JP2021113339A - 積層膜及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)
基板と窒化ガリウム系膜を含む積層膜であって、該窒化ガリウム系膜の膜表面の表面粗さ(Ra)が100nm以上5000nm以下、X線回折測定における(0002)面の強度と(10−11)面の強度をそれぞれI(0002)、I(10−11)としたときに、その強度比I(0002)/I(10−11)が3以上であることを特徴とする積層膜。
(2)
窒化ガリウム系膜の表面粗さ(Ra)が100nm以上5000nm以下、(0002)面の2θ/ωスキャンの半価半幅が10°以下であることを特徴とする(1)に記載の積層膜。
(3)
単位面積当たりの基板の被覆率が80%以上であることを特徴とする、(1)又は(2)に記載の積層膜。
(4)
基板の表面粗さ(Ra)が100nm以上であることを特徴とする(1)〜(3)のいずれかに記載の積層膜。
(5)
基板上に窒化ガリウムを主成分とするスパッタリングターゲットを用いて、成膜時のスパッタガス圧力が0.4Pa未満でスパッタすることを特徴とする(1)〜(4)のいずれかに記載の積層膜の製造方法。
(6)
窒化ガリウムを主成分とするスパッタリングターゲットを用いて、成膜時のスパッタ電力密度を1W/cm2以上でスパッタすることを特徴とする(5)に記載の積層膜の製造方法。
通常の測定は、一般的な粉末X線回折装置(装置名:UltimaIII、リガク社製)を用いた。XRD測定の条件は、以下のとおりである。
測定モード : 2θ/θスキャン
測定間隔 : 0.01°
発散スリット : 0.5deg
散乱スリット : 0.5deg
受光スリット : 0.3mm
計測時間 : 1.0秒
測定範囲:2θ=20°〜80°
XRDパターンの同定分析には、XRD解析ソフトウェア(商品名:JADE7、MID社製)を用いた。六方晶はJCPDSNo.00−050−0792を参考にして窒化ガリウム結晶面を確認し、立方晶はJCPDSNo.00−052−0791を参考にし、XRDパターンにて結晶相の同定が難しい場合には、飛行時間型原子散乱表面分析装置(TOFLAS−3000、パスカル社製)を利用して判断した。六方晶については(0002)面、立方晶については(111)面についてその半価幅を測定し、強度比は、六方晶ではI(0002)とI(10−11)について、立方晶ではI(111)/I(220)について、下記の式を用いて算出した。
分母に相当するピークが検出されない場合は、36〜37°のバックグラウンドピーク強度を分母のピークとみなし計算を実施した。
測定モード : ωスキャン
測定間隔 : 0.01°
計測時間 : 0.5秒
測定範囲 : ω=0°〜35°
(表面粗さ(Ra)の測定)
触診式表面粗さ計を利用して測定を行った。
対象物を熱分解させ、酸素・窒素・水素分析装置(Leco社製)を用いて酸素含有量を熱伝導度法により測定した。
成膜した薄膜の厚みは基板部分と膜部分の段差をレーザー顕微鏡VK−X250/260を用いて測定した。
窒化ガリウムの被覆率は100倍でSEM−EDSを利用し、視野全体に基板表面が撮影されるように観察し、窒化ガリウム膜が存在する率を算出した。
ただし、EDS測定が困難な陥没した穴は撮影視野から除く。
基板は、カーボン製基板、10mm角のものを用いた。
スパッタガス圧を高くする等表1の条件にて成膜したところ、被覆率が悪化し、求める特性の膜を得ることができなかった。
Claims (6)
- 基板と窒化ガリウム系膜を含む積層膜であって、該窒化ガリウム系膜の膜表面の表面粗さ(Ra)が100nm以上5000nm以下、X線回折測定における(0002)面の強度と(10−11)面の強度をそれぞれI(0002)、I(10−11)としたときに、その強度比I(0002)/I(10−11)が3以上であることを特徴とする積層膜。
- 窒化ガリウム系膜の表面粗さ(Ra)が100nm以上5000nm以下、(0002)面の2θ/ωスキャンの半価半幅が10°以下であることを特徴とする請求項1に記載の積層膜。
- 単位面積当たりの基板の被覆率が80%以上であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の積層膜。
- 基板の表面粗さ(Ra)が100nm以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の積層膜。
- 基板上に窒化ガリウムを主成分とするスパッタリングターゲットを用いて、成膜時のスパッタガス圧力が0.4Pa未満でスパッタすることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の積層膜の製造方法。
- 窒化ガリウムを主成分とするスパッタリングターゲットを用いて、成膜時のスパッタ電力密度を1W/cm2以上でスパッタすることを特徴とする請求項5に記載の積層膜の製造方法。
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