KR102012339B1 - 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 센터 위치로 웨이퍼를 가압하도록 형성되는 푸쉬 모듈; 및 상기 웨이퍼에 대한 전진 및 후진 방향으로 상기 푸쉬 모듈을 작동시키는 구동 모듈을 포함하고, 상기 구동 모듈은, 제1 영역과 제2 영역을 갖는 내부 공간을 구비하는 실린더; 상기 제1 영역과 상기 제2 영역을 구분하도록 상기 내부 공간에 배치되는 피스톤과, 상기 피스톤을 상기 푸쉬 모듈에 연결하는 로드를 구비하는 이동 유닛; 및 상기 제1 영역에 제1 에어를 입력하여 상기 피스톤 및 상기 푸쉬 모듈을 상기 전진 방향으로 이동시키는 전진 에어입력부와, 상기 제2 영역에 제2 에어를 입력하여 상기 피스톤 및 상기 푸쉬 모듈을 상기 후진 방향으로 이동시키는 후진 에어입력부를 구비하는 에어공급 유닛을 포함하는, 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스를 제공한다.

Description

계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스{WAFER CENTERING DEVICE FOR MEASURING INSTRUMENT}
본 발명은 계측기에서 웨이퍼의 두께 등을 계측하기 위해 웨이퍼를 설정 위치에 위치시키기 하고자 할때 사용되는 장치에 관한 것이다.
일반적으로, CMP(Chemical Mechanical Polishing)는 웨이퍼의 배선 단차를 낮추고 평탄화하는 공정이다.
구체적으로, CMP 공정은 테이블(Platen) 위에 굴곡이 있는 패드가 있고 그 위에 CVD 공정을 거친 웨이퍼를 헤드라는 장치에 부착시켜 웨이퍼에 압력을 가하면서 회전시키는 방식이다.
이러한 CMP 후에는 CMP 장비에 이어 배치된 두께 계측기 장비를 통해 웨이퍼의 연마 정도를 측정하게 된다. 이때, 로봇에 의해 계측기에 투입되는 웨이퍼는 센터링 디바이스에 의해 센터링이 이루어진다.
이러한 센터링 과정에서 웨이퍼를 센터 위치로 이동시키기 위해 웨이퍼에 가하는 힘에 의해 웨이퍼가 손상되는 문제가 발생하기도 한다. 웨이퍼가 대형화 및 박형화되어 가고 있는 추세에 따라, 웨이퍼에 가해지는 힘에 의한 웨이퍼의 손상 문제는 보다 중요한 이슈가 되고 있다.
본 발명의 목적은, 웨이퍼를 센터 위치로 이동시키면서도 웨이퍼에 가해진 힘을 빠르게 제거하여 웨이퍼의 손상 발생 가능성을 최소화할 수 있는, 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스를 제공하는 것이다.
상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명의 측면에 따른 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스는, 센터 위치로 웨이퍼를 가압하도록 형성되는 푸쉬 모듈; 및 상기 웨이퍼에 대한 전진 및 후진 방향으로 상기 푸쉬 모듈을 작동시키는 구동 모듈을 포함하고, 상기 구동 모듈은, 제1 영역과 제2 영역을 갖는 내부 공간을 구비하는 실린더; 상기 제1 영역과 상기 제2 영역을 구분하도록 상기 내부 공간에 배치되는 피스톤과, 상기 피스톤을 상기 푸쉬 모듈에 연결하는 로드를 구비하는 이동 유닛; 및 상기 제1 영역에 제1 에어를 입력하여 상기 피스톤 및 상기 푸쉬 모듈을 상기 전진 방향으로 이동시키는 전진 에어입력부와, 상기 제2 영역에 제2 에어를 입력하여 상기 피스톤 및 상기 푸쉬 모듈을 상기 후진 방향으로 이동시키는 후진 에어입력부를 구비하는 에어공급 유닛을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 에어공급 유닛은, 상기 제1 에어가 상기 피스톤에 가하는 제1 힘이 상기 제2 에어가 피스톤에 가하는 제2 힘보다 큰 후에 상기 제2 힘이 상기 제1 힘보다 커지는 순서로 상기 제1 에어 및 상기 제2 에어가 상기 내부 공간에 입력되게 구성될 수 있다.
