JP2021151673A - Super finishing whetstone and grinding device - Google Patents

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勝二 砂川
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Abstract

To provide a super finishing whetstone that can reduce an increase in tensile stress caused by an increase in contact area between a whetstone and a machining target member associated with the progress of machining as well as breakage or deficiency of the whetstone associated with the increase in tensile stress.SOLUTION: A super finishing whetstone according to one embodiment includes a whetstone holding layer, a stress relaxation layer, and a whetstone layer sandwiched between the whetstone holding layer and the stress relaxation layer. The whetstone holding layer has a Young's modulus smaller than a Young's modulus of the whetstone layer.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、超仕上げ砥石及び研磨装置に関する。 The present invention relates to a super-finishing grindstone and a polishing apparatus.

超仕上げ加工に用いられる砥石としては、通常は、砥粒と結合剤とを混ぜ合わせることにより形成された全体にわたって一様な構造を有する砥石が用いられる。 As the grindstone used for the super-finishing process, a grindstone having a uniform structure over the entire surface formed by mixing the abrasive grains and the binder is usually used.

従来から、複数の層を有する構造の砥石として、特許文献1(特開昭60−006357号公報)に記載の処理砥石が知られている。特許文献1に記載の処理砥石は、砥粒と、結合剤とにより構成されている。特許文献1の処理砥石は、内部に気孔を含んでいる。 Conventionally, as a grindstone having a structure having a plurality of layers, a processing grindstone described in Patent Document 1 (Japanese Unexamined Patent Publication No. 60-006357) is known. The processing grindstone described in Patent Document 1 is composed of abrasive grains and a binder. The processing grindstone of Patent Document 1 contains pores inside.

特許文献1に記載の処理砥石は、第1層と、第2層とを有している。第1層は、処理砥石の厚さ方向において、第2層よりも表面に近い位置に配置されている。第1層中に含まれる気孔には、第1充填剤が充填されている。第2層中に含まれる気孔には、第2充填剤が充填されている。第1充填剤は、第2充填剤とは異なる材料により構成される充填剤である。第1充填剤は、第2充填剤よりも硬度が高い。その結果、第1層の強度は、第2層の強度よりも高くなり、処理砥石の強度が改善される。 The processing grindstone described in Patent Document 1 has a first layer and a second layer. The first layer is arranged at a position closer to the surface than the second layer in the thickness direction of the processing grindstone. The pores contained in the first layer are filled with the first filler. The pores contained in the second layer are filled with the second filler. The first filler is a filler composed of a material different from that of the second filler. The first filler has a higher hardness than the second filler. As a result, the strength of the first layer becomes higher than the strength of the second layer, and the strength of the treated grindstone is improved.

特開昭60−006357号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 60-006357

超仕上げ加工においては、加工の進行に伴って砥石と加工対象部材との接触面積が増加することにより、超仕上げ砥石に加わる引張応力が増加する。このような引張応力の増加は、超仕上げ砥石の欠損、折損の原因になる。特許文献1に記載の処理砥石は、強度の向上は図られているものの、加工の進行に伴う経時的な引張応力の増加に伴う欠損、折損については考慮されていない。 In superfinishing, the contact area between the grindstone and the member to be machined increases as the machining progresses, so that the tensile stress applied to the superfinishing grindstone increases. Such an increase in tensile stress causes the super-finishing grindstone to be chipped or broken. Although the treated grindstone described in Patent Document 1 has been improved in strength, it does not take into consideration the breakage and breakage due to the increase in tensile stress over time with the progress of processing.

本発明は、上記のような従来技術の問題点に鑑みてなされたものである。より具体的には、本発明は、加工の進行に伴う砥石の折損、欠損を抑制することができる超仕上げ砥石及び研削装置を提供するものである。 The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art. More specifically, the present invention provides a super-finishing grindstone and a grinding device capable of suppressing breakage and chipping of the grindstone as the processing progresses.

本発明の一態様に係る超仕上げ砥石は、砥石保持層と、応力緩和層と、砥石保持層と応力緩和層とに挟み込まれる砥石層とを備える。砥石保持層のヤング率が砥石層のヤング率よりも小さい。本発明の一態様に係る超仕上げ砥石によると、砥石層が砥石保持層及び応力緩和層により補強されるため、加工の進行に伴う砥石の折損、欠損を抑制することができる。 The super-finishing grindstone according to one aspect of the present invention includes a grindstone holding layer, a stress relaxation layer, and a grindstone layer sandwiched between the grindstone holding layer and the stress relaxation layer. The Young's modulus of the grindstone holding layer is smaller than the Young's modulus of the grindstone layer. According to the super-finishing grindstone according to one aspect of the present invention, since the grindstone layer is reinforced by the grindstone holding layer and the stress relaxation layer, it is possible to suppress breakage and chipping of the grindstone as the processing progresses.

また、砥石保持層のヤング率が砥石層のヤング率よりも小さいため、砥石保持層は、加工対象部材に付勢された際に、変形して加工対象部材の表面に密着しやすい。その結果、加工対象部材の表面に付着した切粉が加工対象部材の回転に伴って加工箇所付近に戻ってきた際に加工箇所付近に入り込むことを抑制することができる。 Further, since the Young's modulus of the grindstone holding layer is smaller than the Young's modulus of the grindstone layer, the grindstone holding layer is easily deformed and adheres to the surface of the machining target member when it is urged by the machining target member. As a result, it is possible to prevent chips adhering to the surface of the member to be processed from entering the vicinity of the processed portion when they return to the vicinity of the processed portion as the member to be processed rotates.

上記の超仕上げ砥石において、応力緩和層の耐摩耗性は、砥石層の耐摩耗性よりも低くてもよい。この場合、加工の進行に伴い、砥石層よりも磨滅しやすく、砥石と加工対象部材との接触面積の増加及びそれによる引張応力の増加が生じにくいため、加工の進行に伴う砥石の折損、欠損をさらに抑制することができる。 In the above-mentioned super-finishing grindstone, the wear resistance of the stress relaxation layer may be lower than the wear resistance of the grindstone layer. In this case, as the processing progresses, it is more easily worn than the grindstone layer, and the contact area between the grindstone and the member to be processed is less likely to increase and the tensile stress due to the increase is less likely to occur. Can be further suppressed.

