JP2021107982A - 真空ポンプ装置、真空ポンプ装置を管理する方法、及びシステム - Google Patents

Abstract

【課題】真空ポンプ装置の製造から保守までを無線タグを使用して管理する。【解決手段】真空ポンプ装置の製造工程を管理する方法であって、真空ポンプ装置の製造工程は、（１）真空ポンプ装置を構成する部品を組み立てる工程と、（２）組み立てられた真空ポンプ装置の出荷試験をする工程と、（３）出荷試験した前記真空ポンプ装置の出荷検査をする工程と、（４）出荷検査した前記真空ポンプ装置の梱包及び出荷をする工程とを有し、管理する方法は、無線タグから読み取った真空ポンプ装置のシリアル番号をサーバが受信するステップと、受信したシリアル番号に対応する真空ポンプ装置の上記（１）〜（４）の工程のうち１つの工程において、前記１つの工程の作業内容を前記サーバがユーザ端末へ送信するステップと、を有する方法。【選択図】図１

Description

本発明は、真空ポンプ装置、真空ポンプ装置の製造工程、保守工程を管理する方法、及びシステムに関する。

ポンプの製造から始まって保守にいたるまでには様々な工程（process）が存在する。ポンプを備えるシステムでは、ポンプは比較的長い期間動作するように設計される。長い期間動作する間に、ポンプは劣化、付着物により汚染し、性能や効率が低下する可能性がある。ポンプが特定のレベルまで劣化すると、保守作業を実行して、ポンプの性能を特定のレベルに戻す必要がある。これらの保守作業には、いわゆるオーバーホール（ＯＨ）作業が含まれる。オーバーホール作業には分解、洗浄、組立等複数の工程が含まれる。

しかしながら、工程毎に作業内容等を正確に把握することは困難であった。一方、これらの工程において正しい作業が行われないと、ポンプの性能が低下したりポンプの寿命を縮めたりするという問題がある。したがって、ポンプを製造から保守にいたるまでの一連の工程において、ポンプの各工程における作業内容等を管理したいという要望があった。

本発明は上述の点に鑑みてなされたものであり、本開示の一態様は、真空ポンプ装置であって、ポンプ外装内に収容されたポンプ部を備え、前記ポンプ部、前記ポンプ外装の少なくとも一方に無線タグが設けられており、前記無線タグは、前記真空ポンプ装置のシリアル番号と、前記真空ポンプ装置を注文した顧客に関する情報と、前記顧客が注文した真空ポンプ装置に関する情報を記憶していることを特徴とする、真空ポンプ装置である。

また、本開示の他の一態様は、真空ポンプ装置の製造工程を管理する方法であって、前記真空ポンプ装置の製造工程は、
（１）真空ポンプ装置を構成する部品を組み立てる工程と、
（２）組み立てられた前記真空ポンプ装置の出荷試験をする工程と、
（３）出荷試験した前記真空ポンプ装置の出荷検査をする工程と、
（４）出荷検査した前記真空ポンプ装置の梱包及び出荷をする工程と
を有し、前記管理する方法は、無線タグから読み取った前記真空ポンプ装置のシリアル番号をサーバが受信するステップと、受信した前記シリアル番号に対応する真空ポンプ装置の上記の（１）〜（４）の工程のうち１つの工程において、前記１つの工程の作業内容をサーバがユーザ端末へ送信するステップと、を有する、方法である。

また、本開示の他の一態様は、真空ポンプ装置の保守工程を管理する方法であって、前記真空ポンプ装置の保守工程は、
（１）オーバーホール拠点に受け入れた真空ポンプ装置を受け入れ検査する工程と、
（２）受け入れ検査した前記真空ポンプ装置を部品に分解する工程と、
（３）分解された前記部品を洗浄する工程と、
（４）洗浄した部品を検査する工程と、
（５）検査した部品から真空ポンプ装置を再組み立てする工程と、
（６）再組み立てした真空ポンプ装置を出荷試験する工程と、
（７）出荷試験した前記真空ポンプ装置の出荷検査をする工程と、
（８）出荷検査した前記真空ポンプ装置の梱包及び出荷をする工程と
を有し、前記保守工程を管理する方法は、無線タグから読み取った前記真空ポンプ装置の
シリアル番号をサーバが受信するステップと、受信した前記シリアル番号に対応する真空ポンプ装置の上記の（１）〜（８）の工程のうち１つの工程において、前記１つの工程の作業内容をサーバがユーザ端末へ送信するステップと、を有する、方法である。

また、本開示の他の一態様は、真空ポンプ装置の製造工程を管理するシステムであって、
前記真空ポンプ装置の製造工程は、
（１）真空ポンプ装置を構成する部品を組み立てる工程と、
（２）組み立てられた前記真空ポンプ装置の出荷試験をする工程と、
（３）出荷試験した前記真空ポンプ装置の出荷検査をする工程と、
（４）出荷検査した前記真空ポンプ装置の梱包及び出荷をする工程と、を有し
前記管理するシステムは、前記真空ポンプ装置のシリアル番号が記憶された無線タグと、前記無線タグに、上記（１）〜（４）の工程のうち１つの工程における作業者が作業を完了した内容を特定可能な特定情報を書き込みするリーダライタ端末と、前記１つの工程の次の工程において、前記リーダライダ端末により前記無線タグから読み出された前記特定情報を受信し、表示部に表示させるユーザ端末と、を備える、システムである。

本開示の一実施形態によるポンプ管理システムの全体構成図である。 本開示の一実施形態に係る真空ポンプ装置の側断面図である。 本開示の一実施形態に係る、ポンプ管理システムを使用した真空ポンプ装置の設計、製造、納入、保守までの一連の処理の流れを示す概略図である。 本開示の一実施形態に係る営業・設計部門、及び工場において行われる工程のフロー図である。 本開示の一実施形態に係る顧客工場において行われる工程のフロー図である。 本開示の一実施形態に係るオーバーホール拠点において行われる工程のフロー図である。 本開示の一実施形態に係る工場にあるユーザ端末と、サーバとの間の処理フローを示す。 本開示の一実施形態に係るオーバーホール拠点の、ポンプ管理システムを使用した、部品検査・手直し工程における、ユーザ端末と、サーバとの間で行われる処理フローを示す。 本開示の一実施形態に係る、工場において書き込まれる特定情報、作業結果に関する情報の詳細を示す。 本開示の一実施形態に係る、オーバーホール拠点において書き込まれる特定情報、作業結果に関する情報の詳細を示す。

［本開示の実施形態の説明］
最初に、本開示の実施形態の内容を列記して説明する。本開示の一実施形態は、以下のような構成を備える。

（項目１） 真空ポンプ装置の製造工程を管理する方法であって、前記真空ポンプ装置の製造工程は、
（１）真空ポンプ装置を構成する部品を組み立てる工程と、
（２）組み立てられた前記真空ポンプ装置の出荷試験をする工程と、
（３）出荷試験した前記真空ポンプ装置の出荷検査をする工程と、
（４）出荷検査した前記真空ポンプ装置の梱包及び出荷をする工程と
を有し、前記管理する方法は、無線タグから読み取った前記真空ポンプ装置のシリアル番号をサーバが受信するステップと、受信した前記シリアル番号に対応する真空ポンプ装置
の上記の（１）〜（４）の工程のうち１つの工程において、前記１つの工程の作業内容をサーバがユーザ端末へ送信するステップと、を有する方法。

（項目２） 項目１に記載の方法であって、前記１つの工程において、さらに、前記ユーザ端末が前記サーバから受信した前記作業内容を表示部に表示させるステップと、前記ユーザ端末が、前記作業内容にしたがって作業者が作業を完了した内容を特定するために利用可能な特定情報の入力を受け付けるステップと、リーダライタ端末が、前記特定情報を前記無線タグに書き込むステップと、を備える方法。

（項目３） 項目２に記載の方法であって、前記１つの工程の次の工程において、さらに、前記無線タグに書き込まれた前記特定情報を、リーダライタ端末が読み出すステップと、読み出した前記特定情報を、ユーザ端末の表示部に表示させるステップと、を備える方法。