여기서, 상기 제1 영역의 단면적은, 상기 제2 영역의 단면적 보다 작게 설정될 수 있다.
여기서, 상기 전진 에어입력부는, 상기 제1 에어의 제1 입력속도를 결정하는 제1 속도밸브를 포함하고, 상기 후진 에어입력부는, 상기 제2 에어의 제2 입력속도를 결정하는 제2 속도밸브를 포함하며, 상기 제1 입력속도는, 상기 제2 입력속도보다 크게 결정될 수 있다.
여기서, 상기 에어공급 유닛은, 상기 웨이퍼를 파지하는 척이 상기 웨이퍼를 향해 상승하도록 상기 척의 에어 액츄에이터에 공급되는 상승 에어에 연통되어, 상기 전진 에어입력부 및 상기 후진 에어입력부에 상기 상승 에어가 유입되게 하는 에어유입부를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 구동 모듈은, 상기 제2 영역에 상기 피스톤을 지지하도록 배치되어, 상기 피스톤을 상기 후진 방향으로 탄성적으로 편향시키는 복귀 유닛을 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 푸쉬 모듈의 위치 정보를 검출하는 위치 센서를 구비하는 감지 모듈; 및 상기 위치 센서로부터 상기 푸쉬 모듈의 위치 정보를 입력받아 상기 푸쉬 모듈의 위치 상태에 대한 알람을 제어하는 제어 모듈이 더 구비될 수 있다.
여기서, 상기 감지 모듈은, 상기 에어공급 유닛에 연통되어, 상기 제1 에어 및 상기 제2 에어 중 하나의 압력 정보를 검출하는 압력 센서를 더 포함하고, 상기 제어 모듈은, 상기 압력 센서로부터 상기 제1 에어 및 상기 제2 에어 중 하나의 압력 정보를 입력받아 상기 제1 에어 및 상기 제2 에어 중 하나의 압력 상태에 대한 알람을 제어할 수 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 관련된 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스에 의하면, 웨이퍼를 가압하는 푸쉬 모듈이 구동 모듈에 의해 웨이퍼를 향해 이동되어 웨이퍼를 센터 위치로 이동시킨 후 바로 웨이퍼에서 멀어지도록 이동될 수 있다.
여기서, 구동 모듈의 이러한 양방향 이동은 유입되는 에어가 피스톤에 양방향을 따라 순차적으로 우월한 힘을 가함에 의해 달성되므로, 에어가 제거되어서야 푸쉬 모듈이 웨이퍼로부터 멀어짐에 따라 발생하는 시간 지연의 문제가 발생하지 않는다.
그 결과, 웨이퍼에 센터링을 위해 가해진 힘은 빠르게 제거되므로, 센터링 과정에서 웨이퍼의 손상이 발생 가능성은 최소화될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스(100)의 사용 상태를 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 도 1의 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스(100)의 에어 공급 메커니즘을 설명하기 위한 개념도이다.
도 3은 도 1의 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스(100)의 요부의 조립 사시도이다.
도 4는 도 3의 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스(100)의 요부의 분해 사시도이다.
도 5는 도 3의 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스(100)에 대해 라인(Ⅴ-Ⅴ)을 따라 취한 단면도이다.
도 6은 도 1의 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스(100)의 제어 작동을 설명하기 위한 블록도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일·유사한 구성에 대해서는 동일·유사한 참조번호를 부여하고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스(100)의 사용 상태를 설명하기 위한 사시도이다.
본 도면을 참조하면, 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스(100)는 웨이퍼(W)의 측방에 위치할 수 있다. 웨이퍼(W)는 반송 로봇(미도시)에 의해 복수의 지지대(S)에 놓여지는데, 센터링 디바이스(100)는 그러한 웨이퍼(W)를 지지대(S)에 대해 정 위치에 자리 잡도록 도와준다. 구체적으로, 센터링 디바이스(100)는 본체(110)에 설치된 푸쉬 모듈(130)이 에어를 공급받아 작동함에 따라, 지지대(S)들의 중심에서 편심된 웨이퍼(W)를 그 중심(센터 위치)으로 가압해서 이동시킨다.
