JP2021057993A - Actuator and tactile device - Google Patents

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Abstract

To secure a large movement distance (amount of movement) of a movable body without increasing an actuator and a tactile device in size.SOLUTION: In an actuator 1, a supporting body 2 includes: a pair of first side parts 221 facing each other in a second direction X orthogonal to a first direction Z; and a pair of second side parts 22 facing each other in a third direction Y orthogonal to the first direction Z and crossing the second direction X. A magnetic driving circuit 10 drives a movable body 3, with respect to the supporting body 2, in a fourth direction F different from the second direction X and the third direction Y. A coil 6 has a long circular shape extending in a fifth direction G orthogonal to the fourth direction F. A magnet 5 is magnetized in the fourth direction F. Thus, since the magnetic driving circuit 10 drives the movable body 3 in the fourth direction F, a large movement distance of the movable body (an amount of movement) can be secured.SELECTED DRAWING: Figure 7

Description

本発明は、可動体を振動させるアクチュエータおよび触覚デバイスに関する。 The present invention relates to actuators and tactile devices that vibrate a movable body.

磁気駆動機構によって振動を発生させる機器として、第1方向で対向するコイルおよび磁石を備えた磁気駆動回路によって可動体を支持体に対して第1方向に対して交差する第2方向または第3方向に振動させるアクチュエータが提案されている。例えば、特許文献1に記載のアクチュエータにおいて、可動体はヨークを有し、ヨークには磁石が保持されている。支持体は、ホルダを有し、ホルダにはコイルが配置されている。磁気駆動機構は、磁石およびコイルで構成され、コイルへ給電されることで、磁気駆動機構が可動体を駆動する。このコイルは、直線部分と曲線部分とからなる長円形であり、直線部分は第2方向に沿って延在している。 As a device that generates vibration by a magnetic drive mechanism, a second or third direction in which a movable body intersects the support with respect to the first direction by a magnetic drive circuit provided with coils and magnets facing each other in the first direction. An actuator that vibrates the magnet has been proposed. For example, in the actuator described in Patent Document 1, the movable body has a yoke, and a magnet is held in the yoke. The support has a holder, and a coil is arranged in the holder. The magnetic drive mechanism is composed of a magnet and a coil, and the magnetic drive mechanism drives a movable body by supplying power to the coil. This coil is an oval shape composed of a straight line portion and a curved line portion, and the straight line portion extends along the second direction.

特開2019−013090号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2019-013090

近年では、アクチュエータによって振動を発生させる機器をユーザが使用した際、ユーザが感じる振動の大きさがより大きいことが望まれており、それには、アクチュエータの振動を発生させる磁気駆動機構において、可動体が移動する距離を大きくすることも重要となる。この可動体の移動距離(移動量)は、コイルの大きさや磁石の磁力の大きさ等に依存するため、たとえば、コイルを大きくする場合は、コイルの長手方向が長くなるため、アクチュエータが大きくなるという問題がある。 In recent years, when a user uses a device that generates vibration by an actuator, it is desired that the magnitude of vibration felt by the user is larger, which is a movable body in a magnetic drive mechanism that generates vibration of the actuator. It is also important to increase the distance traveled by. The moving distance (moving amount) of this movable body depends on the size of the coil, the size of the magnetic force of the magnet, and the like. Therefore, for example, when the coil is enlarged, the longitudinal direction of the coil becomes longer, so that the actuator becomes larger. There is a problem.

以上の問題に鑑みて、本願発明の課題は、アクチュエータおよび触覚デバイスを大きくすることなく、可動体の移動距離を大きく確保することにある。 In view of the above problems, an object of the present invention is to secure a large moving distance of a movable body without increasing the actuator and the tactile device.