砥石保持層が樹脂材料のように可撓性がある材料により構成されている場合には、砥石保持層がさらに加工対象部材の表面に密着しやすくなる。その結果、加工対象部材の表面に付着した切粉が加工対象部材の回転に伴って加工箇所付近に戻ってきた際に加工箇所付近に入り込むことを、さらに抑制することができる。 When the grindstone holding layer is made of a flexible material such as a resin material, the grindstone holding layer is more likely to adhere to the surface of the member to be processed. As a result, it is possible to further prevent chips adhering to the surface of the member to be processed from entering the vicinity of the processed portion when returning to the vicinity of the processed portion due to the rotation of the member to be processed.

上記の超仕上げ砥石において、応力緩和層は、第1硬度の第1砥粒を含有していてもよい。砥石層は、第1硬度以上の第2硬度の第2砥粒を含有していてもよい。この場合、応力緩和層が砥石層と比較して磨滅しやすくなるため、加工の進行に伴う砥石と加工対象部材との接触面積の増加による引張応力の増加及びそれに伴う砥石の折損、欠損をさらに抑制することができる。 In the above-mentioned super-finishing grindstone, the stress relaxation layer may contain first abrasive grains having a first hardness. The grindstone layer may contain second abrasive grains having a second hardness equal to or higher than the first hardness. In this case, since the stress relaxation layer is more easily worn than the grindstone layer, the tensile stress increases due to the increase in the contact area between the grindstone and the member to be machined as the machining progresses, and the grindstone is further broken or damaged. It can be suppressed.

上記の超仕上げ砥石において、応力緩和層中における砥粒の含有量は、砥石層中における砥粒の含有量よりも少なくてもよい。この場合には、応力緩和層が砥石層と比較して磨滅しやすくなるため、加工の進行に伴う砥石と加工対象部材との接触面積の増加による引張応力の増加及びそれに伴う砥石の折損、欠損をさらに抑制することができる。 In the above-mentioned super-finishing grindstone, the content of abrasive grains in the stress relaxation layer may be smaller than the content of abrasive grains in the grindstone layer. In this case, since the stress relaxation layer is more easily worn than the grindstone layer, the tensile stress increases due to the increase in the contact area between the grindstone and the member to be machined as the machining progresses, and the grindstone breaks or breaks due to the increase. Can be further suppressed.

上記の超仕上げ砥石において、砥石保持層は、第1厚さを有していてもよい。応力緩和層は、第2厚さを有していてもよい。砥石層は、第3厚さを有していてもよい。第3厚さの第1厚さ、第2厚さ及び第3厚さの合計に対する比率は、40パーセント以上60パーセント以下であってもよい。 In the above-mentioned super-finishing grindstone, the grindstone holding layer may have a first thickness. The stress relaxation layer may have a second thickness. The grindstone layer may have a third thickness. The ratio of the third thickness to the total of the first thickness, the second thickness, and the third thickness may be 40% or more and 60% or less.

砥石層が薄くなると砥石層に欠損、折損が生じやすくなる。しかしながら、上記の超仕上げ砥石は、砥石保持層及び応力緩和層の存在により、砥石層が相対的に薄くなっても加工の進行に伴う砥石と加工対象部材との接触面積の増加による引張応力の増加及びそれによる砥石の折損、欠損を抑制することができる。砥石層が相対的に薄くなると、シリンダによる砥石への押圧力を下げたとしても、加工時の砥石層における面圧を確保することができるため、シリンダ等を小型化することができる。シリンダの小型化は、シリンダを駆動するエアの消費量の低減につながる。また、シリンダの小型化は、砥石を保持する揺動ヘッドの慣性モーメントの低減につながるため、揺動ヘッドの過剰な揺れの発生を抑制することができる。 When the grindstone layer becomes thin, the grindstone layer is likely to be damaged or broken. However, in the above-mentioned super-finishing grindstone, due to the presence of the grindstone holding layer and the stress relaxation layer, even if the grindstone layer becomes relatively thin, the tensile stress due to the increase in the contact area between the grindstone and the member to be machined as the machining progresses. It is possible to suppress the increase and the breakage and breakage of the grindstone due to it. When the grindstone layer becomes relatively thin, even if the pressing force on the grindstone by the cylinder is reduced, the surface pressure in the grindstone layer during processing can be secured, so that the cylinder or the like can be miniaturized. The miniaturization of the cylinder leads to a reduction in the consumption of air that drives the cylinder. Further, since the miniaturization of the cylinder leads to a reduction in the moment of inertia of the swing head that holds the grindstone, it is possible to suppress the occurrence of excessive swing of the swing head.

本発明の一態様に係る研削装置は、上記の超仕上げ砥石と、中心軸周りに回転するリング状の加工対象部材の外周面に付勢するように超仕上げ砥石を保持する揺動ヘッドとを備える。揺動ヘッドは、砥石保持層が外周面に接触した後に砥石層が外周面に接触し、かつ砥石層が外周面に接触した後に応力緩和層が外周面に接触するように超仕上げ砥石を保持する。 The grinding apparatus according to one aspect of the present invention includes the above-mentioned super-finishing grindstone and a swing head that holds the super-finishing grindstone so as to urge the outer peripheral surface of a ring-shaped machining target member that rotates around a central axis. Be prepared. The swing head holds the superfinished grindstone so that the grindstone layer contacts the outer peripheral surface after the grindstone holding layer contacts the outer peripheral surface, and the stress relaxation layer contacts the outer peripheral surface after the grindstone layer contacts the outer peripheral surface. do.

