JP2021166221A - 加工装置および被加工物の加工方法 - Google Patents

加工装置および被加工物の加工方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2021166221A
JP2021166221A JP2020068300A JP2020068300A JP2021166221A JP 2021166221 A JP2021166221 A JP 2021166221A JP 2020068300 A JP2020068300 A JP 2020068300A JP 2020068300 A JP2020068300 A JP 2020068300A JP 2021166221 A JP2021166221 A JP 2021166221A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cutting
door
cutting blade
blade
axis direction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2020068300A
Other languages
English (en)
Inventor
義勝 添島
Yoshikatsu Soejima
記一 佐藤
Norikazu Sato
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Disco Corp
Original Assignee
Disco Abrasive Systems Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Disco Abrasive Systems Ltd filed Critical Disco Abrasive Systems Ltd
Priority to JP2020068300A priority Critical patent/JP2021166221A/ja
Publication of JP2021166221A publication Critical patent/JP2021166221A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Dicing (AREA)

Abstract

【課題】加工室の壁をより効果的に洗浄することが可能な加工装置および被加工物の加工方法を提供する。【解決手段】加工装置は、切削ブレードと、切削ブレードを回転可能に保持しY軸方向に延在するスピンドルと、スピンドルをY軸方向に割り出し送りする割り出し送りユニットと、切削ブレードの少なくとも一部を覆うブレードカバーと、ブレードカバーに設置され、切削ブレードに切削水を供給する切削水供給ノズルと、スピンドルからX軸方向に離間し切削ブレードの回転に巻き込まれた切削水が飛散する方向に位置する開閉可能な扉と、制御ユニットと、を備える。【選択図】図3

Description

本発明は、加工装置および被加工物の加工方法に関する。
被加工物に切削や研削等の加工を施す加工装置が公知である。特許文献1から4には、加工室内に洗浄ノズルを設ける態様、ワイパーを設けてワークの裏面の水を拭き取る態様、加工室のカバーを閉めてワイパーの水を絞る態様、および、回転する研削ホイールから飛散する水で加工室の壁を洗浄する態様などの種々の態様が開示されている。
特開2016−55408号公報 特開2013−110235号公報 特開2013−201181号公報 特開2015−36162号公報
加工室の壁は、切削水や異物等が付着するため、より効果的に洗浄することが求められる。即ち、前述した特許文献4では、回転する研削ホイールから飛散する水で加工室の壁を洗浄しているが、さらなる工夫が必要であった。
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、加工室の壁をより効果的に洗浄することが可能な加工装置および被加工物の加工方法を提供することである。
前述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルをX軸方向に加工送りする加工送りユニットと、該保持テーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードと、該切削ブレードを回転可能に保持しX軸方向と直交するY軸方向に延在するスピンドルと、該スピンドルをY軸方向に割り出し送りする割り出し送りユニットと、該切削ブレードの少なくとも一部を覆うブレードカバーと、該ブレードカバーに設置され、該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給ノズルと、該スピンドルからX軸方向に離間し該切削ブレードの回転に巻き込まれた切削水が飛散する方向に位置する開閉可能な扉と、制御ユニットと、を備え、該制御ユニットは、該被加工物を加工していない状態で、該切削ブレードを該扉に向かう方向に回転させ、該切削ブレードを回転させた状態で該切削ブレードに切削水を供給し、該スピンドルを割り出し送り方向および高さ方向の少なくともいずれかに移動させながら、該切削水を該扉に当てることによって該扉を洗浄する。