上記課題を解決するために、本発明のアクチュエータは、支持体と、可動体と、前記支持体および前記可動体に接続された接続体と、前記支持体および前記可動体の一方側に配置された磁石と、前記支持体および前記可動体の他方側に配置されるとともに、第1方向で前記磁石と対向するコイルとを有する磁気駆動回路とを備え、前記支持体は、前記第1方向と直交する第2方向において対向する一対の第1側辺部と、前記第1方向および前記第2方向に対して直交する第3方向において対向する一対の第2側辺部と、を有し、前記コイルは、前記第1方向から見たときに、前記第2方向および前記第3方向に対して斜めに交差する第4方向と直交する第5方向に延在する長円形であり、前記磁石は前記第4方向に着磁され、前記磁気駆動回路は、前記可動体を前記支持体に対して前記第4方向に駆動することを特徴とする。 In order to solve the above problems, the actuator of the present invention is arranged on one side of the support, the movable body, the support and the connection body connected to the movable body, and the support and the movable body. The support is provided with a magnetic drive circuit that is arranged on the other side of the support and the movable body and has a coil that faces the magnet in the first direction, and the support is in the first direction. It has a pair of first side sides facing each other in a second direction orthogonal to each other, and a pair of second side sides facing each other in a third direction orthogonal to the first direction and the second direction. The coil is an oval extending in a fifth direction orthogonal to a fourth direction diagonally intersecting the second direction and the third direction when viewed from the first direction, and the magnet. Is magnetized in the fourth direction, and the magnetic drive circuit is characterized in that the movable body is driven in the fourth direction with respect to the support.

本発明では、支持体は、第1方向と直交する第2方向において対向する一対の第1側辺部と、第1方向と直交するとともに第2方向と交差する第3方向において対向する一対の第2側辺部とを有し、磁気駆動回路は、可動体を支持体に対し、第2方向および第3方向とは異なる第4方向に駆動し、コイルは、第4方向に直交する第5方向に延びる長円形であり、磁石は、第4方向に着磁されている。したがって、このアクチュエータにおいては、磁気駆動回路が第4方向に駆動するため、可動体の移動距離(移動量)を大きく確保す
ることができる。
In the present invention, the support has a pair of first side sides facing each other in the second direction orthogonal to the first direction, and a pair of supports facing each other in the third direction orthogonal to the first direction and intersecting the second direction. Having a second side side portion, the magnetic drive circuit drives the movable body with respect to the support in a fourth direction different from the second direction and the third direction, and the coil is orthogonal to the fourth direction. It is an oval extending in five directions, and the magnet is magnetized in the fourth direction. Therefore, in this actuator, since the magnetic drive circuit is driven in the fourth direction, it is possible to secure a large movement distance (movement amount) of the movable body.

本発明において、前記コイルは、前記第1方向から見たときに前記第5方向に延在する直線部分を有し、前記磁石は、前記第1方向から見たときに前記コイルの前記直線部分の少なくとも一部と重なることが好ましい。このようにすれば、磁気駆動回路が発生させる第4方向への駆動力を効率的に大きくすることができる。 In the present invention, the coil has a linear portion extending in the fifth direction when viewed from the first direction, and the magnet has the linear portion of the coil when viewed from the first direction. It is preferable that it overlaps with at least a part of. In this way, the driving force generated by the magnetic driving circuit in the fourth direction can be efficiently increased.

本発明において、前記接続体は、弾性体または粘弾性体であり、前記第2方向および前記第3方向の少なくともいずれか一方において前記支持体と前記可動体との間に配置される態様を採用することができる。 In the present invention, the connecting body is an elastic body or a viscoelastic body, and adopts an embodiment in which the connecting body is arranged between the support and the movable body in at least one of the second direction and the third direction. can do.

本発明において、前記接続体は、前記可動体が前記支持体に対して前記第2方向に振動する第1振動系を構成し、かつ、前記可動体が前記支持体に対して前記第3方向に振動する第2振動系を構成し、前記第1振動系の共振周波数と、前記第2振動系の共振周波数とが異なることが好ましい。このようにすれば、可動体が第2方向に振動する際と、第3方向に振動する際とでは、可動体を振動させる振動系の共振周波数が異なる。したがって、接続体によって、共振周波数が異なる複数の振動系を構成できる。また、共振周波数だけでなく、振動の方向も異なる。したがって、簡素な構成で、2種類の共振周波数および2種類の方向の振動を出力することができる。 In the present invention, the connecting body constitutes a first vibration system in which the movable body vibrates in the second direction with respect to the support, and the movable body vibrates in the third direction with respect to the support. It is preferable that the second vibration system vibrates in a similar manner, and the resonance frequency of the first vibration system is different from the resonance frequency of the second vibration system. In this way, the resonance frequency of the vibration system that vibrates the movable body differs between when the movable body vibrates in the second direction and when it vibrates in the third direction. Therefore, a plurality of vibration systems having different resonance frequencies can be configured depending on the connection body. Moreover, not only the resonance frequency but also the direction of vibration is different. Therefore, it is possible to output vibrations of two types of resonance frequencies and two types of directions with a simple configuration.

