JP2021163967A - 発光装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板と、第1方向に配列する複数の発光素子と、保護素子と、透光性部材とを備えた第1中間体を準備し、複数の発光素子を挟んで配置され、第1方向に延伸する第1壁及び第2壁と、第3壁及び第4壁とを含み、発光素子及び護素子を取り囲む樹脂壁を、第1壁と発光素子との第1距離が、第3壁及び第4壁と発光素子との第2距離よりも大きくなるように形成し、第1壁と発光素子との間であって、保護素子が配置された第1領域に第1樹脂を塗布して、第1領域と、第2壁と発光素子との間の第2領域とに第1凹部及び第2凹部をそれぞれ形成し、第1凹部内及び第2凹部内に第2樹脂を塗布して、第1樹脂及び第2樹脂を硬化することにより、透光性部材の側面を被覆する被覆部材を形成することを含む発光装置の製造方法。
【選択図】図2E
Description
基板と、前記基板の上面に第1方向に配列された複数の発光素子と、前記第1方向に直交する第2方向において前記発光素子と離隔しかつ対向して前記基板の上面に配置された保護素子と、前記発光素子のそれぞれの上面に接合された透光性部材とを備えた第1中間体を準備する工程と、
前記複数の発光素子を挟んで配置され、前記第1方向に延伸する第1壁及び第2壁と、前記第1壁と前記第2壁との間に配置され、前記第2方向に延伸する第3壁及び第4壁とを含み、前記複数の発光素子及び前記保護素子を取り囲む樹脂壁を前記基板上に形成する工程であって、前記第1壁と前記発光素子との第1距離が、前記第3壁及び前記第4壁と前記発光素子との第2距離よりも大きい樹脂壁を形成する工程と、
前記第1壁と前記発光素子との間であって、前記保護素子が配置された第1領域に、前記第3壁から前記第4壁に向かって第1樹脂を塗布して、前記発光素子と前記第3壁との間、前記発光素子と前記第4壁との間、前記発光素子間及び前記発光素子と前記基板との間から第1樹脂を移動させて、前記第1領域と、前記第2壁と前記発光素子との間の第2領域とに、前記第1樹脂又は前記樹脂壁で構成された内側面を有する第1凹部及び第2凹部をそれぞれ形成する工程と、
前記第1凹部内及び前記第2凹部内に第2樹脂を塗布して、前記第1樹脂及び前記第2樹脂を硬化することにより前記透光性部材の側面を被覆する被覆部材を形成することを含む発光装置の製造方法。
本願における一実施形態の発光装置の製造方法は、
基板と、前記基板の上面に第1方向に配列された複数の発光素子と、前記第1方向に直交する第2方向において前記発光素子と離隔しかつ対向して前記基板の上面に配置された保護素子と、前記発光素子のそれぞれの上面に接合された透光性部材とを備えた第1中間体を準備する工程と、
前記複数の発光素子を挟んで配置され、前記第1方向に延伸する第1壁及び第2壁と、前記第1壁と前記第2壁との間に配置され、前記第2方向に延伸する第3壁及び第4壁とを含み、前記複数の発光素子及び前記保護素子を取り囲む樹脂壁を前記基板上に形成する工程であって、前記第1壁と前記発光素子との第1距離が、前記第3壁及び前記第4壁と前記発光素子との第2距離よりも大きい樹脂壁を形成する工程と、
前記第1壁と前記発光素子との間であって、前記保護素子が配置された第1領域に、前記第3壁から前記第4壁に向かって第1樹脂を塗布して、前記発光素子と前記第3壁との間、前記発光素子と前記第4壁との間、前記発光素子間及び前記発光素子と前記基板との間から第1樹脂を移動させて、前記第1領域と、前記第2壁と前記発光素子との間の第2領域とに、前記第1樹脂又は前記樹脂壁で構成された内側面を有する第1凹部及び第2凹部をそれぞれ形成する工程と、
前記第1凹部内及び前記第2凹部内に第2樹脂を塗布して、前記第1樹脂及び前記第2樹脂を硬化することにより前記透光性部材の側面を被覆する被覆部材を形成することを含む。
このような発光装置の製造方法によって、樹脂部材の発光装置の光取り出し面上への濡れ広がりを抑制し、また、樹脂部材の移動によるボイド等の発生を抑制することができる。つまり、本実施形態の発光装置の製造方法によれば、発光装置の所望の領域に、樹脂部材を精度よく配置することができる。