本発明に係る被加工物の加工方法は、前記加工装置を用いた被加工物の加工方法であって、該保持テーブルに保持された被加工物を切削する切削ステップと、該切削ステップの実施後に、該切削ブレードを被加工物から離間させ、該切削ブレードを洗浄対象となる該扉に向かう方向へ回転させた状態で該切削ブレードに該切削水を供給し、該スピンドルを割り出し送り方向および高さ方向の少なくともいずれかに移動させることで該切削水によって該扉を洗浄する洗浄ステップと、を備える。
本発明は、加工室の壁をより効果的に洗浄することが可能な加工装置および被加工物の加工方法を提供することができるという効果を奏する。
図1は、実施形態に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。 図2は、加工室を前方から見た正面図である。 図3は、切削ユニットおよび扉を示す斜視図であり、カバーは省略している。 図4は、ワイパーの分解斜視図である。 図5は、ブレードと扉との接触部分を上方から見た模式図である。 図6は、自動で洗浄を開始する場合における被加工物の加工方法を示すフローチャートである。 図7は、手動で洗浄を開始する場合における被加工物の加工方法を示すフローチャートである。
本発明を実施するための形態(実施形態)につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
〔実施形態〕
本発明の実施形態に係る加工装置を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。
実施形態に係る加工装置1は、被加工物の一例であるウエーハ200を切削(加工に相当する)する切削装置である。図1に示すように、加工装置1は、保持テーブル12に保持された板状ワークであるウエーハ200と一対の切削ユニット14とを相対的に移動させることによって、ウエーハ200を切削するように構成されている。ウエーハ200は、ダイシングテープ201を介してリングフレーム202に支持された状態で加工装置1に搬入される。ウエーハ200は、シリコン等の基板と、基板の表面に形成された絶縁膜とで構成されている。絶縁膜には複数の分割予定ラインが格子状に形成され、分割予定ラインによって区画された領域にはデバイス203が形成されている。つまり、ウエーハ200は、シリコン、サファイヤ、ガリウムヒ素、又はSiC(炭化ケイ素)等などを基板とする半導体ウエーハや光デバイスウェーハ等のウエーハである。デバイス203は、例えば、IC(Integrated Circuit)、又はLSI(Large Scale Integration)等の集積回路、CCD(Charge Coupled Device)、又はCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)等のイメージセンサである。
加工装置1の基台11上には、保持テーブル12をX軸方向に加工送りする加工送りユニット13が設けられている。加工送りユニット13は、基台11上に配置されたX軸方向に平行な一対のガイドレール31と、一対のガイドレール31にスライド可能に設置されたモータ駆動のX軸テーブル32と、を有している。X軸テーブル32の背面側には、図示しないナット部が形成され、このナット部にボールネジ33が螺合されている。そして、ボールネジ33の一端部に連結された駆動モータ34が回転駆動されることで、保持テーブル12が一対のガイドレール31に沿って、切削ユニット14の切削方向となるX軸方向に切削送りされる。なお、加工室100の下側には、保持テーブル12が通過可能な隙間が形成されている。
X軸テーブル32の上部には、被加工物であるウエーハ200を保持する保持テーブル12がZ軸回りに回転可能に設けられている。保持テーブル12には、ポーラスセラミック材により保持面(不図示)が形成されており、この保持面に生じる負圧によってウエーハ200が吸引保持される。保持テーブル12の周囲には、エア駆動式の4つのクランプ部22が設けられ、各クランプ部22によってウエーハ200の周囲のリングフレーム202が四方から挟持固定される。基台11の上面には、保持テーブル12の移動経路を跨ぐように立設した門型の立壁部81が設けられている。
立壁部81には、スピンドル71を含む切削ユニット14をY軸方向に割り出し送りする割り出し送りユニット15と、切削ユニット14をZ軸方向に切込み送りする切込み送り手段16とが設けられている。切込み送り手段16は、切削ユニット14を保持テーブル12の保持面に直交するZ軸方向に移動する移動手段として機能する。割り出し送りユニット15は、立壁部81の前面に配置されたY軸方向に平行な一対のガイドレール51と、一対のガイドレール51にスライド可能に設置された一対のY軸テーブル52とを有している。切込み送り手段16は、Y軸テーブル52上に配置されたZ軸方向に平行な一対のガイドレール61と、一対のガイドレール61にスライド可能に設置されたZ軸テーブル62とを有している。Z軸テーブル62の下部には、ウエーハ200を切削する切削ユニット14が設けられている。
