JP2021073458A - 露点測定方法及び露点測定装置 - Google Patents
露点測定方法及び露点測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021073458A JP2021073458A JP2021010779A JP2021010779A JP2021073458A JP 2021073458 A JP2021073458 A JP 2021073458A JP 2021010779 A JP2021010779 A JP 2021010779A JP 2021010779 A JP2021010779 A JP 2021010779A JP 2021073458 A JP2021073458 A JP 2021073458A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dew point
- temperature
- water droplet
- droplet sensor
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 title claims description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title abstract description 57
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 211
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 79
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 79
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims abstract description 65
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims abstract description 65
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims abstract description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 21
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 20
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 13
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 10
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 10
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 6
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims description 5
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 claims description 5
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 5
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 5
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011135 tin Substances 0.000 claims description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 29
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 13
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 9
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 8
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 230000004044 response Effects 0.000 description 7
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 6
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 5
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 5
- 238000005338 heat storage Methods 0.000 description 4
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 4
- 239000011232 storage material Substances 0.000 description 4
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 3
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 1
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000004781 supercooling Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N25/00—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
- G01N25/56—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating moisture content
- G01N25/66—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating moisture content by investigating dew-point
- G01N25/68—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating moisture content by investigating dew-point by varying the temperature of a condensing surface
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/048—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance for determining moisture content of the material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/4035—Combination of a single ion-sensing electrode and a single reference electrode
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/416—Systems
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
Description
ここで、前記水滴センサ表面に露点測定対象の気体を供給する気体供給手段を更に設けてよい。
また、前記気体供給手段は、前記露点測定対象の気体を間欠的に前記水滴センサ表面に供給してよい。
あるいは、前記気体供給手段は、前記露点測定対象の気体を連続的に前記水滴センサ表面に供給してよい。
また、前記異種金属の細線の間隔は20μm未満であってよい。
また、前記異種金属の細線の間隔は100nm以上かつ1000nm以下であってよい。
また、前記異種金属の一方の金属は金、白金、銀、チタン及びこれらの合金、並びに炭素からなる群から選択され、他方の金属は前記一方の金属とは異なる金属であって、銀、銅、鉄、亜鉛、ニッケル、コバルト、アルミニウム、スズ、クロム、モリブデン、マンガン、マグネシウム、及びこれらの合金からなる群から選択される金属であってよい。
また、前記温度制御手段は保冷剤または蓄熱材であってよい。
あるいは、前記温度制御手段は通電により冷却及び加熱の少なくとも一方を行うことができる手段であってよい。
あるいは、前記温度制御手段は液体の潜熱及び気体の圧力変化の少なくとも一方による温度変化を利用してよい。
本発明の他の側面によれば、絶縁性基板上に異種金属の細線を並置した構造を有し、水滴が前記異種金属の細線間に付着したことを検出する水滴センサを設け、前記水滴センサの温度を変化させて前記水滴センサ表面の結露状態の変化に基づいて露点を求める、露点測定方法が与えられる。
ここで、前記水滴センサに露点測定対象の気体を供給してよい。
また、前記露点測定対象の気体を間欠的に前記水滴センサ表面に供給してよい。
あるいは、前記露点測定対象の気体を連続的に前記水滴センサ表面に供給してよい。
また、前記異種金属の細線の間隔は20μm未満であってよい。
また、前記異種金属の細線の間隔は100nm以上かつ1000nm以下であってよい。
また、前記異種金属の一方の金属は金、白金、銀、チタン及びこれらの合金、並びに炭素からなる群から選択され、他方の金属は前記一方の金属とは異なる金属であって、銀、銅、鉄、亜鉛、ニッケル、コバルト、アルミニウム、スズ、クロム、モリブデン、マンガン、マグネシウム、及びこれらの合金からなる群から選択される金属であってよい。
また、前記水滴センサの温度の変化は温度を低下させる方向への変化または温度を上昇させる方向への変化であってよい。
また、前記水滴センサの温度の変化は温度を低下させる方向への変化と温度を上昇させる方向への変化の両方の変化であってよい。
また、前記水滴センサの温度の変化は階段状の変化または連続的な変化であってよい。
図4に本発明の一実施例の露点測定装置の概念的構成を示す。この露点測定装置においては、断熱容器内に金属容器を収容し、また断熱容器内部の金属容器周囲に保冷剤(ここでは氷を使用)を充填できるようにした。なお、図4では簡略化のため、金属容器の底部が断熱容器の底部に直接接触するように図示してあるが、もちろん両容器の底部の間にも保冷剤を充填できるようにして良い。これにより、金属容器内の温度を当初の室温から0℃近くまで徐々に低下させた。金属容器内には上述したところの、特許文献1に基づく水滴センサ並びに金属容器内の現在の温度及び湿度を夫々測定するための一体構成された温度計及び湿度計(サーミスタ式温度計と高分子抵抗型湿度計の組み合わせである、エンペックス気象計株式会社製のウェザーコムEX-501を使用)を収容した。このような構成では金属容器内の温度は比較的緩慢に低下するので、温度計の温度と水滴センサの温度とはほぼ同じように変化すると考えられる。このように温度が制御された金属容器内空間に断熱チューブを介して露点を測定したい空気を吹き込み、水滴センサの表面にこの空気の流れが当たるようにした。ここで断熱チューブを使用するのは、この空気が水滴センサ表面に到達する前に経路中で冷却されてその壁面に結露を生じた場合には、水滴センサ表面に到達した空気中の水蒸気量が当初よりも減少することで露点測定結果に誤差が出るからである。なお、図4では露点測定装置内部の機器類(水滴センサ、温度計、湿度計等)と外部の制御装置、測定機器類(図示せず)との間の接続線路等は省略してある。ここで使用した水滴センサの構造・サイズは、電極構造としては図3に例示したような対向櫛形であり、電極数は50組(図3の例で言えば、電極A、Bの細線電極が夫々50本)とした。また、電極材料の組み合わせはCu/AuとAl/Auの2通りとした。Cu/Auの電極材料の組み合わせについては、細線電極間隔は500nm、1μm及び10μmの3通りについて実験を行い、Al/Auの組み合わせについては細線電極間隔は1μm及び10μmの2通りとした。なお、図5に示すデータは、細線電極間隔を1μmとしたAl/Au電極対を有する水滴センサを使用して測定した結果である。
実施例1の構成から湿度−温度計を取り除き、温度計としては水滴センサ直下に熱電対を配置した、図8に示す構成の実施例2を準備し、これを用いて実施例1と同じ手順(ただし、測定対象の空気は実施例1と異なる)で露点測定を行った。ここで水滴センサの電極の金属はCu/Auの組み合わせを使用した。その結果を図9及び図10に示す。
図11に本発明の他の実施例の露点測定装置の概念的構成を示す。この露点測定装置においては、ペルチェ素子(冷却手段)の上に一対の伝熱台が配置され、この伝熱台を架け渡すようにして水滴センサを含むセンサパッケージが載置されている。水滴センサは、ペルチェ素子、一対の伝熱台、及びセンサパッケージによって形成される空間(トンネル状空間)に少なくともその一部分が面するように配設されている。図11において、太矢印は、ペルチェ素子からの冷熱が伝熱台からセンサパッケージへ伝達する様子を模式的に示しており、これにより、トンネル状空間の内部も冷却され、水滴センサの温度が低下することによってセンサ表面に結露を発生させることができる。なお、水滴センサの表面には、サーミスタ(図示せず)が設置されており、水滴センサ表面がさらされる大気雰囲気の温度・湿度を計測可能とされている。