第1中間体10は、例えば、図1A及び1Bに示すように、基板11と、基板11の上面に第1方向に配列された複数の発光素子12と、第1方向に直交する第2方向において発光素子12と離隔しかつ対向して基板11の上面に配置された保護素子13と、発光素子12のそれぞれの上面に接合された透光性部材14とを備える。
基板11は、発光素子12等を支持する部材である。基板11は、例えば、図4に示すように、少なくともその表面に発光素子12の電極に電気的に接続される2以上の配線11aを有する。
基板11の平面形状は、円形、楕円形、四角形及び六角形等の多角形、多角形の角が丸みをおびたもの等、種々の形状とすることができる。なかでも、長方形であるものが好ましい。基板11の大きさは、その上に配置する発光素子12の大きさ及び数等、求められる性能によって適宜調整することができる。
配線11aの平面形状は、そこに配置される発光素子の大きさ、数等によって適宜設定することができる。例えば、図4に示すように、基板11上であって、基板11の幅(つまり図4中の第2方向の長さ)の中央から基板11の一辺11b側に偏って配置されていることが好ましい。言い換えると、平面視において、配線11aは、基板11の第2方向の中心線に対して、基板11の一辺11b側に偏って配置されていることが好ましい。
基板11の主な材料としては、絶縁性材料であって、発光素子12からの光及び外部からの光が透過しにくい材料が好ましい。このような材料としては、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム等のセラミックス、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ポリイミド樹脂、BTレジン、ポリフタルアミド等の樹脂が挙げられる。樹脂を用いる場合には、必要に応じて、ガラス繊維、酸化ケイ素、酸化チタン、酸化アルミニウム等の無機フィラーを樹脂に混合してもよい。これにより、機械的強度の向上や熱膨張率の低減、光反射率の向上を図ることができる。基板11は、金属部材の表面に絶縁性材料を形成したものでもよい。
配線11aは、絶縁性材料の上に、所定のパターンで形成されている。配線の材料として、Au、Ag、Cu、Fe、Ti、Pd、Ni、Cr、Pt、W、Al等の金属またはこれらを含む合金等が挙げられる。配線は、めっき、蒸着、スパッタ等によって形成することができる。例えば、後述する発光素子と基板との接合部材にAuを用いる場合、接合性の向上の観点から、配線11aの最表面にAuを用いることが好ましい。
発光素子12は、基板11の上面に複数配置されている。この場合、発光素子12は、第1方向に一列に配置されていてもよいし、マトリクス状に配置されていてもよい。なかでも、一列に配置されていることが好ましく、図1Aに示すように、第1方向に一列に配置されていることがより好ましい。これにより、車両ヘッドライトに適した横長の配光パターンを有する発光装置20とすることができる。例えば、上述したように基板11の平面形状が長方形である場合、長辺が延長する方向を、第1方向として、複数の発光素子が第1方向に沿って、一列に配置されていることが好ましい。
複数の発光素子は等間隔で一列に配置されていることが好ましい。
発光素子の縦、横、及び高さの寸法は任意に設定することができる。なかでも、より高出力な発光装置を実現するために、大型の発光素子を用いることが好ましく、平面視において、発光素子の縦及び横の寸法は600μm以上であることが好ましく、1000μm以上であることがより好ましい。また、発光強度の均一性、実装のし易さ等の観点から、縦及び横の寸法は2000μm以下であることが好ましい。
発光素子12は、隣接する発光素子12と離隔して配置されている。この場合の発光素子12間の距離は、例えば、発光素子12の第1方向に沿った一辺の0.1倍〜0.5倍の範囲が挙げられる。具体的には、縦及び横の寸法が約1000μmの平面視略正方形状の発光素子12を用いる場合、隣接する発光素子12間の距離は、100μmから500μmの範囲が挙げられる。