Y軸テーブル52およびZ軸テーブル62の背面側には、それぞれナット部が形成され、これらナット部にボールネジ53、63が螺合されている。Y軸テーブル52用のボールネジ53、Z軸テーブル62用のボールネジ63の一端部には、それぞれ駆動モータ54、64が連結されている。これらの駆動モータ54、64により、それぞれのボールネジ53、63が回転駆動されることで、切削ユニット14がガイドレール51に沿ってX軸方向に直交するY軸方向に割り出し送りされ、切削ユニット14がガイドレール61に沿ってウエーハ200に接近および離反するZ軸方向に切込み送りされる。
切削ユニット14は、ハウジング70からY軸方向に延在したスピンドル71の先端に切削ブレード72を装着して構成される。スピンドル71は、切削ブレード72を回転可能に保持する。ハウジング70には、スピンドル71が回転可能に支持される。スピンドル71は、モータ(不図示)によって回転する。また、ハウジング70の先端側には、ブレードカバー73が設けられている。ブレードカバー73は、切削ブレード72を囲繞するが、切削ブレード72がウエーハ200に切込む領域は露出されている。換言すると、ブレードカバー73は、切削ブレード72の少なくとも一部を覆う。
また、立壁部81の前方には、加工室100が設けられている。加工室100の下側には、保持テーブル12が通過可能な隙間が設けられる。加工室100においては、保持テーブル12に保持されたウエーハ200に対して切削加工が施される。加工室100は、少なくとも保持テーブル12および切削ユニット14を収容する箱状体で構成される。換言すると、図1では、立壁部81の前面に、基台11の上面から離間する位置に設けられた加工室100を模式的に示している。しかしながら、加工室100の構成については、これに限定されるものではなく、X軸テーブル32、Y軸テーブル52およびZ軸テーブル62の移動を制限しないことを条件として任意の構成を採用することができる。
加工室100の前面には、左右一対の扉101が設けられている。扉101は、透明であり、例えば樹脂で形成される。なお、本発明では、扉101は透明に限定されず、透明でないものであってもよく、また、材質も樹脂以外であってもよい。扉101は、加工室100内の構成部品のメンテナンス等の際に開閉される。例えば、切削加工に伴って切削ブレード72が摩耗した場合、扉101を介して切削ブレード72が交換される。
扉101の近傍には、扉101の開閉を検知するセンサ102が設けられている。センサ102は、扉101が閉じられているときにオン状態(ON)となる一方、開いている時にオフ状態(OFF)となる。
制御ユニット210は、加工装置1の前述した構成要素をそれぞれ制御して、ウエーハ(被加工物)200に対する加工動作を加工装置1に実施させるものである。なお、制御ユニット210は、CPU(Central Processing Unit)のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ROM(Read Only Memory)又はRAM(Random Access Memory)のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット210の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、加工装置1を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して加工装置1の前述した構成要素に出力する。
図2は、加工室を前方から見た正面図である。図3は、切削ユニットおよび扉を示す斜視図であり、カバーは省略している。
図2に示すように、加工室100の前面には、カバー106が設けられ、カバー106の一部に開口部が形成され、この開口部を塞ぐように扉101が設けられる。また、カバー106の内側(カバー106に対してX軸方向の切削ユニット14側)には、図3に示すように、Z軸方向に延びる梁105が設けられている。図3では、カバー106を省略しているが、カバー106の開口部を塞ぐように扉101が設けられ、加工室100から切削水等が外部に漏れることがないように構成されている。また、例えば、2枚の扉101は、互いに離間する方向であるY軸方向にスライド移動可能に構成される。即ち、扉101の下方には、Y軸方向に沿ってレール104が延びており、扉101は動線となるレール104に沿ってスライドする。なお、扉101はスライド式に限定されない。例えば扉101の端部と加工室100の一部とをヒンジを介して結合し、扉101がヒンジを中心として上下または左右に開閉する、いわゆる観音開きにしてもよい。扉101の前面には、取手103が取り付けられており、オペレータが取手103を把持して扉101を左右にスライドさせることができる。梁105には、ワイパー300が固定されるが、ワイパー300の構成については後述する。
