JP2021134219A - アンダーフィル材、及びこれを用いた半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施の形態に係るアンダーフィル材は、バインダ樹脂と、液状のエポキシ樹脂と、硬化剤と、フィラーとを含有する。また、バインダ樹脂の重量平均分子量が200,000以上であり、かつ、バインダ樹脂のガラス転移温度(Tg)が30℃未満である。さらに、アンダーフィル材は、150〜170℃の範囲における昇温速度10℃/minでの溶融粘度が150Pa・s未満であり、250℃における溶融粘度が500,000Pa・s以上であり、250℃で60秒加熱後の反応率が30%未満である。
アンダーフィル材は、重量平均分子量が200,000以上であり、かつ、ガラス転移温度が30℃未満であるバインダ樹脂を含有する。バインダ樹脂は、膜形成樹脂として機能する。
アンダーフィル材は、熱硬化樹脂として、常温で液状のエポキシ樹脂を含有する。アンダーフィル材が、常温で液状のエポキシ樹脂を含有することにより、加熱加圧雰囲気下でアンダーフィル材を完全に硬化させる際に、アンダーフィル材の流動性が良好になるため、ボイドを効果的に抑制でき、半導体チップの実装荷重の増大を抑制することもできる。
硬化剤は、エポキシ樹脂用の硬化剤であり、フェノール類、イミダゾール類、酸無水物類、アミン類、ヒドラジド類、ポリメルカプタン類、ルイス酸−アミン錯体類などを用いることができる。フェノール類としては、フェノールノボラック化合物、クレゾールノボラック化合物、芳香族炭化水素ホルムアルデヒド樹脂変性フェノール化合物、ジシクロペンタジエンフェノール付加型化合物、フェノールアラルキル化合物などが挙げられる。これらの中でも、フェノールとホルムアルデヒドを酸触媒の存在下にて重縮合を行って得られたフェノールノボラック樹脂(例えば、PSM−4261(群栄化学工業社製))が好ましい。
フィラーは、例えば圧着時(後述する半導体装置の製造方法の搭載工程や硬化工程)のアンダーフィル材の流動性を調整する目的で用いられる。フィラーは、例えば、シリカ、タルク、酸化チタン、炭酸カルシウム、酸化マグネシウム等の無機フィラーを用いることができ、シリカが好ましい。フィラーは、1種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。アンダーフィル材中のフィラーの含有量の合計は、例えば26〜50質量%とすることができ、26〜32質量%とすることもできる。
次に、上述したアンダーフィル材を用いた半導体装置の製造方法について説明する。例えば、半導体装置の製造方法は、半田付き電極が形成され、この電極面にアンダーフィル材からなるアンダーフィルフィルムが貼り合わされた半導体チップを、半田付き電極と対向する対向電極が形成された基板に搭載する工程(搭載工程)と、アンダーフィルフィルムを硬化させる工程(硬化工程)とを有する。
搭載工程では、図1に示すように、半導体ウエハ1上に、中間層の半導体チップ2〜4と、最上層の半導体チップ5とを、アンダーフィルフィルム6〜9を介して積層配置させる。そして、搭載工程では、図2に示すように、アンダーフィルフィルム6〜9と半導体チップ2〜5とが複数積層配置された半導体チップ群を、アンダーフィルフィルム6〜9に流動性は生じるが、本硬化が生じない程度の所定の温度、荷重、時間で、熱圧着ツール(例えば、フリップチップボンダー)を用いて押圧する。これにより、半田付き電極の半田2c〜5cを溶融させて金属結合が形成された積層体を得る。
硬化工程では、搭載工程で半導体ウエハ1と半導体チップ2〜5とが導通接続された積層体のアンダーフィルフィルム6〜9を硬化させる。硬化工程は、ボイドの発生を抑制するために、加熱加圧雰囲気下で行うことが好ましい。硬化工程は、例えば、加圧オーブン(プレッシャーキュアオーブン、オートクレーブ等)を用いて行うことができる。加圧オーブンを用いることにより、多数の積層体を容易に均一に加熱できるため、生産性が向上する。
