JP2021102811A - 成膜装置及び電子デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、電子デバイスの製造装置の一部の構成を模式的に示す平面図である。
HMD用の表示パネルの場合、所定のサイズのシリコンウエハに有機EL素子の形成のための成膜を行った後、素子形成領域の間の領域(スクライブ領域)に沿って該シリコンウエハを切り出して、複数の小さなサイズのパネルを製作する。スマートフォン用の表示パネルの場合は、4.5世代の基板(約700mm×約900mm)や6世代のフルサイズ(約1500mm×約1850mm)又はハーフカットサイズ(約1500mm×約925mm)の基板に、有機EL素子の形成のための成膜を行った後、該基板を切り抜いて複数の小さなサイズのパネルを製作する。
送ロボット14は、上流側に配置された中継装置のパス室15から成膜装置11へと基板Wを搬送する。また、搬送ロボット14は、成膜装置11とマスクストック装置12との間でマスクMを搬送する。搬送ロボット14は、例えば、多関節アームに、基板W又はマスクMを保持するロボットハンドが取り付けられた構造を有するロボットである。
図2は、成膜装置11の構成を示す模式図である。以下の説明においては、基板Wの成膜面に平行な面(XY平面)において交差する2つの方向をX方向(第1方向)とY方向
(第2方向)とし、基板Wの成膜面に垂直な鉛直方向をZ方向(第3方向)とするXYZ直交座標系を用いる。また、Z軸まわりの回転角(回転方向)をθで表す。
電チャック24の基板吸着面に垂直な方向において、実質的に同じ領域に位置する。これにより、成膜装置11が冷却手段30を具備する場合でも、磁力印加手段32とマスクMとの間の距離が遠くならないので、磁力印加手段32によってマスクMに作用する磁力が低下することを抑制できる。
アライメント、蒸発源25の制御、成膜動作の制御などの機能を有する。
図3と図4は、本発明の一実施形態による成膜措置11において、冷却手段30と磁力印加手段32の構成及び配置構造を模式的に示す断面図と平面図である。
と同じ位置に設けられるため、マグネット32aの基板吸着面24a(又はマスクM)からの距離は冷却管30aの存在によって影響を受けない。この構成によると、マグネット32aとマスクMとの間の距離を近くすることができ、マグネット32aによってマスクMへ作用する磁力(引力)の大きさが弱まることがない。
次に、本実施形態の成膜装置を用いた電子デバイスの製造方法の一例を説明する。以下、電子デバイスの例として有機EL表示装置の構成及び製造方法を例示する。
れている。
Claims (11)
- 基板を保持する基板保持面を有する静電チャックと、
前記基板保持面側に設置され、マスクを保持するためのマスク支持ユニットと、
前記静電チャックに対して前記基板保持面の反対側に設置され、マスクに磁力を印加するための磁力印加手段と、
前記静電チャックに対して前記基板保持面の反対側に設置され、基板を冷却するための冷却手段と、を備え、マスクを介して基板に蒸着材料を成膜する成膜装置において、
前記基板保持面と交差する交差方向において、前記磁力印加手段と前記冷却手段は重複して配置されることを特徴とする成膜装置。 - 前記磁力印加手段はマグネットを有し、
前記冷却手段は冷媒が流れる冷却管を有し、
前記交差方向において、前記マグネットと前記冷却管は重複して配置されることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。 - 前記基板保持面に平行な面内において、前記マグネットの少なくとも一部は、隣接する前記冷却管の間に配置されることを特徴とする請求項2に記載の成膜装置。
- 前記基板保持面に平行な方向な面内において、前記マグネットと前記冷却管は、交互に配置されることを特徴とする請求項3に記載の成膜装置。
- 前記磁力印加手段は、第1プレート部材と、前記第1プレート部材の前記静電チャックに対向する面上に設置されたマグネットとを有し、
前記冷却手段は、前記第1プレート部材の前記静電チャックに対向する面上に設置された冷却管を有することを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。 - 前記冷却管は線状であり、前記基板保持面に平行な面内において、前記マグネットは、隣接する前記冷却管の間に配置されることを特徴とする請求項5に記載の成膜装置。
- 前記冷却管は、渦巻き状に配置されることを特徴とする請求項6に記載の成膜装置。
- 前記冷却管は、ジグザグ状に配置されることを特徴とする請求項6に記載の成膜装置。
- 前記磁力印加手段は、第1プレート部材と、前記第1プレート部材の前記静電チャックに対向する面上に設置されるマグネットとを有し、
前記冷却手段は、前記第1プレート部材と前記静電チャックとの間に配置された第2プレート部材と、前記第2プレート部材の前記第1プレート部材に対向する面上に設置される冷却管とを有し、
前記基板保持面に平行な面内において、前記マグネットの少なくとも一部は、隣接する前記冷却管の間に配置されることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。 - 前記冷却管は、線状であることを特徴とする請求項9に記載の成膜装置。
- 請求項1〜請求項10のいずれか一項に記載の成膜装置を用いて、電子デバイスを製造することを特徴とする電子デバイスの製造方法。
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