扉101に対してX軸方向に離間した位置に切削ユニット14が設けられる。切削ユニット14は、保持テーブル12に保持されたウエーハ200に対して、割り出し送りユニット15によりY軸方向に移動自在に設けられ、かつ、切込み送り手段16によりZ軸方向に移動自在に設けられている。切削ユニット14は、図1に示すように、割り出し送りユニット15および切込み送り手段16などを介して立壁部81に設けられている。切削ユニット14は、割り出し送りユニット15および切込み送り手段16により、保持テーブル12の保持面の任意の位置に切削ブレード72を位置付け可能となっている。
切削ユニット14は、図3に示すように、スピンドル71と、切削ブレード72と、ブレードカバー73と、を備える。スピンドル71は、図示しないモータにより軸心回りに回転可能に構成され、先端に切削ブレード72が装着される。
切削ブレード72は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。実施形態において、切削ブレード72は、図3に示すように、円環状の円形基台721と、円形基台721の外周縁部に配置されてウエーハ200を切削する円環状の切り刃722と、を備える所謂ハブブレードである。切り刃722は、ダイヤモンドやCBN(Cubic Boron Nitride)等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材(結合材)とからなり所定厚みに形成されている。切削ブレード72の切り刃722は、ウエーハ200を切削すると摩耗する。なお、本発明では、切削ブレード72は、切り刃722のみで構成された所謂ワッシャーブレードでもよい。
切削ユニット14の切削ブレード72およびスピンドル71の軸心Axは、Y軸方向と平行に設定されている。スピンドル23は、図示しないモータにより軸心Ax回りに回転することで、切削ブレード72を回転させる。ブレードカバー73は、切削ブレード72の少なくとも上方を覆う。ブレードカバー73は、ハウジング70(図1参照)の先端面に固定されている。また、ブレードカバー73は、シャワーノズル77と、一対の切削水供給ノズル74、75とを備える。シャワーノズル(切削水供給ノズル)77は、切削ブレード72の切り刃722の刃先とX軸方向に対面し、切削中に切削ブレード72の切り刃722の刃先に切削水を供給する。切削水供給ノズル74と切削水供給ノズル75とは、X軸方向と平行に延在し、互いにY軸方向に間隔をあけて配置されている。切削水供給ノズル74には、切削ブレード72側にX軸方向に沿って間隔をおいて切削水の噴出孔が複数設けられている。切削水供給ノズル75にも、切削ブレード72側にX軸方向に沿って間隔をおいて切削水の噴出孔が複数設けられている。切削水供給ノズル74と切削水供給ノズル75との間に、切削ブレード72の切り刃722の下端が位置する。これにより、切削中において、切削ブレード72の切り刃722の下端部に向けて、切削水供給ノズル74と切削水供給ノズル75とから切削水を供給する。
図3において、Y方向において切削ブレード72からスピンドル71に向かう向きで(図3での左側から右側に向かう向きで)切削ブレード72を見ると、図3の状態では、切削ブレード72は、反時計方向に回転している。この回転方向は、扉に向かう方向でもある。切削ブレード72に対して、シャワーノズル77および切削水供給ノズル74、75から切削水を供給しているため、切削ブレード72の回転によって切削ブレード72から切削水78を、扉101に向けて吹きかけて当てることができる。
図4は、ワイパーの分解斜視図である。図5は、ブレードと扉との接触部分を上方から見た模式図である。図4に示すように、ワイパー300は、ブレード310と、第1金具320と、第2金具330と、を備える。ブレード310は、例えばゴム等の弾性部材であり、三角柱の形状を有する。底面312は四角形であり、側面313は三角形である。側面313は、底面312から先端311までX軸方向(図4の上側)に向かうに従って先細りする二等辺三角形である。
第1金具320は、フランジ321、322と、縦壁323と、を備える。第1金具320は金属製である。フランジ321、322は、それぞれ四角形の金属板である。フランジ321では、Z軸方向の両端部に2つずつのボルト孔327が設けられる。フランジ322では、Z軸方向の両端部に2つずつのボルト孔327が設けられる。縦壁323は、フランジ321、322のY軸方向の端部で屈曲してX軸方向に延びる。縦壁323のX軸方向の端部は、上辺部324と切欠部325とを有する。切欠部325の位置は、上辺部324よりもX軸方向にフランジ321、322に近い。上辺部324には、ボルト孔326が設けられる。
第2金具330は、外枠部331と、保持面部334と、連結壁332と、を備える。外枠部331は、Z軸方向の両端部3331、3312と、X軸方向の端部3313と、からU字状に形成された平板である。保持面部334は、外枠部331よりもY軸方向に凹んでいる。つまり、保持面部334は、連結壁332を介して外枠部331に連結している。外枠部331には、ボルト孔326が設けられる。