（項目４） 項目１又は２のいずれかに記載の方法であって、前記１つの工程において、さらに、前記ユーザ端末が、前記作業内容にしたがって作業者が行った作業結果の入力を受け付けし、前記作業結果をサーバへ送信するステップと、前記ユーザ端末から送信された前記作業結果を、前記サーバへ格納するステップと、を備える方法。

（項目５） 真空ポンプ装置の保守工程を管理する方法であって、前記真空ポンプ装置の保守工程は、
（１）オーバーホール拠点に受け入れた真空ポンプ装置を受け入れ検査する工程と、
（２）受け入れ検査した前記真空ポンプ装置を部品に分解する工程と、
（３）分解された前記部品を洗浄する工程と、
（４）洗浄した部品を検査し、必要に応じて手直しする工程と、
（５）検査に基づいて真空ポンプ装置を再組み立てする工程と、
（６）再組み立てした真空ポンプ装置を出荷試験する工程と、
（７）出荷試験した前記真空ポンプ装置の出荷検査をする工程と、
（８）出荷検査した前記真空ポンプ装置の梱包及び出荷をする工程と
を有し、前記保守工程を管理する方法は、無線タグから読み取った前記真空ポンプ装置のシリアル番号をサーバが受信するステップと、受信した前記シリアル番号に対応する真空ポンプ装置の上記の（１）〜（８）の工程のうち１つの工程において、前記１つの工程の作業内容をサーバがユーザ端末へ送信するステップと、を有する方法。

（項目６） 項目８に記載の方法であって、前記洗浄した部品を検査する工程において、前記ユーザ端末が、不良であると判断された不良部品の識別番号の入力を受け付けるステップと、前記サーバに保存されている、前記真空ポンプ装置の運転開始日時と運転停止日時から前記真空ポンプ装置の運転期間を前記サーバが算出するステップと、前記運転期間を、前記不良部品の故障間隔として、前記不良部品の識別番号と共に前記サーバに格納するステップと、を備える方法。

（項目７） 真空ポンプ装置の製造工程を管理するシステムであって、
前記真空ポンプ装置の製造工程は、
（１）真空ポンプ装置を構成する部品を組み立てる工程と、
（２）組み立てられた前記真空ポンプ装置の出荷試験をする工程と、
（３）出荷試験した前記真空ポンプ装置の出荷検査をする工程と、
（４）出荷検査した前記真空ポンプ装置の梱包及び出荷をする工程と
を有し、前記管理するシステムは、前記真空ポンプ装置のシリアル番号が記憶された無線タグと、前記無線タグに、上記（１）〜（４）の工程のうち１つの工程における作業者が作業を完了した内容を特定可能な特定情報を書き込みするリーダライタ端末と、前記１つ
の工程の次の工程において、前記リーダライダ端末により前記無線タグから読み出された前記特定情報を受信し、表示部に表示させるユーザ端末と、を備える、システム。

（項目８） 項目７に記載のシステムであって、さらに
前記無線タグから読み取った前記真空ポンプ装置のシリアル番号を受信し、受信した前記シリアル番号に対応する真空ポンプ装置の、前記１つの工程の作業内容を特定し、前記作業内容を前記ユーザ端末へ送信するサーバを備える、システム。

（項目９） 請求項１から８のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置であって、ポンプ外装内に収容されたポンプ部を備え、前記ポンプ部、前記ポンプ外装の少なくとも一方に無線タグが設けられており、前記無線タグは、前記真空ポンプ装置のシリアル番号と、前記真空ポンプ装置を注文した顧客に関する情報と、前記顧客が注文した真空ポンプ装置に関する情報を記憶していることを特徴とする、真空ポンプ装置。

（項目１０） 項目９に記載の真空ポンプ装置であって、前記真空ポンプ装置はドライ真空ポンプであることを特徴とする、真空ポンプ装置。

（項目１１） 項目１０に記載の真空ポンプ装置であって、前記顧客が注文した真空ポンプ装置に関する情報は、前記真空ポンプ装置を適用する装置に関する情報、及び前記真空ポンプ装置を適用するプロセス種別、前記真空ポンプ装置が排出するプロセスガス種別の少なくとも一つを有する、真空ポンプ装置。

［本開示の実施形態の詳細］
以下、本開示の実施形態について図面を参照して説明する。図面において、同一または類似の要素には同一または類似の参照符号が付され、各実施形態の説明において同一または類似の要素に関する重複する説明は省略することがある。また、各実施形態で示される特徴は、互いに矛盾しない限り他の実施形態にも適用可能である。しかし、本開示の実施形態は、必ずしもこのような態様に限定されない。本開示の実施形態が、特許請求の範囲において規定される範囲に含まれる様々な態様を取り得ることは、当業者にとって明らかであろう。

図１は、本開示の一実施形態によるポンプ管理システム１００の全体構成図である。図示するように、ポンプ管理システム１００は、リーダライタ端末１１０、サーバ１２０、ユーザ端末１３０を備える。リーダライタ端末１１０はユーザ端末１３０と接続され、ユーザ端末１３０はネットワーク１４０を介してサーバ１２０とデータの送受信を行う。リーダライタ端末１１０は、ユーザ端末１３０を介さずに、ネットワーク１４０へ直接接続してサーバ１２０とデータの送受信を行ってもよい。リーダライタ端末１１０とユーザ端末１３０は、無線により接続してもよく、有線により接続してもよい。また、同図においては、リーダライタ端末１１０はユーザ端末１３０と別体で構成されるが、リーダライタ端末１１０をユーザ端末１３０と一体で構成されてもよい。リーダライタ端末１１０は、真空ポンプ装置２００に設けられた無線タグ２０２に記憶された情報を読み取り／書き込みする。

本開示のポンプ管理システム１００は、真空ポンプ装置２００に無線タグ２０２を設け、真空ポンプ装置２００の製造工程、保守工程等における作業によって生じた各種情報を、無線タグ２０２に書き込みし、あるいはサーバ１２０に保存し、この情報を適宜無線タグ２０２から読み取り、あるいはサーバ１２０から取得することで、真空ポンプ装置２００の製造から保守までの一連の工程における真空ポンプ装置２００の状態をリアルタイムで管理する。

リーダライタ端末１１０は、真空ポンプ装置２００に設けられた情報記録媒体である無線タグ２０２に記憶された情報、すなわち真空ポンプ装置２００に関する各種情報の読み取りや書き込みを非接触で行う。同図においては、１台のリーダライタ端末１１０に、１つの無線タグ２０２が示されているが、１台のリーダライタ端末１１０が、複数の無線タグ２０２と一度に通信するよう構成されてもよい。

無線タグ２０２は、一例として、ＮＦＣ（Near Field Communication）タグ、ＲＦＩＤ（Radio-Frequency Identification)タグ、ＩＣタグ等の、非接触で外部装置からの情報の書き込み及び読み取りが可能なタグであり、バッテリー付きのアクティブ型タグであってもバッテリー無しのパッシブ型タグであってもよい。無線タグ２０２には、真空ポンプ装置２００の製造時に得られる製品固有のシリアル番号等の初期情報が登録され、製造時に真空ポンプ装置２００に取り付けられる。無線タグ２０２は、シリアル番号の他に、初期情報として他の様々な情報、例えば、顧客からの注文に関する情報等を登録できる。また、同図においては、１台の真空ポンプ装置２００に１つの無線タグ２０２が示されるが、複数の無線タグ２０２が対応づけられてもよい。無線タグ２０２は、非接触で書き込み及び読み取りが可能であるため、外から視認できない場所に取り付けることができる。無線タグ２０２は、リーダライタ端末１１０と電波あるいは電磁波で通信するため、模様を機械が読み取れる形で表現したバーコード、ＱＲコードとは異なり、汚れ、油分、水分等が無線タグ２０２に付着していても、読み取り、及び書き込みを行うことができる。したがって、汚れや、油分等が付着しがちな環境下でも使用することができる。無線タグ２０２は、水分の影響を受けづらい１３５ｋＨｚ未満の低周波数のタグが好ましい。なお、無線タグ２０２を金属面に設ける場合、リーダライタ端末１１０から発せられる電波が金属面で反射することを回避するため、金属対応の無線タグ２０２を使用する。