本発明の一態様に係る研削装置においては、砥石保持層が砥石層よりも先に加工対象部材の外周面と接触する。そのため、加工対象部材の表面に付着した切粉が砥石層と加工対象部材の外周面との間に入り込む前に、砥石保持層により遮断される。そのため、この場合には、加工対象部材の表面に付着した切粉が加工箇所付近に入り込むことをさらに抑制することができる。 In the grinding apparatus according to one aspect of the present invention, the grindstone holding layer comes into contact with the outer peripheral surface of the member to be machined before the grindstone layer. Therefore, the chips adhering to the surface of the member to be processed are blocked by the grindstone holding layer before entering between the grindstone layer and the outer peripheral surface of the member to be processed. Therefore, in this case, it is possible to further prevent chips adhering to the surface of the member to be processed from entering the vicinity of the processed portion.

加工の進行に伴う砥石と加工対象部材との接触面積の増加による引張応力の増加及びそれに伴う砥石の折損、欠損を抑制することができる。 It is possible to suppress an increase in tensile stress due to an increase in the contact area between the grindstone and the member to be machined as the machining progresses, and the resulting breakage and breakage of the grindstone.

実施形態に係る超仕上げ砥石10の上面図である。It is a top view of the super finishing grindstone 10 which concerns on embodiment. 図1のII−IIにおける断面図である。It is sectional drawing in II-II of FIG. 実施形態に係る研削装置100の正面図である。It is a front view of the grinding apparatus 100 which concerns on embodiment. 加工対象部材の上面図である。It is a top view of the member to be processed. 図4のV−Vにおける断面図である。It is sectional drawing in VV of FIG.

本発明の実施形態の詳細を、図面を参照しながら説明する。なお、以下の図面においては、同一又は相当する部分に同一の符号を付し、重複する説明は繰り返さない。 Details of the embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following drawings, the same or corresponding parts are designated by the same reference numerals, and duplicate explanations will not be repeated.

(実施形態に係る超仕上げ砥石の構成)
以下に、実施形態に係る超仕上げ砥石10の構成を説明する。
(Structure of super-finishing grindstone according to the embodiment)
The configuration of the super-finishing grindstone 10 according to the embodiment will be described below.

図1は、実施形態に係る超仕上げ砥石10の上面図である。図2は、図1のII−IIにおける断面図である。図1及び図2に示されるように、超仕上げ砥石10は、柱状の形状を有している。なお、超仕上げ砥石10の長手方向は、第1方向DR1として図1中に示されている。 FIG. 1 is a top view of the super finishing grindstone 10 according to the embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. As shown in FIGS. 1 and 2, the super-finishing grindstone 10 has a columnar shape. The longitudinal direction of the super-finishing grindstone 10 is shown in FIG. 1 as the first direction DR1.

超仕上げ砥石10は、上面10aと、底面10bとを有している。底面10bは、上面10aの反対面である。超仕上げ砥石10は、第1側面10cと、第2側面10dとを有している。第1側面10c及び第2側面10dは、第1方向DR1と直交する方向において、互いに対向している。なお、以下においては、第1方向DR1と直交する方向を第2方向DR2とする。第2方向DR2は、超仕上げ砥石10の幅方向である。 The super-finishing grindstone 10 has a top surface 10a and a bottom surface 10b. The bottom surface 10b is the opposite surface of the top surface 10a. The super-finishing grindstone 10 has a first side surface 10c and a second side surface 10d. The first side surface 10c and the second side surface 10d face each other in a direction orthogonal to the first direction DR1. In the following, the direction orthogonal to the first direction DR1 is referred to as the second direction DR2. The second direction DR2 is the width direction of the super finishing grindstone 10.

超仕上げ砥石10は、第3側面10eと、第4側面10fとを有している。第3側面10eは、第1方向DR1における超仕上げ砥石10の一方端に配置されている。第3側面10eは、円筒面により構成されていることが好ましい。第4側面10fは、第1方向DR1における超仕上げ砥石10の他方端に配置されている。 The super-finishing grindstone 10 has a third side surface 10e and a fourth side surface 10f. The third side surface 10e is arranged at one end of the super finishing grindstone 10 in the first direction DR1. The third side surface 10e is preferably formed of a cylindrical surface. The fourth side surface 10f is arranged at the other end of the super finishing grindstone 10 in the first direction DR1.

図2に示されるように、超仕上げ砥石10は、砥石保持層11と、応力緩和層12と、砥石層13とを有している。砥石層13は、砥石保持層11と応力緩和層12とにより挟み込まれている。砥石保持層11は、上面10aに配置されており、応力緩和層12は、底面10bに配置されている。 As shown in FIG. 2, the superfinishing grindstone 10 has a grindstone holding layer 11, a stress relaxation layer 12, and a grindstone layer 13. The grindstone layer 13 is sandwiched between the grindstone holding layer 11 and the stress relaxation layer 12. The grindstone holding layer 11 is arranged on the upper surface 10a, and the stress relaxation layer 12 is arranged on the bottom surface 10b.

砥石保持層11は、第1厚さT1を有している。第1厚さT1は、第1方向DR1及び第2方向DR2に直交する第3方向DR3における砥石保持層11の厚さである。応力緩和層12は、第2厚さT2を有している。第2厚さT2は、第3方向DR3における応力緩和層12の厚さである。砥石層13は、第3厚さT3を有している。第3厚さT3は、第3方向における砥石層13の厚さである。 The grindstone holding layer 11 has a first thickness T1. The first thickness T1 is the thickness of the grindstone holding layer 11 in the third direction DR3 orthogonal to the first direction DR1 and the second direction DR2. The stress relaxation layer 12 has a second thickness T2. The second thickness T2 is the thickness of the stress relaxation layer 12 in the third direction DR3. The grindstone layer 13 has a third thickness T3. The third thickness T3 is the thickness of the grindstone layer 13 in the third direction.

第3厚さT3の第1厚さT1、第2厚さT2及び第3厚さT3の合計に対する比率は、40パーセント以上60パーセント以下であることが好ましい。すなわち、第3厚さT3を第1厚さT1、第2厚さT2及び第3厚さT3の合計で除した値は、0.4以上0.6以下であることが好ましい。 The ratio of the third thickness T3 to the total of the first thickness T1, the second thickness T2, and the third thickness T3 is preferably 40% or more and 60% or less. That is, the value obtained by dividing the third thickness T3 by the total of the first thickness T1, the second thickness T2, and the third thickness T3 is preferably 0.4 or more and 0.6 or less.