発光素子12は、例えば、成長用のサファイア基板など透光性の支持基板上に半導体層を積層させて形成され、支持基板側が発光素子12の主な光出射面となる。支持基板は、例えば、研磨、レーザーリフトオフ等で除去してもよい。
接合部材としては、例えば、Au、Ag、Cu、又はこれらを含む合金等からなるバンプ、Sn−Bi系、Sn−Cu系、Sn−Ag系、Au−Sn系などの半田、AuとSnとを主成分とする合金、AuとSiとを主成分とする合金、AuとGeとを主成分とする合金等の共晶合金、あるいは、Au、Ag、Pdなどの導電性ペースト、ACP、ACF等の異方性導電材、低融点金属のろう材、これらを組み合わせた導電性接着剤、導電性複合接着剤等が挙げられる。なかでも位置精度の観点からバンプを用いることが好ましい。また接合強度、放熱性の観点から、第1電極及び第2電極がそれぞれ複数のバンプを介して基板11上に接続されることが好ましい。
発光素子がバンプ等の接合部材によって配線に接合されている場合には、発光素子と基板との間に、接合部材の厚みに相当する隙間が生じる。この際、この隙間に、後述する光反射性を有する第1樹脂を配置することにより、発光素子から基板方向に向かう光を反射させて、外部に光を取り出しやすくすることができる。
保護素子13は、図1Aに示すように、第1方向に直交する第2方向において発光素子12と離隔し、かつ発光素子12と対向して、基板の上面に載置されている。発光素子12と保護素子13との距離は、例えば、発光素子12の第2方向に沿った一辺の0.1倍〜0.5倍の範囲が挙げられる。
さらに、保護素子13は、第1方向において、第1方向に配列された複数の発光素子の列の略中心に配置されていることが好ましい。これにより、後述する第1樹脂が、保護素子を伝って発光素子の列の両端部に向かって均等に広がりやすくなる。
保護素子13としては、例えば、コンデンサ、バリスタ、ツェナーダイオード、ブリッジダイオード等が挙げられる。
保護素子13は、図1A、図2A等に示すように、保護素子13の側面と発光素子12の側面とが対向するように配置されていることが好ましい。これにより、対向する保護素子13の側面と発光素子12の側面との距離を一定として、近接して配置することができる。さらに後述する第1樹脂が、保護素子13と発光素子12との対向する側面間を伝って発光素子側に移動しやすくなる。
保護素子13の平面視形状は、例えば略矩形状である。保護素子の縦、横、及び高さの寸法は任意に設定することができる。なかでも、発光装置の小型化の観点から、平面視において、保護素子の縦及び横の寸法は、発光素子の縦及び横の寸法より小さいことが好ましい。また、保護素子の高さは、発光素子と透光性部材とを合わせた高さよりも低くすることが好ましい。
透光性部材14は、発光素子12から出射される光を透過して外部に放出する部材であり、発光素子12の上面に接合されている。透光性部材14は、発光素子12からの光(例えば、波長320nm〜850nmの範囲の光)の60%以上を透過するものが挙げられ、70%以上の光を透過するものが好ましい。また、板状の部材であるものが好ましい。
具体的には、透光性部材14は、例えば、第1面と、第1面の反対側の第2面と、第1面及び第2面の間の側面とを有する。第1面は、発光装置20の光取り出し面に相当する。第2面が、発光素子12の上面と接合されている。第1面及び第2面は平坦であることが好ましく、互いに平行であることがより好ましい。側面は、第1面及び/又は第2面に垂直な垂直面であってもよいし、第1面及び/又は第2面に対して傾斜した傾斜面を有していてもよい。また、透光性部材14は、第1面と第2面との間に段差を有していてもよい。
透光性部材14の第2面は、発光素子12の上面面積の0.8〜1.5倍程度の面積を有することが好ましい。透光性部材の第2面の外縁は、発光素子の上面外縁と一致するか、上面外縁より内側又は外側のどちらかのみに位置していることが好ましい。つまり、平面視において、発光素子の上面と透光性部材の第2面のどちらか一方がもう一方に内包されることが好ましい。
透光性部材14の厚みは、例えば、50μm〜300μmの範囲とすることができる。
透光性部材14と発光素子12とは、当該分野で通常用いられているような、透光性の接着剤等を用いて接合することができる。また、透光性部材14と発光素子12とは圧着、表面活性化接合、原子拡散接合、水酸基接合による直接接合法を用いて接合してもよい。