サーバ１２０は、真空ポンプ装置２００に関する情報を蓄積して管理するサーバである。サーバ１２０はデータバンク等であってもよい。サーバ１２０は複数で構成されてもよく、これらのそれぞれは、異なる物理的場所に物理的に位置付けられてもよく、そのうちのいくつかは、ユーザ端末１３０に対してローカルであってもよく、そのうちいくつかはリモートであってもよい。

サーバ１２０は、各真空ポンプ装置２００の初期情報と、各真空ポンプ装置２００に対する作業者による作業結果と、作業者の作業内容等を記録した作業フォーマット等とを記憶する領域を有する記憶装置として、例えばＲＡＩＤ（Redundant Arrays of Inexpensive Disks）構成の大容量ハードディスク装置を具備する。このサーバ１２０は、例えば、各真空ポンプ装置２００を一意に識別するシリアル番号に基づいて、各真空ポンプ装置に関する各種情報（真空ポンプ装置２００の初期情報や、製造工程、オーバーホール工程における各真空ポンプ装置２００に対する作業者による作業結果等）をリアルタイムで管理するデータベースとして構築することができる。

ユーザ端末１３０は、スマートフォン、タブレット、パーソナルコンピュータ等に相当する。ユーザ端末１３０は、主に、処理部１３１、通信部１３２、表示部１３３、メモリ１３４、補助記憶装置１３５、操作入力部１３６を備えており、これらはバスライン（不図示）を介して相互に接続されている。

処理部１３１はメモリ１３４内のプログラムにしたがって様々な処理、例えば、リーダライタ端末１１０から受信した各種データを、ユーザ端末１３０内部のテーブルと照合して、特定の操作を実行する。

通信部１３２は、リーダライタ端末１１０との間で各種データを送受信したり、サーバ１２０との間で各種データを送受信したりする通信制御機能を有する。

表示部１３３は、処理部１３１からの画像表示命令に基づいて表示部１３３を駆動し、当該表示部１３３の画面に画像を表示させる。表示部１３３としては、液晶ディスプレイ等の種々の表示装置を採用できる。

メモリ１３４は、補助記憶装置１３５からロードした各種プログラムやデータが記憶され、処理部１３１に対して作業領域を提供する。

補助記憶装置１３５は、各種プログラムやデータ等、例えば、上記プログラムの他に、リーダライタ端末１１０やサーバ１２０から受信した各種データ等、様々な情報を格納する記憶装置である。

操作入力部１３６は、ユーザ操作入力を受け入れて当該操作入力に対応した入力信号を、処理部１３１に出力するものである。操作入力部１３６の例としては、ユーザ端末１３０の本体に設けられた決定ボタン、英数文字等入力ボタン等の物理的ボタンがある。なお、表示部１３３をタッチパネルとして構成している場合には、当該タッチパネルが操作入力部１３６となる。

真空ポンプ装置２００は、真空ポンプ装置２００を部品単位まで分解して清掃・再組立てを行うオーバーホール作業を必要とする真空ポンプ装置である。このような真空ポンプ装置は例えば、ターボ分子ポンプ、半導体製造用途やフラットパネルディスプレイ製造用途等で使用される真空ポンプである。真空ポンプは、例えば、気体輸送式真空ポンプ、気体ため込み式真空ポンプである。以下、真空ポンプ装置２００を、半導体製造用途で使用されるドライ真空ポンプとして説明する。真空ポンプ装置２００の詳細は図２を参照して説明する。

図２は、本開示の一実施形態に係る真空ポンプ装置２００の側断面図である。本開示の真空ポンプ装置２００は、半導体デバイスを製造する半導体製造装置において行われる各種プロセス(熱処理プロセス、不純物導入プロセス、薄膜形成プロセス、リソフラフィープロセス等)において、半導体製造装置に使用される真空チャンバ内のプロセスガスを排出するため等に使用される。真空ポンプ装置２００は、主に、ポンプ外装２０６と、ポンプ外装２０６内に収容されたポンプ部（２１０、２２０）と、各ポンプ部を制御する操作盤２５０とを備える。ポンプ部（２１０、２２０）は、大気圧から真空領域までの運転が可能なメインポンプ部２１０と、排気速度を大きくするために設置されるブースターポンプ部２２０を備える。ポンプ部（２１０、２２０）は、必要排気速度に応じて、ブースターポンプ部２２０を備えず、メインポンプ部２１０のみを備える構成としてもよい。

メインポンプ部２１０は、メインポンプ２１２と、メインポンプモータ２１４とを備える。メインポンプ２１２のポンプケーシング２１６の周囲に、メインポンプヒータ２１８を配置してもよいし、配置しなくてもよい。

ブースターポンプ部２２０は、ブースターポンプ２２２と、ブースターポンプモータ２２４とを備える。図示例ではブースターポンプ２２２のポンプケーシング２２６の周囲には、ブースターポンプヒータ２２８が配置される。また、ブースターポンプ２２２は、真空チャンバに接続される吸気口２３０と、吸引された気体を排出する排気ポート２３２とを備える。ブースターポンプ２２２の排気ポート２３２は、メインポンプ２１２の給気ポート２４０に接続される。排気ポート２３２からメインポンプ２１２に吸い込まれた気体は、メインポンプ２１２の排気ポート２４２から排出される。

無線タグ２０２は、メインポンプ部２１０、ブースターポンプ部２２０、ポンプ外装２
０６のうち少なくとも１つに取り付けられる。無線タグ２０２は、オーバーホール作業時に交換しない、かつ洗浄しない場所に取り付けられる。好ましくは顧客が取り外せない位置や、熱や振動で外れない位置や、熱や強い静電気が流れない位置に配される。したがって、熱が発生するメインポンプヒータ２１８や、ブースターポンプヒータ２２８に直接貼り付けするのではなく、一例として、図示するように、無線タグ２０２（１）は、真空ポンプ装置２００のポンプ外装２０６に設けられ、無線タグ２０２（２）は、メインポンプ２１２のモータケーシング２４４の外側に設けられ、無線タグ２０２（３）はブースターポンプ２２２のモータケーシング２３４の外側に設けられる。また、無線タグ２０２は、各ポンプ部（２１０、２２０）の銘板や、ポンプ製造メーカのマークの裏、操作盤２５０、ベース２５２、ポンプ外装２０６に取り付けられたアイボルト２５４、アイボルト２５４等に取り付けられ、出荷・入庫を管理するための情報等を記載した荷札２５６、ポンプを搬送するための車輪と車輪を固定するための脚で構成されたアジャスタフィット付きキャスタ２５８、電源２６０等に設けられてもよい。

図３は、本開示の一実施形態に係る、図１のポンプ管理システム１００を使用した真空ポンプ装置２００の設計、製造、納入、保守までの一連の処理の流れを示す概略図である。図３において、３１０は営業・設計部門、３２０はサプライヤ、３３０はポンプを製造する工場、３４０は顧客工場もしくは顧客の研究施設、３５０はオーバーホール（ＯＨ）拠点、１２０はサーバ（あるいはデータバンク）である。また、図３において、真空ポンプ装置２００あるいは、真空ポンプ装置２００を構成する部品の流通経路は実線で、各拠点間の情報の流れは点線で示す。本開示によると、無線タグ２０２から読み取り、あるいは無線タグ２０２へ書き込みした情報に基づいて、ポンプ管理システム１００のユーザ（営業担当者、設計担当者、工場作業者、保守担当者等）は、真空ポンプ装置２００の製造から物流、納入、保守までの一連の工程における真空ポンプ装置２００の状況を把握できる。これにより、製造の効率化、保守の効率化を可能にする。以下、図３を参照して、真空ポンプ装置２００の設計から保守にいたるまでの一連の流れを概略的に説明する。