本発明において、前記可動体は、ヨークを有し、前記ヨークは、前記磁石を位置決めする位置決め部を有することが好ましい。このようにすれば、磁石をヨークに位置決めすることが容易となる。 In the present invention, it is preferable that the movable body has a yoke, and the yoke has a positioning portion for positioning the magnet. In this way, it becomes easy to position the magnet on the yoke.

本発明において、前記ヨークは、前記第1方向で対向する一対の板部と、前記一対の板部の前記第2方向および前記第3方向の何れか一方の辺において前記一対の板部の間で前記一対の板部を連結する一対の連結部と、を有する態様を採用することができる。 In the present invention, the yoke is formed between the pair of plate portions facing each other in the first direction and the pair of plate portions on either side of the pair of plate portions in either the second direction or the third direction. It is possible to adopt an embodiment having a pair of connecting portions for connecting the pair of plate portions.

本発明において、前記ヨークは、前記第1方向に重ねて配置された第1ヨークおよび第2ヨークからなり、前記第1ヨークおよび前記第2ヨークは同一形状であることが好ましい。このようにすれば、ヨークを構成する第1ヨークおよび第2ヨークを共通とすることができるので、部品点数を削減することができる。 In the present invention, the yoke is composed of a first yoke and a second yoke arranged so as to be overlapped in the first direction, and it is preferable that the first yoke and the second yoke have the same shape. By doing so, the first yoke and the second yoke constituting the yoke can be shared, so that the number of parts can be reduced.

本発明において、前記支持体は、前記一対の連結部の間で前記コイルを保持するコイルホルダを有し、前記接続体は、前記一対の連結部と前記コイルホルダとの各間に配置されることが望ましい。このようにすれば、ヨークが大きくなることで、ヨークの質量が増加する。この結果、可動体の質量が大きくなるので、アクチュエータの共振周波数を下げることができる。 In the present invention, the support has a coil holder that holds the coil between the pair of connecting portions, and the connecting body is arranged between each of the pair of connecting portions and the coil holder. Is desirable. In this way, the mass of the yoke increases as the yoke becomes larger. As a result, the mass of the movable body increases, so that the resonance frequency of the actuator can be lowered.

本発明において、前記コイルホルダは、前記コイルを収容する凹部を有することが好ましい。このようにすれば、コイルホルダでコイルを保持することが容易となる。 In the present invention, the coil holder preferably has a recess for accommodating the coil. In this way, it becomes easy to hold the coil with the coil holder.

本発明において、前記支持体は、前記可動体を収容するケースを有し、前記ケースおよび前記ヨークは、前記第2方向および前記第3方向のうち、前記接続体が配置された方向に穴または切り欠き部を有することが好ましい。このようにすれば、アクチュエータを組み立てる際に、可動体およびコイルホルダをケースに対して位置決めするための位置決め用ピンを用いることができるので、可動体およびコイルホルダがケースに対して位置決め調整することが容易となる。 In the present invention, the support has a case for accommodating the movable body, and the case and the yoke are holes or holes in the second direction and the third direction in the direction in which the connecting body is arranged. It is preferable to have a notch. In this way, when assembling the actuator, a positioning pin for positioning the movable body and the coil holder with respect to the case can be used, so that the movable body and the coil holder can be positioned and adjusted with respect to the case. Becomes easier.

本発明では、磁気駆動回路が第4方向に駆動するため、可動体の移動距離を大きく確保することができる。 In the present invention, since the magnetic drive circuit is driven in the fourth direction, a large moving distance of the movable body can be secured.