Claims (21)
- 絶縁性基板上に異種金属の細線を並置した構造を有し、空気中に含まれる水蒸気が凝結して形成された水滴が前記異種金属の細線間に付着したことによって生じるガルバニ電流を検出する水滴センサと、
前記水滴センサの温度を制御する温度制御手段と
を設け、
前記温度制御手段は前記水滴センサの温度を0℃未満に冷却できるように構成された露点測定装置。 - 前記水滴センサ表面に露点測定対象の気体を供給する気体供給手段を更に設けた、請求項1に記載の露点測定装置。
- 前記気体供給手段は、前記露点測定対象の気体を間欠的に前記水滴センサ表面に供給する、請求項2に記載の露点測定装置。
- 前記気体供給手段は、前記露点測定対象の気体を連続的に前記水滴センサ表面に供給する、請求項2に記載の露点測定装置。
- 前記異種金属の細線の間隔は20μm未満である、請求項1から4の何れかに記載の露点測定装置。
- 前記異種金属の細線の間隔は100nm以上かつ1000nm以下である、請求項5に記載の露点測定装置。
- 前記異種金属の一方の金属は金、白金、銀、チタン及びこれらの合金、並びに炭素からなる群から選択され、他方の金属は前記一方の金属とは異なる金属であって、銀、銅、鉄、亜鉛、ニッケル、コバルト、アルミニウム、スズ、クロム、モリブデン、マンガン、マグネシウム、及びこれらの合金からなる群から選択される金属である、請求項1から6の何れかに記載の露点測定装置。
- 前記温度制御手段は保冷剤である、請求項1から7の何れかに記載の露点測定装置。
- 前記温度制御手段は通電により少なくとも冷却を行うことができる手段である、請求項1から7の何れかに記載の露点測定装置。
- 前記温度制御手段は液体の潜熱及び気体の圧力変化の少なくとも一方による温度低下を利用する、請求項1から7の何れかに記載の露点測定装置。
- 前記温度制御手段は前記水滴センサの温度と露点測定装置の内部空間全体の温度を制御するものであり、露点測定装置の内部空間全体の温度を外気温よりも高くすることができるように構成された、請求項1から7の何れかに記載の露点測定装置。
- 絶縁性基板上に異種金属の細線を並置した構造を有し、空気中に含まれる水蒸気が凝結して形成された水滴が前記異種金属の細線間に付着したことによって生じるガルバニ電流を検出する水滴センサを設け、
前記水滴センサの温度を変化させて前記水滴センサ表面の結露状態の変化に基づいて露点を求める、
露点測定方法であって、
前記水滴センサの温度の変化は温度を低下させる方向への変化であり、前記水滴センサの温度を0℃未満に冷却する、露点測定方法。 - 前記水滴センサに露点測定対象の気体を供給する、請求項12に記載の露点測定方法。
- 前記露点測定対象の気体を間欠的に前記水滴センサ表面に供給する、請求項13に記載の露点測定方法。
- 前記露点測定対象の気体を連続的に前記水滴センサ表面に供給する、請求項13に記載の露点測定方法。
- 前記異種金属の細線の間隔は20μm未満である、請求項12から15の何れかに記載の露点測定方法。
- 前記異種金属の細線の間隔は100nm以上かつ1000nm以下である、請求項16に記載の露点測定方法。
- 前記異種金属の一方の金属は金、白金、銀、チタン及びこれらの合金、並びに炭素からなる群から選択され、他方の金属は前記一方の金属とは異なる金属であって、銀、銅、鉄、亜鉛、ニッケル、コバルト、アルミニウム、スズ、クロム、モリブデン、マンガン、マグネシウム、及びこれらの合金からなる群から選択される金属である、請求項12から17の何れかに記載の露点測定方法。
- 前記水滴センサの温度の変化は温度を低下させる方向への変化と温度を上昇させる方向への変化の両方の変化である、請求項12から18の何れかに記載の露点測定方法。
- 前記水滴センサの温度の変化は階段状の変化または連続的な変化である、請求項12から19の何れかに記載の露点測定方法。
- 前記水滴センサを設けた内部空間全体の温度を外気温よりも高くする、請求項12から20の何れかに記載の露点測定方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016114677 | 2016-06-08 | ||
JP2016114677 | 2016-06-08 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018522497A Division JP6898605B2 (ja) | 2016-06-08 | 2017-06-06 | 露点測定方法及び露点測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021073458A true JP2021073458A (ja) | 2021-05-13 |
Family
ID=60578680
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018522497A Active JP6898605B2 (ja) | 2016-06-08 | 2017-06-06 | 露点測定方法及び露点測定装置 |
JP2021010779A Pending JP2021073458A (ja) | 2016-06-08 | 2021-01-27 | 露点測定方法及び露点測定装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018522497A Active JP6898605B2 (ja) | 2016-06-08 | 2017-06-06 | 露点測定方法及び露点測定装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11454603B2 (ja) |
EP (1) | EP3470829B1 (ja) |
JP (2) | JP6898605B2 (ja) |
WO (1) | WO2017213118A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6786122B2 (ja) * | 2017-02-14 | 2020-11-18 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 結露および結露に伴う光散乱の予防方法および予防システム |