営業・設計部門３１０では、まず、営業担当者は顧客よりポンプの注文を受け付け、サーバ１２０に注文に関する注文情報を格納する。設計担当者は、注文情報にしたがって、真空ポンプ装置２００の構成、及び真空ポンプ装置２００の製造・オーバーホール作業の工程を策定すると共に、この真空ポンプ装置２００に固有のシリアル番号を割り当てる。設計担当者は、サーバ１２０に、真空ポンプ装置２００の注文情報、策定された真空ポンプ装置２００の構成に関する構成情報、及び製造・オーバーホール作業の工程に関する工程情報を初期情報として、真空ポンプ装置２００のシリアル番号に対応付けて格納する。また、設計担当者は、構成情報にしたがって、サプライヤ３２０に、真空ポンプ装置２００を構成する部品の発注を行う。営業・設計部門３１０における工程の詳細は、図４で説明する。

サプライヤ３２０は、営業・設計部門３１０における設計担当者からの発注にしたがって、部品を製造し、工場３３０へ部品の供給を行う。本開示によると、ポンプ管理システム１００のユーザは、サーバ１２０にアクセスして、真空ポンプ装置２００のシリアル番号に対応する構成情報から、各真空ポンプ装置２００に必要な部品の種類や数をリアルタイムで確認することができる。したがって、工場３３０における作業者（あるいは設計担当者）による部品の手配漏れを無くし、また工場３３０における在庫部品の管理を行うことができる。

工場３３０では、作業者が、サーバ１２０から、真空ポンプ装置２００の初期情報のうち、真空ポンプ装置２００の構成情報及び注文情報を取得し、無線タグ２０２にこれら情報と、真空ポンプ装置２００のシリアル番号を登録する。また、作業者はサプライヤ３２０より供給された部品を受け入れて、指定部品の指定箇所に初期情報が登録された無線タ
グ２０２を取り付けする。また、作業者は、サーバ１２０から初期情報のうち工程情報を取得し、工程情報に基づいて、部品を組立て、塗装し、真空ポンプ装置２００の出荷試験、梱包、出荷の工程を順に行う。工場３３０では、各工程の作業が行われる度に、作業者は、リーダライタ端末１１０により、無線タグ２０２に、真空ポンプ装置２００について作業した内容を特定するために利用可能な特定情報を登録する。無線タグ２０２に情報が記憶されているため、ユーザ端末１３０（リーダライタ端末１１０）はサーバ１２０との通信ができない場合も、ユーザはリーダライタ端末１１０を用いて無線タグ２０２に登録された特定情報を読み取りし、真空ポンプ装置２００対してなされたこれまでの作業内容を簡単に確認することができる。また、工場３３０では、各工程の作業が行われる度に、サーバ１２０は、真空ポンプ装置２００製造の各工程において作業者によりなされた作業結果（作業開始／完了日時等）を格納する。工場３３０における工程の処理の詳細は、図４で説明する。

顧客工場３４０では、現場エンジニアが真空ポンプ装置２００の受け入れ作業、真空ポンプ装置２００の据付け、真空ポンプ装置２００の運転を開始する。サーバ１２０は、現場エンジニアにより入力された運転開始日時を保存する。なお、現場エンジニアは、顧客会社のエンジニアであってもよいし、納入会社のサービスエンジニアであってもよい。顧客自身が真空ポンプ装置２００の受け入れ作業、据え付け、運転の開始を行う場合には、サーバ１２０は、真空ポンプ装置２００が顧客に受領された日を運転開始日として保存する。その後、運転開始から所定の期間経過後、あるいは、顧客からのオーバーホール依頼を受けると、現場エンジニアは顧客工場３４０において真空ポンプ装置２００の運転を停止する。真空ポンプ装置２００は、真空ポンプ装置２００に不具合が生じると、その不具合の内容をアラーム情報として記憶する。また、納入会社の現場エンジニア、すなわちサービスエンジニアは、顧客に対し真空ポンプ装置２００の使用状況をヒアリングする。顧客から真空ポンプ装置２００の使用状況をヒアリングすると、現場エンジニアはこの使用状況を、使用情報としてユーザ端末１３０を介してサーバ１２０へ格納する。その後、現場エンジニアは、真空ポンプ装置２００を顧客システムから取り外し、オーバーホール拠点３５０へ輸送する。顧客工場３４０における工程の処理の詳細は、図５で説明する。

オーバーホール拠点３５０では、保守担当者は、顧客工場３４０に配置されていた真空ポンプ装置２００を受け入れし、受け入れ検査を行う。次に、真空ポンプ装置２００のオーバーホール作業（部品への分解、部品の一次洗浄、部品の検査等）を、サーバ１２０から取得したオーバーホール作業の工程情報に基づいて行う。検査の結果、不良部品がある場合は、不良部品の識別番号をサーバ１２０に保存する。保守担当者は、不良部品の手直しや交換を行い、その後、部品の二次洗浄、単体組立て、塗装、総合組立て、真空ポンプ装置２００の出荷試験、出荷検査、梱包、顧客工場への出荷を順に行う。オーバーホール拠点３５０における工程の処理の詳細は、図６で説明する。保守担当者は、オーバーホール拠点３５０でオーバーホール作業を終えると、再度真空ポンプ装置２００を顧客工場３４０に輸送して、真空ポンプ装置２００を顧客システムに組み込む。オーバーホール拠点３５０では、工場３３０での作業と同様に、各工程の作業が行われる度に、保守担当者は、リーダライタ端末１１０により、無線タグ２０２に、真空ポンプ装置２００について作業した内容を特定するために利用可能な特定情報を登録する。また、オーバーホール拠点３５０では、工場３３０での作業と同様に、各工程の作業が行われる度に、サーバ１２０は、真空ポンプ装置２００製造の各工程において作業者によりなされた作業結果（作業開始／完了日時等）を格納する。

次に、図４から図６を参照して、各拠点で行われる工程のフローを説明する。図４は、図３の営業・設計部門３１０において行われる工程（ステップ(step)４０２からステップ４０６）及び、図３の工場３３０において行われる工程（ステップ４０８からステップ４２２）のフロー図である。まず、図４のフローを参照して営業・設計部門３１０において
行われる工程を説明する。

ステップ４０２において、営業・設計部門３１０の営業担当者は、顧客よりポンプの注文情報を含む注文を受け付ける。注文情報は、真空ポンプ装置２００を注文した顧客に関する情報（顧客名称、顧客ＩＤ、顧客連絡先等）や、顧客が注文した真空ポンプ装置２００に関する情報の少なくとも一部を含む。真空ポンプ装置２００に関する情報は、顧客に納める真空ポンプ装置２００の仕様を定めるために必要な情報であり、例えば真空ポンプ装置２００を適用する半導体製造装置に関する情報（半導体製造装置名、半導体製造装置ＩＤ等）と、真空ポンプ装置２００を適用する半導体製造装置において半導体デバイスを製造するプロセスの種別と、この半導体製造装置に使用されるプロセスガスの種別とのうち少なくとも一部を有する。半導体デバイスの製造プロセスには、熱処理プロセス、不純物導入プロセス、薄膜形成プロセス、リソグラフィープロセス等があり、これらの各プロセスにおいて真空ポンプ装置２００は半導体製造装置に使用される真空チャンバ内のガスを吸引し、真空ポンプ装置２００からガスを外部に排出する。なお、上記注文情報はあくまでも一例であり、これに限られるものではない。真空ポンプ装置２００を使用する半導体製造装置の構成は、メーカによっても、また同じメーカであっても型番によっても異なるため、機種名の他に、さらに装置メーカ名、装置詳細名称、半導体製造装置の型番等を含んでもよい。

次に、ステップ４０４において、営業・設計部門３１０の設計担当者は、顧客からの注文毎に、個別に真空ポンプ装置２００の設計を行い、真空ポンプ装置２００の構成を策定し、かつ真空ポンプ装置２００を製造するための工程を策定する。設計担当者は、上述の真空ポンプ装置２００に関する情報に基づいて策定したポンプの構成に関する構成情報と、策定した工程に関する工程情報と、上述した注文情報とを、真空ポンプ装置２００の初期情報として、真空ポンプ装置２００に割り当てられたシリアル番号とともにサーバ１２０に格納する。