本発明の実施形態1に係るアクチュエータの外観斜視図。The external perspective view of the actuator which concerns on Embodiment 1 of this invention. 図1のアクチュエータの分解斜視図。An exploded perspective view of the actuator of FIG. 図1のアクチュエータの断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view of the actuator of FIG. ケースを取り外したアクチュエータを第1方向の他方側から見た分解斜視図。An exploded perspective view of the actuator with the case removed from the other side in the first direction. ケースを取り外したアクチュエータを第1方向の一方側Z1から見た分解斜視図。An exploded perspective view of the actuator with the case removed from one side Z1 in the first direction. コイル、コイルホルダおよび回路基板の分解斜視図。An exploded perspective view of the coil, coil holder and circuit board. コイルホルダ、接続体および磁気駆動回路の平面図。Top view of coil holder, connector and magnetic drive circuit. アクチュエータの振動特性を模式的に示す説明図。The explanatory view which shows typically the vibration characteristic of an actuator. 実施形態2のヨークの斜視図。The perspective view of the yoke of Embodiment 2. 本発明の実施形態2の第1ヨークの斜視図。The perspective view of the 1st yoke of Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施形態3のアクチュエータの断面図。Sectional drawing of the actuator of Embodiment 3 of this invention.

以下、図面を参照しながら、本発明の例示的なアクチュエータの実施形態を説明する。なお、以下の説明において、互いに直交する3つの方向を各々、第1方向Z、第2方向Xおよび第3方向Yとして説明する。また、第1方向Zからみたとき第2方向Xおよび第3方向Yに対して交差する方向を第4方向Fとし、第1方向Zからみたとき第4方向Fに対して直交する方向を第5方向Gとする。以下に説明する形態において、第4方向Fおよび第5方向Gは、第2方向Xおよび第3方向Yによって規定される仮想面と平行であるため、第1方向Zに直交する。また、第2方向Xの一方側にX1を付し、第2方向Xの他方側にX2を付し、第3方向Yの一方側にY1を付し、第3方向Yの他方側にY2を付し、第1方向Zの一方側にZ1を付し、第1方向Zの他方側にZ2を付して説明する。 Hereinafter, embodiments of the exemplary actuator of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, the three directions orthogonal to each other will be described as the first direction Z, the second direction X, and the third direction Y, respectively. Further, the direction that intersects the second direction X and the third direction Y when viewed from the first direction Z is defined as the fourth direction F, and the direction orthogonal to the fourth direction F when viewed from the first direction Z is the first direction. Let it be 5 directions G. In the embodiments described below, the fourth direction F and the fifth direction G are orthogonal to the first direction Z because they are parallel to the virtual plane defined by the second direction X and the third direction Y. Further, X1 is attached to one side of the second direction X, X2 is attached to the other side of the second direction X, Y1 is attached to one side of the third direction Y, and Y2 is attached to the other side of the third direction Y. , Z1 is attached to one side of the first direction Z, and Z2 is attached to the other side of the first direction Z.

以下に説明するアクチュエータ1は、可動体3を支持体2に対して相対移動させる磁気駆動回路10を有する。磁気駆動回路10は、磁石5と、第1方向Zで磁石5と対向するコイル6とを有する。磁気駆動回路10は、コイル6が支持体2の側に設けられ、磁石5が可動体3の側に設けられる態様、および、磁石5が支持体2の側に設けられ、コイル6が可動体3の側に設けられる態様を採用することができる。以下に説明する実施形態は、コイル6が支持体2に設けられ、磁石5が可動体3に設けられている。 The actuator 1 described below has a magnetic drive circuit 10 that moves the movable body 3 relative to the support body 2. The magnetic drive circuit 10 has a magnet 5 and a coil 6 facing the magnet 5 in the first direction Z. The magnetic drive circuit 10 has a mode in which the coil 6 is provided on the side of the support 2 and the magnet 5 is provided on the side of the movable body 3, and the magnet 5 is provided on the side of the support 2 and the coil 6 is provided on the movable body. The mode provided on the side of 3 can be adopted. In the embodiment described below, the coil 6 is provided on the support 2 and the magnet 5 is provided on the movable body 3.