[バインダ樹脂]
アクリルゴム:SG−80H(ナガセムテックス社製)、Tg;−12℃、Mw;350,000
アクリルゴム:SG−70L(ナガセムテックス社製)、Tg;−13℃、Mw;900,000
フェノキシ樹脂:YP−50(日鉄ケミカル&マテリアル社製)、Tg;84℃、Mw;70,000
[エポキシ樹脂]
JER−604:4官能エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製)、25℃で液体、エポキシ当量;110〜130g/eq
EX−614:4官能エポキシ樹脂(ナガセムテックス社製)、25℃で液体、エポキシ当量;167g/eq
AER−9000:2官能エポキシ樹脂(PO変性のポリエーテル型エポキシ樹脂)(旭化成社製)、25℃で液体、エポキシ当量;380g/eq
JER−1032H60:3官能エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製)、25℃で固体、エポキシ当量;163〜175g/eq
JER−1031S:4官能エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製)、25℃で固体、エポキシ当量;200g/eq
[硬化剤]
フェノール樹脂:PSM−4261(群栄化学工業社製)
変性アミン:フジキュアー7002(T&K TOKA社製)
ウレア樹脂:U−CAT 3513N(サンアプロ社製)
[フィラー]
非晶性シリカ:SC1050(アドマテックス社製)、溶剤分散品
非晶性シリカ:YA050C−MJE(アドマテックス社製)
表1に示す配合比(質量部)となるように各成分を秤量し、常温のボールミルで混合・分散し、均一に溶解混合された樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を、剥離処理されたPETにバーコーターを用いて塗布し、80℃のオーブンで3分間乾燥させ、アンダーフィルフィルムを作製した(カバー剥離PET:25μm/アンダーフィルフィルム:20μm/ベース剥離PET:50μm))。
作製したアンダーフィルフィルムについて、ベースフィルムを剥離する際の温度を以下の基準で評価した。結果を表1に示す。
A:常温でベースフィルムを剥離可能
B:0℃以上、常温未満でベースフィルムを剥離可能
アンダーフィルフィルムの150〜170℃における溶融粘度(Pa・s)、及び、250℃における溶融粘度(Pa・s)は、各アンダーフィルフィルムについて、レオメータ(TA社製ARES)を用いて、10℃/min、1Hzの条件で測定した。結果を表1に示す。表1中の「MV」は、溶融粘度(Melt Viscosity)を表す。
半導体チップを基板に搭載する工程(搭載工程)を想定した250℃で60秒加熱後のアンダーフィルフィルムの反応率と、アンダーフィルフィルムを硬化させる工程(硬化工程)を想定した200℃で2時間加熱後のアンダーフィルフィルムの反応率を測定した。アンダーフィルフィルムの反応率は、温度計、圧力計、およびヒーターを備えた耐圧容器(オーエムラボテック(株)製「OM-50」)に投入前と投入後のアンダーフィルフィルム中のエポキシ基の減少率から求めた。具体的には、アンダーフィルフィルム中のエポキシ基が、オートクレーブ投入前後でどれだけ減少したかを、赤外吸収スペクトルの914cm−1の吸収を測定して求めた。結果を表1に示す。
評価用のTEG(Test Element Group)として以下のトップチップとボトムチップとを用い、実装装置(FCB3、パナソニック社製)で荷重100N、240℃、3秒間の条件で押圧し、押圧後のトップチップとボトムチップ間の半田接続(デイジーチェーン接続)状態をプローブテスタで確認した。全ての導通経路の接続が確認できた場合をOKと評価し、1ヵ所でも接続できなかった場合をNGと評価した。結果を表1に示す。