構成情報は、真空ポンプ装置２００の基本仕様と、基本仕様に加えて、オプションとなる特別仕様に関する情報を備えてもよい。半導体製造装置に使用するポンプの構成には、標準化できる部分と、できない部分があり、設計担当者は、顧客からの注文に応じて、標準化できる基本仕様と、標準化できない特別仕様とを設計する。基本仕様に関する情報は、メインポンプ部２１０やブースターポンプ部２２０（図２）の種類、メインポンプ部２１０とブースターポンプ部２２０とを接続する連結板、操作盤２５０（図２）、冷却水配管等の形状や、個数の少なくとも一部を含む。特別仕様に関する情報は、ヒータの種類、保温材の種類、メインポンプ部２１０とブースターポンプ部２２０とを接続する配管のオプション構成や、冷却管のオプション構成等の少なくとも一部を含む。上記構成情報はあくまでも一例であり、これに限られるものではない。

工程情報は、真空ポンプ装置２００毎に真空ポンプ装置２００を製造する各工程の作業内容や、作業内容を記した作業フォーマットを含む。作業者は、作業フォーマットにしたがって作業を行うことで、各工程における作業を誤りなく進めることができる。

ステップ４０６において、設計担当者は、策定された真空ポンプ装置２００の構成にしたがって、サプライヤ３２０へ真空ポンプ装置２００の製造に必要な部品の発注を行う。真空ポンプ装置２００の製造に必要な部品は、例えば、ポンプ外装２０６の部材、メインポンプモータ２１４の部材、ブースターポンプモータ２２４の部材、操作盤２５０等を含むが、これに限られるものではない。

本開示によると、サーバ１２０には、真空ポンプ装置２００が適用される半導体製造装置の真空チャンバ内からポンプ部（２１０、２２０）が排気するプロセスガス種等を含む
注文情報や、ポンプの設計を定めた構成情報が真空ポンプ装置２００のシリアル番号と共に格納されている。営業・設計部門３１０等の担当者は、シリアル番号を入力すると、サーバ１２０から、そのシリアル番号に対応する注文情報、構成情報をリアルタイムで得ることができる。ポンプ管理システム１００のユーザは、真空ポンプ装置２００のシリアル番号から、例えば、対応するガス種を取得することで、真空チャンバや、真空ポンプ装置２００の処理環境に大きな影響を与えるガス種等を短時間で調べることができる。

次に、図４のフローを参照して工場３３０において行われる工程の詳細を説明する。

ステップ４０８において、工場３３０では、工場３３０の作業者が、リーダライタ端末１１０を用いて、真空ポンプ装置２００のシリアル番号を、無線タグ２０２に登録する。作業者は、さらに、無線タグ２０２に、サーバ１２０に格納されている初期情報（注文情報、構成情報、及び工程情報）の全て又は一部を登録してもよい。これにより、無線タグ２０２に登録された情報を読み取り、ユーザ端末１３０の表示部１３３に表示させることで、作業者は、サーバ１２０にアクセスせずに、真空ポンプ装置２００を構成する各部品の内容や数等を短時間で調べることができる。なお、無線タグ２０２のシリアル番号を用いて、サーバ１２０に格納されているシリアル番号に対応する初期情報を参照できるため、サーバ１２０に格納されている初期情報の全てを無線タグ２０２に登録しなくてもよい。

その後、サプライヤ３２０から部品が供給されると、作業者は、指定された部品の指定の場所に無線タグ２０２を取り付ける。

次に、ステップ４１０において、工場の作業者は、部品を組み立てして真空ポンプ装置２００の単体組立、すなわち各ポンプ部（２１０，２２０）を組み立てる。

次に、ステップ４１２において、各ポンプ部、及びポンプ外装２０６の塗装、ステップ４１４において、ポンプ外装２０６の組立を含む真空ポンプ装置２００の総合組立て、ステップ４１６において真空ポンプ装置２００の出荷品質の確認のために出荷試験を行う。出荷試験の結果、問題が無ければ、ステップ４１８において、真空ポンプ装置２００の出荷前に全ての付属品が揃っているかを確認するための出荷検査を行い、ステップ４２０において真空ポンプ装置２００の梱包、出荷を行う。図４に示すステップ４１０の部品の組立てから、ステップ４２２の輸送までの一連の工程において、図１のポンプ管理システム１００を使用して、真空ポンプ装置２００の製造ラインの工程管理を行う。

以下、図７を参照して、図４に示す工場３３０において行われる各ステップ（無線タグ登録工程（ステップ４０８）を除く）に共通の、ポンプ管理システム１００における処理を説明する。図７は、本開示の一実施形態に係る工場３３０側にあるユーザ端末１３０（リーダライタ端末１１０）と、サーバ１２０との間の処理フローを示す。

ステップ７０２において、工場３３０において、リーダライタ端末１１０は真空ポンプ装置２００に設けられた無線タグ２０２からシリアル番号を読み込み、ユーザ端末１３０を介してサーバ１２０へシリアル番号を送信する。

ステップ７０４において、サーバ１２０は、ユーザ端末１３０から送信された、真空ポンプ装置２００のシリアル番号を受信する。

サーバ１２０には、真空ポンプ装置２００毎に工程情報（各工程の作業内容、作業内容を記した作業フォーマット）が予め格納されている。ステップ７０６において、サーバ１２０は、格納する作業フォーマットのうち、受信した無線タグ２０２のシリアル番号に対
応する真空ポンプ装置２００の、現在のステップに対応する作業フォーマットを特定し、ユーザ端末１３０へ送信する。

ステップ７０８において、ユーザ端末１３０は、サーバ１２０から、真空ポンプ装置２００の現在の工程に対応する作業フォーマットを受信し、これをユーザ端末１３０の表示部１３３に表示する。作業者は表示部１３３に表示された作業フォーマットを参照して、各工程で定められた作業、例えばステップ４１０では真空ポンプ装置２００の組み立て作業を行う。本開示によると、シリアル番号に対応付けられた作業フォーマットを自動的にサーバ１２０から取得することで、作業フォーマットの選択ミスを無くすことができる。なお、作業内容が複雑でない工程の場合、例えば塗装工程（図４のステップ４１２）、梱包・出荷工程（ステップ４２０）、輸送工程（ステップ４２２）では、作業フォーマットをサーバ１２０から取得して、作業者に作業フォーマットを提示することなく、すなわち、図７において点線で囲むステップ７０４からステップ７０８を省略して、ステップ７０２からステップ７１０に進んでもよい。

作業者により作業フォーマットにしたがって作業が行われた後、ステップ７１０において、ユーザ端末１３０の操作入力部１３６は、特定情報の作業者による入力を受け付ける。特定情報は、各工程において作業フォーマットにしたがって、作業者が作業を完了した内容を特定するために利用可能な、無線タグ２０２に書き込む情報であり、例えば各部品の識別番号や、作業者名を含む。次に、リーダライタ端末１１０を通じて、この特定情報を無線タグ２０２に書き込みする。工場３３０における特定情報の詳細は、図９に例示する。

図９に示すように、無線タグ２０２に書き込む特定情報は、工程毎に異なる。特定情報は、部品の単体組立工程（図４のステップ４１０）では、各部品（ケーシング、ロータ、モータステータ等）の識別番号、作業者名、作業完了日等、総合組立工程（図４のステップ４１４）では、ドライバ番号、操作盤番号、出荷試験工程（図４のステップ４１６）では、出荷試験結果（真空ポンプ装置２００を無負荷で運転したときの、真空ポンプ装置２００の到達圧力、騒音、振動値、真空ポンプ装置２００に搭載されたヒータや圧力監視機能などのオン／オフを設定するためのディップスイッチ設定、操作盤にインストールするソフトウェアのバージョン）、出荷検査工程（図４のステップ４１８）では、真空ポンプ装置２００の梱包前の外観写真、梱包・出荷工程（図４のステップ４２０）では、真空ポンプ装置２００の梱包後の写真等を含む。ポンプの種類毎、仕様毎に異なるソフトウェアが操作盤にインストールされる。なお、無線タグ２０２に新たに書き込むべき情報がない場合、例えば、塗装工程（ステップ４１２）、輸送工程（ステップ４２２）では、ステップ７１０を省略してもよい。また、上記特定情報はあくまでも一例であり、これに限られるものではない。