이렇게 웨이퍼(W)가 센터링 디바이스(100)에 의해 센터링되는 과정 중에 계측기의 척(C)은 웨이퍼(W)를 파지하기 위해 상승하게 된다. 그에 의해, 척(C)은 센터링이 된 웨이퍼(W)를 파지하므로, 웨이퍼(W)를 정확한 자세로 파지하여 그에 대해 정확한 계측을 할 수 있게 된다.
척(C)의 상승과 관련된 센터링 디바이스(100)에 대한 에어 공급은 도 2를 참조하여 설명한다.
도 2는 도 1의 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스(100)의 에어 공급 메커니즘을 설명하기 위한 개념도이다.
본 도면을 참조하면, 센터링 디바이스(100)는, 본체(110), 푸쉬 모듈(130), 구동 모듈(150), 및 감지 모듈(170)을 포함할 수 있다.
본체(110)는 푸쉬 모듈(130), 및 구동 모듈(150)이 설치되는 기초 구조물이 될 수 있다. 푸쉬 모듈(130)은 구동 모듈(150)의 구동에 의해 웨이퍼(W)를 향한 전진 방향(F) 또는 그로부터 멀어지는 후진 방향(R, 이상 도 1 참조)으로 작동하게 된다. 구동 모듈(150)은 외부로부터 에어를 공급받아 푸쉬 모듈(130)의 작동을 가능하게 한다.
여기서, 구동 모듈(150)은 에어의 공급을 위한 구성으로서 에어공급 유닛(151)을 포함한다. 에어공급 유닛(151)은, 전진 에어입력부(152), 후진 에어입력부(153), 및 에어유입부(154)를 포함할 수 있다.
전진 에어입력부(152)는 실린더(156)의 내부 공간(156b, 이상 도 4 참조)에 제1 에어를 입력하여 푸쉬 모듈(130)이 전진 방향(F)으로 이동하게 하는 구성이다. 전진 에어입력부(152)는, 내부 공간(156b)에 연결된 유로 상에 설치되는 제1 속도밸브(152a) 및 전진 피팅(152b)을 포함할 수 있다. 제1 속도밸브(152a)는 상기 제1 에어가 내부 공간(156b)에 입력되는 속도인 제1 입력속도를 결정한다. 구체적으로, 제1 속도밸브(152a)는 상기 제1 에어의 유량을 조절하여 상기 제1 입력속도가 조절되게 하는 유량제어밸브일 수 있다. 전진 피팅(152b)은 상기 유로를 형성하는 튜브를 본체(110)에 접속시키는 부품이다.
후진 에어입력부(153)는 실린더(156)의 내부 공간(156b, 이상 도 4 참조)에 제2 에어를 입력하여 푸쉬 모듈(130)이 후진 방향(R)으로 이동하게 하는 구성이다. 후진 에어입력부(153)는, 내부 공간(156b)에 연결된 유로 상에 설치되는 제2 속도밸브(153a) 및 후진 피팅(153b)을 포함할 수 있다. 제2 속도밸브(153a)는 상기 제2 에어가 내부 공간(156b)에 입력되는 속도인 제2 입력속도를 결정한다. 구체적으로, 제2 속도밸브(153a)는 상기 제2 에어의 유량을 조절하여 상기 제2 입력속도가 조절되게 하는 유량제어밸브일 수 있다. 이때, 상기 제2 입력속도는 상기 제1 입력속도보다 작은 값으로 설정될 수 있다. 그에 의해, 에어공급 유닛(151)은 푸쉬 모듈(130)이 전진 방향(F)으로 먼저 작동된 후에 후진 방향(R)으로 작동되게 할 수 있다. 후진 피팅(153b)은 상기 유로를 형성하는 튜브를 본체(110)에 접속시키는 부품이다.
