明は、キャリアの製造方法に於いて、研磨用キャリア素板の実体部分に、該研磨用キャリア素板から係合歯形成前の積層体仮キャリアを切抜く場合の位置特定情報としての基準印が設けられ、この基準印の上方又は下方のいずれかには位置検出手段が配設された点が相違する。したがって、本明細書では、特に特許文献２との相違点を詳細に説明した。

また本発明のキャリア及びその製造方法は特許文献３（特開２０１９−１８８５２９号公報）のキャリア及びその製造方法とは相違する。特に、第１実施形態は、「被研磨物用収納透孔には、シート状基材の材質に比して硬度が低い材質の前記合成樹脂シートの一部を液状にした後に硬化することによって生じた樹脂製緩衝実体部を加工手段によって開口形成された被研磨物用環状緩衝保持部が一体的に設けられている点」が相違する。

さらに、実施形態では、基準印Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３…Ｐｎをキャリア素板Ｘの積層体仮キャリアＸ１の実体部分に又は実体部分の外側に複数個（例えば３個）設けた製造方法について言及したが、前記基準印Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３…Ｐｎが増えるにしたがって、複雑な形状のキャリアを得ることができる。

なお、本発明の各実施形態の説明に当たって、周知技術の説明を割愛している。例えば普通一般に積層体１ａ、１ｂ、１ｂを、加熱プレスを用いて一体的に積層する場合には、合成樹脂シート１ｂ、１ｂの各表面に上下一組の剥離フィルムと変形防止用の金属板を配設した状態で、前記積層体１ａ、１ｂ、１ｂを上下の熱板を加圧・加熱する。加圧・加熱後には、前記上下一組の剥離フィルムを剥離する。また、積層時に生じた材料端部の不要に部分をカットする。

本発明は、アルミニウム、ガラス、セラミックス等からなるディスク状被研磨物を保持することができる研磨用キャリア及びこの研磨用キャリアの製造方法の技術分野で利用することができる。

Ｘ…キャリア素板、
Ｘ１…積層体仮キャリア（中間品）、
Ｘ２、Ｘ２Ａ…キャリア（最終商品）、
Ｙ１…キャリアＸ２の製造方法、
Ｙ２…キャリアＸ２Ａの製造方法、
Ｗ…被研磨物、
Ａ…シート重合工程、
Ｂ…緩衝材充填工程、
Ｂ１…緩衝材注入工程、
Ｃ、Ｃ１…樹脂製緩衝実体部生成工程（積層工程）、
Ｄ…被研磨物用環状緩衝保持部形成工程、
Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、…Ｐｎ…基準印、
１ａ…シート状基材、
１ｂ…プリプレグ、
２…中心孔、
３…被研磨物用収納透孔、
４…研磨剤通過用貫通孔、
６、６Ａ…環状緩衝保持部、
７、７Ａ…樹脂製緩衝実体部、
８…被研磨物用の保持穴、
９…係合歯、
１０…位置検出手段、
１１…加工手段、
１５…液状化手段、
１６…上下一組の加熱体、
２０…切抜き制御部、
２１…記憶部、
２２…被研磨物に関する情報、
２３…出力部、
２４…表示部、
３０…切抜き加工機。

Claims (7)