[実施形態1]
図1は、本発明の実施形態1に係るアクチュエータ1の外観斜視図である。図2は、図1のアクチュエータ1の分解斜視図である。図3は、図1のアクチュエータ1の断面図である。図4は、ケース9を取り外したアクチュエータ1を第1方向Zの他方側Z2から見た分解斜視図である。図5は、ケース9を取り外したアクチュエータ1を第1方向Zの一方側Z1から見た分解斜視図である。図6は、コイル6、コイルホルダ7および回路基板11の分解斜視図である。図7は、コイルホルダ7、接続体4および磁気駆動回路10の平面図である。
[Embodiment 1]
FIG. 1 is an external perspective view of the actuator 1 according to the first embodiment of the present invention. FIG. 2 is an exploded perspective view of the actuator 1 of FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view of the actuator 1 of FIG. FIG. 4 is an exploded perspective view of the actuator 1 from which the case 9 has been removed as viewed from the other side Z2 in the first direction Z. FIG. 5 is an exploded perspective view of the actuator 1 from which the case 9 has been removed as viewed from one side Z1 of the first direction Z. FIG. 6 is an exploded perspective view of the coil 6, the coil holder 7, and the circuit board 11. FIG. 7 is a plan view of the coil holder 7, the connector 4, and the magnetic drive circuit 10.

(全体構成)
図1および図2に示すように、本発明の実施形態1のアクチュエータは、多角形のケース9を含む支持体2と、ケース9の内部に収容された可動体3とを有する。図3に示すように、可動体3は、可動体3と支持体2との間に配置された接続体4を介して、支持体2に支持される。接続体4は、弾性体または粘弾性体からなり、可動体3は、支持体2に対して、第2方向Xおよび第3方向Yに相対的に移動可能に支持される。本形態では、接続
体4は粘弾性体からなる。
(overall structure)
As shown in FIGS. 1 and 2, the actuator of the first embodiment of the present invention has a support 2 including a polygonal case 9, and a movable body 3 housed inside the case 9. As shown in FIG. 3, the movable body 3 is supported by the support body 2 via a connecting body 4 arranged between the movable body 3 and the support body 2. The connecting body 4 is made of an elastic body or a viscoelastic body, and the movable body 3 is supported so as to be relatively movable in the second direction X and the third direction Y with respect to the support body 2. In this embodiment, the connecting body 4 is made of a viscoelastic body.

支持体2は、第2方向Xにおいて対向する一対の第1側辺部21と、第3方向Yにおいて対向する一対の第2側辺部22とを有する。すなわち、図1に示すように、アクチュエータ1は、第3方向Yに長手方向を向けた直方体形状である。支持体2は、コイル6、コイルホルダ7、ケース9および回路基板11を有する。可動体3は、第3方向Yに長手方向を向けた形状である。可動体3は、磁石5(図4、図5参照)およびヨーク8を有する。 The support 2 has a pair of first side sides 21 facing each other in the second direction X and a pair of second side sides 22 facing each other in the third direction Y. That is, as shown in FIG. 1, the actuator 1 has a rectangular parallelepiped shape in which the longitudinal direction is directed to the third direction Y. The support 2 has a coil 6, a coil holder 7, a case 9, and a circuit board 11. The movable body 3 has a shape in which the longitudinal direction is directed to the third direction Y. The movable body 3 has a magnet 5 (see FIGS. 4 and 5) and a yoke 8.

磁石5とコイル6は、可動体3を第4方向Fに駆動する磁気駆動回路10(図7を参照)を構成する。後述するように、本形態では、接続体4は、可動体3が支持体2に対して第2方向Xに振動する第1振動系を構成し、かつ、可動体3が支持体2に対して第3方向Yに振動する第2振動系を構成し、第1振動系の共振周波数と、第2振動系の共振周波数とが異なることから、磁気駆動回路10が可動体3を第4方向Fに駆動した際、アクチュエータ1は、第2方向Xおよび第3方向Yの振動を出力する。本形態では、磁気駆動回路10が第3方向Yに2組並んでいる。接続体4は、第1接続体41および第2接続体42を有する。 The magnet 5 and the coil 6 form a magnetic drive circuit 10 (see FIG. 7) that drives the movable body 3 in the fourth direction F. As will be described later, in the present embodiment, the connecting body 4 constitutes a first vibration system in which the movable body 3 vibrates in the second direction X with respect to the support body 2, and the movable body 3 with respect to the support body 2. The magnetic drive circuit 10 moves the movable body 3 in the fourth direction because the resonance frequency of the first vibration system and the resonance frequency of the second vibration system are different from each other to form the second vibration system that vibrates in the third direction Y. When driven to F, the actuator 1 outputs vibrations in the second direction X and the third direction Y. In this embodiment, two sets of magnetic drive circuits 10 are arranged in the third direction Y. The connection body 4 has a first connection body 41 and a second connection body 42.

