JP2021090184A - 自己補正式Soc - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 46
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 45
- 230000015654 memory Effects 0.000 claims abstract description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 claims abstract description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 48
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 42
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 27
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 23
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 22
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 abstract 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05F—SYSTEMS FOR REGULATING ELECTRIC OR MAGNETIC VARIABLES
- G05F1/00—Automatic systems in which deviations of an electric quantity from one or more predetermined values are detected at the output of the system and fed back to a device within the system to restore the detected quantity to its predetermined value or values, i.e. retroactive systems
- G05F1/10—Regulating voltage or current
- G05F1/46—Regulating voltage or current wherein the variable actually regulated by the final control device is dc
- G05F1/56—Regulating voltage or current wherein the variable actually regulated by the final control device is dc using semiconductor devices in series with the load as final control devices
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- G11—INFORMATION STORAGE
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- G11C7/00—Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
- G11C7/22—Read-write [R-W] timing or clocking circuits; Read-write [R-W] control signal generators or management
- G11C7/222—Clock generating, synchronizing or distributing circuits within memory device
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- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/34—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
- G11C11/40—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
- G11C11/401—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
- G11C11/4063—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
- G01R31/31903—Tester hardware, i.e. output processing circuits tester configuration
- G01R31/31908—Tester set-up, e.g. configuring the tester to the device under test [DUT], down loading test patterns
- G01R31/3191—Calibration
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/34—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
- G11C11/40—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
- G11C11/401—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/34—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
- G11C11/40—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
- G11C11/401—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
- G11C11/4063—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing
- G11C11/407—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
- G11C11/4076—Timing circuits
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- G—PHYSICS
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R35/00—Testing or calibrating of apparatus covered by the other groups of this subclass
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- G—PHYSICS
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- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
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- G11C2029/0403—Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals during or with feedback to manufacture
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- G11C2207/00—Indexing scheme relating to arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
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- G11C2207/2254—Calibration
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Electromagnetism (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
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- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
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Abstract
Description
12 DRAM
13 補正回路
