JP2021071727A - メタレンズ、レンズアセンブリー及びそれを含む電子装置 - Google Patents

メタレンズ、レンズアセンブリー及びそれを含む電子装置 Download PDF

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Abstract

【課題】メタレンズを含み、小型化されたレンズアセンブリー、及びそれを含む電子装置を提供する。【解決手段】レンズアセンブリー1100は、被写体側Oから入射する入射光に対して正(Positive)の屈折力を有し、被写体側に向かう面が膨らんでいる第1レンズ1110と、第1レンズを通過した入射光に対して負(Negative)の色収差を有するメタレンズ1120aを含む第2レンズ1120と、を含む。【選択図】図1

Description

本発明は、メタレンズ、メタレンズを含むレンズアセンブリー及びそれを含む電子装置に関する。
イメージや動画撮影のための光学装置として、CCD(Charge Coupled Device)やCMOS(Complementary Metal−Oxide Semiconductor)のようなイメージセンサを有するデジタルカメラ(Digital Camera)やビデオカメラ(Video Camera)が使用されている。高品質のイメージ及び/または動画を獲得するために、光学装置に複数のレンズの組合わせからなるレンズアセンブリーが使用されうる。このようなレンズアセンブリーは、ほとんどデジタルカメラのように撮影に特化された装置に使用されてきたが、携帯用無線端末などの小型化された電子装置にも搭載されている。
本発明が解決しようとする課題は、複数の光学レンズを組み合わせるために要求される空間を縮小する方法を提供する。
また、本発明は、メタレンズを含み、小型化されたレンズアセンブリーを提供する。
また、本発明は、小型化されたレンズアセンブリーを含む電子装置を提供する。
一実施例のレンズアセンブリーは、被写体側から入射する入射光に対して正(Positive)の屈折力を有し、被写体側に向かう面が膨らんでいる第1レンズと、第1レンズを通過した入射光に対して負(Negative)の色収差を有するメタレンズを含む第2レンズと、を含んでもよい。
一実施例の電子装置は、被写体(Object)側から像(Image)側に複数のレンズが配置されたレンズアセンブリー;レンズを順次に通過した入射光から被写体のイメージを検出するイメージセンサ;及びイメージを保存または出力するイメージ信号プロセッサを含み、レンズアセンブリーは、被写体側から入射する入射光に対して正(Positive)の屈折力を有し、被写体側に向かう面が膨らんでいる第1レンズと、第1レンズを通過した入射光に対して負(Negative)の色収差を有するメタレンズを含む第2レンズと、を含んでもよい。
一実施例のメタレンズは、入射光と反応して入射光の位相を変化させる第1位相変換層、及び第1位相変換層を通過した入射光の位相を変化させる第2位相変換層を含むナノ構造物を含み、ナノ構造物は、入射光に含まれた互いに異なる少なくとも2つの波長に対して同一位相遅延プロファイルを形成することができる。
他の実施例の電子装置は、被写体(Object)側から像(Image)側に複数のレンズが配置されたレンズアセンブリー;レンズを順次に通過した入射光から被写体のイメージを検出するイメージセンサ;及びイメージを保存または出力するイメージ信号プロセッサを含み、レンズアセンブリーは、被写体側から入射する入射光に対して正(Positive)の屈折力を有し、被写体側に向かう面が膨らんでいる第1レンズと、第1レンズを通過した入射光に対して負(Negative)の色収差を有するメタレンズを含む第2レンズと、を含み、レンズアセンブリーは、正規入射光に対して120cyles/mm以下で0.5以上のMTFを有し、TTL/ISS<0.65を満足することができる。
本発明によれば、屈折レンズとメタレンズとを組み合わせたレンズアセンブリーを構成することで、レンズアセンブリーの厚さを減少させ、収差問題を改善することができる。
一実施例によるメタレンズを含むレンズアセンブリーの断面図である。 同一位相遅延プロファイルを有する3個波長光の位相遅延プロファイルを例示的に示す図面である。 非球面レンズの構造を説明するための図面である。 図1のレンズアセンブリーの光学的特性を示す図面である。 図1のレンズアセンブリーの光学的特性を示す図面である。 図1のレンズアセンブリーの光学的特性を示す図面である。 図1のレンズアセンブリーの光学的特性を示す図面である。 他の実施例によるメタレンズを含むレンズアセンブリーの断面図である。 図5のレンズアセンブリーの光学的特性を示す図面である。 図5のレンズアセンブリーの光学的特性を示す図面である。 図5のレンズアセンブリーの光学的特性を示す図面である。 図5のレンズアセンブリーの光学的特性を示す図面である。 さらに他の実施例によるメタレンズを含むレンズアセンブリーの断面図である。 図7のレンズアセンブリーの光学的特性を示す図面である。 図7のレンズアセンブリーの光学的特性を示す図面である。 図7のレンズアセンブリーの光学的特性を示す図面である。 図7のレンズアセンブリーの光学的特性を示す図面である。 一実施例によるメタレンズの概略的な構造を示す平面図である。 図9のメタレンズで具現しようとする位相遅延プロファイルを示す図面である。 図9のメタレンズの断面図である。 図11の第3フレネルゾーンに配置された第1ナノ構造物の断面を示す図面である。 図12Aの第1ナノ構造物の第1位相変換層及び第2位相変換層の断面図である。 図12Aの第1ナノ構造物の第1位相変換層及び第2位相変換層の断面図である。 スペーサ層をさらに含む第1ナノ構造物の断面図である。 図12Aの第1ナノ構造物による位相遅延と第1及び第2内部柱の幅の関係を示す図面である。 図12Aの第1ナノ構造物の広域位相整合性を示す図面である。 図11の第3フレネルゾーンに配列されたナノ構造物の断面図である。 他の実施例による第1ナノ構造物の断面を示す図面である。 図16Aの第1ナノ構造物の第1位相変換層及び第2位相変換層の断面図である。 図16Aの第1ナノ構造物の第1位相変換層及び第2位相変換層の断面図である。 図16Aの第1ナノ構造物の幅、第1内部柱の幅、第2内部柱の外周面の幅、及び第2内部柱の内周面の幅を変化させつつ測定した相対的な位相遅延量を示す図面である。 図16Aの第1ナノ構造物による広域位相整合性を示す図面である。 図11の第3フレネルゾーンに配列されたナノ構造物の他の実施例の断面図である。 ナノ構造物のさらに他の実施例の断面図である。 ナノ構造物のさらに他の実施例の断面図である。 ナノ構造物のさらに他の実施例の断面図である。 共通経路干渉計を示す図面である。 ネットワーク環境内の電子装置のブロック図である。 図22のカメラをさらに具体化したブロック図である。
以下、多様な実施例が添付された図面に基づいて記載される。実施例及びそこで使用された用語は、説明しようとする内容を特定の実施形態によって限定しようとするものではなく、実施例の多様な変更、均等物、及び/または代替物は、説明する内容に含まれると理解されねばならない。図面の説明と係わって、類似した構成要素に対しては、類似した参照符号が使用されうる。単数表現は、文脈上、明白に異なって意味しない限り、複数の表現を含みうる。実施例において、「AまたはB」あるいは「A及び/またはB」などの表現は、共に挙げられた項目の全ての可能な組合わせを含む。「第1、」「第2、」「最初」または「二番目」などの表現は、当該構成要素を、順序または重要度に関係なく、修飾することができ、一構成要素を他の構成要素と区分するために使用されるのみ、当該構成要素を限定しない。ある(第1)構成要素が他の(第2)構成要素に「(機能的にまたは通信的に)連結されて」いるか、「接続されて」いると言及された場合には、ある構成要素が他の構成要素に直接連結されるか、他の構成要素(第3構成要素)を通じて連結されてもよい。
実施例において、「〜するように構成された(または設定された)(Configured to)」は、状況に応じて、ハードウェア的に、またはソフトウェア的に「〜に適した、」「〜する能力を有する、」「〜するように変更された、」「〜するように作られた、」「〜が可能な、」または「〜するように設計された」と互換的に(Interchangeably)使用されうる。ある状況では、「〜するように構成された装置」という表現は、その装置が他の装置または部品と共に「〜することができる」ということを意味する。例えば、「A、B、及びCを行うように構成された(または設定された)プロセッサ」という記載は、当該動作を遂行するための専用プロセッサ(エンベデッドプロセッサなど)または、メモリ装置に保存された1つ以上のソフトウェアプログラムを行うことで、当該動作を遂行することができる汎用プロセッサ(CPU、Application Processorなど)を意味することができる。
レンズの曲率半径(Radius)、厚さ、TTL(Total Track Length)、焦点距離(Focal Length)などは、特に言及がない限り、いずれもmm単位を有する。また、レンズの厚さ、レンズ間の間隔、TTLは、レンズの光軸を基準に測定された距離でもある。併せて、レンズの形状に係わる説明において一面が凸状という意味は、当該面の光軸部分が膨らんでいるという意味で、一面が凹状という意味は、当該面の光軸部分が凹んでいるという意味でもある。したがって、レンズの一面(当該面の光軸部分)が凸状であると説明されていても、レンズの縁部(当該面の光軸部分から所定距離離隔された部分)は、凹状でもある。同様に、レンズの一面(当該面の光軸部分)が凹状と説明されていても、レンズの縁部(当該面の光軸部分から所定距離離隔された部分)は、凸状でもある。また、像側に向かう面が凸状という意味は、像側に向かって凸状(突出状)を意味し、被写体側に向かう面が凸状という意味は、被写体側に向かって凸状(突出状)であることを意味する。