砥石保持層11のヤング率は、砥石層13のヤング率よりも小さい。このことを別の観点からいえば、応力緩和層12は、砥石層13よりも相対的に変形しやすい。砥石保持層11の強度は、砥石層13の強度よりも高いことが好ましい。砥石保持層11の強度と砥石層13の強度との大小関係は、3点曲げ試験機により測定することができる。 The Young's modulus of the grindstone holding layer 11 is smaller than the Young's modulus of the grindstone layer 13. From another point of view, the stress relaxation layer 12 is relatively more easily deformed than the grindstone layer 13. The strength of the grindstone holding layer 11 is preferably higher than the strength of the grindstone layer 13. The magnitude relationship between the strength of the grindstone holding layer 11 and the strength of the grindstone layer 13 can be measured by a three-point bending tester.

砥石保持層11は、砥石層13よりも可撓性のある材料で構成されていることが好ましい。砥石保持層11は、樹脂材料により構成されていることが好ましい。砥石保持層11は、例えば、合成樹脂材料により構成されている。砥石保持層11に用いられる樹脂材料は、例えば、熱硬化性樹脂又は熱可塑性樹脂である。砥石保持層11に用いられる樹脂材料は、好ましくは、フェノール樹脂である。 The grindstone holding layer 11 is preferably made of a material that is more flexible than the grindstone layer 13. The grindstone holding layer 11 is preferably made of a resin material. The grindstone holding layer 11 is made of, for example, a synthetic resin material. The resin material used for the grindstone holding layer 11 is, for example, a thermosetting resin or a thermoplastic resin. The resin material used for the grindstone holding layer 11 is preferably a phenol resin.

応力緩和層12の耐摩耗性は、砥石層13の耐摩耗性以下であることが好ましい。応力緩和層12の耐摩耗性及び砥石層13の耐摩耗性の大小関係は、一定の粗さを有する材料を用いて応力緩和層12及び砥石層13を研磨し、その際の摩耗量を評価することにより決定することができる。 The wear resistance of the stress relaxation layer 12 is preferably equal to or less than the wear resistance of the grindstone layer 13. Regarding the magnitude relationship between the wear resistance of the stress relaxation layer 12 and the wear resistance of the grindstone layer 13, the stress relaxation layer 12 and the grindstone layer 13 are polished using a material having a certain roughness, and the amount of wear at that time is evaluated. It can be determined by doing.

応力緩和層12は、第1砥粒を含有していてもよい。砥石層13は、第2砥粒を有していてもよい。なお、砥石層13は、上記の第2砥粒に加え、結合剤を含んでいる。第1砥粒の硬度は、第1硬度である。第2砥粒の硬度は、第2硬度である。第2硬度は、第1硬度以上であることが好ましい。第1硬度及び第2硬度は、例えば、ヌープ硬度計により測定することができる。第1硬度及び第2硬度は、ビッカース硬度計により測定されてもよい。 The stress relaxation layer 12 may contain the first abrasive grains. The grindstone layer 13 may have a second abrasive grain. The grindstone layer 13 contains a binder in addition to the above-mentioned second abrasive grains. The hardness of the first abrasive grains is the first hardness. The hardness of the second abrasive grains is the second hardness. The second hardness is preferably equal to or higher than the first hardness. The first hardness and the second hardness can be measured by, for example, a Knoop hardness tester. The first hardness and the second hardness may be measured by a Vickers hardness tester.

第2砥粒は、例えば白色酸化アルミニウム、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、緑色炭化ケイ素、CBN(Cubic Boron Nitride、立方晶窒化ホウ素)、ダイヤモンド等により構成されている砥粒である。 The second abrasive grains are abrasive grains composed of, for example, white aluminum oxide, aluminum oxide, silicon carbide, green silicon carbide, CBN (Cubic Boron Nitride), diamond, and the like.

応力緩和層12は、砥粒を含んでいなくてもよい。すなわち、応力緩和層12は、結合剤のみで構成されていてもよい。応力緩和層12は、例えば、ゴム、樹脂材料等により構成されていてもよい。 The stress relaxation layer 12 does not have to contain abrasive grains. That is, the stress relaxation layer 12 may be composed of only a binder. The stress relaxation layer 12 may be made of, for example, rubber, a resin material, or the like.

応力緩和層12中における砥粒の含有量は、砥石層13中における砥粒の含有量よりも少ないことが好ましい。応力緩和層12中における砥粒の含有量(砥石層13中における砥石の含有量)は、断面視において、応力緩和層12(砥石層13)に含まれる砥石の面積比率を画像処理で算出することにより測定される。なお、「応力緩和層12中における砥粒の含有量が砥石層13中における砥粒の含有量よりも少ない」には、応力緩和層12中に砥粒が含まれておらず、砥石層13中に砥粒が含まれている場合も含む。 The content of abrasive grains in the stress relaxation layer 12 is preferably smaller than the content of abrasive grains in the grindstone layer 13. The content of abrasive grains in the stress relaxation layer 12 (content of the grindstone in the grindstone layer 13) is calculated by image processing as the area ratio of the grindstone contained in the stress relaxation layer 12 (grindstone layer 13) in a cross-sectional view. Measured by In "the content of abrasive grains in the stress relaxation layer 12 is smaller than the content of abrasive grains in the grindstone layer 13", the abrasive grains are not contained in the stress relaxation layer 12, and the grindstone layer 13 does not contain abrasive grains. It also includes the case where abrasive grains are contained therein.