アクチュエータ1は、可動体3が第2方向Xまたは第3方向Yに振動することにより、アクチュエータ1や、アクチュエータ1を取り付けた機器等を利用する者に触覚を与える触覚デバイスとして使用することができる。例えば、アクチュエータ1は、ゲーム機の操作部材、操作パネル、自動車のハンドルや座席等に組み込んで使用することができる。アクチュエータ1を触覚デバイスとして使用する際、可動体3が第2方向Xに振動する際の共振周波数fA(図8参照)と、可動体3が第3方向Yに振動する際の共振周波数fB(図8参照)とが異なるため、コイル6に印加する交流波形の周波数を調整して、可動体3を2種類の方向および周波数で振動させることができる。したがって、利用者に2種類の異なる振動を体感させることができる。また、コイル6に印加する交流波形を調整して、可動体3が一方側に移動する加速度と、可動体3が他方側に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、方向性を有する振動を体感することができる。 The actuator 1 can be used as a tactile device that gives a tactile sensation to a person who uses the actuator 1 or a device to which the actuator 1 is attached by vibrating the movable body 3 in the second direction X or the third direction Y. .. For example, the actuator 1 can be used by being incorporated into an operation member of a game machine, an operation panel, a steering wheel or a seat of an automobile, or the like. When the actuator 1 is used as a tactile device, the resonance frequency fA (see FIG. 8) when the movable body 3 vibrates in the second direction X and the resonance frequency fB (see FIG. 8) when the movable body 3 vibrates in the third direction Y (see FIG. 8). Since it is different from (see FIG. 8), the frequency of the AC waveform applied to the coil 6 can be adjusted to vibrate the movable body 3 in two different directions and frequencies. Therefore, the user can experience two types of different vibrations. Further, if the AC waveform applied to the coil 6 is adjusted so that the acceleration at which the movable body 3 moves to one side and the acceleration at which the movable body 3 moves to the other side are different, the user can change the directionality. You can experience the vibration that you have.

(可動体3)
図4および図5に示すように、可動体3において、磁石5は、第1磁石51および第2磁石52を有する。第1磁石51は、コイル6に第1方向Zの一方側Z1で対向する。第2磁石52は、コイル6に第1方向Zの他方側Z2で対向する。第1磁石51および第2磁石52において、少なくともコイル6と対向する面は、第2方向Xおよび第3方向Yと交差する第4方向Fの一方側と他方側とが異なる極に着磁されている。本形態において、第1磁石51の少なくともコイル6と対向する面は、第2方向Xの一方側X1かつ第3方向Yの他方側Y2がN極に着磁され、第2方向Xの他方側X2かつ第3方向Yの一方側Y1がS極が着磁されている。これに対して、第2磁石52の少なくともコイル6と対向する面は、第2方向Xの他方側X2かつ第3方向Yの一方側Y1がN極に着磁され、第2方向Xの一方側X1かつ第3方向Yの他方側Y2がS極に着磁されている。従って、第1磁石51と第2磁石52とにおいて、コイル6を介して互いに対向する面は異なる極になっている。本形態では、磁気駆動回路10を2組有するため、第1磁石51および第2磁石52は、第4方向Fに傾いた状態で第3方向Yに2個並んでいる。
(Movable body 3)
As shown in FIGS. 4 and 5, in the movable body 3, the magnet 5 has a first magnet 51 and a second magnet 52. The first magnet 51 faces the coil 6 on one side Z1 of the first direction Z. The second magnet 52 faces the coil 6 on the other side Z2 of the first direction Z. In the first magnet 51 and the second magnet 52, at least the surface facing the coil 6 is magnetized to a pole on which one side and the other side of the fourth direction F intersecting the second direction X and the third direction Y are different. ing. In the present embodiment, the surface of the first magnet 51 facing at least the coil 6 has one side X1 of the second direction X and the other side Y2 of the third direction Y magnetized to the N pole, and the other side of the second direction X. The S pole is magnetized on one side Y1 of X2 and the third direction Y. On the other hand, on the surface of the second magnet 52 facing at least the coil 6, the other side X2 of the second direction X and one side Y1 of the third direction Y are magnetized to the N pole, and one of the second directions X is magnetized. The side X1 and the other side Y2 in the third direction Y are magnetized to the S pole. Therefore, in the first magnet 51 and the second magnet 52, the surfaces facing each other via the coil 6 are different poles. In this embodiment, since the magnetic drive circuits 10 are provided in two sets, the first magnet 51 and the second magnet 52 are arranged in the third direction Y in a state of being tilted in the fourth direction F.