実施例による電子装置は、スマトーフォン、タブレットPC、移動電話機、映像電話機、電子ブックリーダ、デスクトップPC、ラップトップPC、ネットブックコンピュータ、ワークステーション、サーバ、PDA、PMP(Portable Multimedia Player)、MP3プレーヤ、医療機器、カメラ、及び/またはウェアラブル装置を含んでもよい。ウェアラブル装置は、アクセサリー型(時計、指輪、腕輪、アンクレット、ネックレス、めがね、コンタクトレンズ、頭着用型装置(Head−Mounted−Device(HMD)など)、織物または衣類一体型(電子衣服など)、身体付着型(スキンパッド、タトゥーなど)、及び/または生体移植型回路を含んでもよい。ある実施例において、電子装置は、テレビ、DVD(Digital Video Disk)プレーヤ、オーディオ、冷蔵庫、エアコン、掃除機、オーブン、電子レンジ、洗濯機、エアクリーナー、セットトップボックス、ホームオートメーションコントロールパネル、保安コントロールパネル、メディアボックス(三星 HomeSync(登録商標)、アップルTV(登録商標)、またはGoogleTV(登録商標)など)、ゲームコンソール(Xbox(登録商標), PlayStation(登録商標)など)、電子辞書、電子キー、カムコーダ、及び/または電子額縁を含んでもよい。
また、電子装置は、各種医療機器(各種携帯用医療測定機器(血糖測定器、心拍測定器、血圧測定器、または体温測定器など)、MRA(Magnetic Resonance Angiography),MRI(Magnetic Resonance Imaging),CT(Computed Tomography)、撮影機、超音波機など)、ナビゲーション装置、衛星航法システム(GNSS(Global Navigation Satellite System)),EDR(Event Data Recorder),FDR(Flight Data Recorder)、自動車インフォテインメント装置、船舶用電子装備(船舶用航法装置、ジャイロコンパスなど)、航空電子機器(Avionics)、保安機器、車両用ヘッドユニット(Head Unit)、産業用または家庭用ロボット、ドローン(Drone)、金融機関のATM、商店のPOS(Point Of Sales)、及び/または事物インターネット装置(電球、各種センサ、スプリングクラー装置、火災報知機、温度調節機、街灯、トースタ、運動器具、温水タンク、ヒータ、ボイラーなど)を含んでもよい。また、電子装置は、家具、建物/構造物または自動車の一部、電子ボード(Electronic Board)、電子サイン受信装置(Electronic Signature Receiving Device)、プロジェクタ、及び/または各種計測機器(水道、電気、ガス、または電波計測機器など)を含んでもよい。電子装置は、フレキシブルであるか、または前述した多様な装置のうち、2以上を組み合わせたものでもある。ユーザという用語は、電子装置を使用する者、または電子装置を使用する装置(人工知能電子装置など)を指称する。電子装置の代表例として、光学装置(Optical Device)(カメラなど)が含まれ、下記説明は、レンズアセンブリーが光学装置に搭載される実施例を前提として記載する。
実施例を説明するに当たって、一部数値などが提示されるが、このような数値は、請求範囲に記載されていない限り、権利範囲を限定しない。
図1は、一実施例によるメタレンズを含むレンズアセンブリー及びイメージセンサの断面図であり、図2は、図1に図示されたメタレンズによって同一位相遅延プロファイルを有する3個波長の光を例示的に示す図面であり、図3は、非球面レンズを説明するための図面であり、図4Aないし図4Dは、図1のレンズアセンブリーの光学的特性を示す図面である。
図1を参照すれば、レンズアセンブリー1100は、プラスティック、ガラスなどからなる屈折レンズと誘電体ナノ構造物などからなるメタレンズとを含み、例えば、光軸(O−I)方向(図1の被写体側(O)から像側(I)に向かう方向)に順次に配列された複数のレンズ1110、1120、1130、1140、1150、1160、1170を含んでもよい。
イメージセンサ1200は、回路基板(図示せず)などに装着されてレンズアセンブリー1100の光軸(O−I)に整列された状態に配置されるセンサであって、光に反応しうる。イメージセンサ1200は、例えば、CMOSイメージセンサ(CMOS、Complementary Metal−Oxide Semiconductor)または電荷結合素子(CCD、Charge Coupled Device)のようなセンサでもあり、被写体イメージを電気的な映像信号に変換することができる。イメージセンサ1200は、複数のレンズ1110、1120、1130、1140、1150、1160、1170を通過した光から被写体についての明暗情報、階調比情報、色相情報などを検出して被写体イメージを獲得することができる。
レンズアセンブリー1100は、被写体(または外部客体)側(O、Object Side)から像側(I、Image Side)に光軸(O−I)を有することができる。各レンズの構成を説明するに当たって、被写体側(O)は、被写体がある方向を示し、像側(I)は、像(Image)が結像されるイメージセンサ1200の結像面1200aがある方向を示す。また、レンズの被写体側(O)に向かう面は、光軸(O−I)を基準に被写体がある側の面であって、図面上レンズの左側表面(または、前面)を意味し、像側(I)に向かう面は、光軸(O−I)を基準として結像面1200a側の面に図面上レンズの右側表面(または背面)を示すことができる。ここで、結像面1200a(Imaging Plane)は、撮像素子または、イメージセンサ1200が配置されて像が結像される部分でもある。
レンズを説明するに当たって、各レンズの光軸(O−I)に近い部分を中心部(Chief Portion)と称し、光軸(O−I)と遠い部分(または、レンズの縁部)を周辺部(Marginal Portion)とも称する。中心部(Chief Portion)は、第1レンズ1110において光軸(O−I)と交差する部分でもあり、周辺部(Marginal Portion)は、第1レンズ1110で光軸から所定距離離隔された部分、例えば、レンズの光軸(O−I)から最も遠く離れたレンズの端部(End Portion)を含んでもよい。
第1レンズ1110、第2レンズ1120、第4レンズ1140、及び第5レンズ1150は、正(Positive)の屈折力を有し、第3レンズ1130、第6レンズ1160及び第7レンズ1170は、負(Negative)の屈折力を有することができる。正の屈折力を有するレンズは、正の焦点距離を有する凸レンズの原理に基づいたレンズであって、光軸(O−I)と平行に入射する光を通過させて集光することができる。一方、負の屈折力を有するレンズは、凹レンズの原理に基づいたレンズであって、平行に入射する光を通過させて分散させうる。
第1レンズ1110は、被写体側(O)に向かう面が凸状に形成され、第1レンズ1110の像側(I)に向かう面は、凹状に形成されうる。像側(I)に向かう面が凹状に形成されるメニスカス(Meniscus)レンズは、レンズの周辺部(Marginal Portion)を通過した光が鮮明な像を結ばなくなる現象であるコマ収差及び非点収差を改善することができる。第1レンズ1110は、後述する第2及び第3レンズ1120、1130よりも被写体側(O)に向かう面の有効半径が大きな大径レンズでもある。焦点距離が短い大径の第1レンズ1110は、光学装置及び/または電子装置が要求する空間的制約を満足させることができ、強い正の屈折力も提供することで、レンズアセンブリーが短い全長を有する。第1レンズ1110は、それを通じて周辺部(Marginal Portion)を通過した光線によって結像(Imaging)されるイメージや動画の解像度を増加させ、光の移動経路を縮小させうる。
第2レンズ1120は、被写体側(O)面にメタレンズ1120aが結合されたレンズでもある。メタレンズ1120aは、入射する光の波長の位相、偏光、及び/または振幅を変調するナノ構造物を含んでもよい。ナノ構造物は、メタレンズ1120aを透過した光の波面を入射する光の波面と異なって変化させうる。このようなナノ構造物を用いて第1レンズ1110など屈折レンズで発生する幾何収差、色収差などの光学収差を補正可能なようにメタレンズ1120aを設計することができる。
メタレンズ1120aは、正の屈折力を有し、通過する互いに異なる波長の光に対して同一位相遅延プロファイルを提供することができる。図2は、第1波長(588nm)の光、第2波長(486nm)及び第3波長(656nm)の光が同一位相遅延プロファイルを有する例を示す。第1ないし第3波長光は、同一位相遅延プロファイルを有するので、位相遅延プロファイルの間隔は、互いに異なる位置(R)でも一定に保持される
Figure 2021071727
それぞれ異なる波長が同一位相遅延プロファイルを有する場合、波長と焦点距離は、反比例関係になり、メタレンズ1120aは、音の色収差を有することができる。メタレンズ1120aによる焦点距離と波長との関係は、下記数式1のようである。
Figure 2021071727
Mn(nは、自然数)は、波長がλ(nは、自然数)である光に対するメタレンズ1120aの焦点距離である。
第1レンズ1110は、強い正の屈折力を提供する代わりに、正の色収差を発生させる。この色収差では、短波長光に比べて長波長光の焦点距離が長くなる。しかし、メタレンズ1120aは、負の色収差を有するので、第1レンズ1110によって発生した色収差の一部または全部を補正することができる。一般に、色収差を補正するために、フリント(Flint)レンズのように負の屈折力を有するレンズが使用されるが、これによる屈折力損失及びレンズアセンブリーの厚さ増加問題がメタレンズ1120aを適用することで改善されうる。第2レンズ1120の像側(I)に向かう面は、中心部が膨らんでいるレンズで構成されうる。
メタレンズ1120aを設計するとき、下記数式2及び数式3が参照される。数式3で互いに異なる波長について同一位相遅延プロファイルを提供するメタレンズのアッベ数(Abbe Number)は、−3.3〜−3.5の値を有し、数式3は、メタレンズ1120aのアッベ数が−3.45である例を示す。
Figure 2021071727
Figure 2021071727
第3レンズ1130の像側(I)に向かう面と、第4レンズ1140の被写体側(O)に向かう面は、凹状に形成されうる。言い換えれば、第2レンズ1120の後方に互いに凹面に対面している2枚のレンズ1130、1140が配置されうる。第3レンズ1130は、負の屈折力を提供することで、大径で構成された第1レンズ1110による球面収差を補償することができる。