透光性部材14は、光拡散材、入射された光の少なくとも一部を波長変換可能な蛍光体を含有させてもよい。蛍光体を含有する透光性部材は、例えば、蛍光体の焼結体、樹脂、ガラス、セラミックス又は他の無機物に蛍光体を含有させたもの等が挙げられる。また、樹脂、ガラス、セラミックス等の成形体の表面に蛍光体を含有する樹脂層を形成したものでもよい。
蛍光体としては、発光素子12からの発光で励起可能なものが使用される。例えば、青色発光素子又は紫外線発光素子で励起可能な蛍光体としては、セリウムで賦活されたイットリウム・アルミニウム・ガーネット系蛍光体(YAG:Ce)、セリウムで賦活されたルテチウム・アルミニウム・ガーネット系蛍光体(LAG:Ce)、ユウロピウムおよび/又はクロムで賦活された窒素含有アルミノ珪酸カルシウム系蛍光体(CaO−Al2O3−SiO2:Eu)、ユウロピウムで賦活されたシリケート系蛍光体((Sr,Ba)2SiO4:Eu)、βサイアロン蛍光体、CaAlSiN3:Euで表されるCASN系蛍光体、(Sr,Ca)AlSiN3:Euで表されるSCASN系蛍光体等の窒化物系蛍光体、K2SiF6:Mnで表されるKSF系蛍光体、硫化物系蛍光体、量子ドット蛍光体などが挙げられる。これらの蛍光体と、青色発光素子又は紫外線発光素子と組み合わせることにより、所望の発光色の発光装置(例えば白色系の発光装置)を製造することができる。
光拡散材としては、酸化チタン、チタン酸バリウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化ジルコニウム、アエロジル、ガラス、ガラスファイバー又はワラストナイトなどのフィラー、窒化アルミニウム等、当該分野で通常用いられているもののいずれを用いてもよい。
図1C及び1Dに示すように、上面に透光性部材14が接合された複数の発光素子12及び保護素子13を取り囲む樹脂壁150を基板11上に形成する。例えば、平面視長方形の基板11上に、複数の発光素子12が第1方向に一列に配置されている場合、樹脂壁は複数の発光素子12を取り囲む略矩形の枠状とすることが好ましい。
樹脂壁は、図1Cに示すように、透光性部材14が接合された複数の発光素子12を挟んで配置され、第1方向に延伸する第1壁151及び第2壁152と、第1壁151と第2壁152との間に配置され、第2方向に延伸する第3壁153及び第4壁154とを含む。第3壁153と第4壁154は複数の発光素子12を挟んで対向して配置される。つまり、第1壁151、第2壁152、第3壁153及び第4壁154は、透光性部材14が接合された複数の発光素子12及び保護素子13を取り囲むように、これら透光性部材14、発光素子12及び保護素子13と離隔して基板11上に配置される。ここで、第1壁151、第2壁152、第3壁153及び第4壁154は互いに連なって形成されており、透光性部材14が接合された複数の発光素子12及び保護素子13を取り囲む、1つの枠状の樹脂壁として基板11上に配置されている。この場合、樹脂壁は、図1Cに示すように、第1壁151、第4壁154、第2壁152、第3壁153がこの順に連結する、平面視略矩形の環状構造を示す。なお、この場合の矩形状は角丸矩形状であってもよく、つまり、第1壁151、第4壁154、第2壁152、第3壁153間の連結部はいわゆるアール形状としてもよい。
第3壁153と発光素子12との距離および第4壁154と発光素子12との距離は同じとなるように設計される。複数の発光素子はなお、設計上は同じでも、製造時における部材公差や実装公差などによって誤差は生じる。本明細書において、距離、幅、高さ、面積が同じというときは、このような誤差は許容範囲に含まれるものとして、必ずしも同じになっていなくてもよい。
樹脂壁は、例えば、当該分野で公知の装置、例えば、空気圧等で液状の樹脂を連続的及び一定の吐出流量で吐出可能な吐出装置(樹脂吐出装置)を用いて形成することができる(特開2009−182307号公報参照)。吐出装置を用いる場合、吐出装置のニードルの移動速度や吐出量を調整することで、所望の高さ及び幅を有する樹脂壁150を形成することができる。