ヨーク8は磁性材料からなり、本形態ではプレス加工により形成される。ヨーク8は、磁石5を保持する。図4、および図5に示すように、ヨーク8は、第1ヨーク81と、第1ヨーク81の第1方向Zの他方側Z2に位置する第2ヨーク82とによって構成される。第1ヨーク81は、第1板部811と、第1板部811の第3方向Yの両端の縁から第1方向Zの他方側Z2に折れ曲がった連結部812とを有する。第2ヨーク82は、平板
状の第2板部821を有する。
The yoke 8 is made of a magnetic material and is formed by press working in this embodiment. The yoke 8 holds the magnet 5. As shown in FIGS. 4 and 5, the yoke 8 is composed of a first yoke 81 and a second yoke 82 located on the other side Z2 of the first yoke 81 in the first direction Z. The first yoke 81 has a first plate portion 811 and a connecting portion 812 bent from the edges of both ends of the first plate portion 811 in the third direction Y to the other side Z2 in the first direction Z. The second yoke 82 has a flat plate-shaped second plate portion 821.

図4に示すように、第1磁石51は、第1ヨーク81の第1板部811の第1方向Zの他方側Z2の面に保持される。この際、第1磁石51は、第1板部811に設けられた位置決め部83により、第1板部811に位置決めされる。本形態では、位置決め部83は、半抜き加工により形成された複数のダボ831からなる。第1磁石51は、ダボ831で区画された部分に嵌め込まれることで、第1磁石51は、第1板部811に位置決めされる。 As shown in FIG. 4, the first magnet 51 is held on the surface of the first plate portion 811 of the first yoke 81 on the other side Z2 in the first direction Z. At this time, the first magnet 51 is positioned on the first plate portion 811 by the positioning portion 83 provided on the first plate portion 811. In this embodiment, the positioning portion 83 is composed of a plurality of dowels 831 formed by half-cutting. The first magnet 51 is fitted into the portion partitioned by the dowel 831, so that the first magnet 51 is positioned on the first plate portion 811.

図5に示すように、第2磁石52は、第2ヨーク82の第2板部821の第1方向Zの一方側Z1の面に保持される。この際、第2磁石52は、第2板部821に設けられた位置決め部83により、第2板部821に位置決めされる。本形態では、位置決め部83は、半抜き加工により形成された複数のダボ831からなる。第2磁石52は、ダボ831で区画された部分に嵌め込まれることで、第2磁石52は、第2板部821に位置決めされる。 As shown in FIG. 5, the second magnet 52 is held on the surface of one side Z1 of the second plate portion 821 of the second yoke 82 in the first direction Z. At this time, the second magnet 52 is positioned on the second plate portion 821 by the positioning portion 83 provided on the second plate portion 821. In this embodiment, the positioning portion 83 is composed of a plurality of dowels 831 formed by half-cutting. The second magnet 52 is fitted into the portion partitioned by the dowel 831, so that the second magnet 52 is positioned on the second plate portion 821.

