JP2021163509A - 半導体記憶装置 - Google Patents
半導体記憶装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021163509A JP2021163509A JP2020066685A JP2020066685A JP2021163509A JP 2021163509 A JP2021163509 A JP 2021163509A JP 2020066685 A JP2020066685 A JP 2020066685A JP 2020066685 A JP2020066685 A JP 2020066685A JP 2021163509 A JP2021163509 A JP 2021163509A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- node
- transistor
- data
- memory cell
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 32
- 240000007594 Oryza sativa Species 0.000 claims 1
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 claims 1
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 claims 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 11
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 101000836337 Homo sapiens Probable helicase senataxin Proteins 0.000 description 4
- 101000615747 Homo sapiens tRNA-splicing endonuclease subunit Sen2 Proteins 0.000 description 4
- 240000007320 Pinus strobus Species 0.000 description 4
- 102100027178 Probable helicase senataxin Human genes 0.000 description 4
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 4
- 102100021774 tRNA-splicing endonuclease subunit Sen2 Human genes 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 101100481702 Arabidopsis thaliana TMK1 gene Proteins 0.000 description 1
- 101100481704 Arabidopsis thaliana TMK3 gene Proteins 0.000 description 1
- 101150056203 SGS3 gene Proteins 0.000 description 1
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
- G11C16/26—Sensing or reading circuits; Data output circuits
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/56—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using storage elements with more than two stable states represented by steps, e.g. of voltage, current, phase, frequency
- G11C11/5671—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using storage elements with more than two stable states represented by steps, e.g. of voltage, current, phase, frequency using charge trapping in an insulator
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/04—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS
- G11C16/0483—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS comprising cells having several storage transistors connected in series
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C2211/00—Indexing scheme relating to digital stores characterized by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C2211/56—Indexing scheme relating to G11C11/56 and sub-groups for features not covered by these groups
- G11C2211/564—Miscellaneous aspects
- G11C2211/5642—Multilevel memory with buffers, latches, registers at input or output
Abstract
Description
実施形態に係る半導体記憶装置について説明する。以下では、半導体記憶装置として、NAND型フラッシュメモリを例に挙げて説明する。
1.1.1 全体構成
まず、本実施形態に係る半導体記憶装置の全体構成について、図1を用いて説明する。図1は、本実施形態に係るNAND型フラッシュメモリのブロック図である。
次に、メモリセルアレイ2の構成ついて図2を用いて説明する。図2の例は、メモリセルアレイ2内のブロックBLKの1つを示しているが、他のブロックBLKの構成も同じである。前述の通り、ブロックBLKは例えば4つのストリングユニットSUを含み、各々のストリングユニットSUは複数のNANDストリング6を含む。
次に、センスアンプ4の構成について、図3を用いて説明する。図3は、実施形態に係る半導体記憶装置におけるセンスアンプ4のブロック図である。
図示するようにセンスアンプ4は、複数のセンスアンプユニットSAUと複数のラッチ回路XDLとを含む。
次にセンスアンプユニットSAUの構成について、図4を用いて説明する。図4は、実施形態に係る半導体記憶装置におけるセンスアンプユニットSAUの回路図である。