JP7033798B2 (ja) * | 2017-09-01 | 2022-03-11 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 乾湿応答センサー |
JP7015587B2 (ja) * | 2018-11-12 | 2022-02-03 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 結露検出素子 |
CN112666217A (zh) * | 2020-11-10 | 2021-04-16 | 西安交通大学 | 一种电容式露点监测装置及方法 |
EP4407308A1 (en) * | 2021-09-21 | 2024-07-31 | National Institute for Materials Science | Method for sensing and device for measuring volatile fatty acid |
CN116818835B (zh) * | 2023-08-30 | 2023-11-21 | 中储粮成都储藏研究院有限公司 | 一种基于粮仓温度的结露判定方法 |
CN118311361B (zh) * | 2024-06-07 | 2024-09-03 | 晶科储能科技有限公司 | 模拟储能变流器凝露的测试设备及其测试方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52138782U (ja) * | 1976-04-16 | 1977-10-21 | ||
JPS5335592A (en) * | 1976-09-13 | 1978-04-03 | Kazuhiro Takizawa | Dew point meter utilizing electronic cooling |
JPS5746147A (en) * | 1980-09-04 | 1982-03-16 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Measuring device for dew point and frost point |
JPS61124856A (ja) * | 1984-11-22 | 1986-06-12 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 湿度検出用素子 |
JPH04203958A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-24 | Sensor Tec:Kk | ガス濃度測定方法及びその装置 |
JP2005017307A (ja) * | 2004-09-02 | 2005-01-20 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 露点測定装置及びその測定方法 |
WO2016013544A1 (ja) * | 2014-07-23 | 2016-01-28 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 高速応答・高感度乾湿応答センサー |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1350860A (en) | 1972-08-03 | 1974-04-24 | Ni I Pk I Obogaschenia Tverdyk | Flue gas dew point temperature transducer |
JPS5333597Y2 (ja) * | 1973-06-11 | 1978-08-18 | ||
JPS5016989A (ja) | 1973-06-13 | 1975-02-22 | ||
JPS52138782A (en) | 1976-05-14 | 1977-11-19 | Koike Mfg | Method of cutting tubular member and apparatus therefor |
JPS61124859A (ja) * | 1984-11-22 | 1986-06-12 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 湿度検出用素子 |
DE3720189C1 (de) | 1987-06-16 | 1988-12-29 | Endress Hauser Gmbh Co | Taupunkt-Sensor |
DE3740719A1 (de) * | 1987-12-01 | 1989-06-15 | Endress Hauser Gmbh Co | Verfahren und anordnung zur messung des wasserdampf-taupunkts in gasen |
GB9511204D0 (en) * | 1995-06-02 | 1995-07-26 | Sonander Sven O | Method and apparatus for measuring dew point temperature of a moist gas |
US9236622B2 (en) * | 2009-08-07 | 2016-01-12 | Ford Global Technologies, Llc | Fuel cell system with wetness sensor |
JP2012002582A (ja) | 2010-06-15 | 2012-01-05 | Ihi Corp | 露点計測方法及びそれを用いた露点計測装置 |
EP3457120B1 (en) * | 2016-05-13 | 2021-03-31 | National Institute for Materials Science | Droplet size determining device and droplet size determining method |
-
2017
- 2017-06-06 EP EP17810293.5A patent/EP3470829B1/en active Active
- 2017-06-06 US US16/306,967 patent/US11454603B2/en active Active
- 2017-06-06 WO PCT/JP2017/020930 patent/WO2017213118A1/ja unknown
- 2017-06-06 JP JP2018522497A patent/JP6898605B2/ja active Active
-
2021