에어유입부(154)는 전진 에어입력부(152)와 후진 에어입력부(153)에 에어를 유입시키는 구성이다. 이때, 상기 에어는, 척(C, 도 1)의 상승을 위해 척(C)의 에어 액츄에이터(미도시)에 공급되는 에어로서, 상승 에어라고 칭해질 수 있다. 이러한 상승 에어는 척(C)의 솔레이노이드 블럭(SB)에서 분기되어 에어유입부(154)로 흘러들어 오는 것이다. 그에 의해, 전진 에어입력부(152)와 후진 에어입력부(153)에 대한 에어 공급은 별도의 제어에 의해서가 아니라 척(C)의 상승 작동에 연동되어 이루어질 수 있다. 나아가, 전진 에어입력부(152)와 후진 에어입력부(153)로부터의 에어 회수 역시 척(C)의 하강 동작에 연동되어 이루어질 수 있다. 구체적으로, 척(C)의 하강 시에는 솔레노이브 블록(SB)을 통해 상승 에어에 대한 회수 유로가 형성되므로, 전진 에어입력부(152)와 후진 에어입력부(153)로부터도 상기 제1 에어 또는 상기 제2 에어가 회수될 수 있다.
감지 모듈(170)은 구동 모듈(150)의 정상 작동 여부에 관한 정보를 검출하는 구성이다. 감지 모듈(170)은 압력 센서(171)와, 위치 센서(175)를 포함할 수 있다. 압력 센서(171)는 에어공급 유닛(151)의 일 위치, 예를 들어 전진 에어입력부(152)의 유로에 설치되어, 에어유입부(154)로 유입된 상승 에어의 압력 정보를 검출한다. 위치 센서(175)는 본체(110)에 설치되어 푸쉬 모듈(130)의 작동에 따른 푸쉬 레버(131, 도 4 참조)의 위치 정보를 검출하게 된다.
이제 센터링 디바이스(100)의 구동 모듈(150)의 구체적 구성에 대해 도 3 내지 도 5를 참조하여 설명한다.
도 3은 도 1의 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스(100)의 요부의 조립 사시도이고, 도 4는 도 3의 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스(100)의 요부의 분해 사시도이다.
본 도면들을 참조하면, 본체(110)는 대체로 육면체 형태의 블록일 수 있다. 본체(110)의 전면에는 장착홈(111)이 개구된다. 본체(110)의 후면에는 설치홈(112, 도 5 참조)이 개구된다. 이러한 장착홈(111)과 설치홈(112)은 서로 연통되게 된다. 스톱퍼(113,115)는 설치홈(112) 측에 장착되어, 매개 블럭(135) 등이 설치홈(112)에서 이탈되지 않게 한다. 본체(110)의 측면에는 센서홀(117)이 개구되어, 위치 센서(175)가 설치홈(112) 내에서 푸쉬 레버(131)의 위치 정보를 검출할 수 있도록 허용한다. 또한, 본체(110)의 후면에는 전진 피팅(152b)이 결합되고, 전진 피팅(152b)에 의해 상기 제1 에어는 실린더(156)의 내부 공간(156b)에 입력될 수 있다.
푸쉬 모듈(130)은 푸쉬 레버(131), 가이드(133), 매개 블럭(135), 및 결합피스(137)를 포함할 수 있다. 푸쉬 레버(131)는 전진 방향(F)으로 이동되어 웨이퍼(W)와 접촉되는 접촉부(131a)를 가진다. 접촉부(131a)는 푸쉬 레버(131)의 일 단에 형성되고, 푸쉬 레버(131)의 타단에는 연결부(131b)가 형성된다. 가이드(133)는 푸쉬 레버(131)의 전진 방향(F) 및 후진 방향(R)을 따른 이동을 안내하는 구성이다. 가이드(133)는 푸쉬 레버(131)의 이동 안내를 위한 안내홀(133a)을 구비하고, 접촉부(131a)는 안내홀(133a) 내에서 이동하도록 배치된다. 매개 블럭(135)은 푸쉬 레버(131)의 연결부(131b)와 결합된다. 이러한 매개 블럭(135)은 이동 유닛(157)의 로드(157b)에 연결되어, 이동 유닛(157)의 이동이 푸쉬 레버(131)의 이동으로 이어지게 한다. 이러한 매개 블럭(135)은 설치홈(112) 내에서 이동하게 된다. 이를 위해, 결합피스(137)는 매개 블럭(135)과 로드(157b)를 결합시킨다.