(実施形態に係る超仕上げ砥石10の製造方法)
実施形態に係る超仕上げ砥石10の製造においては、第1に、砥石保持層11、応力緩和層12及び砥石層13が、それぞれ別個に作製される。第2に、砥石保持層11、応力緩和層12及び砥石層13は、それぞれ、所定の大きさに仕上げられるとともに、相互に貼り合わせられる。なお、応力緩和層12と砥石層13が同じ材料のボンドからなる場合は、これらの2層を同時に成形するとともに所定の大きさに仕上げられるとともに、砥石保持層11に接着されてもよい。さらに、砥石保持層11、応力緩和層12及び砥石層13が同種のボンドからなる場合は、これらの3層を同時成形することも可能である。第3に、貼り合わせられた砥石保持層11、応力緩和層12及び砥石層13は、必要とされる寸法に応じて切断されるとともに、仕上げが行われる。
(Manufacturing method of super-finishing whetstone 10 according to the embodiment)
In the production of the super-finishing grindstone 10 according to the embodiment, first, the grindstone holding layer 11, the stress relaxation layer 12, and the grindstone layer 13 are separately manufactured. Second, the grindstone holding layer 11, the stress relaxation layer 12, and the grindstone layer 13 are each finished to a predetermined size and are bonded to each other. When the stress relaxation layer 12 and the grindstone layer 13 are made of bonds made of the same material, these two layers may be formed at the same time, finished to a predetermined size, and adhered to the grindstone holding layer 11. Further, when the grindstone holding layer 11, the stress relaxation layer 12, and the grindstone layer 13 are made of the same type of bond, these three layers can be formed at the same time. Third, the bonded grindstone holding layer 11, stress relaxation layer 12, and grindstone layer 13 are cut and finished according to the required dimensions.

(実施形態に係る研削装置100の構成)
以下に、実施形態に係る研削装置100の構成を説明する。
(Structure of Grinding Device 100 According to Embodiment)
The configuration of the grinding apparatus 100 according to the embodiment will be described below.

図3は、実施形態に係る研削装置100の正面図である。図3に示すように、研削装置100は、超仕上げ砥石10と、揺動ヘッド20と、バッキングプレート30と、クランプロール40とを有している。 FIG. 3 is a front view of the grinding device 100 according to the embodiment. As shown in FIG. 3, the grinding device 100 includes a super-finishing grindstone 10, a swing head 20, a backing plate 30, and a clamp roll 40.

揺動ヘッド20は、本体部21と、砥石保持部22とを有している。なお、図3中において図示されていないが、揺動ヘッド20は、シリンダを有している。本体部21は、中心軸21a周りに回転可能に構成されている。砥石保持部22は、本体部21の外周から中心軸21aの方向に沿って延在している。砥石保持部22の先端部には、超仕上げ砥石10が保持されている。 The swing head 20 has a main body portion 21 and a grindstone holding portion 22. Although not shown in FIG. 3, the swing head 20 has a cylinder. The main body 21 is configured to be rotatable around the central axis 21a. The grindstone holding portion 22 extends from the outer periphery of the main body portion 21 along the direction of the central axis 21a. The super-finishing grindstone 10 is held at the tip of the grindstone holding portion 22.

シリンダは、超仕上げ砥石10を、加工対象部材の外周面(後述する内輪50の外周面50d)に向かって付勢する。砥石保持部22に保持されている超仕上げ砥石10は、本体部21を中心軸21a周りに回転させることにより、中心軸21aに直交する面内において揺動する。 The cylinder urges the super-finishing grindstone 10 toward the outer peripheral surface of the member to be machined (the outer peripheral surface 50d of the inner ring 50 described later). The super-finishing grindstone 10 held by the grindstone holding portion 22 swings in a plane orthogonal to the central shaft 21a by rotating the main body portion 21 around the central shaft 21a.

図4は、加工対象部材の上面図である。図5は、図4のV−Vにおける断面図である。図4及び図5に示すように、加工対象部材は、リング状の部材である。例えば、加工対象部材は、深溝玉軸受の内輪50である。以下においては、内輪50を、加工対象部材の例として説明する。内輪50は、上面50aと、底面50bと、内周面50cと、外周面50dと、中心軸50eとを有している。 FIG. 4 is a top view of the member to be processed. FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line VV of FIG. As shown in FIGS. 4 and 5, the member to be processed is a ring-shaped member. For example, the member to be machined is the inner ring 50 of the deep groove ball bearing. In the following, the inner ring 50 will be described as an example of the member to be machined. The inner ring 50 has an upper surface 50a, a lower surface 50b, an inner peripheral surface 50c, an outer peripheral surface 50d, and a central axis 50e.

上面50a及び底面50bは、中心軸50eの方向における端面を構成している。底面50bは、上面50aの反対面である。内周面50c及び外周面50dは、上面50a及び底面50bに連なっている。内周面50cは、外周面50dよりも、中心軸50eとの距離が近くなっている。外周面50dには、軌道溝が形成されている。 The upper surface 50a and the bottom surface 50b form end faces in the direction of the central axis 50e. The bottom surface 50b is the opposite surface of the top surface 50a. The inner peripheral surface 50c and the outer peripheral surface 50d are connected to the upper surface 50a and the lower surface 50b. The inner peripheral surface 50c is closer to the central axis 50e than the outer peripheral surface 50d. A track groove is formed on the outer peripheral surface 50d.

内輪50は、バッキングプレート30及びクランプロール40に挟み込まれることにより、固定されている。バッキングプレート30は、内輪50を、中心軸50e周りに回転させるように構成されている。 The inner ring 50 is fixed by being sandwiched between the backing plate 30 and the clamp roll 40. The backing plate 30 is configured to rotate the inner ring 50 around the central axis 50e.