次に、本実施形態に係るメモリセルトランジスタMTの取り得る閾値電圧分布について、図5を用いて説明する。以下、本実施形態では、メモリセルトランジスタMTが4値(2ビット)のデータを保持可能な場合について説明するが、保持可能なデータは4値に限定されない。本実施形態においては、メモリセルトランジスタMTが、例えば8値(3ビット)のデータを保持可能であっても良く、2値(1ビット)以上のデータを保持可能であればよい。
次に、本実施形態に係る書込み動作について、簡単に説明する。
まず、本実施形態におけるプログラム動作の例について説明する。以下では、閾値電圧を上昇させる動作を「“0”プログラム動作」と呼び、閾値電圧を維持させる動作を「“1”プログラム動作」、又は「書込み禁止(インヒビット)動作」と呼ぶ。
次に、本実施形態におけるベリファイ動作の例について説明する。
上述の通り、本実施形態におけるプログラム動作は、メモリセルトランジスタMTの閾値電圧とターゲットレベルとの差に応じて、第1プログラム条件及び第2プログラム条件のいずれかが適用され得る。本実施形態におけるベリファイ動作では、次のプログラム動作において、“0”プログラム動作を適用するか“1”プログラム動作を適用するかについて判定しつつ、第1プログラム条件を適用するか第2プログラム条件を適用するかについても併せて判定する。
次に、上述した書込み動作における各配線の電圧について説明する。
ベリファイ動作時の各配線の電圧について、図8を用いて説明する。図8は、ベリファイ動作時のセンスアンプ内の各配線、ビット線BL、及びワード線WLの電圧を示すタイミングチャートである。
1.2.3.2 プログラム動作時のタイミングチャートについて
次に、プログラム動作時の各配線の電圧について、図9を用いて説明する。図9は、実施形態に係る半導体記憶装置を用いたプログラム動作時の各配線の電圧を示すタイミングチャートである。なお、図9の上段に示すビット線BLの電圧において、実線は“1”プログラム動作の対象となるメモリセルトランジスタMTに対応するビット線BL(以下、ビット線BL(“1”))に対応する。破線は第1プログラム条件が適用された“0”プログラム動作の対象となるメモリセルトランジスタMTに対応するビット線BL(以下、ビット線BL(“0”))に対応する。一点鎖線は第2プログラム条件が適用された“0”プログラム動作の対象となるメモリセルトランジスタMTに対応するビット線BL(以下、ビット線BL(“QPW”))に対応する。
本実施形態によれば、半導体記憶装置の読出し速度を向上できる。本実施形態の効果について、以下に説明する。
上記実施形態における「接続」とは、間に例えばトランジスタあるいは抵抗等、他の何かを介在させて間接的に接続されている状態も含む。
Claims (9)
- ビット線と、
前記ビット線に電気的に接続された、メモリセルトランジスタと、
前記ビット線を介して前記メモリセルトランジスタからデータを読み出すセンスアンプと
を具備し、
前記センスアンプは、前記メモリセルトランジスタのゲートに第1電圧を印加しつつ第1データ及び第2データを連続して読み出す動作において、
第2電圧に基づいて前記第1データを判定し、
前記第1データを判定した後、前記第2電圧より低い第3電圧に基づいて前記第2データを判定する
ように構成された、
半導体記憶装置。 - 前記センスアンプは、
前記ビット線に接続可能な第1ノードに一方電極が接続された第1容量素子と、
前記第1ノードに接続されたゲートと、第2ノードに接続された一端と、第3ノードに接続可能に構成された他端と、を有する第1トランジスタと、
前記第3ノードと第4ノードとの間を接続可能な第2トランジスタと、
前記第4ノードに接続されたゲートと、前記第2ノードに接続された一端と、前記第1ノードに接続可能に構成された他端と、を有する第3トランジスタと、
前記第4ノードに一方電極が接続された第2容量素子と、
前記第3ノードに接続された第1ラッチ回路及び第2ラッチ回路と
を含む、
請求項1記載の半導体記憶装置。 - 前記センスアンプは、前記動作において、
前記第2データを判定する前に、前記判定された第1データを、前記第1トランジスタ及び前記第2トランジスタを介して前記第4ノードに転送する
ように構成された、
請求項2記載の半導体記憶装置。 - 前記センスアンプは、前記動作において、
前記判定された第1データを前記第4ノードに転送する際に、
前記第3ノードを前記第2電圧より高い第4電圧に設定し、
前記第2トランジスタのゲートに、第5電圧を印加し、
前記第5電圧は、前記第3ノードの電圧が前記第4電圧から前記第2電圧に低下した場合、前記第2トランジスタがオン状態となり、前記第3ノードの電圧が前記第4電圧に維持された場合、前記第2トランジスタをオフ状態とするように設定される、
請求項3記載の半導体記憶装置。 - 前記センスアンプは、前記動作において、
前記判定された第1データを前記第4ノードに転送した後に、前記判定された第2データを、前記第1トランジスタ及び前記第3ノードを介して前記第1ラッチ回路に転送する
ように構成された、
請求項3又は請求項4記載の半導体記憶装置。 - 前記センスアンプは、前記動作において、
前記第1データを判定する際に、前記第2ノードの電圧を前記第2電圧に設定し、
前記判定された第2データを前記第1ラッチ回路に転送する際に、前記第2ノードの電圧を前記第2電圧から前記第3電圧に設定する
ように構成された、
請求項5記載の半導体記憶装置。 - 前記センスアンプは、
前記第1トランジスタの他端に接続された一端と、前記第3ノードに接続された他端と、を有する第4トランジスタをさらに含み、
前記動作において、
前記判定された第1データを前記第4ノードに転送する際に、前記第4トランジスタのゲートに第6電圧を印加し、
前記判定された第2データを前記第1ラッチ回路に転送する際に、前記第4トランジスタのゲートに前記第6電圧より低い第7電圧を印加する
ように構成された、
請求項5又は請求項6記載の半導体記憶装置。 - 前記センスアンプは、前記動作において、
前記第2データを前記第1ラッチ回路に転送した後に、前記第4ノードに転送された第1データを、前記第3トランジスタを介して前記第1ノードに転送する
ように構成された、
請求項5乃至請求項7のいずれか一項記載の半導体記憶装置。 - 前記センスアンプは、前記動作において、
前記第1ノードに転送された第1データを、前記第1トランジスタ及び前記第3ノードを介して前記第2ラッチ回路に転送する
ように構成された、
請求項8記載の半導体記憶装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020066685A JP7467204B2 (ja) | 2020-04-02 | 2020-04-02 | 半導体記憶装置 |
US17/183,805 US11568939B2 (en) | 2020-04-02 | 2021-02-24 | Semiconductor storage device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020066685A JP7467204B2 (ja) | 2020-04-02 | 2020-04-02 | 半導体記憶装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021163509A true JP2021163509A (ja) | 2021-10-11 |
JP7467204B2 JP7467204B2 (ja) | 2024-04-15 |
Family
ID=77922600