구동 모듈(150)은, 앞서 설명한 에어공급 유닛(151)에 더하여, 실린더(156), 이동 유닛(157), 및 복귀 유닛(158)을 더 포함할 수 있다. 실린더(156)는 본체(110)의 장착홈(111)에 설치된다. 실린더(156)는 몸체(156a), 내부 공간(156b), 및 커버(156c)로 구성될 수 있다. 몸체(156a)는 대체로 육면체인 블럭이고, 그의 전면 및 후면을 통해서는 내부 공간(156b)이 외부로 드러나게 된다. 커버(156c)는 몸체(156a)의 전면에 설치되어, 내부 공간(156b)을 덮게 된다. 커버(156c)에는 후진 피팅(153b)이 결합되고, 상기 제2 에어는 후진 피팅(153b)을 통해 내부 공간(156b)에 입력될 수 있다. 이동 유닛(157)은 피스톤(157a)과 로드(157b)를 포함한다. 피스톤(157a)은 내부 공간(156b)에 배치되고 내부 공간(156b)의 내경과 실질적으로 동일한 외경을 갖게 된다. 로드(157b)는 피스톤(157a)에 연결되고, 몸체(156a)의 후면을 통해 실린더(156) 밖으로 연장되어 매개 블럭(135)과 결합 된다. 복귀 유닛(158)은 커버(156c)에 대해 피스톤(157a)은 탄성적으로 지지한다. 복귀 유닛(158)은, 구체적으로 압축 코일스프링일 수 있다. 피스톤(157a)의 후방에는 제1 실링 부재(159a)가 설치되고, 실린더(156)의 밖에는 제2 실링 부재(159b)가 설치될 수 있다. 제1 실링 부재(159a)는 피스톤(157a)과 내부 공간(156b) 사이의 틈새로 상기 제2 에어가 누설되는 것을 막고, 제2 실링 부재(159b)는 내부 공간(156b)과 로드(157b) 사이의 틈새로 상기 제1 에어가 누설되는 것을 막는다.
이상의 구동 모듈(150)에 의한 푸쉬 모듈(130)의 작동 방식에 대해 도 5를 참조하여 설명한다.
도 5는 도 3의 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스(100)에 대해 라인(Ⅴ-Ⅴ)을 따라 취한 단면도이다.
본 도면(및 도 2 등)을 참조하면, 척(C)의 상승에 따라 솔레노이드 블럭(SB)으로부터 공급된 상승 에어는 에어유입부(154)를 통해 전진 에어입력부(152)와 후진 에어입력부(153)로 유입된다.
그에 따라, 전진 에어입력부(152)는 제1속도밸브(152a) 및 전진 피팅(152b)을 통해 상기 제1 에어를 유로(152c)로 입력한다. 이러한 상기 제1 에어는 유로(152c)를 통해 내부 공간(156b)의 제2 영역(156b2)로 입력된다. 여기서, 제2 영역(156b2)은 내부 공간(156b) 중 피스톤(157a)의 후방 측 공간이다.
후진 에어입력부(153) 역시 제2속도밸브(153a) 및 후진 피팅(153b)을 통해 상기 제2 에어를 제1 영역(156b1)으로 입력한다. 여기서, 제1 영역(156b1)은 내부 공간(156b) 중 피스톤(157a)의 전방 측 공간이다.
이때, 상기 제1 에어가 피스톤(157a)을 전진 방향(F)으로 미는 힘은 제1 힘이고, 상기 제2 에어가 피스톤(157a)을 후진 방향(R)으로 미는 힘은 제2 힘이라 규정될 수 있다. 에어공급 유닛(151)은, 상기 에어의 공급 초반에 상기 제1 힘이 상기 제2 힘보다 커서 피스톤(157a)은 전진 방향(F)으로 이동된 후에, 상기 에어 공급의 후반에 상기 제2 힘이 상기 제1 힘보다 커지면서 피스톤(157a)은 후진 방향(R)으로 이동하게 구성된다. 이를 위해, 제1 영역(156b1)의 단면적은 제2 영역(156b2)의 단면적보다 작게 형성될 수 있다. 그에 따라, 제1 영역(156b1)과 제2 영역(156b2)에 입력되는 상기 제1 에어와 상기 제2 에어의 압력은 동일한 상태에서, 그들의 단면적 차이에 의해 상기 제1 힘과 상기 제2 힘의 크기가 달라질 수 있다. 그에 더하여, 상기 제1 입력속도는 상기 제2 입력속도보다 크게 설정될 수 있다. 이 경우, 제1 영역(156b1)에 상기 제1 에어가 제2 영역(156b2)에 상기 제2 에어가 채워지는 것보다 빨라서, 작은 단면적에도 불구하고 초반에 상기 제1 힘이 상기 제2 힘보다 크게 될 수 있다. 나아가, 상기 제1 입력속도 및 상기 제2 입력속도는 각기 제1 속도밸브(152a) 및 제2 속도밸브(152b)에 의해 미세 조정될 수 있다.