超仕上げ砥石10は、上面10aが図中において上方を向くように、砥石保持部22に保持されている。内輪50は、図中において反時計回りに回転することが好ましい。すなわち、超仕上げ砥石10は、上面10a側が底面10b側よりも先に内輪50の外周面50dに接触するように、揺動ヘッド20(砥石保持部22)に保持されていることが好ましい。このことを別の観点からいえば、超仕上げ砥石10は、第1に砥石保持層11が内輪50の外周面50dに接触し、第2に砥石層13が内輪50の外周面50dに接触し、第3に応力緩和層12が内輪50の外周面50dに接触するように、揺動ヘッド20(砥石保持部22)に保持されていることが好ましい。 The super-finishing grindstone 10 is held by the grindstone holding portion 22 so that the upper surface 10a faces upward in the drawing. The inner ring 50 preferably rotates counterclockwise in the drawing. That is, it is preferable that the super-finishing grindstone 10 is held by the swing head 20 (grindstone holding portion 22) so that the upper surface 10a side comes into contact with the outer peripheral surface 50d of the inner ring 50 before the bottom surface 10b side. From another point of view, in the super-finishing grindstone 10, the grindstone holding layer 11 first contacts the outer peripheral surface 50d of the inner ring 50, and the grindstone layer 13 contacts the outer peripheral surface 50d of the inner ring 50. Thirdly, it is preferable that the stress relaxation layer 12 is held by the swing head 20 (grinding stone holding portion 22) so as to come into contact with the outer peripheral surface 50d of the inner ring 50.

(実施形態に係る超仕上げ砥石10及び研削装置100の効果)
以下に、実施形態に係る超仕上げ砥石10の効果を説明する。
(Effects of the super-finishing grindstone 10 and the grinding device 100 according to the embodiment)
The effect of the super-finishing grindstone 10 according to the embodiment will be described below.

超仕上げ砥石10においては、砥石層13が砥石保持層11及び応力緩和層12により補強されるため、砥石の折損、欠損を抑制することができる。 In the super-finishing grindstone 10, since the grindstone layer 13 is reinforced by the grindstone holding layer 11 and the stress relaxation layer 12, it is possible to suppress breakage and breakage of the grindstone.

超仕上げ砥石10において、砥石保持層11が砥石層13よりもヤング率が小さい場合には、超仕上げ砥石10が加工対象部材に付勢された際に、砥石保持層11が変形して加工対象部材の表面に密着しやすい。その結果、超仕上げ砥石10は、加工対象部材の表面に付着した切粉が加工対象部材の回転に伴って加工箇所付近に戻ってきた際に、加工箇所付近に入り込むことを抑制することができる。 In the super-finishing grindstone 10, when the grindstone holding layer 11 has a Young's modulus smaller than that of the grindstone layer 13, when the super-finishing grindstone 10 is urged to the member to be machined, the grindstone holding layer 11 is deformed and is to be machined. Easy to adhere to the surface of the member. As a result, the super-finishing grindstone 10 can suppress the chips adhering to the surface of the member to be machined from entering the vicinity of the machined portion when they return to the vicinity of the machined portion due to the rotation of the member to be machined. ..

砥石保持層11は、砥石層13よりも強度が高い場合、砥石層13は、砥石保持層11によりさらに補強される。応力緩和層12の耐摩耗性が砥石層13よりも耐摩耗性が低い場合、超仕上げ加工を行う際に応力緩和層12の磨滅が進行しやすくなることにより、超仕上げ加工の進行に伴う加工対象部材との接触面積の増加及びそれに基づく引張応力の増加が生じにくくなる。したがって、この場合には、砥石の折損、欠損をさらに抑制することができる。 When the grindstone holding layer 11 has a higher strength than the grindstone layer 13, the grindstone layer 13 is further reinforced by the grindstone holding layer 11. When the wear resistance of the stress relaxation layer 12 is lower than that of the grindstone layer 13, the stress relaxation layer 12 is likely to be worn away during the superfinishing process, so that the process is accompanied by the progress of the superfinishing process. The increase in contact area with the target member and the increase in tensile stress based on it are less likely to occur. Therefore, in this case, breakage and breakage of the grindstone can be further suppressed.

なお、超仕上げ砥石10においては、応力緩和層12は、加工対象部材との接触により削り出される際に、加工対象部材から発生した切粉を巻き込みながら排出されるため、超仕上げ砥石10によると、切粉の除去を促進することができる。 In the super-finishing grindstone 10, the stress relaxation layer 12 is discharged while entraining chips generated from the machining target member when it is machined by contact with the machining target member. Therefore, according to the super-finishing grindstone 10. , The removal of chips can be promoted.

超仕上げ砥石10において、砥石保持層11が樹脂材料のように可撓性がある材料により構成されている場合には、砥石保持層11がさらに加工対象部材の表面に密着しやすくなる。そのため、この場合には、加工対象部材の表面に付着した切粉が加工対象部材の回転に伴って加工箇所付近に戻ってきた際に加工箇所付近に入り込むことをさらに抑制することができる。 In the super-finishing grindstone 10, when the grindstone holding layer 11 is made of a flexible material such as a resin material, the grindstone holding layer 11 is more likely to adhere to the surface of the member to be processed. Therefore, in this case, it is possible to further prevent the chips adhering to the surface of the member to be processed from entering the vicinity of the processed portion when they return to the vicinity of the processed portion due to the rotation of the member to be processed.

超仕上げ砥石10において、応力緩和層12が第1硬度の第1砥粒を含有し、砥石層13が第1硬度以上の第2硬度の第2砥粒を含有している場合には、応力緩和層12が砥石層13と比較して磨滅しやすくなるため、加工の進行に伴う砥石と加工対象部材との接触面積の増加による引張応力の増加及びそれに伴う砥石の折損、欠損を抑制することができる。 In the super-finishing grindstone 10, when the stress relaxation layer 12 contains the first abrasive grains having the first hardness and the grindstone layer 13 contains the second abrasive grains having the second hardness equal to or higher than the first hardness, the stress Since the relaxation layer 12 is more easily worn than the grindstone layer 13, the increase in tensile stress due to the increase in the contact area between the grindstone and the member to be machined as the machining progresses, and the accompanying breakage and breakage of the grindstone are suppressed. Can be done.

超仕上げ砥石10において、応力緩和層12中における砥粒の含有量は、砥石層13中における砥粒の含有量よりも小さくてもよい。この場合には、応力緩和層12が砥石層13と比較して磨滅しやすくなるため、加工の進行に伴う砥石と加工対象部材との接触面積の増加による引張応力の増加及びそれに伴う砥石の折損、欠損を抑制することができる。 In the super-finishing grindstone 10, the content of abrasive grains in the stress relaxation layer 12 may be smaller than the content of abrasive grains in the grindstone layer 13. In this case, since the stress relaxation layer 12 is more easily worn than the grindstone layer 13, the tensile stress increases due to the increase in the contact area between the grindstone and the member to be machined as the machining progresses, and the grindstone is broken due to the increase. , The defect can be suppressed.