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020066685A Active JP7467204B2 (ja) | 2020-04-02 | 2020-04-02 | 半導体記憶装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11568939B2 (ja) |
JP (1) | JP7467204B2 (ja) |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW407234B (en) * | 1997-03-31 | 2000-10-01 | Hitachi Ltd | Semiconductor memory device, non-volatile semiconductor memory device and data reading method thereof |
US8514636B2 (en) * | 2010-09-21 | 2013-08-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor storage device |
WO2014210424A2 (en) | 2013-06-27 | 2014-12-31 | Aplus Flash Technology, Inc. | Novel nand array architecture for multiple simultaneous program and read |
JP2015176625A (ja) | 2014-03-14 | 2015-10-05 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
US9349468B2 (en) | 2014-08-25 | 2016-05-24 | SanDisk Technologies, Inc. | Operational amplifier methods for charging of sense amplifier internal nodes |
JP6765313B2 (ja) | 2017-01-23 | 2020-10-07 | キオクシア株式会社 | 半導体記憶装置 |
US10366729B2 (en) | 2017-06-22 | 2019-07-30 | Sandisk Technologies Llc | Sense circuit with two-step clock signal for consecutive sensing |
JP2021047952A (ja) | 2019-09-19 | 2021-03-25 | キオクシア株式会社 | 半導体記憶装置 |
-
2020
- 2020-04-02 JP JP2020066685A patent/JP7467204B2/ja active Active
-
2021
- 2021-02-24 US US17/183,805 patent/US11568939B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11568939B2 (en) | 2023-01-31 |
US20210312992A1 (en) | 2021-10-07 |
JP7467204B2 (ja) | 2024-04-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6783682B2 (ja) | 半導体記憶装置及びメモリシステム | |
JP5150245B2 (ja) | 半導体記憶装置 | |
CN107045889B (zh) | 半导体存储装置、其擦除方法及编程方法 | |
JP4510072B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置とその書き込み方法 | |
JP5992983B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置 | |
WO2019021498A1 (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP7332343B2 (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP2014157650A (ja) | 半導体記憶装置 | |
TWI715937B (zh) | 半導體記憶裝置 | |
US10424369B2 (en) | Semiconductor memory device | |
US8363479B2 (en) | Nonvolatile semiconductor memory device | |
JP2011181157A (ja) | 不揮発性半導体記憶装置 | |
JP2021047953A (ja) | 半導体記憶装置 | |
US10032519B2 (en) | Semiconductor memory device in which bit line pre-charging, which is based on result of verify operation, is initiated prior to completion of the verify operation | |
CN107154275B (zh) | 半导体存储装置及输入数据的验证方法 | |
JP2012123856A (ja) | 不揮発性半導体記憶装置 | |
JP5242603B2 (ja) | 半導体記憶装置 | |
TW202143230A (zh) | 半導體記憶裝置及於半導體記憶裝置中執行讀出動作之方法 | |
JP2020149742A (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP7467204B2 (ja) | 半導体記憶装置 | |
TW202145225A (zh) | 半導體裝置及讀出方法 | |
JP2022051369A (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP2023012706A (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP2023086292A (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP2023046208A (ja) | 半導体記憶装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20230106 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230317 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20231227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20240109 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240305 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240403 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7467204 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |