JP2021120657A - 熱式流量センサ、その製造方法、及びマスフローコントローラ - Google Patents

Abstract

【課題】センサチューブの管路抵抗の個体差を低減し、測定可能な流量範囲が十分確保できる熱式流量センサと、そのような熱式流量センサを組み込んだマスフローコントローラ（ＭＦＣ）の提供。【解決手段】ＭＦＣ等の流体流路を通過する流体の質量流量を測定するセンサ２０であって、前記流体流路を通過する流体の一部を流すセンサチューブ２２と、センサチューブ２２の途中の上流側と下流側に設けられ、センサチューブ２２を加熱する一対の発熱抵抗体２３ａ，２３ｂと、前記一対の発熱抵抗体２３ａ，２３ｂを通電して発熱させるとともに、該一対の発熱抵抗体２３ａ，２３ｂの抵抗値を検出するための電気回路と、を含むものであって、センサチューブ２２は、その管路抵抗を調整するためにセンサチューブ２２の一部を狭めた狭隘部分Ｎｒを有する。【選択図】図２Ａ

Description

本発明は、熱式流量センサ、その製造方法、及びマスフローコントローラに関する。

従来、半導体製造プロセスに用いられるプロセスガス等の質量流量制御装置として、マスフローコントローラ（ＭＦＣ）が用いられており、特に精密な流量測定のために熱式ＭＦＣが多く用いられている。
この熱式ＭＦＣは、熱式流量センサで測定した流量に基づいて調整弁をフィードバック制御し、一次側から供給された流体（ガス等）を、指示された流量だけ二次側へ送出する装置である。

熱式流量センサは、流量測定のためにＭＦＣの流体流路を通過する流体の一部を流すセンサ流路を有し、その途中の上流側と下流側に設けた発熱抵抗体で通電加熱しつつ、両発熱抵抗体の抵抗値差として検出される温度差から、センサ流路を流れる流体の質量流量を測定する。
センサ流路は、他の大部分の流体を流すバイパス流路と並列に接続され、センサ流路とバイパス流路との流量の比率は既知で圧力によらずほぼ一定であるため、センサの検出流量から、ＭＦＣを流れる流体の質量流量が算出できる（たとえば特許文献１）。

特開２０１６−１６２０６４号公報

このような、熱式流量センサでは、センサ流路を構成するセンサチューブは、極めて小径であるため、製造時に内径を管理するのが困難で、内径の個体差が生じ、管路抵抗の個体差が生じやすい。
その結果、このような熱式流量センサを組み込んだＭＦＣでは、センサ流路とバイパス流路との流量の比率の個体差が生じ、補正係数の調整等の手間が大きくなるという問題があった。

また、熱式流量センサでは、センサ流路を流れる流量が大きすぎると、両発熱抵抗体間の流体を介した熱伝達が十分に行われず、一方、センサ流路を通る流体の流量が小さすぎると、両発熱抵抗体の温度差が小さく、十分な出力信号が得られないため、使用可能な流量範囲が限られている。
上記のようセンサチューブの管路抵抗の個体差があると、ＭＦＣ使用時にセンサ流路に流れる流体の流量が設計値からずれるため、流量センサの測定可能な流量範囲がさらに狭められる。また、そのような熱式流量センサをＭＦＣに組み込むと、ＭＦＣの流量制御範囲も狭められるという問題もあった。

本発明の目的は、上記問題を解決し、センサチューブの管路抵抗の個体差を低減し、測定可能な流量範囲が十分確保できる熱式流量センサと、そのような熱式流量センサを組み込み、流量制御範囲も十分確保できるマスフローコントローラ（ＭＦＣ）を提供することにある。

本発明の熱式流量センサは、流体流路を通過する流体の質量流量を測定するセンサであって、前記流体流路を通過する流体の一部を流すセンサチューブと、前記センサチューブの途中の上流側と下流側に設けられ、該センサチューブを加熱する一対の発熱抵抗体と、前記一対の発熱抵抗体を通電して発熱させるとともに、該一対の発熱抵抗体の抵抗値を検出するための電気回路と、を含むものであって、
前記センサチューブは、その管路抵抗を調整するために当該センサチューブの一部を狭めた狭隘部分を有することを特徴とする。

好ましくは、前記センサチューブは、直線状の中央部分と該中央部分の上流側及び下流側から直角方向に屈曲又は湾曲して伸びる直線状の接続部分と、からなる略コの字型を有し、前記狭隘部分は、前記上流側及び下流側の接続部分の少なくとも一方に設けられた、構成を採用できる。

好ましくは、前記狭隘部分は、前記センサチューブを部分的に押し潰すことにより形成された略長円形の断面を有し、該略長円形の断面の短径は、前記狭隘部分の流路方向で略一定である構成を採用できる。

本発明の熱式流量センサの製造方法は、流体流路を通過する流体の一部を流すセンサチューブと、前記センサチューブの途中の上流側と下流側に設けられ、該センサチューブを加熱する一対の発熱抵抗体と、前記一対の発熱抵抗体を通電して発熱させるとともに、該一対の発熱抵抗体の抵抗値を検出するための電気回路と、を含む熱式流量センサの製造方法であって、前記センサチューブの管路抵抗を調整するために当該センサチューブの一部を狭めた狭隘部分を形成する工程を含む、こと特徴とする。

好ましくは、前記狭隘部分を形成する工程は、前記センサチューブを部分的に押し潰して、前記センサチューブの断面を略長円形にする工程であり、前記略長円形の断面の短径は、前記狭隘部分の流路方向で略一定とし、前記狭隘部分の長さを調整することにより、前記センサチューブの管路抵抗を調整する、構成を採用できる。

さらに好ましくは、前記狭隘部分を形成する工程は、前記センサチューブを２つのローラで挟んで、該ローラを回転させ、該センサチューブの所定長さの範囲を押し潰すことにより形成する、構成を採用できる。

好ましくは、前記狭隘部分を形成する工程は、前記センサチューブに一定流量の流体を流したときのセンサチューブの両端の圧力差をモニターしながら実施し、当該圧力差が所定値になるように前記狭隘部分の長さを調整する工程である、構成を採用できる。

代替的には、前記狭隘部分を形成する工程は、前記センサチューブに一定の管路抵抗を有する配管を直列に接続して接続体を形成し、該接続体の両側に一定の圧力差を加えて流体を流したときの前記センサチューブの両端の圧力差をモニターしながら実施し、当該センサチューブの両端の圧力差が所定値になるように前記狭隘部分の長さを調整する工程である、構成を採用できる。

本発明のマスフローコントローラは、
流体が通過する流体流路と、
前記流体流路を通過する流体の質量流量を測定する熱式流量センサと、
前記流体流路を通過する流体の流量を調整する調整バルブと、
前記流量センサで測定された流体の質量流量が所定値になるように前記調整バルブの開度を制御する制御部と、
を有する、マスフローコントローラであって、
前記熱式流量センサとして、上記いずれかの熱式流量センサを用いたことを特徴とする。

本発明によれば、熱式流量センサのセンサチューブに狭隘部分を設けて、管路抵抗を調整するこにしたので、センサチューブの管路抵抗の個体差を低減することができる。その結果、測定可能な流量範囲が十分確保できる熱式流量センサと、そのような熱式流量センサを組み込み、流量制御範囲も十分確保できるマスフローコントローラ（ＭＦＣ）を提供することができる。

なお、上記狭隘部分の形成により、各センサチューブの管路抵抗は、本来の設計値より大きい値に調整されるが、個体差が小さくなるので、発熱抵抗体の出力や間隔を最適に設計することにより、熱式流量センサの測定可能な流量範囲を十分確保することができる。

本発明の実施形態に係るＭＦＣを概念的に示す縦断面図。 本発明の熱式流量センサの一例を示す概略図。 本発明の熱式流量センサの一例を示す概略図。 本発明の熱式流量センサの一例を示す概略図。 本発明の熱式流量センサの一例を示す概略図。 流量センサのブリッジ回路の一例を示す説明図。 センサチューブの狭隘部の形成方法を示す説明図。 センサチューブの狭隘部の形成方法を示す説明図。

（ＭＦＣの全体構成）
以下、本発明の実施形態のＭＦＣについて図面を参照して説明する。本実施形態は、熱式流量センサ（以下単に「流量センサ」ともいう）のセンサチューブの上流側及び下流側の接続部分にそれぞれ狭隘部分を設けた実施形態である。
図１は、本実施形態の熱式流量センサを含むＭＦＣを概念的に示す縦断面図である。

ＭＦＣ１は、ボディ１０と、流量センサ２０と、制御部３０と、流量調整バルブ４０とを主に備える。

ボディ１０は、ステンレス等の鋼材により構成され、外形が直方体形状をなし、その両端面には継手が取り付けられている。ボディ１０には、流入路１１ａと、センサ流入路１３ａと、バイパス流路１２と、センサ流出路１３ｂと、弁室１４と、流出路１１ｂとが形成されている。これらの各流路を総称して「流体流路」という。

バイパス流路１２へは、流入路１１ａを通過した流体が流入する。センサ流入路１３ａは、バイパス流路１２の上流から分岐し、流量センサ２０へ流体を流す。センサ流出路１３ｂは、流量センサ２０を通過した流体を流出させ、バイパス流路１２の下流で合流する。

バイパス流路１２およびセンサ流入路１３ａは、所定の流量比（例えば、１：２〜１：１０００）で流体が流れるように構成されている。バイパス流路１２内には、複数枚のバイパスシートが設けられている。弁室１４内には、流量調整バルブ４０のバルブ本体が配置されている。

流量センサ２０は、熱式流量センサであり、例えば図２Ａに示すように、センサベース本体２１と、細管からなるセンサチューブ（センサ流路）２２と、該センサチューブ２２の途中の上流側及び下流側に巻き付けられた発熱コイルからなる一対の発熱抵抗体２３ａ，２３ｂと、出力部であるブリッジ回路２８を主に備える。この流量センサ２０については、後で詳述する。

ブリッジ回路２８は、図３に示すように、前記発熱抵抗体２３ａ，２３ｂと基準抵抗Ｒ１，Ｒ２とをこの順にダイヤモンド状に接続した回路であり、接続点Ｐ１〜Ｐ２間に入力電圧を加え、接続点Ｐ３〜Ｐ４間から出力電圧を得るようになっている。なお、ブリッジ回路２８は、物理的には、制御部３０のボードに設けられているが、機能的には流量センサ２０の出力部と捉えられる。本明細書では、ブリッジ回路２８全体又はその一部を成すリード線等を「一対の発熱抵抗体２３ａ，２３ｂを通電して発熱させるとともに、発熱抵抗体２３ａ，２３ｂの抵抗値を検出するための電気回路」という。

制御部３０は、図１において、流量センサ２０からの信号に基づいて流体の流量を算出し、バイパス流路１２を流れる流体が所定の流量となるように流量調整バルブ４０へ制御信号を出力するフィードバック制御を行う。制御部３０は、増幅器，ＡＤ変換器、マイコン、ＤＡ変換器、外部との通信インターフェース等（いずれも図示省略）を含む。

流量調整バルブ４０は、制御部３０からの制御信号に基づいて流体の流路を開閉するバルブであり、バルブ本体と駆動アクチュエータとからなる。

（流量センサ）
本実施形態の流量センサ２０の詳細を図２Ａに示す。流量センサ２０は、前記したように、センサベース本体２１と、細管からなるセンサチューブ２２と、該センサチューブ２２の途中の上流側及び下流側に巻き付けられた発熱コイルからなる一対の発熱抵抗体２３ａ，２３ｂと、出力部であるブリッジ回路２８を主に備える。
このセンサチューブ２２は、通常ステンレス合金製で、直線状の中央部分２２ｃとその上流側及び下流側から直角方向に屈曲又は湾曲して伸びる直線状の接続部分２２ａ，２２ｂと、からなる略コの字型を有し、中央部分２２ｃに発熱抵抗体２３ａ，２３ｂが巻き付けられている。また、接続部分２２ａ，２２ｂのそれぞれの端部には、フランジ２２ｄが溶接されている。このセンサチューブ２２は、例えば外径0.35mm、内径0.25mmと極めて小径であるため、製造時に内径を管理するのが困難で、実際の内径が設計値からずれたり、内径の個体差が生じたりする場合がある。その場合、センサチューブ２２の管路抵抗が設計値からずれ、これを組み込んだ流量センサに所定の圧力差を加えた場合の流量が設計値からずれて、その結果、流量センサの測定可能な流量範囲が狭められるという問題があった。
この対策として、本実施形態では、センサチューブ２２の管路抵抗を調整するために当該センサチューブ２２の上流側及び下流側の接続部分２２ａ，２２ｂのそれぞれに狭隘部分Ｎｒを設けている。
前記狭隘部分Ｎｒは、前記センサチューブ２２を部分的に押し潰すことにより形成された略長円形の断面を有し、該略長円形の断面の短径（図２ＡのＳ）は、前記狭隘部分Ｎｒの流路方向で略一定であり、狭隘部分Ｎｒの長さｌは、センサチューブ２２の管路抵抗が所定値になるように調整されている。この図２Ａの例の場合、管路抵抗が所定値になるように、左右の狭隘部分Ｎｒの長さｌの合計値が調整されている。

但し、狭隘部分Ｎｒの形成箇所は、前記センサチューブ２２の上流側及び下流側の接続部分２２ａ，２２ｂの両方に限られず、図２Ｂのように上流側及び下流側の接続部分２２ａ，２２ｂの一方としてもよく、図２Ｃのように中央部分２２ｃとしてもよく、その場合、図２Ｄのように発熱抵抗体２３ａ，２３ｂを接続部分２２ａ，２２ｂの一方に設けてもよい。図２Ｃの場合において、狭隘部分Ｎｒを２つの発熱抵抗体２３ａ，２３ｂの上流側か下流側のいずれに設けてもよいが、２つの発熱抵抗体２３ａ，２３ｂの間に設けることは、流量と発熱抵抗体２３ａ，２３ｂの温度差との関係が変化してしまうので、好ましくない。

次に、このセンサチューブ２２の狭隘部分Ｎｒを形成する方法について説明する。この工程は、センサチューブ２２をコの字型形状に形成した後、センサチューブ２２を流量センサ２０に組み込む前に実施する。この工程は、接続部分２２ａ，２２ｂにフランジ２２ｄを溶接する前に行ってもよいが、溶接後に行う方が、その後センサチューブ２２の管路抵抗変化が生じる可能性が小さいのでより好ましい。
（狭隘部分の形成方法１）
本形成方法では、前記狭隘部分Ｎｒを形成する工程は、前記センサチューブ２２を２つのローラ６０ａ，６０ｂで挟んで、該ローラ６０ａ，６０ｂを回転させ、該センサチューブ２２の所定長さｌの範囲を押し潰すことにより形成する。この狭隘部分Ｎｒの形成は、前記センサチューブ２２に一定流量の流体を流したときのセンサチューブ２２の両端の圧力差をモニターしながら実施し、当該圧力差が所定値になるように前記狭隘部分Ｎｒの長さｌを調整する。
具体的には、図４に示すように、上流側に例えば工具用のＭＦＣ５１を配置し、その下流に配管５２経由でセンサチューブ２２を接続して、その下流を大気圧開放する。この状態で、検査流体、例えばＮ_２ガスを所定流量Ｑ流して、センサチューブ２２の両側の圧力差ΔＰを差圧計５３でモニターする。
このとき、センサチューブ２２の管路抵抗をＲは、流量をＱ、センサチューブ２２両側の圧力差をΔＰとすると、Ｒ＝ΔＰ／Ｑで与えられる。
当初、狭隘部分Ｎｒがない状態では、管路抵抗Ｒは小さく、所定流量Ｑ流したときの圧力差ΔＰも小さいが、２つのローラ６０ａ，６０ｂによってセンサチューブ２２を挟んでその一部を押し潰して狭隘化し、かつローラ６０ａ，６０ｂを回転させて狭隘部分Ｎｒを伸ばしていくことにより、管路抵抗Ｒが大きくなって、圧力差ΔＰが増大する。したがって、所定流量Ｑのもと、圧力差ΔＰが所定量になるように、センサチューブ２２の押し潰し長さを調整することにより、センサチューブ２２の管路抵抗Ｒが所定値になる。

（狭隘部分の形成方法２）
本形成方法では、前記狭隘部分Ｎｒを形成する工程は、前記センサチューブに一定の管路抵抗を有する配管を直列に接続して接続体を形成し、該接続体の両側に一定の圧力差を加えて流体を流したときの前記センサチューブの両端の圧力差をモニターしながら実施し、当該センサチューブの両端の圧力差が所定値になるように前記狭隘部分Ｎｒの長さを調整する。
具体的には、図５に示すように、例えば、所定の管路抵抗Ｒ_０を有する工具用の配管５６を用意し、その下流にセンサチューブ２２を接続して接続体（５６，２２）を形成し、そのさらに下流を大気圧開放する。この接続体（５６，２２）の上流側には、圧力レギュレータ５４を配置して、接続体（５６，２２）の上流側の圧力（圧力計５５でモニターする）を所定圧Ｐ_０に調整する。したがって、接続体（５６，２２）の両側に加わる圧力差はＰ_０になる。この状態で、検査流体、例えばＮ_２ガスを所定流量流して、センサチューブ２２の両側の圧力差ΔＰを差圧計５３でモニターする。
このとき、センサチューブ２２の管路抵抗Ｒは、流量をＱ、センサチューブ２２両側の圧力差をΔＰとすると、Ｒ＝ΔＰ／Ｑで与えられる。
ここで、流量Ｑは、Ｑ＝Ｐ_０／（Ｒ＋Ｒ_０）で与えられるので、これを前の式に代入して整理すると、管路抵抗Ｒは、Ｒ＝Ｒ_０／（（Ｐ_０／ΔＰ）−１）となる。
当初、狭隘部分Ｎｒがない状態では、管路抵抗Ｒは小さく、接続体（５６，２２）に圧力差Ｐ_０を加えたときの圧力差ΔＰも小さいが、２つのローラ６０ａ，６０ｂによってセンサチューブ２２を挟んでその一部を押し潰して狭隘化し、かつローラ６０ａ，６０ｂを回転させて狭隘部分Ｎｒを伸ばしていくことにより、管路抵抗Ｒが大きくなって、圧力差ΔＰが増大する。したがって、所定流量Ｑのもと、圧力差ΔＰが所定値になるように、センサチューブ２２の押し潰し長さｌを調整することにより、センサチューブ２２の管路抵抗Ｒが所定値になる。
なお、前記管路抵抗Ｒ_０を有する工具用の配管５６は、例えば、オリフィス５６ａを有する配管でもよく、目標管路抵抗を有する基準センサチューブでもよい。この工具用の配管５６として基準センサチューブを用いる場合、ΔＰがＰ_０／２となるように狭隘部分Ｎｒの長さｌを調整することにより、対象のセンサチューブ２２の管路抵抗Ｒは目標値になる。

（ＭＦＣの動作）
次に、このように構成された流量センサ２０とこの流量センサ２０を含む本実施形態のＭＦＣ１の動作について、図１及び図３を参照して説明する。
流量センサ２０において、ブリッジ回路２８の接続点Ｐ１〜Ｐ２間に電圧Ｖ_ｉｎ（図３ではＶ０と略等しい）を加え、上流側と下流側の発熱抵抗体２３ａ、２３ｂに通電して発熱させるとともに、これらの発熱抵抗体２３ａ、２３ｂの抵抗値Ｒａ，Ｒｂ（温度に比例する）を検出する。センサチューブ２２内に流体が流れると、上流側の発熱抵抗体２３ａは、流れてくる流体で冷やされて温度の上昇が抑えられ、下流側の発熱抵抗体２３ｂは、上流側の発熱抵抗体２３ａで加熱された流体が流れてくるので、温度の上昇が大きく、その結果、両発熱抵抗体２３ａ、２３ｂの間で温度差が生ずる。この温度差は、ある流量の範囲では流体の質量流量に比例すると見なせる。ブリッジ回路２８は、この温度差の指標となる発熱抵抗体２３ａ、２３ｂの抵抗値差Ｒａ−Ｒｂを、接続点Ｐ３〜Ｐ４間の出力電圧Ｖ_ｏｕｔに変換して出力している。
（基準抵抗Ｒ１とＲ２が等しい場合、Ｖ_ｏｕｔ＝Ｖ_ｉｎ×（Ｒｂ−Ｒａ）/（Ｒａ＋Ｒｂ）となり、Ｖ_ｏｕｔはＲｂ−Ｒａにほぼ比例する。）

流量センサ２０のブリッジ回路２８からの出力信号は、制御部３０の増幅器（図示省略）に入力され、ＡＤ変換器（図示省略）でデジタル化される。マイコン（図示省略）は、デジタル化された信号を処理して流量値を算出する。マイコン（図示省略）は、この流量値と外部のコントローラ（図示省略）から入力された流量設定値とを比較し、制御信号を出力する。この制御信号は、算出された流量値と流量設定値との単なる差分信号でもよいが、差分とその積分と微分に基づくＰＩＤ制御信号であることが好ましい。
この制御信号は、ＤＡ変換器（図示省略）でアナログ電圧に変換され、さらに増幅器（図示省略）で増幅されて、流量調整バルブ４０を駆動する。
このような、フィードバック制御を行うことにより、ＭＦＣを流れる流体の質量流量が所定値になるように調整する。

本発明によれば、流量センサのセンサチューブに狭隘部分を設けて、管路抵抗を調整するこにしたので、センサチューブの管路抵抗の個体差を低減することができる。その結果、測定可能な流量範囲が十分確保できる熱式流量センサと、そのような熱式流量センサを組み込み、流量制御範囲も十分確保できるマスフローコントローラ（ＭＦＣ）を提供することができる。

なお、本発明は、上述した実施形態に限定されない。当業者であれば、本発明の範囲内で、種々の追加や変更等を行うことができる。
例えば、上記各実施形態では、狭隘部分Ｎｒの略長円形の断面の短径Ｓ（図２Ａ等参照）を流路方向で略一定とし、狭隘部分Ｎｒの長さｌを調整することにより、センサチューブ２２の管路抵抗を調整したが、この方法に限られず、長さｌを一定にして短径Ｓを調整することにより、センサチューブ２２の管路抵抗を調整してもよい。
また、上記各実施形態では、狭隘部分Ｎｒを形成するためにセンサチューブ２２を押し潰す工具として、２つのローラ６０ａ，６０ｂを用いたが、これに限られず、任意の公知の工具を用いてもよい。
また、上記実施形態では、本発明の熱式流量センサをＭＦＣに適用した例について説明したが、本発明の熱式流量センサを、質量流量の測定のみ行って制御を行わないマスフローメータ（ＭＦＭ）に適用しても良い。

１ ：マスフローコントローラ（ＭＦＣ）
１０ ：ボディ
１１ａ ：流入路
１１ｂ ：流出路
１２ ：バイパス流路
１３ａ ：センサ流入路
１３ｂ ：センサ流出路
１４ ：弁室
２０ ：流量センサ
２１ ：センサベース本体
２２ ：センサチューブ（センサ流路）
２２ａ，２２ｂ：接続部分
２２ｃ ：中央部分
２２ｄ ：フランジ
２３ａ，２３ｂ：発熱抵抗体（発熱コイル）
２８ ：ブリッジ回路
３０ ：制御部
４０ ：流量調整バルブ
５１ ：工具用のＭＦＣ
５２ ：配管
５３ ：差圧計
５４ ：圧力レギュレータ
５５ ：圧力計
５６ ：工具用の配管
５６ａ ：オリフィス
６０ａ，６０ｂ：ローラ
Ｎｒ ：狭隘部分
Ｐ１〜Ｐ４：接続点

Claims (9)

1. 流体流路を通過する流体の質量流量を測定するセンサであって、前記流体流路を通過する流体の一部を流すセンサチューブと、前記センサチューブの途中の上流側と下流側に設けられ、該センサチューブを加熱する一対の発熱抵抗体と、前記一対の発熱抵抗体を通電して発熱させるとともに、該一対の発熱抵抗体の抵抗値を検出するための電気回路と、を含む熱式流量センサであって、
   前記センサチューブは、その管路抵抗を調整するために当該センサチューブの一部を狭めた狭隘部分を有することを特徴とする、熱式流量センサ。
2. 前記センサチューブは、直線状の中央部分と該中央部分の上流側及び下流側から直角方向に屈曲又は湾曲して伸びる直線状の接続部分とからなり、前記狭隘部分は、前記上流側及び下流側の接続部分の少なくとも一方に設けられた、請求項１に記載の熱式流量センサ。
3. 前記狭隘部分は、前記センサチューブを部分的に押し潰すことにより形成された略長円形の断面を有し、該略長円形の断面の短径は、前記狭隘部分の流路方向で略一定である、請求項１又は２に記載の熱式流量センサ。
4. 流体流路を通過する流体の一部を流すセンサチューブと、前記センサチューブの途中の上流側と下流側に設けられ、該センサチューブを加熱する一対の発熱抵抗体と、前記一対の発熱抵抗体を通電して発熱させるとともに、該一対の発熱抵抗体の抵抗値を検出するための電気回路と、を含む熱式流量センサの製造方法であって、前記センサチューブの管路抵抗を調整するために当該センサチューブの一部を狭めた狭隘部分を形成する工程を含む、ことを特徴とする製造方法。
5. 前記狭隘部分を形成する工程は、前記センサチューブを部分的に押し潰して、前記センサチューブの断面を略長円形にする工程であり、前記略長円形の断面の短径は、前記狭隘部分の流路方向で略一定とし、前記狭隘部分の長さを調整することにより、前記センサチューブの管路抵抗を調整する、請求項４に記載の製造方法。
6. 前記狭隘部分を形成する工程は、前記センサチューブを２つのローラで挟んで、該ローラを回転させ、該センサチューブの所定長さの範囲を押し潰すことにより形成する、請求項５に記載の製造方法。
7. 前記狭隘部分を形成する工程は、前記センサチューブに一定流量の流体を流したときのセンサチューブの両端の圧力差をモニターしながら実施し、当該圧力差が所定値になるように前記狭隘部分の長さを調整する工程である、請求項４〜６のいずれかに記載の製造方法。
8. 前記狭隘部分を形成する工程は、前記センサチューブに一定の管路抵抗を有する配管を直列に接続して接続体を形成し、該接続体の両側に一定の圧力差を加えて流体を流したときの前記センサチューブの両端の圧力差をモニターしながら実施し、当該センサチューブの両端の圧力差が所定値になるように前記狭隘部分の長さを調整する工程である、請求項４〜６のいずれかに記載の製造方法。
9. 流体が通過する流体流路と、
   前記流体流路を通過する流体の質量流量を測定する熱式流量センサと、
   前記流体流路を通過する流体の流量を調整する調整バルブと、
   前記流量センサで測定された流体の質量流量が所定値になるように前記調整バルブの開度を制御する制御部と、
   を有する、マスフローコントローラであって、
   前記流量センサとして、請求項１〜５のいずれかに記載の熱式流量センサを用いたことを特徴とするマスフローコントローラ。

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