JP2021124373A - レーザ超音波計測装置およびレーザ超音波計測方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、第1の実施形態に係るレーザ超音波計測装置の構成を示すブロック図である。
図13は、第2の実施形態に係るレーザ超音波計測装置の構成を示すブロック図である。本実施形態は、第1の実施形態の変形である。本実施形態に係るレーザ超音波計測装置100は、送受信位置調整部40をさらに有する。
図14は、第3の実施形態に係るレーザ超音波計測装置の構成を示すブロック図である。
図15は、第4の実施形態に係るレーザ超音波計測装置の構成を示すブロック図である。
以上、本発明の実施形態を説明したが、実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。
Claims (10)
- 測定対象に広帯域の周波数を有する表面波を励起するレーザ超音波発生装置と、
互いに中心周波数の異なる複数の圧電素子と、
前記複数の圧電素子により受信された超音波信号に基づいて前記測定対象中の欠陥の規模を推定する欠陥推定部と、
を備えることを特徴とするレーザ超音波計測装置。 - 前記測定対象が液体中にある場合に用いることを特徴とする請求項1に記載のレーザ超音波計測装置。
- 前記レーザ超音波発生装置は、
パルスレーザ光を発生するパルスレーザ光源と、
照射プローブと、
前記パルスレーザを伝送する光ファイバと、
前記パルスレーザ光を前記光ファイバに入射させる光ファイバ入射機構と、
を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のレーザ超音波計測装置。 - 前記レーザ超音波発生装置は、
パルスレーザ光を発生するパルスレーザ光源と、
前記レーザ光線の光路を転換する光学ミラーと、
前記レーザ光線を集光する光学レンズと、
を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のレーザ超音波計測装置。 - 前記欠陥推定部は、前記複数の圧電素子により受信された前記超音波信号のそれぞれの強度に基づいて前記測定対象中の欠陥の規模を推定することを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載のレーザ超音波計測装置。
- 前記レーザ超音波発生装置、前記複数の圧電素子の設置位置を個別に調整する送受信位置制御機構をさらに備えることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載のレーザ超音波計測装置。
- 前記複数の圧電素子は、直線状に配列されていることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載のレーザ超音波計測装置。
- 前記複数の圧電素子は、環状に配列されていることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載のレーザ超音波計測装置。
- 測定対象に超音波を発生させるレーザ超音波発生装置を設置する発生装置設置ステップと、
互いに中心周波数の異なる複数の圧電素子を第1の位置に設置する第1回圧電素子設置ステップと、
前記発生装置設置ステップおよび前記第1回圧電素子設置ステップの後に、レーザ超音波発生装置により、測定対象に広帯域の周波数を有する超音波を発生させる第1回超音波発生ステップと、
前記第1回超音波発生ステップにおいて前記複数の圧電素子からの信号を取得し、前記信号のレベルを比較して、前記測定対象中の欠陥の規模を推定する第1回欠陥推定ステップと、
を有することを特徴とするレーザ超音波計測方法。 - 前記第1回欠陥推定ステップは、前記複数の圧電素子からの信号が、透過表面波であるか反射表面波であるかを判別する判別ステップを有し、
前記判別ステップでの結果に応じた位置に前記複数の圧電素子を移動し第2の位置に設置する第2回圧電素子設置ステップと、
前記第2回圧電素子設置ステップの後に、レーザ超音波発生装置により、測定対象に広帯域の周波数を有する超音波を発生させる第2回超音波発生ステップと、
前記第2回超音波発生ステップにおいて前記複数の圧電素子からの信号を取得し、前記信号のレベルを比較して、前記測定対象中の欠陥の規模を推定する第2回欠陥推定ステップと、
前記第1回欠陥推定ステップおよび前記第2回欠陥推定ステップの結果から、前記欠陥の位置を推定する欠陥位置推定ステップと、
をさらに有することを特徴とする請求項9に記載のレーザ超音波計測方法。
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