JP2021061342A5 - インプリント装置 - Google Patents

Description

本発明は、吐出液を吐出する液体吐出装置を備えたインプリント装置に関する。

よって本発明は、吐出液の漏出を抑制することができるインプリント装置を提供することを目的とする。

そのため本発明のインプリント装置は、第１液体を吐出する吐出口を有するヘッドと、第１液体を収容し前記吐出口に第１液体を供給する第１液室と、前記第１液室と隣接し、第２液体を収容する第２液室と、を備えたインプリント装置であって、前記第１液室は、前記第１液室内の第１液体の圧力を検知する圧力検知手段を有し、前記圧力検知手段は、前記第１液室を形成する壁の一部に形成され且つ前記第１液室内の第１液体の圧力変化に伴い変形する変形部を有し、前記変形部の変形量を検知し、前記第１液室と前記第２液室とは、可撓性膜によって仕切られており、前記第２液室内の前記第２液体の圧力を制御する圧力制御手段を備えていることを特徴とする。

本発明によれば吐出液の漏出を抑制することができるインプリント装置を提供することができる。

このように、第１液室２１に、第１液室２１内の吐出液１１４の圧力を検知可能な圧力検知手段を設け、圧力検知手段は、第１液室２１内の吐出液１１４の圧力変化に伴い変形する変形部を有し、その変形部の変形量を検知する。これによって、吐出液１１４の漏出を抑制することができるインプリント装置を提供することができる。

Claims (12)

1. 第１液体を吐出する吐出口を有するヘッドと、
   第１液体を収容し前記吐出口に第１液体を供給する第１液室と、
   前記第１液室と隣接し、第２液体を収容する第２液室と、を備えたインプリント装置であって、
   前記第１液室は、前記第１液室内の第１液体の圧力を検知する圧力検知手段を有し、
   前記圧力検知手段は、前記第１液室を形成する壁の一部に形成され且つ前記第１液室内の第１液体の圧力変化に伴い変形する変形部を有し、前記変形部の変形量を検知し、
   前記第１液室と前記第２液室とは、可撓性膜によって仕切られており、
   前記第２液室内の前記第２液体の圧力を制御する圧力制御手段を備えていることを特徴とするインプリント装置。
2. 前記変形部は、前記第１液室を形成する前記壁の他の部分よりも厚さが薄い薄壁である請求項１に記載のインプリント装置。
3. 前記変形部は、前記壁の一部に形成された前記壁以外の薄膜である請求項１に記載のインプリント装置。
4. 前記圧力検知手段は、歪ゲージによって、前記変形部の変形量を検知する請求項１ないし３のいずれか１項に記載のインプリント装置。
5. 前記圧力検知手段は、光学式変位センサによって、前記変形部の変形量を検知する請求項１ないし３のいずれか１項に記載のインプリント装置。
6. 前記圧力検知手段は、接触式変位センサによって、前記変形部の変形量を検知する請求項１ないし３のいずれか１項に記載のインプリント装置。
7. 前記圧力制御手段によって、前記第１液室内の前記第１液体の圧力を制御する請求項１ないし６のいずれか１項に記載のインプリント装置。
8. 前記壁は、樹脂で成形されており、その厚みが６ｍｍ以下である請求項２に記載のインプリント装置。
9. 前記圧力検知手段の検知結果に基づいて、前記圧力制御手段によって、前記第１液室内の前記第１液体の圧力を制御する請求項７に記載のインプリント装置。
10. 前記薄膜の変形を規制する規制部材を備えている請求項３に記載のインプリント装置。
11. 前記第１液体を吐出する吐出位置と、待機する待機位置と、に移動可能であり、
    前記圧力検知手段の検知結果に基づいて行われた、前記圧力制御手段による前記第１液体の圧力制御の後に、前記第１液体の圧力が所定の圧力でない場合に、前記待機位置に移動する請求項９に記載のインプリント装置。
12. 前記第１液体は、所定のパターンを有したモールドが押しあてられることで、前記パターンを再現するインプリント材であり、前記第２液体は、前記インプリント材の圧力制御に用いられる作動液であることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれか１項に記載のインプリント装置。