次に、ワイパー300の組付手順を説明する。まず、ブレード310を保持面部334および連結壁332に当て、第1金具320の縦壁323と第2金具330の外枠部331とを押し当てることにより、ブレード310を第1金具320と第2金具330との間に挟む。その後に、ボルト孔326にボルト400を挿入して締結させることにより、ブレード310を第1金具320と第2金具330に組み付ける。さらにその後、図3に示す梁105に、第1金具320のフランジ321、322を押し当て、ボルト孔327にボルト400を挿入して締結させることにより、ワイパー300が梁105に固定される。
そして、図5に示すように、扉101は、X軸方向の一方側端部に位置する外壁110と、X軸方向の他方側端部に位置する内壁111と、を有する。通常時には、ブレード310は、二点鎖線で示すようにY軸方向に変形せずに先端311は内壁111に接している。詳細には、先端311は内壁111にX軸方向に押し当てられている。そして、扉101が矢印に示すようにY軸方向にスライドすると、ブレード310の先端311は実線で示すように、矢印の方向に弾性変形し、扉101を更にスライドさせると、内壁111に付着した切削水や異物がブレード310の先端311によって拭き取られる。
〔被加工物の加工方法(自動で洗浄を開始する場合)〕
次いで、自動で扉101の洗浄を開始する場合における被加工物の加工方法を説明する。図6は、自動で洗浄を開始する場合における被加工物の加工方法を示すフローチャートである。
被加工物の加工方法(自動で洗浄を開始する場合)は、図6に示すように、切削ステップ1001と、被加工物の搬出ステップ1002と、洗浄ステップ1003と、被加工物の搬入ステップ1004と、を含む。
(切削ステップ)
切削ステップ1001は、保持テーブル12の保持面に保持されたウエーハ(被加工物)200を切削するステップである。
ウエーハ200は、保持テーブル12の保持面に保持されている。そして、制御ユニット210が切削ユニット14を制御して、保持テーブル12と切削ユニット14の切削ブレード72とを相対的に移動させながらウエーハ200に切削ブレード72を切り込ませて切削溝を形成する。
(被加工物の搬出ステップ)
被加工物の搬出ステップ1002は、切削ステップ1001の終了後に、保持テーブル12の保持面に保持されたウエーハ200を加工室100から搬出させ、洗浄テーブルに移動させるステップである。
図1に示すように、加工室100の下側には、保持テーブル12が通過可能な隙間が設けられている。従って、制御ユニット210が加工送りユニット13を制御して、駆動モータ34が回転駆動されることで、保持テーブル12が一対のガイドレール31に沿って加工室100の外側に排出される。その後、制御ユニット210が搬送ユニットを制御して、保持テーブル12の保持面に保持されたウエーハ200を把持し、加工室100から搬出させたのち、洗浄テーブルまで搬送する。なお、カセットの内部に収容されたウエーハ200がなくなるまで、切削ステップ1001と被加工物の搬出ステップ1002とを繰り返す。
(洗浄ステップ)
洗浄ステップ1003は、切削ブレード72を洗浄対象となる扉101に向かう方向へ回転させた状態で切削ブレード72に切削水78を供給し、スピンドル71を割り出し送り方向(Y軸方向)および高さ方向(Z軸方向)の少なくともいずれか一方に移動させることで切削水78によって扉101を洗浄するステップである。
制御ユニット210が切削ユニット14を制御して、図3に示すように、切削ブレード72を保持テーブル12の保持面から高さ方向(Z軸方向)に離間させた状態で反時計方向に回転させる。切削ブレード72の回転方向は、前述したように、切削ブレード72からスピンドル71に向けたY軸方向から見て反時計方向である。制御ユニット210が切削ユニット14を制御して、切削ブレード72に対して、シャワーノズル77および切削水供給ノズル74、75から切削水を供給している。このため、切削ブレード72の回転によって切削ブレード72の下端部から切削水78を、扉101に向けて吹きかけて当てることによって扉101の内壁111が洗浄される。洗浄とは、内壁111に付着した切削水78および異物などを洗い流すことである。ここで、制御ユニット210が切削ユニット14を制御して、スピンドル71を含む切削ユニット14を割り出し送り方向(Y軸方向)または高さ方向(Z軸方向)に移動させながら、洗浄を行ってもよい。また、連続して切削水78を供給することもできるが、間欠的に供給することもできる。間欠的に供給することで切削水78の勢いが増し、洗浄力が向上するとともに節水できる。なお、切削ユニット14を割り出し送り方向(Y軸方向)で且つ高さ方向(Z軸方向)に移動させながら洗浄してもよい。また、洗浄ステップ1003は、1枚のウエーハ200を切削するごとに行ってもよいし、1つのカセットに収容される複数のウエーハ200の切削が完了したタイミング、つまりカセットごとに行ってもよい。
(被加工物の搬入ステップ)
