JP2021093570A5 - - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 11
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 claims 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 claims 1
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019221476A JP7433873B2 (ja) | 2019-12-06 | 2019-12-06 | 弾性波共振器、フィルタ、及びマルチプレクサ |
| US17/102,835 US11722117B2 (en) | 2019-12-06 | 2020-11-24 | Acoustic wave resonator, filter, multiplexer, and wafer |
| CN202011400523.7A CN112929004B (zh) | 2019-12-06 | 2020-12-04 | 声波谐振器、滤波器、多路复用器和晶片 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019221476A JP7433873B2 (ja) | 2019-12-06 | 2019-12-06 | 弾性波共振器、フィルタ、及びマルチプレクサ |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2021093570A JP2021093570A (ja) | 2021-06-17 |
| JP2021093570A5 true JP2021093570A5 (https=) | 2022-12-26 |
| JP7433873B2 JP7433873B2 (ja) | 2024-02-20 |
Family
ID=76163057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2019221476A Active JP7433873B2 (ja) | 2019-12-06 | 2019-12-06 | 弾性波共振器、フィルタ、及びマルチプレクサ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11722117B2 (https=) |
| JP (1) | JP7433873B2 (https=) |
| CN (1) | CN112929004B (https=) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7511310B2 (ja) * | 2020-06-17 | 2024-07-05 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ |
| JP2023003114A (ja) * | 2021-06-23 | 2023-01-11 | 株式会社村田製作所 | 表面弾性波共振子、弾性波フィルタおよびマルチプレクサ |
| JP7807927B2 (ja) * | 2022-01-28 | 2026-01-28 | 太陽誘電株式会社 | 圧電薄膜共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
| CN115014478B (zh) * | 2022-06-27 | 2026-02-13 | 云南大学 | 一种全金属结构的固态装配型微质量传感器及其制备方法 |
| CN119366110A (zh) * | 2022-06-27 | 2025-01-24 | 日本碍子株式会社 | 复合基板及复合基板的制造方法 |
| JP2026049043A (ja) * | 2023-01-25 | 2026-03-18 | Ｉ－ＰＥＸ Ｐｉｅｚｏ Ｓｏｌｕｔｉｏｎｓ株式会社 | 膜構造体及び電子デバイス |
| CN121312072A (zh) * | 2023-06-13 | 2026-01-09 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置以及弹性波滤波器装置 |
| CN116827298A (zh) * | 2023-06-28 | 2023-09-29 | 中国科学技术大学 | 一种声波谐振器 |
| CN116944006B (zh) * | 2023-09-19 | 2023-12-15 | 中北大学 | 一种d11工作模式驱动的PMUT单元及其制备方法 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006013576A (ja) * | 2004-06-22 | 2006-01-12 | Epson Toyocom Corp | Ｓａｗデバイスとこれを用いた装置 |
| CN103262410B (zh) | 2010-12-24 | 2016-08-10 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置及其制造方法 |
| JP6494462B2 (ja) | 2015-07-29 | 2019-04-03 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイスおよびモジュール |
| JP6494545B2 (ja) | 2016-02-23 | 2019-04-03 | 太陽誘電株式会社 | デュプレクサ |
| CN109891612A (zh) | 2016-10-20 | 2019-06-14 | 天工方案公司 | 具有亚波长厚度的压电层的弹性波器件 |
| CN110383685B (zh) | 2017-03-09 | 2023-02-21 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
| CN110383686B (zh) * | 2017-03-09 | 2023-02-28 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置、弹性波装置封装件、多工器、高频前端电路及通信装置 |
| US10700662B2 (en) * | 2017-12-28 | 2020-06-30 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Acoustic wave device, filter, and multiplexer |
| CN111727565B (zh) * | 2018-02-26 | 2024-11-22 | 京瓷株式会社 | 弹性波元件 |
| JP7169083B2 (ja) * | 2018-04-04 | 2022-11-10 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイスおよびマルチプレクサ |
| JP2019201345A (ja) * | 2018-05-17 | 2019-11-21 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
| US11595019B2 (en) * | 2018-04-20 | 2023-02-28 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Acoustic wave resonator, filter, and multiplexer |
| US10938372B2 (en) * | 2018-05-17 | 2021-03-02 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Acoustic wave resonator, acoustic wave device, and filter |
| KR102667725B1 (ko) * | 2019-03-11 | 2024-05-22 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 |
-
2019
- 2019-12-06 JP JP2019221476A patent/JP7433873B2/ja active Active
-
2020
- 2020-11-24 US US17/102,835 patent/US11722117B2/en active Active
- 2020-12-04 CN CN202011400523.7A patent/CN112929004B/zh active Active
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