図2A及び図2Bに示すように、第1壁151と発光素子12との間であって、保護素子13が配置された第1領域161に、第1方向に沿って、第1樹脂18aを塗布する。ここでの第1方向に沿うとは、第3壁153から第4壁154に向かうものであってもよいし、第4壁154から第3壁153に向かうものでもよい。第1樹脂18aの塗布を複数回行う場合は、第3壁153から第4壁154に向かう塗布を複数回行ってもよいし、第4壁154から第3壁153に向かう塗布を複数回行ってもよいし、両者を組み合わせてもよい。この場合、第1樹脂18aは、保護素子13の上から、保護素子13に被るように塗布することが好ましい。このような位置に第1樹脂18aを塗布することにより、保護素子13を伝って、第1樹脂18aが発光素子12側に移動しやすくなる。よって、図1E、1F及び図2B中の矢印Pに示す方向に第1樹脂18aが速やかに移動する。さらに、図2Cに示すように、矢印Qに示す方向においても、第1樹脂18aは、発光素子12と第3壁153との間、発光素子12と第4壁154との間、発光素子12間及び発光素子12と基板11との間から、第3壁153、第4壁154、発光素子、基板11及び/又は配線11aを伝って、第2領域162に向かって移動する。この際、発光素子12側に移動した第1樹脂は、毛管現象により発光素子12間において、発光素子12の対向する側面間及び透光性部材14の対向する側面間を這い上がり、発光素子12と透光性部材14の側面を被覆する。同様に、第1方向に配列する発光素子に沿って移動した第1樹脂は、第3壁及び第4壁と発光素子との間において、樹脂壁と発光素子12との対向する側面間を這い上がり、発光素子12の側面と透光性部材14の側面と樹脂壁の側面とを被覆する。そして、第2領域162内に移動した第1樹脂18aは、図1E及び図2Cに示すように、第2壁152及び発光素子の側面に沿って濡れ広がる。その結果、第2領域162に、第1樹脂18a又は樹脂壁で構成された内側面を有する第2凹部172を形成することができる。なお、第2凹部172の底面は、第1樹脂18aで構成されていてもよいし、第1樹脂18aから露出された基板の表面であってもよい。
このようにして、樹脂壁150で囲まれた領域において、第1方向に配列された複数の発光素子を挟んだ第1領域と第2領域とに、第1樹脂又は樹脂壁で構成された内側面を有する第1凹部と第2凹部とを形成することができる。
第1凹部171及び第2凹部172を形成するために、第1領域161に塗布する第1樹脂18aの塗布量は、例えば、第1壁151の高さ、第1距離D1、発光素子の一辺の長さ、配列する発光素子の数等から適宜設定することができ、例えば、(第1壁151の高さ)×(第1距離D1)×(発光素子の一辺の長さ×配列する発光素子の数)によって算出される容積の1.5倍から3倍の範囲の容量が挙げられる。
図2D、図2Eに示すように、第1凹部171及び第2凹部172に第2樹脂18bを塗布する。第2樹脂18bの塗布後、第1樹脂18a及び第2樹脂18bを硬化する。これによって、図1G及び1Hに示すように、透光性部材14の側面を被覆する被覆部材18を形成することができる。
ここで、上述したように、第1凹部171の容積は、第2凹部172の容積よりも小さく形成される。このため、第1凹部171内への第2樹脂の塗布量は、第2凹部172内への第2樹脂の塗布量よりも少ないことが好ましい。
第1樹脂18a及び第2樹脂18bの硬化は、同工程として行うことが好ましい。第1樹脂18aの硬化工程後に第2樹脂18bを配置してもよいが、第1樹脂18aと第2樹脂18bの塗布を連続して行い、第1樹脂18a及び第2樹脂18bを同時に硬化することが好ましい。
第2樹脂18bは、第1樹脂18aと同じ材料を用いることが好ましい。第1樹脂18a及び第2樹脂18bに同じ材料を用いることで、同じ条件下で同時に硬化することができる。
第1樹脂18aと第2樹脂18bとが略同時に硬化されることにより、第1樹脂18aと第2樹脂18bとが一体化された被覆部材18が形成される。これにより、第1樹脂18aと第2樹脂18bとの境界に界面が形成されず、第1樹脂18aと第2樹脂18bの密着性が向上し、剥離が抑制される。