本開示によると、無線タグ２０２に、真空ポンプ装置２００に関する最新の情報を登録することができる。ユーザ端末１３０（リーダライタ端末１１０）がサーバ１２０との通信ができない場合も、作業者は、無線タグ２０２に記憶された情報を読み取ることで、真空ポンプ装置２００に関する情報（例えば、前の工程で完了した作業内容）を確認することができる。

図７に戻り、ステップ７１２において、ユーザ端末１３０の操作入力部１３６は、作業者による各工程の作業結果（作業開始／完了日時等）の入力を受け付ける。ユーザ端末１３０はこの作業結果を通信部１３２により、サーバ１２０へ送信する。ユーザ端末１３０は、作業結果に加えて無線タグ２０２に書き込みした特定情報をサーバ１２０へ送信してもよい。工場３３０における作業結果の詳細は、図９に例示する。

作業結果は、図９に例示するように、作業開始／完了日時に加えて、工程毎に異なる情報を含む。工場３３０における作業結果は、部品の組立工程（図４のステップ４１０）及び総合組立工程（図４のステップ４１４）では組立て記録を含み、出荷試験工程（図４のステップ４１６）では出荷試験結果（真空ポンプ装置２００を無負荷で運転したときの到達圧力、騒音、振動値）を含み、真空ポンプ装置２００の出荷検査工程（図４のステップ４１８）では出荷検査情報や、真空ポンプ装置２００の梱包前の外観写真を含む。出荷検査情報は例えば、梱包前のポンプ外観に傷がないことの確認結果や、出荷時のオプション構成に関する情報を含む。また、梱包・出荷工程（図４のステップ４２０）では真空ポンプ装置の梱包写真を含み、ポンプの輸送工程（図４のステップ４２２）では、出荷記録（輸送会社名、トラッキング番号等）を含む。なお、上記作業結果はあくまでも一例であり、これに限られるものではない。

図７に戻り、ステップ７１４において、サーバ１２０は、受信した作業結果、あるいは作業結果に加えて特定情報を格納する。

本開示によると、各工程の作業対象を特定するための特定情報と、各工程の作業結果とを、工程毎にサーバ１２０に順次保存する。サーバ１２０にアクセス可能なポンプ管理システム１００のユーザは、サーバ１２０に真空ポンプ装置２００のシリアル番号で問い合わせすると、シリアル番号に対応する真空ポンプ装置２００の特定情報と、作業結果を工程毎に確認でき、その結果、製造工程の追跡や確認を行うことができる。例えば、出荷工程で無線タグ２０２に書き込まれた梱包写真から、真空ポンプ装置の梱包写真から荷姿を確認でき、ユーザは、顧客工場３４０に納入されたときに全ての付属品が揃っているかを確認することができる。また、複数のユーザが異なる拠点にいても（例えば、設計担当者と、工場の作業者）、ユーザ間でサーバ１２０に格納されている情報を共有することができる。

次に、図５のフローを参照して顧客工場３４０における真空ポンプ装置２００の受け入れから、オーバーホール拠点３５０へ輸送するまでの工程を説明する。図５は、本開示の一実施形態に係る顧客工場３４０において行われる工程のフロー図である。

顧客工場３４０では、ステップ５０２において、現場エンジニアが工場３３０からの真空ポンプ装置２００の受け入れ作業を行う。次に、ステップ５０４において、真空ポンプ装置２００の据付けを行い、ステップ５０６において、真空ポンプ装置２００の運転を開始する。納入会社の現場エンジニアは、真空ポンプ装置２００のシリアル番号を読み取り、シリアル番号と共に、真空ポンプ装置２００の運転開始日時をユーザ端末１３０に入力する。ユーザ端末１３０はこの運転開始日時をサーバ１２０に送信し、サーバ１２０はこの運転開始日時を保存する。

運転開始から所定の期間経過後、あるいは、顧客からのオーバーホール依頼を受けると、ステップ５０８において、現場エンジニアは顧客工場３４０において真空ポンプ装置２００の運転を停止し、ユーザ端末１３０に運転停止日時を入力する。ユーザ端末１３０から送信された運転停止日時を、サーバ１２０は保存する。次に、現場エンジニアはステップ５１０において、真空ポンプ装置２００を顧客システムから取り外す。

本開示によると、ポンプ管理システム１００のユーザは、シリアル番号から、対応する真空ポンプ装置２００の運転開始／停止日時を参照することで、どの真空ポンプ装置２００がどの顧客工場３４０で、いつからいつまで運転しているかを確認することができる。その結果、ユーザは、各真空ポンプ装置２００の運転期間や、どの顧客工場で何台の真空ポンプ装置２００が稼働しているかをリアルタイムで確認することができる。

ステップ５１２において、納入会社の現場エンジニアは顧客に対し真空ポンプ装置２００の使用状況をヒアリングし、ヒアリングした使用状況に関する使用情報を、リーダライタ端末１１０で読み取った真空ポンプ装置２００のシリアル番号と共にユーザ端末１３０へ入力する。使用情報は、顧客名、真空ポンプ装置２００が取り付けられる半導体製造装置におけるプロセス種別、真空ポンプ装置２００が排出するガス種、半導体製造装置の詳細装置名、装置メーカ名、真空ポンプ装置２００が取り付けられる半導体製造装置のチャンバ名、真空ポンプ装置２００に不具合がある場合は、その内容、状態、理由の少なくとも一部を含む。上記使用情報はあくまでも一例であり、これに限られるものではない。また、ステップ５１２において、顧客から使用情報を得られない場合、オーバーホール拠点３５０の保守担当者は、後述するステップ６０２（図６）において、受け入れした真空ポンプ装置２００の状態から、顧客設備における使用情報を取得する。その後、ユーザ端末１３０は、シリアル番号と共に、使用情報をサーバ１２０へ送信し、サーバ１２０はこれらを保存する。

ステップ５１４において、現場エンジニアは、真空ポンプ装置２００を梱包し、オーバーホール拠点３５０へ出荷する。次に、ステップ５１６において、真空ポンプ装置２００を、顧客工場３４０からオーバーホール拠点３５０へ輸送する。

次に、図６のフローを参照してオーバーホール拠点３５０における真空ポンプ装置２００の受け入れ（ステップ６０２）から、真空ポンプ装置の梱包・出荷（ステップ６２４）までの工程を詳細に説明する。図６は、本開示の一実施形態に係るオーバーホール拠点３５０において行われる工程のフロー図である。

ステップ６０２において、保守担当者は、真空ポンプ装置２００の受け入れ作業を行う。なお、ステップ５１２において上述したように、現場エンジニアが顧客から使用状況を直接ヒアリングできなかった場合、保守担当者は、本ステップにて、受け入れした真空ポンプ装置２００の状態、例えば真空ポンプ装置２００に記憶されているアラーム情報から、顧客設備における使用状況を確認し、使用情報を取得し、ユーザ端末１３０に入力する。ユーザ端末１３０は、シリアル番号と共に、この使用情報をサーバ１２０へ送信し、サーバ１２０はこれらを保存する。

次に、保守担当者は、ステップ６０４において、真空ポンプ装置２００の受け入れ検査、ステップ６０６において、真空ポンプ装置２００の分解、ステップ６０８において、分解された部品の一次洗浄を行う。ステップ６１０において、保守担当者は、洗浄された部品の検査を行い、検査結果に基づいて必要に応じて部品の交換や部品の手直しを行う。検査で手直しや交換が必要ないと判断された部品はそのまま使用することができる。検査で再利用可能と判断された部品は、適宜修理し（部品を削る、部品表面をコーティングするなど）、再利用不能と判断された部品は新規の部品と交換する。ステップ６１０の部品検査・手直し工程の詳細は、図８を参照して後述する。その後、ステップ６１２において、部品の二次洗浄、ステップ６１４において、単体組み立て、ステップ６１６において、組み立てた各ポンプ部、及びポンプ外装２０６等の塗装、ステップ６１８において、真空ポンプ装置２００の総合組立て、ステップ６２０において、真空ポンプ装置２００の出荷試験、出荷試験の結果、問題が無ければ、ステップ６２２において、真空ポンプ装置２００の出荷検査、ステップ６２４において真空ポンプ装置２００の梱包、出荷、ステップ６１６において、真空ポンプ装置２００の顧客工場３４０への輸送を行う。