被加工物の搬入ステップ1004は、洗浄ステップ1003が終了した後に、ウエーハ200加工室100の内部の保持テーブル12の保持面に保持するステップである。
制御ユニット210が搬送ユニットを制御して、図示しないカセットからウエーハ200を出し、加工送りユニット13により加工室100の外に位置づけられた保持テーブル12の保持面に保持する。次に、制御ユニット210が加工送りユニット13を制御して、保持テーブル12を加工室100の内部へ搬入させる。なお、その後、前述した切削ステップ1001を実行する。
〔被加工物の加工方法(手動で洗浄を開始する場合)〕
次に、手動で洗浄を開始する場合における被加工物の加工方法を説明する。図7は、手動で洗浄を開始する場合における被加工物の加工方法を示すフローチャートである。
被加工物の加工方法(手動で洗浄を開始する場合)は、図7に示すように、切削ステップ2001と、被加工物の搬出ステップ2002と、洗浄ステップ2003と、被加工物の搬入ステップ2004と、を含む。
(切削ステップ)
切削ステップ2001は、保持テーブル12の保持面に保持されたウエーハ(被加工物)200を切削するステップである。
ウエーハ200は、保持テーブル12の保持面に保持されている。そして、制御ユニット210が切削ユニット14を制御して、保持テーブル12と切削ユニット14の切削ブレード72とを相対的に移動させながらウエーハ200に切削ブレード72を切り込ませて切削溝を形成する。
(被加工物の搬出ステップ)
被加工物の搬出ステップ2002は、切削ステップ2001の終了後に、保持テーブル12の保持面に保持されたウエーハ200を加工室100から搬出させ、洗浄テーブルに移動させるステップである。
図1に示すように、加工室100の下側には、保持テーブル12が通過可能な隙間が設けられている。従って、制御ユニット210が加工送りユニット13を制御して、駆動モータ34が回転駆動されることで、保持テーブル12が一対のガイドレール31に沿って加工室100の外側に移動される。その後、制御ユニット210が搬送ユニットを制御して、保持テーブル12の保持面に保持されたウエーハ200を把持し、洗浄テーブルまで搬送する。なお、カセットに収容されたすべてのウエーハ200の加工が終了するまで、切削ステップ2001と被加工物の搬出ステップ2002とを繰り返す。
(洗浄ステップ)
洗浄ステップ2003は、切削ブレード72を洗浄対象となる扉101に向かう方向へ回転させた状態で切削ブレード72に切削水78を供給し、スピンドル71を割り出し送り方向(Y軸方向)または高さ方向(Z軸方向)に移動させることで切削水78によって扉101を洗浄するステップである。
洗浄ステップ1003は、自動で洗浄を行ったが、洗浄ステップ2003は、オペレータが手動で行う。具体的には、タッチパネルに表示される洗浄ボタンをオペレータが押す。すると、図3に示すように、切削ブレード72が保持テーブル12の保持面から高さ方向(Z軸方向)に離間させた状態で反時計方向に回転する。切削ブレード72の回転方向は、前述したように、切削ブレード72からスピンドル71に向けたY軸方向から見て反時計方向である。また、切削ブレード72に対して、シャワーノズル77および切削水供給ノズル74、75から切削水が供給されるとともに、切削ユニット14を割り出し送り方向(Y軸方向)または高さ方向(Z軸方向)に移動させながら、洗浄を行う。このため、切削ブレード72の回転によって切削ブレード72から切削水78を、扉101に向けて吹きかけて当てることによって扉101の内壁111が洗浄される。また、別のボタンをオペレータが押すことにより、切削ユニット14を割り出し送り方向(Y軸方向)または高さ方向(Z軸方向)に移動させながら、洗浄を行う仕様でもよい。なお、切削ユニット14を割り出し送り方向(Y軸方向)で且つ高さ方向(Z軸方向)に移動させながら洗浄してもよい。また、洗浄ステップ2003は、1枚のウエーハ200を切削するごとや1カセット内のウエーハ200の切削がすべて終了するタイミングでカセットごとに行ってもよい。さらに、例えば、切削ユニット14が稼働していない時などのオペレータが所望する時に洗浄ボタンをオペレータが押すことにより、洗浄を行ってもよい。
(被加工物の搬入ステップ)
被加工物の搬入ステップ2004は、洗浄ステップ1003が終了した後に、ウエーハ200加工室100の内部の保持テーブル12の保持面に保持するステップである。
まず、制御ユニット210が搬送ユニットを制御して、図示しないカセットからウエーハ200を出し、加工送りユニット13により加工室の外に移動された保持テーブル12の保持面に保持する。次に、制御ユニット210が加工送りユニット13を制御して、保持テーブル12を加工室100の内部へ搬入させる。なお、その後、前述した切削ステップ2001を実行する。
なお、洗浄ステップ2003の実施後には、ブレード拭き取りステップを追加することができる。ブレード拭き取りステップにおいては、図3に示すように、オペレータが取手103を把持して扉101を矢印に示すY軸方向にスライドさせる。これにより、図5に示すように、ブレード310の先端311は実線で示すように、矢印の方向に弾性変形し、内壁111に付着した切削水や異物がブレード310の先端311によって拭き取られる。