第5レンズ1150及び第6レンズ1160の被写体側(O)に向かう面は、凹状になり、像側(I)に向かう面は、凸状にもなる。第6レンズ1160は、適切な負の屈折力を提供し、レンズの周辺部(Marginal Portion)を通過する光線を結像面1200aに良好に結像させうる。また、第6レンズ1160が有する負の屈折力は、他のレンズによって発生する色収差(Chromatic Aberration)及び像面湾曲収差(Curvature of Field)を補正することができる。第6レンズ1160の被写体側(O)に向かう面及び/または像側(I)に向かう面は、非球面(Aspheric)でもあり、このような非球面(Aspheric)は、光線がレンズの周辺部(Marginal Portion)を通過するとき、歪曲される現象を緩和させうる。
第6レンズ1160の面のみならず、第1レンズ1110ないし第5レンズ1150の面のうち、1つ、または複数の面も非球面(Aspheric)に形成されうる。第1レンズ1110が発生させる球面収差は、第1レンズ1110ないし第6レンズ1160の面のうち、1つまたは複数の面に具現される非球面(Aspheric)が補正されうる。
第7レンズ1170は、光学フィルタでもあり、光学装置のフィルムやイメージセンサで検出される光、例えば、赤外線(IR)を遮断することができる。光学フィルタは、低域通過フィルタ(Low Pass Filter)及び/またはカバーガラスを含み、可視光線は透過するが、赤外線は遮断し、赤外線がイメージセンサの結像面1200aに伝達されることを防止することができる。他の例として、光学フィルタは、入射する光の一部の波長のみを選択的に透過してイメージセンサ1200を通じて検出、撮影されるイメージなどの色感を所望の色感に近接可能にさせうる。
レンズ1110、1120、1130、1140、1150、1160、1170の間隔は、レンズアセンブリー1100に要求される光学特性(収差特性、広角特性及び/または輝度特性)によって多様に設計されうる。光学装置及び/または電子装置を小型化しようとする場合、レンズ間の間隔を縮めてレンズアセンブリー1100の全長(光軸方向にレンズアセンブリーの全長)を縮めることが有利である。但し、適切な望遠比を保持しつつ、レンズアセンブリー1100の全長を減らすことは、物理的限界にもなる。
レンズアセンブリー1100は、絞り(図示せず)をさらに含んでもよい。絞りは、多様な位置に配置され、複数個が備えられてもよい。例えば、絞りは、第1レンズ1110の像側(I)に向かう面の前に配置され、イメージセンサ1200の結像面1200aに到逹する光の量を調節することができる。
第1レンズ1110ないし第7レンズ1170のうち、1つまたは複数のレンズは、変曲点(Inflection Point)を有する面を含んでもよい。変曲点は、曲率半径の符号が(+)から(−)に変わるか、(−)から(+)に変わる点でもある。例えば、変曲点は、レンズの形状が凸状(Convex)から凹状(Concave)に変わるか、凹状から凸状に変わる点を示す。曲率半径(Radius Of Curvature)は、曲面や曲線に位置した各点での湾曲の程度を表示する値を示す。曲率半径の符号は、被写体側(O)に向かって凸状の場合と、像側(I)に向かって凹状の場合に(+)、被写体側(O)に向かって凹状の場合と像側(I)に向かって凸状の場合に(−)と定義することができる。
レンズアセンブリー1100は、次の数式4ないし数式7を満足させる光学特性を有することができる。
Figure 2021071727
F1は、588nm波長光に対する第1レンズ1110の焦点距離であり、F0は、588nm波長光に対するレンズアセンブリー1100の合成焦点距離である。
Figure 2021071727
TTL(Total Track Length)は、レンズアセンブリー1100の全長(第1レンズ1110の被写体側(O)面から結像面1200aまでの距離)である。F0は、6.5mm〜7.5mmの値を有する。
Figure 2021071727
DL1は、第1レンズ1110の被写体側(O)に向かう面の有効半径であり、1.86mmより大きく、1.92mmより小さくもある。DL2は、第2レンズ1120の被写体側(O)に向かう面、すなわち、メタレンズ1120aの被写体側(O)に向かう面の有効半径であり、1.78mmより大きく、1.84mmより小さくもある。第1レンズ1110は、第2レンズ1120に比べて、被写体側(O)面の有効半径が大きくもある。有効半径は、イメージセンサ1200に入射する光が通るレンズの領域において、光軸から最も遠く離れた部分と光軸との最短距離でもある。
Figure 2021071727
ISS(Image Sensor Size)は、イメージセンサの対角線長である。
下記表1は、レンズアセンブリー1100の各種レンズデータを記載したものであって、各レンズの右側に記載された「(O)」は、レンズの被写体側に向かう面、「(I)」は、像側に向かう面を意味する。Radiusは、各レンズ表面の曲率半径を、「(O)」行に記載されたThicknessは、レンズの厚さ、「(I)」行に記載されたThicknessは、レンズ間、またはレンズとイメージセンサとの間隔を、EFL(Effective Focal Length)は、レンズの焦点距離を、ndは、レンズの屈折率、vdは、レンズのアッベ数(Abbe Number)を意味する。下記表1に提示されたレンズアセンブリー1100は、全長(TTL)が7.2mm、有効焦点距離(F0)が7.0mm、メタレンズ1120aの焦点距離が52.7mm、イメージセンサ1200の対角線長(ISS)が12mmである例を示し、上述した数式4ないし数式7の条件のうち、1つまたは複数個を満足することができる。
Figure 2021071727
下記表2ないし表3は、複数のレンズ1110、1120、1130、1140、1150、1160、1170の非球面係数を記載したものであって、非球面係数は、次の数式8を通じて算出されうる。
Figure 2021071727
図3を参照すれば、数式8の「x」は、レンズの頂点(p)からレンズ面の一点までの光軸(O−I)方向の距離を示し、「y」は、レンズ面の一点から光軸に垂直である方向に光軸までの距離を示すことができる。数式8の「c」は、レンズの基本曲率を、「K」は、コニック(Conic)定数を、「A」、「B」、「C」、「D」、「E」、「F」、「G」は、非球面係数をそれぞれ意味する。
Figure 2021071727
Figure 2021071727
図4Aは、図1のレンズアセンブリー1100の球面収差(Spherical Aberration)を示すグラフである。球面収差は、レンズの互いに異なる部分、例えば、中心部(Chief Portion)と周辺部(Marginal Portion)を通過する光が焦点を結ぶ位置が異なる程度を示す。
図4Aにおいて、横軸は、縦方向球面収差(Longitudinal Spherical Aberration)の程度を示し、縦軸は、光軸の中心からの距離を規格化(Normalization)して示したものであって、光波長による縦方向球面収差の変化が図示されうる。図4Aは、486nm、588nm、656nmである光に対する球面収差を示す。レンズアセンブリー1100の縦方向球面収差は、−0.50mm〜+0.50mm、−0.30mm〜+0.40mm、または、−0.10mm〜+0.35mmでもある。図4Aによれば、縦方向球面収差が−0.10mm〜+0.35mmに制限され、安定した光学特性を示すことを確認することができる。
図4Bは、図1のレンズアセンブリー1100の非点収差(Astigmatism)を示すグラフである。非点収差は、レンズの子午像面(Tangential PlaneまたはMeridian Plane)と球欠像面(Sagittal Plane)が互いに異なる半径を有するとき、垂直線方向と水平線方向を通過する光の焦点が互いにずれる程度を示す。
図4Bにおいて、横軸は、非点収差の程度を示し、縦軸は、光の入射角度を示したものであって、486nm、588nm、656nmの光に対する非点収差の変化を示す。実線は、タンジェンシャル(Tangential)方向の非点収差を示し、点線は、矢状(Saggital)方向の非点収差を意味する。図4Bを通じて確認可能なように、レンズアセンブリー1100の非点収差は、−0.50mm〜+0.50mm、さらに具体的には、−0.30mm〜+0.40mmに制限され、安定した光学特性を示すことを確認することができる。
図4Cは、図1のレンズアセンブリー1100の歪曲収差(Distortion)を示すグラフである。歪曲収差は、光軸(O−I)から距離によって光学倍率が異なって発生するものであって、理論的な結像面に結ばれる像に比べて、実際結像面1200aに結ばれる像が大きく、または小さく見える程度を示す。
図4Cにおいて、横軸は、歪曲収差の程度を示し、縦軸は、光の入射角度を示したものであって、486nm、588nm、656nm波長の光に対する歪曲収差を示し、歪曲率が5%未満または4.2%未満でもあり、図4Cを参照すれば、4.2%未満であって、レンズアセンブリー1100が良好な光学特性を示すことを確認することができる。
図4Dは、図1のレンズアセンブリー1100のMTF(Modulation Transfer Function)を示すグラフである。MTFは、レンズの解像力、すなわち、一点で出発した光線がレンズを通過して他の一地点に如何に小さく集まるのかを測定する指標に活用されうる。図4Dの横軸は、「cycles/mm」を示し、例えば、120cycles/mmとは、1mm内に120個の黒帯、120個の白帯が交差されているパターンを意味する。図4Dの縦軸は、MTFを示し、MTFが0.5以上であるとき、黒帯と白帯との区別が可能な解像力を有すると見られる。レンズアセンブリー1100は、タンジェンシャル(Tangential)方向のパターンの正規入射(0.0 Field)光に対して、120cycles/mmで0.5以上、具体的には、0.7以上のMTFを示すことが分かる。
図1のレンズアセンブリー1100は、1枚のメタレンズを含む構成を例示するが、レンズアセンブリーは、2枚以上のメタレンズを含んでもよい。また、図1は、メタレンズが第2レンズ1120の被写体面側に配置されたことを例示するが、屈折レンズと結合せず、メタレンズが独立して配置されるか、その位置が変更されてもよい。例えば、メタレンズは、第1レンズ1110または第2レンズ1120の上面側に配置されてもよい。