図６に示すオーバーホール拠点３５０において行われる処理は、図７において説明した工場３３０において行われる各工程に共通の処理と概略同じであり、ここでは重複する説明は省略する。オーバーホール拠点３５０においては工場作業者が保守担当者として、図７に示す処理を行ってもよい。オーバーホール拠点３５０における特定情報や、作業結果
は、工場３３０における特定情報、作業結果と異なるため、これらの詳細について、図１０を参照して後述する。

図６に示す処理フローのうち、作業内容が複雑でない工程、例えば塗装工程（ステップ６１６）、梱包・出荷工程（ステップ６２４）、輸送工程（ステップ６２６）においては、作業フォーマットをサーバ１２０から取得して、作業者に作業フォーマットを提示することなく、すなわち、ステップ７０４からステップ７０８を省略して、ステップ７０４からステップ７１０に進んでもよい。また、図７に示す処理フローは、図６に示す工程のうち無線タグ２０２に新たに書き込むべき情報がない工程の場合、例えば、分解工程（ステップ６０６）、一次洗浄工程（ステップ６０８）、部品検査・手直し工程（ステップ６１０）、二次洗浄工程（ステップ６１２）、塗装工程（ステップ６１６）、輸送工程（ステップ６２６）では、ステップ７１０を省略してもよい。

ステップ７１０において無線タグ２０２に書き込む特定情報は、図１０に例示するように工程毎に異なる。特定情報は、受け入れ検査工程（図６のステップ６０４）では、真空ポンプ装置２００の記憶部に保存されている真空ポンプ装置２００の運転履歴である。運転履歴とは、メインポンプモータ２１４や、ブースターポンプモータ２２４の回転数や消費電量の履歴等を含む。また、特定情報は、分解工程（図６のステップ６０６）では、真空ポンプ装置２００の分解写真、分解の内容を記した分解記録、単体組立工程（図６のステップ６１４）、総合組立工程（図６のステップ６１８）では、納入時の構成からの仕様変更、トラブル対応情報である。トラブル対応情報は、例えば、プロセスガスの種類によっては、ポンプ内部が高温になる事により金属を腐食させるものがあるため、このポンプの温度上昇を抑えるために、ヒータをオフに関する情報（オフにする時間や期間）である。また、例えば、ポンプ内部で生成物となるプロセスガスを薄めるための、希釈ガスに関する情報（希釈ガスの種類や量）である。

また、保守担当者は、顧客が納入時の構成からの仕様変更を行っていることを確認すると、リーダライタ端末１１０を介して、無線タグ２０２に登録されている真空ポンプ装置２００の構成情報を、最新の情報に更新する。図１０に例示するように、特定情報は、出荷試験工程（図６のステップ６２２）では、出荷試験結果（真空ポンプ装置２００を無負荷で運転したときの到達圧力、騒音、振動値、ソフトウェアのバージョン、ディップスイッチ設定等）である。無線タグ２０２に、最新の出荷試験結果を登録することで、顧客工場３４０において真空ポンプ装置２００に不具合が発生したときに、不具合内容の特定を容易にすることができる。また特定情報は、ポンプの出荷検査工程（図６のステップ６２２）では真空ポンプ装置２００の梱包前の外観写真、ポンプの梱包・出荷工程（図６のステップ６２４）では真空ポンプ装置２００の梱包後の写真である。

また、ステップ７１２においてサーバ１２０に格納する作業結果も、図１０に例示するように工程毎に異なる。作業開始／完了日時に加えて、作業結果は、受け入れ検査工程（図６のステップ６０４）では、ポンプ運転履歴、分解工程（ステップ６０６）では分解後の点検写真、分解記録であり、部品検査・手直し工程（ステップ６１０）では、部品検査情報、不良部品の情報であり、単体組立工程（図６のステップ６１４）及び総合組立工程（図６のステップ６１８）では組立て記録、最新の構成情報である。サーバ１２０には、これまでの構成情報の履歴とともに、最新の構成情報を格納することができる。また、作業結果は、出荷試験工程（図４のステップ６２０）では出荷試験結果（真空ポンプ装置２００を無負荷で運転したときの到達圧力、騒音、振動値、ソフトウェアのバージョン番号、ディップスイッチ設定等）を含み、出荷検査工程（図６のステップ６２２）では真空ポンプ装置２００の梱包前の外観写真を含み、梱包・出荷工程（図６のステップ６２４）では真空ポンプ装置２００を梱包後の外観写真、輸送工程（図６のステップ６２６）では、出荷記録（輸送会社名、トラッキング番号等）を含む。

図８は、本開示の一実施形態に係るオーバーホール拠点３５０の、ポンプ管理システム１００を使用した、部品検査・手直し工程（ステップ６１０）における、ユーザ端末１３０（リーダライタ端末１１０）と、サーバ１２０との間で行われる処理フローを示す。

ステップ８０２において、オーバーホール拠点３５０では、リーダライタ端末１１０により真空ポンプ装置２００に設けられた無線タグ２０２のシリアル番号を読み込み、ユーザ端末１３０を介してサーバ１２０へシリアル番号を送信する。

ステップ８０４において、サーバ１２０は、ユーザ端末１３０より、真空ポンプ装置２００のシリアル番号を受信する。

ステップ８０６において、サーバ１２０は、受信した無線タグ２０２のシリアル番号に対応する真空ポンプ装置２００の現在の工程、すなわち部品検査・手直し工程（ステップ６１０）に対応する作業フォーマットを特定し、ユーザ端末１３０へ送信する。

ステップ８０８において、ユーザ端末１３０は、サーバ１２０から、真空ポンプ装置２００の現在の工程に対応する作業フォーマットを受信し、これをユーザ端末１３０の表示部１３３に表示する。保守担当者は表示部１３３に表示された作業フォーマットにしたがって、部品の検査を行う。保守担当者は、部品の検査の結果、定められた性能や寸法を満たしていない、あるいは故障している不良部品を特定する。

ステップ８１０にて、ユーザ端末１３０の操作入力部１３６は、不良部品に個別に割り当てられた識別番号の保守担当者による入力を受け付ける。

ステップ８１２において、ユーザ端末１３０は、保守担当者による作業結果（作業開始／完了日時、不良部品の識別番号、不良内容、部品検査情報等）の入力を受け付けし、ユーザ端末１３０はこの作業結果（不良部品の識別番号、不良内容、不良原因含む）をサーバ１２０へ送信する。

ステップ８１４において、サーバ１２０は作業結果を受信し、サーバ１２０へ格納すると共に、サーバ１２０に格納されている部品の識別番号と、ロット番号とを対応付けたテーブルから、受信した不良部品の識別番号に対応する不良部品のロット番号を抽出し、このロット番号に不良ロットであることを示す情報を付加する。

ステップ８１６において、サーバ１２０に格納されている、運転開始日時（ステップ５０６）と運転停止日時（ステップ５０８）の差から、真空ポンプ装置２００の運転期間を算出する。ステップ５０８において保守担当者により入力される運転停止日時の代わりに、サーバ１２０に格納されている真空ポンプ装置２００のアラーム情報から、不良部品の運転停止日時を特定してもよい。サーバ１２０は、一例として、算出した運転期間を、不良部品の故障間隔として保存する。また、サーバ１２０は、不良部品の故障間隔や、不良の原因等を不良部品の識別番号と対応付けて、真空ポンプ装置２００のオーバーホール作業の都度に保存する。これにより、例えば、特定の部品の平均故障間隔を求めることができる。その結果、顧客工場３４０で稼働している真空ポンプ装置２００の平均故障間隔が経過する前、例えば一週間前に、ポンプ管理システム１００は、ユーザに対し、平均故障間隔が一週間後である旨の通知を行うことができる。