以上説明した加工装置1は、ウエーハ(被加工物)200を保持する保持テーブル12と、保持テーブル12をX軸方向に加工送りする加工送りユニット13と、保持テーブル12に保持されたウエーハ(被加工物)200を切削する切削ブレード72と、切削ブレード72を回転可能に保持しX軸方向と直交するY軸方向に延在するスピンドル71と、スピンドル71をY軸方向に割り出し送りする割り出し送りユニット15と、切削ブレード72の少なくとも一部を覆うブレードカバー73と、ブレードカバー73に設置され、切削ブレード72に切削水78を供給するシャワーノズル77および切削水供給ノズル74,75と、スピンドル71からX軸方向に離間し切削ブレード72の回転に巻き込まれた切削水78が飛散する方向に位置する開閉可能な扉101と、制御ユニット210と、を備える。制御ユニット210は、ウエーハ(被加工物)200を加工していない状態で、切削ブレード72を扉101に向かう方向に回転させ、切削ブレード72を回転させた状態で切削ブレード72に切削水78を供給し、スピンドル71を割り出し送り方向および高さ方向の少なくともいずれかに移動させながら、切削水78を扉101に当てることによって扉101を洗浄する。
このように、すでに切削ユニット14に設けられている切削ブレード72を回転させながら切削水78を扉101に当てることによって扉101を洗浄するため、加工室100の壁でもある扉101をより容易に洗浄することができる。特に、切削ユニット14を割り出し送り方向および高さ方向の少なくともいずれかに移動させながら洗浄を行うため、扉101の広い部分に切削水78を当てることによって扉101を効果的に洗浄することができる。また、異物が多く付着している部位に切削ユニット14を移動させて洗浄を行うことにより、汚れの部位に応じた洗浄を行うことができる。
また、扉101は、扉101が開閉するレール(動線)104上に位置し、扉101の内側には加工室100が設けられ、加工室100は、扉101の加工室100側に設けられた内壁111に接触するワイパー300を備え、扉101の開閉時にワイパー300によって内壁111に付着する切削水78や異物を除去する。
従って、内壁111に付着する切削水78の水滴や洗浄で除去しきれなかった汚れを、ワイパー300によって除去することが可能となる。なお、メンテナンス時に扉101を手動で開閉する動作を利用することで、動力を用いることなく、安価な機構でワイパー300による汚れ除去を行うことができる。
扉101の洗浄時には、切削水78を間欠的に供給してもよい。このため、連続して切削水78を供給する場合に対して、切削水78の使用量を少なくすることができる。
被加工物の加工方法は、保持テーブル12に保持されたウエーハ(被加工物)200を切削する切削ステップ10001,2001と、切削ステップ10001,2001の実施後に、切削ブレード72をウエーハ(被加工物)200から離間させ、切削ブレード72を洗浄対象となる扉101に向かう方向へ回転させた状態で該切削ブレードに切削水78を供給し、該スピンドルを割り出し送り方向および高さ方向の少なくともいずれかに移動させることで切削水78によって扉101を洗浄する洗浄ステップ1003,2003と、を備える。
このように、すでに切削ユニット14に設けられている切削ブレード72を回転させながら切削水78を扉101に当てることによって扉101を洗浄するため、加工室100の壁でもある扉101をより容易に洗浄することができる。特に、切削ユニット14を割り出し送り方向および高さ方向の少なくともいずれかに移動させながら洗浄を行うため、扉101の広い部分に切削水78を当てることによって扉101を効果的に洗浄することができる。また、扉101は加工室100内の様子を確認できるように透明になっていることが多いが、透明な扉101に切削屑が付着すると加工室100内の様子を確認できなくなっていた。本発明は、加工室100の扉101が透明な素材で形成されている場合に特に有効である。
1 加工装置
12 保持テーブル
13 加工送りユニット
15 割り出し送りユニット
71 スピンドル
72 切削ブレード
73 ブレードカバー
74、75 切削水供給ノズル
77 シャワーノズル(切削水供給ノズル)
78 切削水
100 加工室
101 扉
104 レール(動線)
111 内壁
200 ウエーハ(被加工物)
210 制御ユニット
300 ワイパー
1001,2001 切削ステップ
1002,2002 被加工物の搬出ステップ
1003,2003 洗浄ステップ
1004,2004 被加工物の搬入ステップ

Claims (4)

  1. 加工装置であって、
    被加工物を保持する保持テーブルと、
    該保持テーブルをX軸方向に加工送りする加工送りユニットと、
    該保持テーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードと、