図5は、他の実施例によるメタレンズを含むレンズアセンブリーの断面図であり、図6Aないし図6Dは、図5のレンズアセンブリーの光学的特性を示す図面である。図5のレンズアセンブリーを説明するに当たって、前記実施例と重複する内容は、省略する。
図5を参照すれば、レンズアセンブリー1300は、複数のレンズとイメージセンサ1200を含んでもよい。例えば、光軸(O−I)方向に順次に配列された第1レンズないし第7レンズ1310、1320、1330、1340、1350、1360、1370を含んでもよい。図1のレンズアセンブリー1100と比較すれば、レンズアセンブリー1300は、2枚のメタレンズ、すなわち、第1メタレンズ1320a及び第2メタレンズ1370aを含む。第1メタレンズ1320aは、図1のメタレンズ1120aと構造、配置、及び機能において類似している。第2メタレンズ1370aは、イメージセンサ1200の結像面1200aに入射する光が光軸(O−I)に対して小さな傾度を有するようにし、また横方向(光軸と直交する方向)色収差を補正するように設計されうる。第2メタレンズ1370aを介してイメージセンサ1200周辺部の光量が確保されて低い照度でも良好な輝度の被写体イメージが獲得されうる。
下記表4は、図5のレンズアセンブリー1300の各種レンズデータを示す。表5ないし表6は、複数のレンズの非球面係数をそれぞれ記載したものである。レンズアセンブリー1300は、全長(TTL)が7.2mm、有効焦点距離が7.0mm、第1メタレンズ1320aの焦点距離が52.7mm、イメージセンサ対角線長(ISS)は、12mmである例を示す。
Figure 2021071727
Figure 2021071727
Figure 2021071727
図6Aは、図5のレンズアセンブリー1300の球面収差(Spherical Aberration)を示すグラフであり、図6Bは、レンズアセンブリー1300の非点収差(Astigmatism)を示すグラフであり、図6Cは、レンズアセンブリー1300の歪曲収差(Distortion)を示すグラフであり、486nm、588nm、656nm波長の光から得られた結果である。図6Dは、レンズアセンブリー1300のMTFを示す図面である。
図6Aを参照すれば、レンズアセンブリー1300の縦方向球面収差は、−0.50mm〜+0.50mm、−0.30mm〜+0.40mm、または、−0.10mm〜+0.3mmでもある。図6Aによれば、縦方向球面収差が−0.05mm〜+0.25mmに制限されて安定した光学特性を示すことを確認することができる。
図6Bを参照すれば、レンズアセンブリー1300の非点収差は、−0.50mm〜+0.50mm、−0.30mm〜+0.40mm、または、−0.20mm〜+0.30mmでもある。図6Bによれば、縦方向球面収差が−0.15mm〜+0.25mmに制限されて安定した光学特性を示すことを確認することができる。
図6Cを参照すれば、レンズアセンブリー1300の歪曲率は、5%未満でもあり、図6Cを参照すれば、5%未満であって、レンズアセンブリー1300が良好な光学特性を示すことを確認することができる。
図6Dを参照すれば、レンズアセンブリー1300は、タンジェンシャル(Tangential)方向のパターンの正規入射(0.0 Field)光に対して120cycles/mmで0.5以上、具体的には、0.7以上のMTFを示す。図6Dを参照すれば、MTFが0.7以上であって、レンズアセンブリー1300が良好な光学特性を示すことを確認することができる。
図7は、さらに他の実施例によるメタレンズを含むレンズアセンブリーの断面図であり、図8Aないし図8Dは、図7のレンズアセンブリーの光学的特性を示す図面である。図7のレンズアセンブリーを説明するに当たって、前記実施例と重複する内容は省略する。
図7を参照すれば、レンズアセンブリー1500は、複数のレンズを含んでもよい。例えば、レンズアセンブリー1500は、光軸(O−I)方向に順次に配列された第1レンズないし第8レンズ1510、1520、1530、1540、1550、1560、1570、1580を含んでもよい。図5のレンズアセンブリー1300と比較すれば、レンズアセンブリー1500は、第6レンズ1560をさらに含む構成でもある。
下記表7は、図7のレンズアセンブリー1500の各種レンズデータを示す。表8及び表9は、複数のレンズの非球面係数をそれぞれ記載したものである。レンズアセンブリー1500は、全長(TTL)が7.2mm、有効焦点距離が7.0mm、第1メタレンズ1520aの焦点距離が90mm、イメージセンサ対角線長(ISS)が12mmである例を示す。
Figure 2021071727
Figure 2021071727
Figure 2021071727
図8Aは、図7のレンズアセンブリー1500の球面収差(Spherical Aberration)を示すグラフであり、図8Bは、レンズアセンブリー1500の非点収差(Astigmatism)を示すグラフであり、図8Cは、レンズアセンブリー1500の歪曲収差(Distortion)を示すグラフであり、486nm、588nm、656nmの波長から得られた結果である。図8Dは、レンズアセンブリー1500のMTFを示す図面である。
図8Aを参照すれば、レンズアセンブリー1500の縦方向球面収差は、−0.50mm〜+0.50mm、−0.30mm〜+0.40mm、または−0.10mm〜+0.35mmでもある。図8Aによれば、縦方向球面収差が−0.05mm〜+0.35mmに制限されて安定した光学特性を示すことを確認することができる。
図8Bを参照すれば、レンズアセンブリー1500の非点収差は、−0.50mm〜+0.50mm、−0.30mm〜+0.40mm、または−0.20mm〜+0.35mmでもある。図8Bによれば、縦方向球面収差が−0.15mm〜+0.35mmに制限されて安定した光学特性を示すことを確認することができる。
図8Cを参照すれば、レンズアセンブリー1500の歪曲率は、8%未満または6%未満でもあり、図8Cを参照すれば、6%未満であって、レンズアセンブリー1500が良好な光学特性を示すことを確認することができる。
図8Dを参照すれば、レンズアセンブリー1500は、タンジェンシャル(Tangential)方向のパターンの正規入射(0.0 Field)光に対して120cycles/mmで0.5以上、具体的には、0.7以上のMTFを示す。図8Dを参照すれば、MTFが0.7以上であって、レンズアセンブリー1500が良好な光学特性を示すことを確認することができる。
以下、図9ないし図20に基づいて、互いに異なる波長について同一位相遅延プロファイルを提供するメタレンズの構造及び設計方法について説明する。図1、図5、及び図7のメタレンズ1120a、1320a、1370a、1520a、1580aは、後述する方式によって設計されうる。
図9は、一実施例によるメタレンズの概略的な構造を示す平面図である。図10は、図9のメタレンズで具現しようとする位相遅延プロファイルをX−X’線に沿って示す図面であり、図11は、図9のメタレンズをX−X’線に沿って切り取った垂直断面図である。
図9は、同心円状に配列された3個のフレネルゾーンr,r,rを有するナノ構造物アレイ300を含むメタレンズ100を例示的に図示する。フレネルゾーンの数、ナノ構造物の数、ナノ構造物の配置は、メタレンズの大きさ、具現しようとする屈折力及び位相遅延プロファイルによって異なりうる。
図10は、図9のX−X’線に沿って図示したメタレンズ100の位相アンラッピング(Phase Unwrapping)されたプロファイルを示す。位相アンラッピングは、位相遅延量から2πの整数倍を減じて0〜2π間の相対位相遅延に該当する位相成分を残すことを意味する。ナノ構造物の高さ、幅などを調節して具現することができる位相遅延には限界があるので、位相アンラッピングを通じてフレネル(Fresnel)レンズと類似した原理で0〜2πの相対位相遅延を具現する構造を繰り返して配置する方法で同心円状のフレネルゾーンr,r,rを形成することができる。
図9のメタレンズ100は、凸レンズとして機能するように、レンズの中心から外周方向(R方向)に減少する位相遅延プロファイルを有し、作動波長帯域の入射光に対して同一位相遅延プロファイルを提供することができる。すなわち、メタレンズ100に入射する光と出射する光の位相差を示す位相遅延プロファイルが多様な波長に対して同一でもあり、例えば、メタレンズ100を通過した第1波長(588nm)光、第2波長(486nm)及び第3波長(656nm)光の位相遅延プロファイルが同一でもある。したがって、第1波長(588nm)光の位相遅延量がR方向に沿って2πほど変化するとき、第2波長(486nm)及び第3波長(656nm)光も2πほどの位相遅延変化を示すので、メタレンズの設計が容易になり、性能が改善されうる。位相遅延の変化が同一であるということは、完全に同一であることを意味するものではなく、作動波長帯域で波長による位相遅延の変化量の差が10%誤差内に入るという意味である。図9のメタレンズ100が設計された機能を発揮することができる作動波長帯域は、可視光帯域でもある。
図11は、図9のX−X’線に沿って切ったメタレンズ100の垂直断面図である。図11は、メタレンズ100の中心からR方向に配列された3個のフレネルゾーンr,r,rに19個のナノ構造物が配置された構造を例示的に示す。
図12Aは、図11の第3フレネルゾーンrに配置されたナノ構造物のうち、第1ナノ構造物310の断面をさらに詳細に示す図面であり、図12B及び図12Cはそれぞれ図12AのY1−Y1’線及びY2−Y2’線に沿って切った水平断面図である。
第1ナノ構造物310は、第1位相変換層311、第2位相変換層315及び支持層370を含んでもよい。第1位相変換層311は、第1ナノ構造物310に入射する光と反応して位相を変化させうる。このように位相変化された光が第2位相変換層315に入射することができ、第2位相変換層315は、光の位相をさらに変化させうる。結果として、入射光は、順次に第1位相変換層311及び第2位相変換層315と相互作用して、位相が変化された形態に出光されうる。図11及び図12Aは、第1位相変換層311と第2位相変換層315とを支持する支持層370を示しているが、支持層370が存在しなくてもよい。
