JP2021136065A - アンテナセグメント及び誘導結合プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1を参照して、本開示の第1の実施形態に係る基板処理装置10について説明する。ここで、図1は、第1の実施形態に係る基板処理装置10の一例を示す縦断面図である。
次に、外側アンテナ110のアンテナセグメント111,112について、更に説明する。
本開示の第2の実施形態に係る基板処理装置10について説明する。第2の実施形態に係る基板処理装置10は、図1に示す第1の実施形態に係る基板処理装置10と同様の構成を有している。また、第2の実施形態に係る基板処理装置10の高周波アンテナ54は、第1の実施形態に係る基板処理装置10の高周波アンテナ54(図2参照)と同様に、外側アンテナ110と、中間アンテナ120と、内側アンテナ130と、を有する。外側アンテナ110は、額縁状領域141の角部を構成する4つの第1のアンテナセグメント111Dと、額縁状領域141の辺中央部を構成する4つの第2のアンテナセグメント112Dと、の合計8個のアンテナセグメントで構成されており、全体として環状アンテナとなる多分割環状アンテナとして構成されている。アンテナセグメント111D,112Dの配置領域を包括して額縁状領域141を構成している。第2の実施形態は第1の実施形態の一例と同様に第1のアンテナセグメント及び第2のセグメントにおいてZ方向のアンテナ線が内側に屈曲しているが、第1の実施形態と異なる点は、第1のアンテナセグメントが外廻し部を有さないことである。
次に、外側アンテナ110のアンテナセグメント111D,112Dについて、更に説明する。
10 基板処理装置
20 処理容器
50 金属窓(上部壁)
54 高周波アンテナ
57 分割金属窓
70 基板載置台
110 外側アンテナ(アンテナユニット)
111 第1のアンテナセグメント(角部アンテナセグメント)
112 第2のアンテナセグメント
141 額縁状領域
300 アンテナ線
301 第1平面
311〜313 アンテナ線(第1のアンテナ線)
314〜317 アンテナ線(第2のアンテナ線)
311a,311e 平面上アンテナ部
311c 外廻し部(積層アンテナ部)
311b,311d 連結部
Claims (7)
- 筒状にアンテナ線を巻回して形成し、前記アンテナ線の一部によって第1平面を形成するアンテナセグメントであって、
巻回軸方向の一方側で、少なくとも一部が前記第1平面を形成する第1のアンテナ線と、
前記巻回軸方向の他方側で、前記第1平面を形成する第2のアンテナ線と、を備え、
前記第1のアンテナ線は、
前記第1平面を形成する平面上アンテナ部と、
前記第2のアンテナ線の上方に離間して配置される積層アンテナ部と、
前記平面上アンテナ部と前記積層アンテナ部とを接続する連結部と、を有する、
アンテナセグメント。 - 前記積層アンテナ部を流れる電流は、前記第2のアンテナ線を流れる電流と同方向に流れる、
請求項1に記載のアンテナセグメント。 - 前記巻回軸方向の一方側の第1端部は、凹状に屈曲し、
前記巻回軸方向の他方側の第2端部は、凸状に屈曲して形成される、
請求項1または請求項2に記載のアンテナセグメント。 - 前記積層アンテナ部を構成するアンテナ線の巻き数は、前記第1平面を形成するアンテナ線の全巻き数の半分以下である、
請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のアンテナセグメント。 - 前記第2のアンテナ線の上端から前記積層アンテナ部の下端までの間隔は、10mm以上、30mm以下である、
請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のアンテナセグメント。 - 前記第1平面と対向する位置に、前記アンテナ線の他の一部によって第2平面を形成する、
請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のアンテナセグメント。 - 処理容器を構成する上部壁と、前記処理容器内において前記上部壁に対向する載置台と、前記上部壁の上方に配置されるアンテナユニットと、を備え、前記載置台上に載置された基板を処理する誘導結合プラズマ処理装置であって、
前記アンテナユニットは、
筒状にアンテナ線を巻回して形成し、前記アンテナ線の一部によって第1平面を形成するアンテナセグメントを、前記第1平面が額縁状領域を形成するように配列して形成され、
前記アンテナユニットは、
複数の前記アンテナセグメントのうち、前記額縁状領域の角部を構成する角部アンテナセグメントを有し、
前記角部アンテナセグメントは、
巻回軸方向の一方側で、少なくとも一部が前記第1平面を形成する第1のアンテナ線と、
前記巻回軸方向の他方側で、前記第1平面を形成する第2のアンテナ線と、を備え、
前記第1のアンテナ線は、
前記第1平面を形成する平面上アンテナ部と、
前記第2のアンテナ線の上方に離間して配置される積層アンテナ部と、
前記平面上アンテナ部と前記積層アンテナ部とを接続する連結部と、を有する、
誘導結合プラズマ処理装置。
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