    該切削ブレードを回転可能に保持しX軸方向と直交するY軸方向に延在するスピンドルと、
    該スピンドルをY軸方向に割り出し送りする割り出し送りユニットと、
    該切削ブレードの少なくとも一部を覆うブレードカバーと、
    該ブレードカバーに設置され、該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給ノズルと、
    該スピンドルからX軸方向に離間し該切削ブレードの回転に巻き込まれた切削水が飛散する方向に位置する開閉可能な扉と、
    制御ユニットと、を備え、
    該制御ユニットは、
    該被加工物を加工していない状態で、該切削ブレードを該扉に向かう方向に回転させ、該切削ブレードを回転させた状態で該切削ブレードに切削水を供給し、該スピンドルを割り出し送り方向および高さ方向の少なくともいずれかに移動させながら、該切削水を該扉に当てることによって該扉を洗浄する事を特徴とする加工装置。
  2. 該扉の内側には加工室が設けられ、
    該加工室は、該扉の該加工室側に露出する内壁に接触するワイパーを備え、
    該扉の開閉時に該ワイパーによって該内壁に付着する切削水や異物を除去することを特徴とする、
    請求項1に記載の加工装置。
  3. 該扉の洗浄時には、
    該切削水を間欠的に供給することを特徴とする、
    請求項1又は2に記載の加工装置。
  4. 請求項1に記載の加工装置を用いた被加工物の加工方法であって、
    該保持テーブルに保持された被加工物を切削する切削ステップと、
    該切削ステップの実施後に、
    該切削ブレードを被加工物から離間させ、該切削ブレードを洗浄対象となる該扉に向かう方向へ回転させた状態で該切削ブレードに該切削水を供給し、該スピンドルを割り出し送り方向および高さ方向の少なくともいずれかに移動させることで該切削水によって該扉を洗浄する洗浄ステップと、
    を備える事を特徴とする、
    被加工物の加工方法。
JP2020068300A 2020-04-06 2020-04-06 加工装置および被加工物の加工方法 Pending JP2021166221A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020068300A JP2021166221A (ja) 2020-04-06 2020-04-06 加工装置および被加工物の加工方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020068300A JP2021166221A (ja) 2020-04-06 2020-04-06 加工装置および被加工物の加工方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2021166221A true JP2021166221A (ja) 2021-10-14

Family

ID=78021984

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020068300A Pending JP2021166221A (ja) 2020-04-06 2020-04-06 加工装置および被加工物の加工方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2021166221A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20190047116A1 (en) Processing apparatus
JP4617028B2 (ja) 加工歪除去装置
JP2006344878A (ja) 加工装置および加工方法
TWI768172B (zh) 切割裝置
JP2018086692A (ja) 研削装置
JP2017222003A (ja) スピンドルユニット
JP2019181584A (ja) 加工装置
JP5345457B2 (ja) 研削装置
JP2021166221A (ja) 加工装置および被加工物の加工方法
US20230294141A1 (en) Cleaning apparatus
JP7139051B2 (ja) 処理装置
JP5340792B2 (ja) 研磨装置
JP2011031359A (ja) 研磨工具、研磨装置および研磨加工方法
KR20190091196A (ko) 절삭 장치의 셋업 방법
JP7161412B2 (ja) 洗浄ユニット
JP4074118B2 (ja) 研磨装置
JP2017222015A (ja) 加工装置
JP2003326459A (ja) 研磨方法
JP2003305643A (ja) 研磨装置
JP7333741B2 (ja) 加工装置
JP6987450B2 (ja) 切削装置
JP6084115B2 (ja) 加工装置
JP7292164B2 (ja) 加工装置
JP2003236752A (ja) 研磨装置
JP5930692B2 (ja) バイト切削装置