- 2021-01-27 JP JP2021010779A patent/JP2021073458A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52138782U (ja) * | 1976-04-16 | 1977-10-21 | ||
JPS5335592A (en) * | 1976-09-13 | 1978-04-03 | Kazuhiro Takizawa | Dew point meter utilizing electronic cooling |
JPS5746147A (en) * | 1980-09-04 | 1982-03-16 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Measuring device for dew point and frost point |
JPS61124856A (ja) * | 1984-11-22 | 1986-06-12 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 湿度検出用素子 |
JPH04203958A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-24 | Sensor Tec:Kk | ガス濃度測定方法及びその装置 |
JP2005017307A (ja) * | 2004-09-02 | 2005-01-20 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 露点測定装置及びその測定方法 |
WO2016013544A1 (ja) * | 2014-07-23 | 2016-01-28 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 高速応答・高感度乾湿応答センサー |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11454603B2 (en) | 2022-09-27 |
JPWO2017213118A1 (ja) | 2019-03-28 |
EP3470829B1 (en) | 2022-07-13 |
JP6898605B2 (ja) | 2021-07-07 |
WO2017213118A1 (ja) | 2017-12-14 |
EP3470829A1 (en) | 2019-04-17 |
EP3470829A4 (en) | 2020-03-11 |
US20190310213A1 (en) | 2019-10-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6898605B2 (ja) | 露点測定方法及び露点測定装置 | |
US8225652B2 (en) | Thermal flow meter measuring flow rate based on temperature difference measurement and driving energy of the heater | |
US11768218B2 (en) | Gel and polymer based flow meters | |
Mohammadi et al. | Effects of surface wettability on pool boiling of water using super-polished silicon surfaces | |
JPH0798323A (ja) | 計測装置およびその動作方法 | |
JP2014185968A (ja) | 腐食センサ、並びにこれを使用した腐食速度測定方法及び腐食速度測定装置 | |
US20080289412A1 (en) | Thermal mass flow meter and method for its operation | |
US8583385B2 (en) | Thermal, flow measuring device | |
FI92440C (fi) | Detektori ja menetelmä nesteen läsnäolon ja/tai sen faasimuutoksen havaitsemiseksi | |
US11913892B2 (en) | Condensation detection element | |
JP2007225612A (ja) | レベル・センサおよびその作動方法、およびその製造方法およびその使用法 | |
JP2015227818A (ja) | 露点検出可能な絶対湿度センサ | |
JPH07151572A (ja) | 計測装置および計測方法 | |
JP4844252B2 (ja) | 熱式質量流量計 | |
JP2012198187A (ja) | マイクロ圧力センサ | |
RU177514U1 (ru) | Термоанемометрический датчик расхода жидкостей и газов | |
CN103675343A (zh) | 加速度检测元件 | |
RU2316759C2 (ru) | Измеритель влажности | |
CN207867991U (zh) | 热敏电阻、绝对湿度传感器 | |
US8132962B1 (en) | Asymmetric specific heat meter | |
RU2316758C2 (ru) | Способ определения температуры точки росы | |
RU2506543C1 (ru) | Датчик контроля дискретных уровней жидкости с функцией измерения температуры и контроля массового расхода жидкой среды | |
Golan et al. | High sensitivity calorimetric sensor for flow measurements | |
RU113355U1 (ru) | Датчик измерения температуры и влажности газовой среды | |
JP5526936B2 (ja) | 付着物検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220301 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220419 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220719 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20230124 |