상기 에어의 공급 초반에 피스톤(157a)은 전진 방향(F)으로 이동되므로, 피스톤(157a)에 매개 블럭(135)을 통해 연결된 푸쉬 레버(131) 역시 전진 방향(F)으로 이동하게 된다. 그에 따라, 푸쉬 레버(131)는 웨이퍼(W)를 상기 센터 위치로 가압하여 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 제1 힘은 상기 제2 힘보다 크면서 또한 복귀 유닛(158)의 탄성 저항력을 이기는 크기여야 한다. 이러한 탄성 저항력에 의해, 상기 제1 힘에 의해 푸쉬 레버(131)가 웨이퍼(W)를 가압할 때의 충격량이 크지 않게 제한될 수 있다.
상기 에어의 공급 후반에 푸쉬 레버(131)는 피스톤(157a)과 함께 후진 방향(R)으로 이동된다. 그에 의해, 푸쉬 레버(131)는 웨이퍼(W)를 계속 가압하지 않고 초기 위치로 복귀할 수 있게 된다. 이러한 복귀 과정에서, 복귀 유닛(158)은 피스톤(157a)은 후진 방향(R)으로 가압하여 푸쉬 레버(131)가 보다 빨리 복귀할 수 있도로 한다.
도 6은 도 1의 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스(100)의 제어 작동을 설명하기 위한 블록도이다.
본 도면을 참조하면, 센터링 디바이스(100)는, 앞서 설명한 압력 센서(171), 및 위치 센서(175)에 더하여, 알람 유닛(180)과 제어 모듈(190)을 더 포함할 수 있다.
알람 유닛(180)은 푸쉬 모듈(130)의 상태 등을 관리자에게 알리기 위한 구성이다. 알람 유닛(180)은, 예를 들어 상기 상태 등을 시각적으로 표시하는 디스플레이를 포함할 수 있다.
제어 모듈(190)은 압력 센서(171), 위치 센서(175), 및 알람 유닛(180)을 제어하기 위한 구성이다.
제어 모듈(190)은 푸쉬 레버(131)의 위치 정보를 위치 센서(175)로부터 받아서, 푸쉬 레버(131)의 위치 상태를 판단한다. 예를 들어, 푸쉬 레버(131)가 전진 상태인지, 후진 상태인지 등을 판단하는 것이다. 제어 모듈(190)은 푸쉬 레버(131)의 위치 상태가 구동 모듈(150)의 작동 상황에 대응되지 않는다면, 그를 알리는 알람이 알람 유닛(180)을 통해 출력되게 할 수 있다.
제어 모듈(190)은 상기 제1 에어 또는 상기 제2 에어의 압력 정보를 압력 센서(171)로부터 받아서, 상기 상승 에어의 압력 상태를 판단한다. 예를 들어, 상기 상승 에어가 피스톤(157a)의 구동을 위해 필요한 초기 설정 수준인지를 판단하는 것이다. 제어 모듈(190)은 상기 압력 상태가 초기 설정 수준에 미달되는 경우라면, 그를 알리는 알람이 알람 유닛(180)을 통해 출력되게 할 수 있다.
상기와 같은 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스는 위에서 설명된 실시예들의 구성과 작동 방식에 한정되는 것이 아니다. 상기 실시예들은 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 구성될 수도 있다.