第1位相変換層311及び第2位相変換層315それぞれは、屈折率が互いに異なる物質が組合わされた形態でもある。図11と図12A、図12B、図12Cが示す実施例によれば、第1位相変換層311及び第2位相変換層315は、それぞれ1つの物質が異なる物質を取り囲んでいる形態でもある。例えば、第1位相変換層311及び第2位相変換層315は、それぞれ内部柱と、内部柱を取り囲む構造体を含んでもよい。具体的に、第1位相変換層311は、内部が空いている構造体の形態であって、すなわち、空気柱311aを構造体が取り囲む形態でもある。それとは異なり、第2位相変換層315は、内部が満たされた構造体の形態であって、すなわち、柱状の内部物質を他の物質の構造体が取り囲む形態でもある。内部物質を取り囲む第1位相変換層311及び第2位相変換層315の構造体は同一物質でもあり、例えば、誘電体(SiOなど)、ガラス(Fused Silica,BK7など)、Quartz,Polymer(PMMA,SU−8など)、プラスティック、及び/または半導体物質からなりうる。内部柱の物質は、結晶質シリコン(Crystalline Silicon;c−Si)、多結晶シリコン(Poly Si)、非晶質シリコン(Amorphous Si)、Si,GaP,GaAs,TiOx,AlSb,AlAs,AlGaAs,AlGaInP,BP、及び/またはZnGeP物質を含んでもよい。例えば、第2位相変換層315の内部柱は、TiOからなりうる。
第1及び第2位相変換層311、315の断面形状、大きさ及び高さと第1及び第2内部柱311a、315aの断面形状、大きさ及び高さは、選択された物質の特徴を考慮して適切に設計されうる。例えば、第1及び第2位相変換層311、315の断面は、全体として正方形、長方形、平行四辺形、正六角形などの形状を有することができる。例えば、図12B及び図12Cは、第1位相変換層311と第2位相変換層315が正方形である例を示す。第1及び第2位相変換層311、315の幅w310は、入射光の波長より小さい。可視光の位相を変化させるように設計された第1及び第2位相変換層311、315の幅w310は、400nm、または300nmより小さくもあり、例えば、250nmでもある。
第1及び第2内部柱311a、315aの断面は、正方形、円形、長方形、中空円形、中空の方形などにもなり、図12B及び図12Cは、正方形である例を示す。第1及び第2内部柱311a、315aは、内部での光共振を避けるために、高さh311、h315が幅w311a、w315aより2倍以上大きいことが望ましい。第1及び第2内部柱311a、315aの高さh311、h315は、物質の特性及び製造工程を考慮した反復的なシミュレーションを通じて最適化されうる。図12Aでは、同一に表示されたが、第1及び第2内部柱311a、315aの高さは、第1及び第2位相変換層311、315の高さと異なりうる。例えば、第1及び第2内部柱311a、315aの高さは、第1及び第2位相変換層311、315の高さより小さくもある。可視光と相互作用するように設計された第1位相変換層311及び第1内部柱311aの高さh311は、例えば、3000nm、第2位相変換層315、及び第2内部柱315aの高さh315は、例えば、1500nmでもある。本例によれば、入射光と先に相互作用する第1位相変換層311の高さが第2位相変換層315の高さより大きくなる。第1及び第2位相変換層311、315の間、及び/または第1及び第2内部柱311a、315aの間にスペーサ層がさらに含まれうる。図12Dは、第1及び第2位相変換層311、315の間にスペーサ層390が含まれた例を図示する。
支持層370は、第1及び第2位相変換層311、315を支持し、誘電体(SiOなど)、ガラス(Fused Silica,BK7など)、Quartz,Polymer(PMMA,SU−8など)、プラスティック、及び/または半導体物質からなりうる。支持層370は、0.1〜1.0mmの厚さを有することができる。
第1及び第2位相変換層311、315の第1及び第2内部柱311a、315aを取り囲む構造体と支持層370は、同一物質、例えば、SiOからなりうる。支持層370は、第1及び第2位相変換層311、315の構造体と異なる物質からなり、前述したように省略されうる。
図13は、図12Aの第1ナノ構造物による相対位相遅延と内部柱の幅との関係を示す図面であり、これに基づいて入射光の互いに異なる波長に対して同一位相遅延プロファイルを提供するメタレンズを設計する方法について説明する。
まず、ナノ構造物の相対位相遅延の基準になる基準構造物を決定する。メタレンズの大きさ、ナノ構造物の物質、内部柱の形状などによって基準構造物の幅、断面形状などが異なり、基準構造物は、設計されたメタレンズでフレネルゾーンの中心部に位置すること、またはフレネルゾーン内に含まれるナノ構造物の平均位相遅延値を有することと決定しうる。図13は、断面の幅w311aが130nmである正方形の第1内部柱と断面の幅w315aが98nmである正方形の第2内部柱を有するナノ構造物を基準構造物にした。基準構造物は、ナノ構造物の相対的な位相遅延量を比べるためのものであり、設計済のメタレンズに含まれたナノ構造物のうちいずれか1つである必要がない、仮想の構造物でもある。基準構造物の設定は、フレネルゾーン中心部に位置するナノ構造物のスペックを決定するものであって、数回のシミュレーション過程を通じて最適化されうる。
基準構造物が設定された後、第1内部柱の幅w311aと、第2内部柱の幅w315aを変更しつつ、互いに異なる波長に対して基準構造物と同一位相遅延差を提供する組合わせを見出すことができる。このような過程の反復遂行を通じて図13のように、基準構造物に比べて、位相遅延量が−πないしπ(Rad.)であるナノ構造物の第1内部柱の幅w311aと、第2内部柱の幅w315aとのグラフが得られる。図13を参照すれば、例えば、基準構造物に比べて位相遅延がπ/3Rad.ほど小さいナノ構造物の第1内部柱の幅w311aは、147nmであり、第2内部柱の幅w351aは、101nmにもなる。言い換えれば、第1内部柱の幅w311aが147nmであり、第2内部柱の幅w351aが101nmであるナノ構造物を通過した第1波長(588nm)光、第2波長(486nm)光、及び第3波長(656nm)光は、基準構造物を通過した第1波長(588nm)光、第2波長(486nm)光、及び第3波長(656nm)光よりも位相遅延量がπ/3Rad.ほど小さい。図13のようなグラフが得られれば、所望の位相遅延プロファイルを具現するようにナノ構造物を配置してメタレンズを設計することができる。
図14は、図12Aの第1ナノ構造物の広域位相整合性(η)を示す図面である。広域位相整合性が高いほど理想的な薄膜レンズ(Thin Lens)の透過位相と、設計されたメタレンズの透過位相の類似度が高いと言える。広域位相整合性は、下記数式9のように表現されうる。
Figure 2021071727
図14を参照すれば、図13について説明した方式で設計されたメタレンズの広域位相整合性は、0.8以上でもあり、より具体的には、0.9以上でもある。
図15は、図11の第3フレネルゾーンrに配置されたナノ構造物をより詳細に図示する断面図であり、図15を参照して隣接したナノ構造物の有効屈折率、分散及び内部柱幅の関係を説明する。有効屈折率neff及び分散Dは、それぞれ下記数式10、及び数式11のように表現されうる。
Figure 2021071727
図15を参照すれば、第1ナノ構造物310、第2ナノ構造物330、及び第3ナノ構造物350がメタレンズの外周方向(R方向)に配列されている。図10を参照すれば、第3フレネルゾーンrの位相遅延は、R方向に減少するプロファイルを有し、作動波長帯域の光に同一位相遅延プロファイルを提供するようにナノ構造物310、330、350が設計される。前記数式10を参照すれば、位相遅延は、有効屈折率に比例するので、R方向にナノ構造物310、330、350の有効屈折率が減少するように設計され、このために第1内部柱311a、331a、351aは、R方向に幅が増加する。第1内部柱311a、331a、351aは、空気であり、第1内部柱311a、331a、351aを取り囲む構造体の物質がSiOの場合を例として説明すれば、空気の屈折率がSiOの屈折率より小さいので、空気柱の幅が大きくなるほど、第1位相変換層311、331、351の有効屈折率は徐々に減少する。ほとんどの光学材料は有効屈折率が小さくなるほど分散の大きさが小さくなるので、第1位相変換層311、331、351の分散もR方向に減少する。しかし、有効屈折率の減少率と分散の減少率が異なるので、第1位相変換層311、331、351だけで他の波長の光に対して同一位相遅延プロファイルを提供し難い。このような有効屈折率変化と分散変化との差を、図15の第2位相変換層315、335、355が補正することができる。
第2内部柱315a、335a、355aは、R方向に幅が増加するように設計されうる。第2内部柱315a、335a、355aがTiOであり、取り囲む構造体がSiOである場合を例として説明すれば、TiOの屈折率がSiOの屈折率より高いので、第2位相変換層315、335、355の有効屈折率は、R方向に増加する。第2位相変換層315、335、355の有効屈折率増加量を、第1位相変換層311、331、351の有効屈折率減少量より小さくなるように設計して、ナノ構造物310、330、350の有効屈折率と位相遅延プロファイルとがR方向に減少するようにもしうる。同時に、第1位相変換層311、331、351の屈折率減少率に対する分散減少率の比よりも、第2内部柱315a、335a、355aの屈折率増加率に対する分散増加率の比が、大きく設計されうる。言い換えれば、第1位相変換層311、331、351の分散がR方向に減少するときに、各波長での位相遅延が異なることを防止するために、第2位相変換層315、335、355の分散は、それを補正できるほどR方向に増加する。この際、第2位相変換層315、335、355の屈折率は、第1位相変換層311、331、351の屈折率減少分を全て相殺するほどに増加する必要はないので、第2位相変換層315、335、355の屈折率増加率に対する分散増加率の比が、第1位相変換層311、331、351の屈折率減少率に対する分散減少率の比よりも大きく設計される。