本開示によると、オーバーホール作業の度に、真空ポンプ装置２００を構成する各部品の故障間隔と、真空ポンプ装置２００の構成と、使用態様（ガス種等）に関する様々なデータを蓄積する。サーバ１２０に格納されたこれらの様々なデータを分析することにより
、どのような構成の真空ポンプ装置２００のどの部品が、どのくらいの間隔で故障するかを予測することができる。その結果、ポンプ管理システム１００は、保守作業がいつ必要となるかの時期を求め、ポンプ管理システム１００のユーザに事前に通知することができる。すなわち、真空ポンプ装置２００が故障する前に、顧客に対し次の保守時期を知らせることができ、真空ポンプ装置２００の予防保全を行うことができる。

さらに、真空ポンプ装置２００のオーバーホール工程の前に、事前に交換部品や予備機を確保することで、効率的に、かつ速やかにオーバーホール作業を行うことができ、オーバーホールに係る期間の短縮を図ることができる。その結果、顧客側では、真空ポンプ装置２００を組み入れた半導体製造装置の稼働率を高めることができる。

以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその均等物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、実施形態および変形例の任意の組み合わせが可能であり、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。

１００…ポンプ管理システム
１１０…リーダライタ端末
１２０…サーバ
１３０…ユーザ端末
１３１…処理部
１３２…通信部
１３３…表示部
１３４…メモリ
１３５…補助記憶装置
１３６…操作入力部
１４０…ネットワーク
２００…真空ポンプ装置
２０２…無線タグ
２０６…ポンプ外装
２１０…メインポンプ部
２１２…メインポンプ
２１４…メインポンプモータ
２１６…ポンプケーシング
２１８…メインポンプヒータ
２２０…ブースターポンプ部
２２２…ブースターポンプ
２２４…ブースターポンプモータ
２２６…ポンプケーシング
２２８…ブースターポンプヒータ
２３０…吸気口
２３２…排気ポート
２３４…ブースターポンプのモータケーシング
２４０…給気ポート
２４４…メインポンプのモータケーシング
２５０…操作盤
３１０…営業・設計部門
３２０…サプライヤ
３３０…工場
３４０…顧客工場
３５０…オーバーホール拠点

Claims (11)

1. 真空ポンプ装置の製造工程を管理する方法であって、
   前記真空ポンプ装置の製造工程は、
   （１）真空ポンプ装置を構成する部品を組み立てる工程と、
   （２）組み立てられた前記真空ポンプ装置の出荷試験をする工程と、
   （３）出荷試験した前記真空ポンプ装置の出荷検査をする工程と、
   （４）出荷検査した前記真空ポンプ装置の梱包及び出荷をする工程と
   を有し、前記管理する方法は、
   無線タグから読み取った前記真空ポンプ装置のシリアル番号をサーバが受信するステップと、
   受信した前記シリアル番号に対応する真空ポンプ装置の上記の（１）〜（４）の工程のうち１つの工程において、前記１つの工程の作業内容を前記サーバがユーザ端末へ送信するステップと、を有する方法。
2. 請求項１に記載の方法であって、
   前記１つの工程において、さらに、
   前記ユーザ端末が前記サーバから受信した前記作業内容を表示部に表示させるステップと、
   前記ユーザ端末が、前記作業内容にしたがって作業者が作業を完了した内容を特定するために利用可能な特定情報の入力を受け付けるステップと、
   リーダライタ端末が、前記特定情報を前記無線タグに書き込むステップと、
   を備える方法。
3. 請求項２に記載の方法であって、
   前記１つの工程の次の工程において、さらに、
   前記無線タグに書き込まれた前記特定情報を、リーダライタ端末が読み出すステップと、
   読み出した前記特定情報を、前記ユーザ端末の表示部に表示させるステップと、
   を備える方法。
4. 請求項１又は２のいずれかに記載の方法であって、
   前記１つの工程において、さらに、
   前記ユーザ端末が、前記作業内容にしたがって作業者が行った作業結果の入力を受け付けし、前記作業結果をサーバへ送信するステップと、
   前記ユーザ端末から送信された前記作業結果を、前記サーバへ格納するステップと、
   を備える方法。
5. 真空ポンプ装置の保守工程を管理する方法であって、
   前記真空ポンプ装置の保守工程は、
   （１）オーバーホール拠点に受け入れた真空ポンプ装置を受け入れ検査する工程と、
   （２）受け入れ検査した前記真空ポンプ装置を部品に分解する工程と、
   （３）分解された前記部品を洗浄する工程と、
   （４）洗浄した部品を検査し、必要に応じて手直しする工程と、
   （５）検査に基づいて真空ポンプ装置を再組み立てする工程と、
   （６）再組み立てした真空ポンプ装置を出荷試験する工程と、
   （７）出荷試験した前記真空ポンプ装置の出荷検査をする工程と、
   （８）出荷検査した前記真空ポンプ装置の梱包及び出荷をする工程と、
   を有し、前記保守工程を管理する方法は、
   無線タグから読み取った前記真空ポンプ装置のシリアル番号をサーバが受信するステッ
   プと、
   受信した前記シリアル番号に対応する真空ポンプ装置の上記の（１）〜（８）の工程のうち１つの工程において、前記１つの工程の作業内容をサーバがユーザ端末へ送信するステップと、を有する方法。
6. 請求項５に記載の方法であって、前記洗浄した部品を検査する工程において、
   前記ユーザ端末が、不良であると判断された不良部品の識別番号の入力を受け付けるステップと、
   前記サーバに保存されている、前記真空ポンプ装置の運転開始日時と運転停止日時から前記真空ポンプ装置の運転期間を前記サーバが算出するステップと、
   前記運転期間を、前記不良部品の故障間隔として、前記不良部品の識別番号と共に前記サーバに格納するステップと、
   を備える方法。
7. 真空ポンプ装置の製造工程を管理するシステムであって、
   前記真空ポンプ装置の製造工程は、
   （１）真空ポンプ装置を構成する部品を組み立てる工程と、
   （２）組み立てられた前記真空ポンプ装置の出荷試験をする工程と、
   （３）出荷試験した前記真空ポンプ装置の出荷検査をする工程と、
   （４）出荷検査した前記真空ポンプ装置の梱包及び出荷をする工程と、
   を有し、前記管理するシステムは、
   前記真空ポンプ装置のシリアル番号が記憶された無線タグと、
   前記無線タグに、上記（１）〜（４）の工程のうち１つの工程において作業者が作業を完了した内容を特定可能な特定情報を書き込みするリーダライタ端末と、
   前記１つの工程の次の工程において、前記リーダライダ端末により前記無線タグから読み出された前記特定情報を受信し、表示部に表示させるユーザ端末と、
   を備えるシステム。
8. 請求項７に記載のシステムであって、さらに、
   前記無線タグから読み取った前記真空ポンプ装置のシリアル番号を受信し、受信した前記シリアル番号に対応する真空ポンプ装置の、前記１つの工程の作業内容を特定し、前記作業内容を前記ユーザ端末へ送信するサーバを備える、システム。
9. 請求項１から８のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置であって、
   ポンプ外装内に収容されたポンプ部を備え、
   前記ポンプ部、前記ポンプ外装の少なくとも一方に無線タグが設けられており、前記無線タグは、前記真空ポンプ装置のシリアル番号と、前記真空ポンプ装置を注文した顧客に関する情報と、前記顧客が注文した真空ポンプ装置に関する情報を記憶していることを特徴とする、
   真空ポンプ装置。
10. 請求項９に記載の真空ポンプ装置であって、前記真空ポンプ装置はドライ真空ポンプであることを特徴とする、真空ポンプ装置。
11. 請求項１０に記載の真空ポンプ装置であって、
    前記顧客が注文した真空ポンプ装置に関する情報は、前記真空ポンプ装置を適用する装置に関する情報、及び前記真空ポンプ装置を適用するプロセス種別、前記真空ポンプ装置が排出するプロセスガス種別の少なくとも一つを有する、真空ポンプ装置。
    

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