14 機能性回路
15 SIP回路
16 サイクル発振器
18 制御回路
22 水晶振動子
24 第1トランジスタスイッチ
26 垂直抵抗器
28 垂直コンデンサ
30 絶縁層
32 第1導電性ビア
34 第2導電性ビア
36 第3導電性ビア
37 補正器
38 第2トランジスタスイッチ
40 水平抵抗器
42 水平コンデンサ
44 カウンター
46 デコーダ
Claims (11)
- 半導体基板、少なくとも1つのSIP回路、サイクル発振器、及び制御回路を有し、
前記SIP回路は、前記半導体基板に設けられ、複数のDRAM、補正回路、及び機能性回路を有し、
前記複数のDRAMは、前記半導体基板に設けられ、粗調整静電容量値及び粗調整電気抵抗値を有し、
前記補正回路は、前記半導体基板に設けられ、複数の微調整静電容量値及び複数の微調整電気抵抗値を有し、
前記機能性回路は、前記半導体基板に設けられ、前記DRAM及び前記補正回路に電気接続され、且つ機能パラメータを有し、
前記サイクル発振器は、前記半導体基板に設けられ、設定期間内に発振クロック信号を生成し、
前記制御回路は、前記半導体基板に設けられ、前記サイクル発振器、前記DRAM及び前記補正回路に電気接続され、前記発振クロック信号を受信してそのパルス(pulse)数を計算し、前記パルス数が既定値より大きい又は小さい場合、前記パルス数及び前記既定値に基づいて、前記DRAM及び前記補正回路を制御して、前記粗調整静電容量値、前記粗調整電気抵抗値、前記微調整静電容量値及び前記微調整電気抵抗値を選択して前記機能性回路に提供し、
前記機能性回路は、選択された前記粗調整静電容量値、前記粗調整電気抵抗値、前記微調整静電容量値及び前記微調整電気抵抗値に基づいて、前記機能パラメータを調整することを特徴とする、
自己補正式Soc。 - 各前記DRAMは、垂直抵抗器、第1トランジスタスイッチ、及び垂直コンデンサを更に有し、
前記垂直抵抗器は、前記半導体基板に設けられ、前記粗調整電気抵抗値を有し、
前記第1トランジスタスイッチは、前記半導体基板に設けられ、前記制御回路に電気接続される第1制御電極、前記垂直抵抗器を介して前記機能性回路に電気接続される第1接続電極、及び第2接続電極を有し、
前記垂直コンデンサは、前記半導体基板に設けられ、前記第2接続電極及び電圧端子に電気接続され、前記粗調整静電容量値を有し、
前記制御回路によって前記第1トランジスタスイッチをONする場合、前記機能性回路は、前記垂直抵抗器の前記粗調整電気抵抗値、及び前記垂直コンデンサの前記粗調整静電容量値に基づいて、前記機能パラメータを調整することを特徴とする、
請求項1に記載の自己補正式Soc。 - 前記補正回路は、複数の補正器を更に有し、
前記複数の補正器は、前記半導体基板に設けられ、それぞれ前記微調整静電容量値及び前記微調整電気抵抗値を有し、前記制御回路及び前記機能性回路に電気接続され、
前記パルス数が既定値より大きい又は小さい場合、前記制御回路は、前記パルス数及び前記既定値に基づいて、前記補正器を制御して、前記微調整静電容量値及び前記微調整電気抵抗値を選択することを特徴とする、
請求項1に記載の自己補正式Soc。 - 各前記補正器は、第2トランジスタスイッチ、水平抵抗器、及び水平コンデンサを更に有し、
前記第2トランジスタスイッチは、前記半導体基板に設けられ、前記制御回路に電気接続される第2制御電極、前記機能性回路に電気接続される第3接続電極、及び第4接続電極を有し、
前記水平抵抗器は、前記半導体基板に設けられ、前記微調整電気抵抗値を有し、電圧端子に接続され、且つ前記水平コンデンサに電気直列接続され、
前記水平コンデンサは、前記半導体基板に設けられ、前記微調整静電容量値を有し、前記第2トランジスタスイッチの前記第4接続電極に電気接続され、
前記制御回路によって前記第2トランジスタスイッチをONする場合、前記機能性回路は、前記水平抵抗器の前記微調整電気抵抗値及び前記水平コンデンサの前記微調整静電容量値に基づいて、前記機能パラメータを調整することを特徴とする、
請求項3に記載の自己補正式Soc。 - 前記制御回路は、カウンター及びデコーダを更に有し、
前記カウンターは、前記半導体基板に設けられ、前記サイクル発振器に電気接続され、前記発振クロック信号を受信し、前記設定期間内に前記パルスの上端又は下端に基づいて、前記パルス数を計算することで、1組のデジタル値を生成し、
前記デコーダは、前記半導体基板に設けられ、前記カウンター、前記DRAM及び前記補正回路に電気接続され、前記1組のデジタル値を受信し、前記1組のデジタル値及び前記既定値に基づいて、前記DRAM及び前記補正回路を制御して、前記粗調整静電容量値、前記粗調整電気抵抗値、前記微調整静電容量値及び前記微調整電気抵抗値を選択して前記機能性回路に提供することを特徴とする、
請求項1に記載の自己補正式Soc。 - 前記カウンターはシフトレジスタであることを特徴とする、
請求項5に記載の自己補正式Soc。 - 前記サイクル発振器は更に参考クロック信号を受信し、
前記設定期間は前記参考クロック信号の周期であり、
前記発振周波数は前記参考クロック信号の参考周波数より大きいことを特徴とする、
請求項1に記載の自己補正式Soc。 - 前記サイクル発振器は、更に前記参考クロック信号を生成する水晶振動子に電気接続されることを特徴とする、
請求項7に記載の自己補正式Soc。 - 前記パルス数が前記既定値より小さい場合、前記制御回路及び前記機能性回路によって前記機能パラメータを低下させ、
前記パルス数が前記既定値より大きい場合、前記制御回路及び前記機能性回路によって前記機能パラメータを向上させることを特徴とする、
請求項1に記載の自己補正式Soc。 - 前記粗調整静電容量値及び前記粗調整電気抵抗値から第1時間定数を形成し、前記微調整静電容量値及び前記微調整電気抵抗値から第2時間定数を形成し、前記第1時間定数を前記第2時間定数で割った数値が10以上であることを特徴とする、
請求項1に記載の自己補正式Soc。 - 前記機能性回路はアナログ回路、RF回路、デジタル回路、プロセッサー、SRAM又はフラッシュメモリであることを特徴とする、
請求項1に記載の自己補正式Soc。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW108144123 | 2019-12-03 | ||
TW108144123A TWI730523B (zh) | 2019-12-03 | 2019-12-03 | 自我校正式系統單晶片 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021090184A true JP2021090184A (ja) | 2021-06-10 |
JP6887702B2 JP6887702B2 (ja) | 2021-06-16 |
Family
ID=76091431
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020076305A Active JP6887702B2 (ja) | 2019-12-03 | 2020-04-22 | 自己補正式Soc |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11334100B2 (ja) |
JP (1) | JP6887702B2 (ja) |
CN (1) | CN112908380A (ja) |
TW (1) | TWI730523B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116318120B (zh) * | 2023-03-30 | 2024-05-03 | 归芯科技(深圳)有限公司 | Rc振荡时钟的校准电路、校准方法、芯片和电子设备 |
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-
2019
- 2019-12-03 TW TW108144123A patent/TWI730523B/zh active
-
2020
- 2020-03-13 CN CN202010175821.4A patent/CN112908380A/zh active Pending
- 2020-04-22 JP JP2020076305A patent/JP6887702B2/ja active Active
- 2020-05-06 US US16/867,785 patent/US11334100B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6887702B2 (ja) | 2021-06-16 |
CN112908380A (zh) | 2021-06-04 |
US11334100B2 (en) | 2022-05-17 |
TWI730523B (zh) | 2021-06-11 |
TW202123619A (zh) | 2021-06-16 |
US20210165434A1 (en) | 2021-06-03 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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