100: 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스 110: 본체
130: 푸쉬 모듈 131: 푸쉬 레버
133: 가이드 135: 매개 블럭
150: 구동 모듈 151: 에어공급 유닛
152: 전진 에어입력부 153: 후진 에어입력부
154: 에어 유입부 156: 실린더
157: 이동 유닛 158: 복귀 유닛
170: 감지 모듈 171: 압력 센서
175: 위치 센서 190: 제어 모듈

Claims (8)

  1. 센터 위치로 웨이퍼를 가압하도록 형성되는 푸쉬 모듈; 및 상기 웨이퍼에 대한 전진 및 후진 방향으로 상기 푸쉬 모듈을 작동시키는 구동 모듈을 포함하고,
    상기 구동 모듈은, 제1 영역과 제2 영역을 갖는 내부 공간을 구비하는 실린더; 상기 제1 영역과 상기 제2 영역을 구분하도록 상기 내부 공간에 배치되는 피스톤과, 상기 피스톤을 상기 푸쉬 모듈에 연결하는 로드를 구비하는 이동 유닛; 및 상기 제1 영역에 제1 에어를 입력하여 상기 피스톤 및 상기 푸쉬 모듈을 상기 전진 방향으로 이동시키는 전진 에어입력부와, 상기 제2 영역에 제2 에어를 입력하여 상기 피스톤 및 상기 푸쉬 모듈을 상기 후진 방향으로 이동시키는 후진 에어입력부를 구비하는 에어공급 유닛을 포함하고,
    상기 에어공급 유닛은, 상기 제1 에어가 상기 피스톤에 가하는 제1 힘이 상기 제2 에어가 피스톤에 가하는 제2 힘보다 큰 후에 상기 제2 힘이 상기 제1 힘보다 커지는 순서로 상기 제1 에어 및 상기 제2 에어가 상기 내부 공간에 입력되게 구성되며,
    상기 제1 영역의 단면적은, 상기 제2 영역의 단면적 보다 작게 설정되는, 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 전진 에어입력부는, 상기 제1 에어의 제1 입력속도를 결정하는 제1 속도밸브를 포함하고,
    상기 후진 에어입력부는, 상기 제2 에어의 제2 입력속도를 결정하는 제2 속도밸브를 포함하며,
    상기 제1 입력속도는, 상기 제2 입력속도보다 크게 결정되는, 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 에어공급 유닛은,
    상기 웨이퍼를 파지하는 척이 상기 웨이퍼를 향해 상승하도록 상기 척의 에어 액츄에이터에 공급되는 상승 에어에 연통되어, 상기 전진 에어입력부 및 상기 후진 에어입력부에 상기 상승 에어가 유입되게 하는 에어유입부를 더 포함하는, 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 구동 모듈은,
    상기 제2 영역에 상기 피스톤을 지지하도록 배치되어, 상기 피스톤을 상기 후진 방향으로 탄성적으로 편향시키는 복귀 유닛을 더 포함하는, 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 푸쉬 모듈의 위치 정보를 검출하는 위치 센서를 구비하는 감지 모듈; 및
    상기 위치 센서로부터 상기 푸쉬 모듈의 위치 정보를 입력받아 상기 푸쉬 모듈의 위치 상태에 대한 알람을 제어하는 제어 모듈을 더 포함하는, 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 감지 모듈은,
    상기 에어공급 유닛에 연통되어, 상기 제1 에어 및 상기 제2 에어 중 하나의 압력 정보를 검출하는 압력 센서를 더 포함하고,
    상기 제어 모듈은,
    상기 압력 센서로부터 상기 제1 에어 및 상기 제2 에어 중 하나의 압력 정보를 입력받아 상기 제1 에어 및 상기 제2 에어 중 하나의 압력 상태에 대한 알람을 제어하는, 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스.
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JP2007141972A (ja) * 2005-11-15 2007-06-07 Bondtech Inc 加圧方法およびこの方法を用いた接合方法並びにこの接合方法により作成されるデバイス並びに加圧装置およびこの装置を用いた接合装置
KR101650398B1 (ko) * 2015-09-11 2016-08-24 (주)코맷 계측기용 웨이퍼 센터링 디바이스

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