[トップチップ]
大きさ:6×6mm□、厚み:200μm
バンプ仕様:Cuピラー(8μm)+Sn/Ag半田(8μm)、φ15μm、バンプ数5000pin、ピッチ40μm
[ボトムチップ]
大きさ:8×8mm□、厚み:200μm
バンプ仕様:Cuピラー(3μm)、φ15μm、バンプ数5000pin、ピッチ40μm
導通接続試験で用いたTEGの実装体におけるチップ間のボイドの有無を、超音波映像装置(SAT:Scanning Acoustic Tomograph)(装置名:FS300、日立ハイテクノロジーズ社製)を用いて非破壊検査した。観察で得られた超音波画像における白点(ボイド)の有無を以下の基準で評価した。結果を表1に示す。
A:ボイドの面積がチップ面積の1%未満(例えば図4)
B:ボイドの面積がチップ面積の1%以上、5%未満
C:ボイドの面積がチップ面積の5%以上(例えば図5)
<吸湿リフロー>
導通接続試験で用いたTEGの実装体を温度85℃、湿度85%、24時間の条件で吸湿させ、最大260℃のリフロー炉で3サイクル加熱(吸湿リフロー)させた。吸湿リフロー後のTEGの実装体におけるチップ間の剥離を、超音波映像装置(SAT)で観察した。吸湿リフローさせる前後で、剥離起因の変化がない場合をOKと評価し、変化がある場合をNGと評価した。結果を表1に示す。
導通接続試験で用いたTEGの実装体について、−55℃(30min)⇔125℃(30min)の温度サイクル試験を200サイクル行った。温度サイクル試験後の各実装体について、デジタルマルチメータを用いて導通抵抗値の測定を行い、以下の基準で評価した。結果を表1に示す。
A:抵抗値上昇が5%以内
B:抵抗値上昇が5%超、10%以内
C:抵抗値上昇が10%超
Claims (10)
- バインダ樹脂と、
液状のエポキシ樹脂と、
硬化剤と、
フィラーとを含有し、
上記バインダ樹脂の重量平均分子量が200,000以上であり、かつ、上記バインダ樹脂のガラス転移温度が30℃未満であり、
150〜170℃の範囲における昇温速度10℃/minでの溶融粘度が150Pa・s未満であり、
250℃における溶融粘度が500,000Pa・s以上であり、
250℃で60秒加熱後の反応率が30%未満である、アンダーフィル材。 - 200℃で2時間加熱後の反応率が80%以上である、請求項1記載のアンダーフィル材。
- 上記液状のエポキシ樹脂が4官能のエポキシ樹脂を含む、請求項1又は2記載のアンダーフィル材。
- 上記液状のエポキシ樹脂の含有量が24〜36wt%である、請求項1〜3のいずれか1項に記載のアンダーフィル材。
- 上記硬化剤がフェノールノボラック樹脂を含有する、請求項1〜4のいずれか1項に記載のアンダーフィル材。
- 上記硬化剤が、以下の条件を満たす硬化剤を含有する、請求項1〜5のいずれか1項に記載のアンダーフィル材;
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量190)100質量部に対して、硬化剤を15質量部添加した混合物の25℃における粘度が、初期から2倍になるまでの日数が50日以上である。 - 加熱加圧雰囲気下で用いられる、請求項1〜6のいずれか1項に記載のアンダーフィル材。
- フィルム状である、請求項1〜7のいずれか1項に記載のアンダーフィル材。
- 半田付き電極が形成され、該電極面にアンダーフィル材が貼り合わされた半導体チップを、上記半田付き電極と対向する対向電極が形成された基板に搭載する工程と、
上記アンダーフィル材を硬化させる工程とを有し、
上記アンダーフィル材が、請求項1〜7のいずれか1項に記載のアンダーフィル材である、半導体装置の製造方法。 - 上記アンダーフィル材を硬化させる工程では、加熱加圧雰囲気下で上記アンダーフィル材を硬化させる、請求項9記載の半導体装置の製造方法。
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