ここで、第1領域への第1樹脂の塗布量をA、第1凹部内への第2樹脂の塗布量をB、第2凹部内への第2樹脂の塗布量をCとすると、塗布量A、B及びCは、同じであってもよいし、いずれか1つが異なっていてもよいし、全部が異なっていてもよい。例えば、第1領域の面積と第2領域の面積とが略同じである場合には、塗布量A≒塗布量C、かつ、塗布量A(C)>塗布量Bであることが好ましい。
被覆部材18の表面は、第1凹部171内及び第2凹部172内のいずれにおいても略平坦であることが好ましい。被覆部材18は、その表面の基板からの高さが、透光性部材14の上面と略同じ高さであるか、それよりも低いことが好ましい。
11 基板
11a 配線
11b 一辺
11c 他辺
12 発光素子
13 保護素子
14 透光性部材
18 被覆部材
18a 第1樹脂
18b 第2樹脂
20 発光装置
151 第1壁
152 第2壁
153 第3壁
154 第4壁
161 第1領域
162 第2領域
171 第1凹部
172 第2凹部
Claims (10)
- 基板と、前記基板の上面に第1方向に配列された複数の発光素子と、前記第1方向に直交する第2方向において前記複数の発光素子と離隔しかつ対向して前記基板の上面に配置された保護素子と、前記複数の発光素子のそれぞれの上面に接合された透光性部材とを備えた第1中間体を準備する工程と、
前記複数の発光素子を挟んで配置され、前記第1方向に延伸する第1壁及び第2壁と、前記第1壁と前記第2壁との間に配置され、前記第2方向に延伸する第3壁及び第4壁とを含み、前記複数の発光素子及び前記保護素子を取り囲む樹脂壁を前記基板上に形成する工程であって、前記第1壁と前記発光素子との第1距離が、前記第3壁及び前記第4壁と前記発光素子との第2距離よりも大きい樹脂壁を形成する工程と、
前記第1壁と前記発光素子との間であって、前記保護素子が配置された第1領域に、前記第3壁から前記第4壁に向かって第1樹脂を塗布して、前記発光素子と前記第3壁との間、前記発光素子と前記第4壁との間、前記発光素子間及び前記発光素子と前記基板との間から前記第1樹脂を移動させて、前記第1領域と、前記第2壁と前記発光素子との間の第2領域とに、前記第1樹脂又は前記樹脂壁で構成された内側面を有する第1凹部及び第2凹部をそれぞれ形成する工程と、
前記第1凹部内及び前記第2凹部内に第2樹脂を塗布して、前記第1樹脂及び前記第2樹脂を硬化することにより前記透光性部材の側面を被覆する被覆部材を形成することを含む発光装置の製造方法。 - 前記第2距離は、前記発光素子間の距離と同等又はそれよりも大きく、かつ前記発光素子間の距離の3倍よりも小さい請求項1に記載の発光装置の製造方法。
- 前記第2壁と前記発光素子との間の距離は前記第1距離と同じ距離である請求項1または2に記載の発光装置の製造方法。
- 前記基板は、前記基板の上面に前記複数の発光素子及び前記保護素子が載置される配線を備え、
平面視において、前記第1壁と前記発光素子との間の前記配線の面積は、前記第2壁と前記発光素子との間の前記配線の面積よりも大きい請求項1〜3のいずれか1項に記載の発光装置の製造方法。 - 前記第1凹部内への前記第2樹脂の塗布量が、前記第2凹部内への前記第2樹脂の塗布量よりも少ない請求項1〜4のいずれか1項に記載の発光装置の製造方法。
- 前記樹脂壁を、前記樹脂壁の上端が、前記発光素子の上面よりも高く、かつ、前記透光性部材の上面よりも低く位置するように形成する請求項1〜5のいずれか1項に記載の発光装置の製造方法。
- 前記第1樹脂及び前記第2樹脂は光反射性物質を含む請求項1〜6のいずれか1項に記載の発光装置の製造方法。
- 前記第1樹脂と前記第2樹脂は同じ材料を用いる請求項1〜7のいずれか1項に記載の発光装置の製造方法。
- 前記発光素子間の距離は、前記発光素子の第1方向に沿った一辺の0.1倍〜0.5倍である請求項1〜8のいずれか1項に記載の発光装置の製造方法。
- 前記透光性部材は蛍光体を含有する請求項1〜9のいずれか1項に記載の発光装置の製造方法。
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