屈折率の大きい物質は、有効屈折率の変化率に比べて分散の変化率が大きい。第2内部柱315a、335a、355aの物質として、第1内部柱311a、331a、351aより屈折率が大きい物質が使用されうる。また、第1及び第2内部柱311a、331a、351a、315a、335a、355aのうち、高さの低い内部柱が屈折率の大きな物質で構成されうる。第1位相変換層311、331、351と第2位相変換層315、335、355の有効屈折率、及び分散の関係は、下記数式12ないし数式14を満足することができる。
Figure 2021071727
Figure 2021071727
Figure 2021071727
N11は、第1ナノ構造物310の第1位相変換層311の有効屈折率、N12は、第1ナノ構造物310の第2位相変換層315の有効屈折率、N21は、第2ナノ構造物330の第1位相変換層331の有効屈折率、N22は、第2ナノ構造物330の第2位相変換層335の有効屈折率、D11は、第1ナノ構造物310の第1位相変換層311の分散、D12は、第1ナノ構造物310の第2位相変換層315の分散、D21は、第2ナノ構造物330の第1位相変換層331の分散、D22は、第2ナノ構造物330の第2位相変換層335の分散である。
図16Aは、他の実施例による第1ナノ構造物の断面を示す図面であり、図16B及び図16Cは、図16AのY3−Y3’線、及びY4−Y4’線に沿って切った水平断面図である。前記実施例と重複する説明は、省略する。
図12Aの第1ナノ構造物310と比較すれば、第1ナノ構造物410は、第1位相変換層411の高さh411が第2位相変換層415の高さh415より小さく、第2ナノ柱415aは、断面が中空の方形であり、第2ナノ柱415aの内部空間は、構造体によって満たされている。
図16Aの第1位相変換層411は、断面が正方形、高さh411が1450nm、第1内部柱411aは、断面が正方形、物質は、TiOであることを例として説明し、第2位相変換層415は、断面が正方形、高さh415は、2480nm、第2内部柱415aは外周面及び内周面の断面が正方形であり、物質は、Siであることを例として説明する。内部柱411a、415aの高さは、各位相変換層の高さと同一でもあり、第1及び第2位相変換層411、415の構造体は、SiOでもある。
図17は、図16Aの第1ナノ構造物410の幅w410、第1内部柱411aの幅w411a、第2内部柱415aの外周面の幅w415a、及び第2内部柱415aの内周面の幅wi415aと第1ナノ構造物410による相対位相遅延量の関係を示す図面であり、図18は、図16Aの第1ナノ構造物410による広域位相整合性を示す図面である。
図17を参照すれば、図16Aの第1ナノ構造物の幅w410及び第1内部柱411aの幅w411aは、位相遅延が大きくなる方向に減少するプロファイルを示し、第2内部柱415aの外周面の幅w415aは、位相遅延が大きくなる方向に増加するプロファイルを示し、内周面の幅wi415aは、位相遅延が大きくなる方向に大体増加していて、位相遅延がπに近付くとく、小幅減少するプロファイルを示す。
図18を参照すれば、図16Aのナノ構造物410は、0〜60°に入射する入射光に対して0.8以上、より具体的には、0.9以上の広域位相整合性を示す。
図19は、図11の第3フレネルゾーンrにナノ構造物が配列された他の実施例を説明するための図面であり、図10に図示されたように、R方向に減少する位相遅延プロファイルを有するように設計されたナノ構造物410、430、450の断面図である。
図19を参照すれば、第1ナノ構造物410、第2ナノ構造物430、及び第3ナノ構造物450順にR方向に配列されており、互いに異なる波長の入射光に対して同一位相遅延プロファイルを提供するように設計されうる。
図15の第2位相変換層315、335、355が第1位相変換層311、331、351の屈折率変化率と分散変化率との差を補正した方式と類似して、図19の第1位相変換層411、431、451が第2位相変換層415、435、455の屈折率変化率と分散変化率との差を補正することができる。位相遅延プロファイルを具現するために、第2位相変換層415、435、455は、R方向に有効屈折率が減少するように設計され、第1位相変換層411、431、451は、有効屈折率が第2位相変換層415、435、455の有効屈折率減少率より小さい増加率でR方向に増加しつつ、第2位相変換層415、435、455の分散変化量を補正するように設計されうる。
図20Aないし図20Cは、第1及び第2内部柱511a、515aの断面が円形である実施例を例示するための図面である。図20Aは、第1内部柱511aがSiO円柱であり、第2内部柱515aがTiO円柱であるナノ構造物510の断面図であり、図20Bは、図20Aの第1位相変換層511の水平断面図であり、図20Cは、図20Aの第2位相変換層515の水平断面図である。
図20Aの実施例では、第1内部柱511aと第2内部柱515aの断面が同一形状(円形)であると例示しているが、第1内部柱511aと第2内部柱515aの断面は、異なる形状でもあり、例えば、第1内部柱511aの断面は、円形であり、第2内部柱515aの断面は、方形でもある。
図21は、共通経路(Common Path)方式の干渉計を図示し、これを参照して、位相遅延プロファイルを測定する方法について説明する。
図21の干渉計600は、レーザ光源610からの出射光を、レンズ620を用いてコリメーション(Collimation)させ、測定しようとするサンプル630、例えば、前記メタレンズを通過させた後、グレイティング640などでビームを複製して分ける。干渉計600は、複製されたビームのうち、1つをピンホール650を通過させて平行波にし、分けられた2ビームを再び合わせてイメージセンサ660で測定すれば、干渉縞670が得られる。干渉縞670をフーリエ(Fourier)変換した後、適切にフィルタリング680し、逆フーリエ(Inverse Fourier)変換を行えば、位相遅延プロファイルを示す位相マップ690が得られる。位相遅延と有効屈折率との関係は、前記数式10と同一であり、有効屈折率と分散の関係は、前記数式11と同一なので、測定された位相遅延プロファイルから有効屈折率プロファイル及び分散が分かる。
前述したレンズアセンブリー1100、1300、1500は、電子装置(光学装置など)に搭載されて使用されうる。電子装置は、イメージセンサ1200以外にも、アプリケーションプロセッサ(AP:Application Processor)をさらに含み、アプリケーションプロセッサ(AP)を通じて運用体制または応用プログラムを駆動してアプリケーションプロセッサ(AP)に連結された多数のハードウェアまたはソフトウェア構成要素を制御することができ、各種データ処理及び演算を遂行することができる。アプリケーションプロセッサ(AP)は、GPU(Graphic Processing Unit)及び/またはイメージ信号プロセッサ(Image Signal Processor)をさらに含んでもよい。アプリケーションプロセッサ(AP)にイメージ信号プロセッサが含まれる場合、イメージセンサ1200によって獲得されたイメージ(または映像)をアプリケーションプロセッサ(AP)を用いて保存及び/または出力することができる。
図22は、ネットワーク環境2200内の電子装置2201の一例を示すブロック図である。図22を参照すれば、ネットワーク環境2200で電子装置2201は、第1ネットワーク2298(近距離無線通信ネットワークなど)を通じて他の電子装置2202と通信するか、または、第2ネットワーク2299(遠距離無線通信ネットワークなど)を通じてさらに他の電子装置2204及び/またはサーバ2208と通信することができる。電子装置2201は、サーバ2208を通じて電子装置2204と通信することができる。電子装置2201は、プロセッサ2220、メモリ2230、入力装置2250、音響出力装置2255、表示装置2260、オーディオ装置2270、センサ2276、インターフェース2277、ハプティック装置2279、カメラ2280、電力管理装置2288、バッテリ2289、通信装置2290、加入者識別装置2296、及び/またはアンテナ装置2297を含んでもよい。電子装置2201には、それら構成要素のうち、一部(表示装置2260など)が省略されるか、他の構成要素が追加されうる。それら構成要素のうち、一部は、1つの統合された回路として具現されうる。例えば、センサ2276(指紋センサ、虹彩センサ、照度センサなど)は、表示装置2260(ディスプレイなど)にエンベデッドされて具現されうる。
プロセッサ2220は、ソフトウェア(プログラム2240など)を行ってプロセッサ2220に連結された電子装置2201のうち1つ、または複数個の他の構成要素(ハードウェア、ソフトウェア構成要素など)を制御することができ、多様なデータ処理または演算を行うことができる。データ処理または演算の一部として、プロセッサ2220は、他の構成要素(センサモジュール2276、通信モジュール2290など)から受信された命令及び/またはデータを揮発性メモリ2232にロードし、揮発性メモリ2232に保存された命令及び/またはデータを処理し、結果データを不揮発性メモリ2234に保存することができる。プロセッサ2220は、メインプロセッサ2221(中央処理装置、アプリケーションプロセッサなど)及びそれと独立して、または共に運用可能な補助プロセッサ2223(グラフィック処理装置、イメージシグナルプロセッサ、センサハブプロセッサ、コミュニケーションプロセッサなど)を含んでもよい。補助プロセッサ2223は、メインプロセッサ2221より電力を小さく使用し、特化された機能を遂行することができる。
補助プロセッサ2223は、メインプロセッサ2221がインアクティブ状態(スリープ状態)にある間、メインプロセッサ2221の代わりに、またはメインプロセッサ2221がアクティブ状態(アプリケーション実行状態)にある間、メインプロセッサ2221と共に、電子装置2201の構成要素のうち、一部構成要素(表示装置2260、センサモジュール2276、通信モジュール2290など)に係わる機能及び/または状態を制御することができる。補助プロセッサ2223(イメージシグナルプロセッサ、コミュニケーションプロセッサなど)は、機能的に関連した他の構成要素(カメラ2280、通信装置2290など)の一部としても具現される。