超仕上げ砥石10において、第3厚さT3の第1厚さT1、第2厚さT2及び第3厚さT3の合計に対する比率が40パーセント以上60パーセント以下である場合には、加工の進行に伴う砥石と加工対象部材との接触面積の増加による引張応力の増加及びそれに伴う砥石の折損、欠損を抑制しつつ、シリンダの小型化を図ることが可能になる。シリンダが小型化されることにより、エアの消費量の低減及び揺動ヘッドの慣性モーメントの低減を行うことができる。 In the super-finishing grindstone 10, when the ratio of the third thickness T3 to the total of the first thickness T1, the second thickness T2 and the third thickness T3 is 40% or more and 60% or less, the processing proceeds. It is possible to reduce the size of the cylinder while suppressing an increase in tensile stress due to an increase in the contact area between the grindstone and the member to be machined and the accompanying breakage and breakage of the grindstone. By reducing the size of the cylinder, it is possible to reduce the amount of air consumed and the moment of inertia of the swing head.

以下に、実施形態に係る研削装置100の効果を説明する。 The effect of the grinding apparatus 100 according to the embodiment will be described below.

研削装置100においては、砥石保持層11が砥石層13よりも先に加工対象部材の外周面と接触する。そのため、加工対象部材の表面に付着した切粉が砥石層13と加工対象部材の外周面との間に入り込む前に、砥石保持層11により遮断される。そのため、研削装置100によると、加工対象部材の表面に付着した切粉が加工箇所付近に入り込むことをさらに抑制することができる。 In the grinding device 100, the grindstone holding layer 11 comes into contact with the outer peripheral surface of the member to be machined before the grindstone layer 13. Therefore, the chips adhering to the surface of the member to be processed are blocked by the grindstone holding layer 11 before entering between the grindstone layer 13 and the outer peripheral surface of the member to be processed. Therefore, according to the grinding apparatus 100, it is possible to further prevent chips adhering to the surface of the member to be processed from entering the vicinity of the processed portion.

以上のように本発明の実施形態について説明を行ったが、上述の実施形態を様々に変形することも可能である。また、本発明の範囲は、上述の実施形態に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更を含むことが意図される。 Although the embodiment of the present invention has been described above, it is possible to modify the above-described embodiment in various ways. Moreover, the scope of the present invention is not limited to the above-described embodiment. The scope of the present invention is indicated by the scope of claims and is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of claims.

上記の実施形態は、超仕上げ砥石及びそれを用いた研削装置に特に有利に適用される。 The above embodiment is particularly advantageously applied to a superfinishing grindstone and a grinding machine using the superfinishing grindstone.

10 超仕上げ砥石、10a 上面、10b 底面、10c 第1側面、10d 第2側面、10e 第3側面、10f 第4側面、11 砥石保持層、12 応力緩和層、13 砥石層、20 揺動ヘッド、21 本体部、21a 中心軸、22 砥石保持部、30 バッキングプレート、40 クランプロール、50 内輪、50a 上面、50b 底面、50c 内周面、50d 外周面、50e 中心軸、100 研削装置、DR1 第1方向、DR2 第2方向、DR3 第3方向、T1 第1厚さ、T2 第2厚さ、T3 第3厚さ。 10 Super-finishing grindstone, 10a top surface, 10b bottom surface, 10c first side surface, 10d second side surface, 10e third side surface, 10f fourth side surface, 11 grindstone holding layer, 12 stress relaxation layer, 13 grindstone layer, 20 swing head, 21 Main body, 21a Central shaft, 22 Grindstone holder, 30 Backing plate, 40 Clamp roll, 50 Inner ring, 50a Top surface, 50b Bottom surface, 50c Inner peripheral surface, 50d Outer surface surface, 50e Central axis, 100 Grinding device, DR1 1st Direction, DR2 second direction, DR3 third direction, T1 first thickness, T2 second thickness, T3 third thickness.

Claims (7)