1. 被研磨物用収納透孔を有するシート状基材と、このシート状基材の両面に積層状態に一体的に設けられた上下一組の合成樹脂シートから成る被研磨物保持用キャリアであって、
   前記被研磨物用収納透孔には、前記シート状基材の材質に比して硬度が低い材質の前記合成樹脂シートの一部を液状にした後に硬化することによって生じた樹脂製緩衝実体部を加工手段によって開口形成された被研磨物用環状緩衝保持部が一体的に設けられている、被研磨物保持用キャリア。
2. 被研磨物用収納透孔を有するシート状基材と、このシート状基材の両面に積層状態に一体的に設けられた上下一組の合成樹脂シートから成る被研磨物保持用キャリアであって、
   前記被研磨物用収納透孔には、前記シート状基材の材質に比して硬度が低い材質の液状緩衝材を注入した後に該液状緩衝材を硬化することによって生じた樹脂製緩衝実体部を加工手段によって開口形成された被研磨物用環状緩衝保持部が一体的に設けられている、被研磨物保持用キャリア。
3. シート状基材と、このシート状基材の両面に積層状態に一体的に設けられた上下一組の合成樹脂シートから成る被研磨物保持用キャリアの製造方法であって、
   被研磨物用収納透孔を有する前記シート状基材と、このシート状基材の両面に前記被研磨物用収納透孔を被覆する被研磨物用収納透孔を有しない合成樹脂シートを重ねるシート重合工程と、前記上下に位置する合成樹脂シートの少なくとも前記シート状基材の前記被研磨物用収納透孔に対応する部位を、液状化手段を介して液状化させることにより、該被研磨物用収納透孔に液状化した前記合成樹脂シートの緩衝材を充填する緩衝材充填工程と、前記被研磨物用収納透孔に充填した緩衝材を、冷却又は加熱手段のいずれかを介して硬化させることにより、前記被研磨物用収納透孔の内周面と一体の樹脂製緩衝実体部を生成する樹脂製緩衝実体部生成工程と、前記樹脂製緩衝実体部を加工手段によって前記被研磨物用収納透孔の内周面と一体の被研磨物用環状緩衝保持部を開口形成する被研磨物用環状緩衝保持部形成工程とを含む被研磨物保持用キャリアの製造方法。
4. シート状基材と、このシート状基材の両面に積層状態に一体的に設けられた上下一組の合成樹脂シートから成る被研磨物保持用キャリアの製造方法であって、
   被研磨物用収納透孔を有する前記シート状基材と、このシート状基材の両面に前記被研磨物用収納透孔を被覆する被研磨物用収納透孔を有しない合成樹脂シートを重ねるシート重合工程と、前記シート状基材の前記被研磨物用収納透孔に該シート状基材の材質に比して硬度が低い材質の液状緩衝材を注入する緩衝材注入工程と、
   前記被研磨物用収納透孔に注入した緩衝材を冷却又は加熱手段のいずれかを介して硬化させることにより、前記被研磨物用収納透孔の内周面と一体の樹脂製緩衝実体部を生成する樹脂製緩衝実体部生成工程と、前記樹脂製緩衝実体部を加工手段によって前記被研磨物用収納透孔の内周面と一体の被研磨物用環状緩衝保持部を開口形成する被研磨物用環状緩衝保持部形成工程とを含む被研磨物保持用キャリアの製造方法。
5. 請求項１乃至請求項４に記載のいずれかの被研磨物保持用キャリアの製造方法に於いて、研磨用キャリア素板の実体部分に、該研磨用キャリア素板から係合歯形成前の積層体仮キャリアを切抜く場合の位置特定情報としての基準印が設けられ、この基準印の上方又は下方のいずれかには位置検出手段が配設され、該位置検出手段が検出した前記基準印の位置情報は、切抜き制御部に送信され、該切抜き制御部は、記憶部に記録されている被研磨物に関する情報と前記基準印の位置情報を演算処理して前記積層体仮キャリアを加工機の移動を制御して形成することを特徴とする被研磨物保持用キャリアの製造方法。
6. 請求項５に記載の被研磨物保持用キャリアの製造方法に於いて、前記基準印は、前記積層体を上下方向に貫通する小孔であることを特徴とする被研磨物保持用キャリアの製造方法。
7. 請求項５に記載の被研磨物保持用キャリアの製造方法に於いて、前記基準印は複数個であり、これらの基準印は、少なくとも前記位置検出手段の第１停止位置で取得することができる第１の位置情報（Ｐ１）と、前記位置検出手段が前記第１の停止位置から空間を移動した後に停止した位置で取得することができる第２位置情報（Ｐ２）であることを特徴とする被研磨物保持用キャリアの製造方法。

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