JP2021162612A5 - - Google Patents

Description

上記目的を達成するために、本発明の一側面としての光源装置は、基板と、前記基板上に配置された複数のＬＥＤチップが直列接続されたチップ列とを含む回路を備えたＬＥＤアレイと、冷媒を用いて前記ＬＥＤアレイを冷却する冷却器を有し、前記ＬＥＤアレイからの光を照明面に照明する光源装置であって、前記チップ列は、前記冷却器の等温部分に沿って配列されていることを特徴とする。

Claims (17)

1. 基板と、前記基板上に配置された複数のＬＥＤチップが直列接続されたチップ列とを含む回路を備えたＬＥＤアレイと、
   冷媒を用いて前記ＬＥＤアレイを冷却する冷却器を有し、
   前記ＬＥＤアレイからの光を照明面に照明する光源装置であって、
   前記チップ列は、前記冷却器の等温部分に沿って配列されていることを特徴とする光源装置。
2. 前記チップ列は、前記ＬＥＤアレイを冷却する際の前記冷却器の温度分布に基づいて配置されていることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
3. 前記冷媒が流れる方向は、前記チップ列におけるＬＥＤチップの配列方向に対して垂直な成分を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の光源装置。
4. 前記回路は、前記チップ列を複数含み、
   前記チップ列に含まれるＬＥＤチップの数は、それぞれ等しいことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の光源装置。
5. 前記冷却器は、前記基板における前記複数のＬＥＤチップが配置されている面とは反対側の面に接して配置されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の光源装置。
6. 前記冷却器は、前記冷媒が流れる流路を形成するための仕切りを更に有し、
   前記仕切りは、前記チップ列におけるＬＥＤチップの配列方向に対して垂直な成分を含む方向に延在していることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の光源装置。
7. 電源を含む制御部を更に有し、
   前記制御部は、前記照明面が目標照度になるように、前記チップ列に流れる電流及び前記電源に印加する電圧の少なくとも一方を制御することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の光源装置。
8. 前記制御部は、前記チップ列に流れる電流、前記電源に印加する電圧、前記チップ列の点灯時間のうち少なくとも１つの蓄積データを記録可能であることを特徴とする請求項７に記載の光源装置。
9. 前記冷媒の温度を計測する計測部を更に含み、
   前記制御部は、前記計測部の計測結果に基づいて、前記ＬＥＤチップのジャンクション温度を推定することを特徴とする請求項８に記載の光源装置。
10. 前記制御部は、前記蓄積データ及び前記ジャンクション温度に基づいて、前記チップ列が不点灯となるタイミングを予測することを特徴とした請求項９に記載の光源装置。
11. 前記冷媒は、主成分がオイルであることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の光源装置。
12. 前記冷媒は、主成分が水であることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の光源装置。
13. 照明装置であって、
    請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の光源装置と、
    コンデンサレンズと、
    オプティカルインテグレータを有し、
    前記光源装置の複数のＬＥＤチップそれぞれからの光強度分布を、前記コンデンサレンズを介して、前記オプティカルインテグレータの入射面において重ね合わせることを特徴とする照明装置。
14. 前記オプティカルインテグレータはレンズ群を有することを特徴とする請求項１３に記載の照明装置。
15. 基板を露光する露光装置であって、
    マスクを照明する照明装置であり、請求項１３又は１４に記載された照明装置と、
    前記マスクのパターンを基板に露光する露光手段を有することを特徴とする露光装置。
16. 表示部を更に有し、
    前記ＬＥＤアレイに配置されているチップ列が不点灯となるタイミングを予測し、前記チップ列が不点灯となる前に、前記表示部に前記チップ列又は前記ＬＥＤアレイの交換時期を示す情報、及びユーザに対して前記チップ列又は前記ＬＥＤアレイの交換を促す情報の少なくとも一方を表示することを特徴とする請求項１５に記載の露光装置。
17. 物品の製造方法であって、
    請求項１５又は１６に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
    露光された基板を現像する工程と、を有し、
    現像された基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。