砥石保持層と、
応力緩和層と、
前記砥石保持層と前記応力緩和層とに挟み込まれる砥石層とを備え、
前記砥石保持層のヤング率は、前記砥石層のヤング率よりも小さい、超仕上げ砥石。
With the grindstone holding layer,
Stress relaxation layer and
A grindstone layer sandwiched between the grindstone holding layer and the stress relaxation layer is provided.
A super-finishing grindstone in which the Young's modulus of the grindstone holding layer is smaller than the Young's modulus of the grindstone layer.
前記応力緩和層の耐摩耗性は、前記砥石層の耐摩耗性以下である、請求項1に記載の超仕上げ砥石。 The super-finishing grindstone according to claim 1, wherein the wear resistance of the stress relaxation layer is equal to or less than the wear resistance of the grindstone layer. 前記砥石保持層は、樹脂材料により構成される、請求項1又は請求項2に記載の超仕上げ砥石。 The super-finishing grindstone according to claim 1 or 2, wherein the grindstone holding layer is made of a resin material. 前記応力緩和層は、第1硬度の第1砥粒を含有し、
前記砥石層は、前記第1硬度以上の第2硬度の第2砥粒を含有する、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の超仕上げ砥石。
The stress relaxation layer contains the first abrasive grains having the first hardness, and contains the first abrasive grains.
The super-finishing grindstone according to any one of claims 1 to 3, wherein the grindstone layer contains a second grindstone having a second hardness equal to or higher than the first hardness.
前記応力緩和層中における砥粒の含有量は、前記砥石層中における砥粒の含有量よりも少ない、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の超仕上げ砥石。 The super-finishing grindstone according to any one of claims 1 to 4, wherein the content of abrasive grains in the stress relaxation layer is smaller than the content of abrasive grains in the grindstone layer. 前記砥石保持層は、第1厚さを有し、
前記応力緩和層は、第2厚さを有し、
前記砥石層は、第3厚さを有し、
前記第3厚さの前記第1厚さ、前記第2厚さ及び前記第3厚さの合計に対する比率は、40パーセント以上60パーセント以下である、請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の超仕上げ砥石。
The grindstone holding layer has a first thickness and has a first thickness.
The stress relaxation layer has a second thickness and has a second thickness.
The grindstone layer has a third thickness and has a third thickness.
One of claims 1 to 5, wherein the ratio of the third thickness to the total of the first thickness, the second thickness, and the third thickness is 40% or more and 60% or less. Super-finishing whetstone described in.
請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の前記超仕上げ砥石と、
中心軸周りに回転するリング状の加工対象部材の外周面に付勢するように前記超仕上げ砥石を保持する揺動ヘッドとを備え、
前記揺動ヘッドは、前記砥石保持層が前記外周面に接触した後に前記砥石層が前記外周面に接触し、かつ前記砥石層が前記外周面に接触した後に前記応力緩和層が前記外周面に接触するように前記超仕上げ砥石を保持する、研削装置。
The super-finishing grindstone according to any one of claims 1 to 6.
A swing head that holds the super-finishing grindstone so as to urge the outer peripheral surface of the ring-shaped member to be machined that rotates around the central axis is provided.
In the swing head, after the grindstone holding layer comes into contact with the outer peripheral surface, the grindstone layer comes into contact with the outer peripheral surface, and after the grindstone layer comes into contact with the outer peripheral surface, the stress relaxation layer comes into contact with the outer peripheral surface. A grinding device that holds the superfinished grindstone so that it comes into contact with it.
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Citations (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5912561U (en) * 1982-07-15 1984-01-26 瑞穂研磨砥石株式会社 Fine grain whetstone
JPS59143651U (en) * 1983-03-17 1984-09-26 額賀 義盛 cutting “to” stone
JPS6156870A (en) * 1984-08-24 1986-03-22 Noritake Co Ltd Super finishing wheel and its manufacture
JPS6288575A (en) * 1985-10-14 1987-04-23 Mitsubishi Metal Corp Grinding wheel
JPS63174877A (en) * 1987-01-10 1988-07-19 Mitsubishi Metal Corp Electroformed thin blade grinding stone
JPS6440278A (en) * 1987-08-04 1989-02-10 Daiwa Kasei Kogyo Kk Super abrasive elastic grindstone
JPH01153278A (en) * 1987-12-09 1989-06-15 F S K:Kk Grinding stone for super finish
JPH0265973A (en) * 1988-09-01 1990-03-06 Noritake Co Ltd Super finishing grindstone consisting of plural super abrasive grain sheet and manufacture thereof
JPH03294182A (en) * 1990-09-28 1991-12-25 Mitsubishi Materials Corp Electrocast grinding wheel
JPH03130367U (en) * 1990-04-10 1991-12-27
JPH08252770A (en) * 1995-03-17 1996-10-01 Nissan Motor Co Ltd Grinding wheel for super-finish and grinding method for super-finish
JP2003200341A (en) * 2001-12-28 2003-07-15 Daisei Co Ltd Superfinishing machine
JP2006205330A (en) * 2005-01-31 2006-08-10 Nanotemu:Kk Grinding wheel
JP2007118122A (en) * 2005-10-27 2007-05-17 Mitsubishi Materials Corp Electroformed thin blade grinding tool
JP2013158890A (en) * 2012-02-07 2013-08-19 Nsk Ltd Super finishing device, and super finishing method
JP2014061554A (en) * 2012-09-19 2014-04-10 Noritake Co Ltd Super-finishing grinding wheel and super-finishing method using the same
US20200198095A1 (en) * 2017-08-22 2020-06-25 Cibo N.V. Sanding element and method for manufacturing a sanding element

Patent Citations (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5912561U (en) * 1982-07-15 1984-01-26 瑞穂研磨砥石株式会社 Fine grain whetstone
JPS59143651U (en) * 1983-03-17 1984-09-26 額賀 義盛 cutting “to” stone
JPS6156870A (en) * 1984-08-24 1986-03-22 Noritake Co Ltd Super finishing wheel and its manufacture
JPS6288575A (en) * 1985-10-14 1987-04-23 Mitsubishi Metal Corp Grinding wheel
JPS63174877A (en) * 1987-01-10 1988-07-19 Mitsubishi Metal Corp Electroformed thin blade grinding stone
JPS6440278A (en) * 1987-08-04 1989-02-10 Daiwa Kasei Kogyo Kk Super abrasive elastic grindstone
JPH01153278A (en) * 1987-12-09 1989-06-15 F S K:Kk Grinding stone for super finish
JPH0265973A (en) * 1988-09-01 1990-03-06 Noritake Co Ltd Super finishing grindstone consisting of plural super abrasive grain sheet and manufacture thereof
JPH03130367U (en) * 1990-04-10 1991-12-27
JPH03294182A (en) * 1990-09-28 1991-12-25 Mitsubishi Materials Corp Electrocast grinding wheel
JPH08252770A (en) * 1995-03-17 1996-10-01 Nissan Motor Co Ltd Grinding wheel for super-finish and grinding method for super-finish
JP2003200341A (en) * 2001-12-28 2003-07-15 Daisei Co Ltd Superfinishing machine
JP2006205330A (en) * 2005-01-31 2006-08-10 Nanotemu:Kk Grinding wheel
JP2007118122A (en) * 2005-10-27 2007-05-17 Mitsubishi Materials Corp Electroformed thin blade grinding tool
JP2013158890A (en) * 2012-02-07 2013-08-19 Nsk Ltd Super finishing device, and super finishing method
JP2014061554A (en) * 2012-09-19 2014-04-10 Noritake Co Ltd Super-finishing grinding wheel and super-finishing method using the same
US20200198095A1 (en) * 2017-08-22 2020-06-25 Cibo N.V. Sanding element and method for manufacturing a sanding element

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