メモリ2230は、電子装置2201の構成要素(プロセッサ2220、センサモジュール2276など)が必要とする多様なデータを保存することができる。データは、例えば、ソフトウェア(プログラム2240など)、及びそれと係わる命令に対する入力データ及び/または出力データを含んでもよい。メモリ2230は、揮発性メモリ2232及び/または不揮発性メモリ2234を含んでもよい。
プログラム2240は、メモリ2230にソフトウェアとして保存され、運用体制2242、ミドルウェア2244及び/またはアプリケーション2246を含んでもよい。
入力装置2250は、電子装置2201の構成要素(プロセッサ2220など)に使用される命令及び/またはデータを電子装置2201の外部(ユーザなど)から受信可能である。入力装置2250は、マイク、マウス、キーボード、及び/またはデジタルペン(スタイラスペンなど)を含んでもよい。
音響出力装置2255は、音響信号を電子装置2201の外部に出力することができる。音響出力装置2255は、スピーカ及び/またはレシーバを含んでもよい。スピーカは、マルチメディア再生または録音再生のように一般的な用途として使用され、レシーバは、着信電話を受信するために使用されうる。レシーバは、スピーカの一部に結合されているか、または独立した別途の装置として具現されうる。
表示装置2260は、電子装置2201の外部に情報を視覚的に提供することができる。表示装置2260は、ディスプレイ、ホログラム装置、またはプロジェクタ及び当該装置を制御するための制御回路を含んでもよい。表示装置2260は、タッチを感知するように設定されたタッチ回路(Touch Circuitry)、及び/またはタッチによって発生する力の強度を測定するように設定されたセンサ回路(圧力センサなど)を含んでもよい。
オーディオ装置2270は、音を電気信号に変換させるか、逆に電気信号を音に変換させうる。オーディオ装置2270は、入力装置2250を通じて音を獲得するか、音響出力装置2255、及び/または電子装置2201と直接または無線で連結された他の電子装置(電子装置2102など)のスピーカ及び/またはヘッドホーンを通じて音を出力することができる。
センサ2276は、電子装置2201の作動状態(電力、温度など)、または外部の環境状態(ユーザ状態など)を感知し、感知された状態に対応する電気信号及び/またはデータ値を生成することができる。センサ2276は、ジェスチャーセンサ、ジャイロセンサ、気圧センサ、マグネチックセンサ、加速度センサ、グリップセンサ、近接センサ、カラーセンサ、IR(Infrared)センサ、生体センサ、温度センサ、湿度センサ、及び/または照度センサを含んでもよい。
インターフェース2277は、電子装置2201が他の電子装置(電子装置2102など)と直接または無線で連結されるために使用される1つ以上の指定されたプロトコルを支援することができる。インターフェース2277は、HDMI(登録商標)(High Definition Multimedia Interface),USB(Universal Serial Bus)インターフェース、SDカードインターフェース、及び/またはオーディオインターフェースを含んでもよい。
連結端子2278は、電子装置2201が他の電子装置(電子装置2102など)と物理的に連結されるコネクタを含んでもよい。連結端子2278は、HDMIコネクタ、USBコネクタ、SDカードコネクタ、及び/またはオーディオコネクタ(ヘッドホーンコネクターなど)を含んでもよい。
ハプティック装置2279は、電気的信号を、ユーザが触覚または運動感覚を通じて認知可能な機械的な刺激(振動、動きなど)、または電気的な刺激に変換することができる。ハプティック装置2279は、モータ、圧電素子、及び/または電気刺激装置を含んでもよい。
カメラ2280は、静止映像及び動画を撮影することができる。カメラ2280は、1つ以上のレンズを含むレンズアセンブリー、イメージセンサ、イメージシグナルプロセッサ、及び/またはフラッシュを含んでもよい。カメラ2280に含まれたレンズアセンブリーは、イメージ撮影の対象である被写体から放出される光を収集することができ、図1、図5及び図7で説明したレンズアセンブリー1100、1300、1500のうち、いずれか1つでもある。
電力管理装置2288は、電子装置2201に供給される電力を管理することができる。電力管理装置388は、PMIC(Power Management Integrated Circuit)の一部として具現されうる。
バッテリ2289は、電子装置2201の構成要素に電力を供給することができる。バッテリ2289は、再充電不可能な1次電池、再充電可能な2次電池及び/または燃料電池を含んでもよい。
通信装置2290は、電子装置2201と、他の電子装置(電子装置2102、電子装置2104、サーバ2108など)との直接(有線)通信チャネル及び/または無線通信チャネルの樹立、及び樹立された通信チャネルを介した通信遂行を支援することができる。通信装置2290は、プロセッサ2220(アプリケーションプロセッサなど)と独立して運用され、直接通信及び/または無線通信を支援する1つ以上のコミュニケーションプロセッサを含んでもよい。通信装置2290は、無線通信装置2292(セルラー通信装置、近距離無線通信装置、GNSS(Global Navigation Satellite Systemなど)通信装置)及び/または有線通信装置2294(LAN(Local Area Network)通信装置、電力線通信装置など)を含んでもよい。それら通信装置のうち、該当する通信装置は、第1ネットワーク2298(ブルートゥース(登録商標)、WiFi DirectまたはIrDA(Infrared Data Association)のような近距離通信ネットワーク)、または第2ネットワーク2299(セルラーネットワーク、インターネット、またはコンピュータネットワーク(LAN、WANなど)のような遠距離通信ネットワーク)を通じて他の電子装置と通信することができる。そのような複数種の通信装置は、1つの構成要素(単一チップなど)によって統合されるか、または互いに異なる複数の構成要素(複数チップ)によって具現されうる。無線通信装置2292は、加入者識別装置2296に保存された加入者情報(国際モバイル加入者識別子(IMSI)など)を用いて第1ネットワーク2298及び/または第2ネットワーク2299のような通信ネットワーク内で電子装置2201を確認及び認証することができる。
アンテナ装置2297は、信号及び/または電力を外部(他の電子装置など)に送信するか、外部から受信することができる。アンテナは、基板(PCBなど)上に形成された導電性パターンからなる放射体を含んでもよい。アンテナ装置2297は、1つまたは複数のアンテナを含んでもよい。複数のアンテナが含まれた場合、通信装置2290によって複数のアンテナのうち、第1ネットワーク2298及び/または第2ネットワーク2299のような通信ネットワークで使用される通信方式に適したアンテナが選択されうる。選択されたアンテナを通じて通信装置2290と他の電子装置との間に信号、及び/または電力が送信または受信される。アンテナ以外に他の部品(RFICなど)がアンテナ装置2297の一部として含まれうる。
構成要素の一部は、周辺機器間通信方式(バス、GPIO(General Purpose Input and Output), SPI(Serial Peripheral Interface), MIPI(Mobile Industry Processor Interface)など)を通じて互いに連結され、信号(命令、データなど)を相互交換することができる。
命令またはデータは、第2ネットワーク2299に連結されたサーバ2108を通じて電子装置2201と外部の電子装置2204との間に送信または受信される。他の電子装置2202、2204は、電子装置2201と同一であるか、または他の種類の装置でもある。電子装置2201で実行される動作の全部または一部は、他の電子装置2202、2204、2208のうち、1つ以上の装置で実行されうる。例えば、電子装置2201がある機能やサービスを遂行せねばならないとき、機能またはサービスを自体的に実行させる代りに、1つ以上の他の電子装置にその機能またはそのサービスの一部または全部に対する遂行を要請することができる。要請を受信した1つ以上の他の電子装置は、要請に係わる追加機能またはサービスを行い、その実行の結果を、電子装置2201に伝達することができる。そのために、クラウドコンピュータ、分散コンピュータ、及び/またはクライアント−サーバコンピューティング技術が用いられる。
図23は、図22のカメラ2280を例示するブロック図である。図23を参照すれば、カメラ2280は、レンズアセンブリー2310、フラッシュ2320、イメージセンサ2330(図1のイメージセンサ1200など)、イメージスタビライザー2340、メモリ2350(バッファメモリなど)、及び/またはイメージシグナルプロセッサ2360を含んでもよい。レンズアセンブリー2310は、イメージ撮影の対象である被写体から放出される光を収集することができ、図1、図5及び図7で説明したレンズアセンブリー1100、1300、1500のうち、いずれか1つでもある。カメラ2280は、複数のレンズアセンブリー2310を含むこともでき、このような場合、カメラ2280は、デュアルカメラ、360°カメラ、または球形カメラ(Spherical Camera)にもなる。複数のレンズアセンブリー2310の一部は、同じレンズ属性(画角、焦点距離、自動焦点、Fナンバー(F Number)、光学ズームなど)を有するか、または他のレンズ属性を有することができる。レンズアセンブリー2310は、広角レンズまたは望遠レンズを含んでもよい。
フラッシュ2320は、被写体から放出または反射される光を強化するために使用される光を放出することができる。フラッシュ2320は、1つ以上の発光ダイオード(RGB(Red−Green−Blue) LED, White LED, Infrared LED, Ultraviolet LEDなど)、及び/またはXenon Lampを含んでもよい。イメージセンサ2330は、図1、図5、及び図7で説明したイメージセンサ1200でもあり、被写体から放出または反射されてレンズアセンブリー2310を通じて伝達された光を電気信号に変換することで、被写体に対応するイメージを獲得することができる。イメージセンサ2330は、RGBセンサ、BW(Black and White)センサ、IRセンサ、またはUVセンサのように属性が異なるイメージセンサのうち、選択された1つまたは複数のセンサを含んでもよい。イメージセンサ2330に含まれたそれぞれのセンサは、CCD(Charged Coupled Device)センサ、及び/またはCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)センサによっても具現される。
イメージスタビライザー2340は、カメラ2280またはそれを含む電子装置2301の動きに反応して、レンズアセンブリー2310に含まれた1つまたは複数個のレンズまたはイメージセンサ2330を特定の方向に動くか、イメージセンサ2330の動作特性を制御(リードアウト(Read−Out)タイミングの調整など)して動きによる否定的な影響を補償することができる。イメージスタビライザー2340は、カメラ2280の内部または外部に配置されたジャイロセンサ(図示せず)または加速度センサ(図示せず)を用いてカメラ2280または電子装置2301の動きを感知することができる。イメージスタビライザー2340は、光学式によって具現されうる。
メモリ2350は、イメージセンサ2330を通じて獲得されたイメージの一部または全体データが、次のイメージ処理作業のために保存することができる。例えば、複数のイメージが高速で獲得される場合、獲得された原本データ(Bayer−Patternedデータ、高解像度データなど)は、メモリ2350に保存し、低解像度イメージのみをディスプレイした後、選択された(ユーザ選択など)イメージの原本データをイメージシグナルプロセッサ2360に伝達するのに使用されうる。メモリ2350は、電子装置2201のメモリ2230に統合されているか、または独立して運用される別途のメモリで構成されうる。
イメージシグナルプロセッサ2360は、イメージセンサ2330を通じて獲得されたイメージ、またはメモリ2350に保存されたイメージデータに対して1つ以上のイメージ処理を遂行することができる。1つ以上のイメージ処理は、デプスマップ(Depth Map)生成、3次元モデリング、パノラマ生成、特徴点抽出、イメージ合成、及び/またはイメージ補償(ノイズ減少、解像度調整、輝度調整、ブラーリング(Blurring)、シャープニング(Sharpening)、ソフトニング(Softening)など)を含んでもよい。イメージシグナルプロセッサ2360は、カメラ2280に含まれた構成要素(イメージセンサ2330など)に対する制御(露出時間制御、またはリードアウトタイミング制御など)を行うことができる。イメージシグナルプロセッサ2360によって処理されたイメージは、追加処理のために、メモリ2350に再び保存されるか、カメラ2280の外部構成要素(メモリ2230、表示装置2260、電子装置2202、電子装置2204、サーバ2208など)に提供されうる。イメージシグナルプロセッサ2360は、プロセッサ2220に統合されるか、プロセッサ2220と独立して運用される別途のプロセッサで構成されうる。イメージシグナルプロセッサ2360がプロセッサ2220と別途のプロセッサで構成された場合、イメージシグナルプロセッサ2360によって処理されたイメージは、プロセッサ2220によって追加のイメージ処理を経た後、表示装置2260を通じて表示されうる。
電子装置2201は、それぞれ異なる属性または機能を有する複数のカメラ2280を含んでもよい。そのような場合、複数のカメラ2280のうち、1つは、広角カメラであり、他の1つは、望遠カメラでもある。同様に、複数のカメラ2280のうち、1つは、前面カメラであり、他の1つは、背面カメラでもある。
以上、本文書では、具体的な実施例について説明したが、本文書の要旨から外れない限度内で、様々な変形が可能であるということは、当該分野で通常の知識を有する者にとって自明なものである。例えば、実施例で開示した複数のレンズの寸法は、実際に作製されるレンズアセンブリーまたはそのようなレンズアセンブリーが搭載される電子装置の構造と要求仕様、実際使用環境などによって適切に設定されうる。
1100 レンズアセンブリー
1110、1120、1130、1140、1150、1160、1170 レンズ
1200 イメージセンサ
1200a 結像面
O 被写体側
I 像側

Claims (15)

  1. 被写体側から入射する入射光に対して正(Positive)の屈折力を有し、前記被写体側に向かう面が膨らんでいる第1レンズと、
    前記第1レンズを通過した前記入射光に対して負(Negative)の色収差を有するメタレンズを含む第2レンズと、を含むレンズアセンブリー。
  2. 前記メタレンズは、ナノ構造物アレイを含み、前記入射光に含まれた互いに異なる少なくとも2つの波長に対して同一位相遅延プロファイルを形成するように構成された、請求項1に記載のレンズアセンブリー。
  3. 前記入射光は、可視光である、請求項1または2に記載のレンズアセンブリー。
  4. 前記レンズアセンブリーは、総5枚以上のレンズを含む、請求項1〜3のいずれかに記載のレンズアセンブリー。
  5. 前記メタレンズは、下記数式を満足する、請求項1〜4のいずれかに記載のレンズアセンブリー;
    Figure 2021071727

    (fM1は、前記入射光に含まれた第1波長(λ)光に対する前記メタレンズの焦点距離、fM2は、前記入射光に含まれた第2波長(λ)光に対する前記メタレンズの焦点距離、fM3は、前記入射光に含まれた第3波長(λ)光に対する前記メタレンズの焦点距離)。
  6. 前記第2レンズは、前記メタレンズを通過した前記入射光に対して正(Positive)の屈折力を有し、前記被写体側に向かう面が前記メタレンズと接触する屈折レンズをさらに含む、請求項1〜5のいずれかに記載のレンズアセンブリー。
  7. 前記レンズアセンブリーは、下記数式を満足する、請求項1〜6のいずれかに記載のレンズアセンブリー;
    Figure 2021071727

    (F1は、前記第1レンズの焦点距離、F0は、前記レンズアセンブリーの合成焦点距離)。
  8. 前記レンズアセンブリーは、下記数式を満足する、請求項1〜7のいずれかに記載のレンズアセンブリー;
    Figure 2021071727

    (TTLは、前記レンズアセンブリーの全長(Total TrackLength)、F0は、前記レンズアセンブリーの合成焦点距離)。
  9. 前記第1レンズの前記被写体側に向かう面の有効半径は、前記第2レンズの前記被写体側に向かう面の有効半径より大きい、請求項1〜8のいずれかに記載のレンズアセンブリー。
  10. 前記ナノ構造物アレイは、複数のナノ構造物を含み、
    前記複数のナノ構造物は、前記第1レンズを通過した入射光と反応して位相を変化させるように構成された第1位相変換層、及び前記第1位相変換層を通過した入射光の位相を変化させるように構成された第2位相変換層を含み、
    前記ナノ構造物のうち、いずれか1つの第1ナノ構造物及び前記第1ナノ構造物と隣接した第2ナノ構造物は、下記数式を満足する、請求項2に記載のレンズアセンブリー;
    Figure 2021071727

    (N11は、前記第1ナノ構造物の前記第1位相変換層の有効屈折率、
    N12は、前記第1ナノ構造物の前記第2位相変換層の有効屈折率、
    N21は、前記第2ナノ構造物の前記第1位相変換層の有効屈折率、
    N22は、前記第2ナノ構造物の前記第2位相変換層の有効屈折率)。
  11. 前記ナノ構造物アレイは、複数のナノ構造物を含み、
    前記複数のナノ構造物は、前記第1レンズを通過した入射光と反応して位相を変化させるように構成された第1位相変換層、及び前記第1位相変換層を通過した入射光の位相を変化させるように構成された第2位相変換層を含み、
    前記ナノ構造物のうち、いずれか1つの第1ナノ構造物及び前記第1ナノ構造物と隣接した第2ナノ構造物は、下記数式を満足する、請求項2に記載のレンズアセンブリー;
    Figure 2021071727

    (N11は、前記第1ナノ構造物の前記第1位相変換層の有効屈折率、
    N12は、前記第1ナノ構造物の前記第2位相変換層の有効屈折率、
    N21は、前記第2ナノ構造物の前記第1位相変換層の有効屈折率、
    N22は、前記第2ナノ構造物の前記第2位相変換層の有効屈折率、
    D11は、前記第1ナノ構造物の前記第1位相変換層の分散、
    D12は、前記第1ナノ構造物の前記第2位相変換層の分散、
    D21は、前記第2ナノ構造物の前記第1位相変換層の分散、
    D22は、前記第2ナノ構造物の前記第2位相変換層の分散)。
  12. 前記ナノ構造物アレイは、複数のナノ構造物を含み、
    前記複数のナノ構造物は、前記第1レンズを通過した入射光と反応して位相を変化させる第1位相変換層、及び前記第1位相変換層を通過した入射光の位相を変化させる第2位相変換層を含み、
    前記第1位相変換層は、第1内部柱及び前記第1内部柱を取り囲む第1構造体を含み、
    前記第2位相変換層は、第2内部柱及び前記第2内部柱を取り囲む第2構造体を含み、
    前記第1内部柱と前記第1構造体は、屈折率の異なる物質からなり、前記第2内部柱と前記第2構造体は、屈折率の異なる物質からなる、請求項2に記載のレンズアセンブリー。
  13. 前記第1内部柱は、空気柱である、請求項12に記載のレンズアセンブリー。
  14. 被写体(Object)側から像(Image)側に複数のレンズが配置されたレンズアセンブリーと、
    前記レンズを順次に通過した入射光から前記被写体のイメージを検出するイメージセンサと、
    イメージを保存または出力するイメージ信号プロセッサと、を含み、
    前記レンズアセンブリーは、請求項1〜13のいずれかに記載のレンズアセンブリーである、電子装置。
  15. 入射光と反応して前記入射光の位相を変化させる第1位相変換層と、
    前記第1位相変換層を通過した前記入射光の位相を変化させる第2位相変換層を含むナノ構造物と、を含み、
    前記ナノ構造物は、前記入射光に含まれた互いに異なる少なくとも2つの波長に対して同一位相遅延プロファイルを形成するように構成されたメタレンズ。
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