連結部812は、第3方向Yの一方側Y1に配置された第1連結部8121と、第3方向Yの他方側Y2に配置された第2連結部8122とを有する。第1連結部8121および第2連結部8122の第2方向Xの両端には、切り欠き部814が設けられる。第1連結部8121において、第1連結部8121の第2方向Xの一方側X1の端面に設けられた切り欠き部814は、第1方向Zの一方側Z1に寄っており、第1連結部8121の第2方向Xの他方側X2の端部に設けられた切り欠き部814は、第1方向Zの他方側Z2に寄っている。第2連結部8122において、第2連結部8122の第2方向Xの一方側X1の端面に設けられた切り欠き部814は、第1方向Zの他方側Z2に寄っており、第2連結部8122の第2方向Xの他方側X2の端部に設けられた切り欠き部814は、第1方向Zの一方側Z1に寄っている。 The connecting portion 812 has a first connecting portion 8121 arranged on one side Y1 of the third direction Y and a second connecting portion 8122 arranged on the other side Y2 of the third direction Y. Notches 814 are provided at both ends of the first connecting portion 8121 and the second connecting portion 8122 in the second direction X. In the first connecting portion 8121, the notch portion 814 provided on the end surface of one side X1 of the second direction X of the first connecting portion 8121 is closer to one side Z1 of the first direction Z, and the first connecting portion 8121. The notch 814 provided at the end of the other side X2 of the second direction X of the 8121 is closer to the other side Z2 of the first direction Z. In the second connecting portion 8122, the notch portion 814 provided on the end surface of one side X1 of the second direction X of the second connecting portion 8122 is closer to the other side Z2 of the first direction Z, and is closer to the other side Z2 of the first direction Z. The notch 814 provided at the end of the other side X2 of the second direction X of the 8122 is closer to the one side Z1 of the first direction Z.

第1連結部8121、および第2連結部8122の第1方向Zの他方側Z2の端部の中央部分には、凸部813が設けられる。第2板部821の第3方向Yの両端部の中央部分には凹部822が各々、設けられる。第1ヨーク81と第2ヨーク82は、凸部813と凹部822とが嵌合することで、連結される。そして、凸部813および凹部822を溶接等で固定することにより、第1ヨーク81および第2ヨーク82は連結されている。 A convex portion 813 is provided at the central portion of the ends of the first connecting portion 8121 and the other side Z2 of the second connecting portion 8122 in the first direction Z. Recesses 822 are provided at the central portions of both ends of the second plate portion 821 in the third direction Y. The first yoke 81 and the second yoke 82 are connected by fitting the convex portion 813 and the concave portion 822. Then, the first yoke 81 and the second yoke 82 are connected by fixing the convex portion 813 and the concave portion 822 by welding or the like.

(支持体2)
図1および図2に示すように、支持体2において、ケース9は、第1ケース部材91と、第2ケース部材92とを有する。第1ケース部材91と第2ケース部材92との間には、可動体3、コイル6およびコイルホルダ7が収容される。ケース9の第2方向Xの一方側X1の側面には、開口部93が形成され、開口部93から回路基板11が露出する。第1ケース部材91は、第3方向Yを向く底板部911と、底板部911の端縁から第3方向Yの他方側Y2に突出する側板部912とを有する。底板部911には、2つの貫通穴913が設けられる。第2方向Xの一方側X1の側板部912の中央部分には、切り欠き部914が設けられる。同様に、第2ケース部材92は、第3方向Yを向く底板部921と、底板部921の端縁から第3方向Yの一方側Y1に突出する側板部922とを有する。底板部921には、2つの貫通穴923が設けられる。第2方向Xの一方側X1の側板部922の中央部には、切り欠き部924が設けられる。本形態では、第1ケース部材91の側板部912、および第2ケース部材92の側板部922のうち、第2方向Xにおいて対向する部分によって、支持体2の一対の第1側辺部21が構成される。また、第1ケース部材91の底板部911、および第2ケース部材92の底板部921によって、支持体2の一対の第2側辺部22が構成される。
(Support 2)
As shown in FIGS. 1 and 2, in the support 2, the case 9 has a first case member 91 and a second case member 92. A movable body 3, a coil 6, and a coil holder 7 are housed between the first case member 91 and the second case member 92. An opening 93 is formed on the side surface of one side X1 of the second direction X of the case 9, and the circuit board 11 is exposed from the opening 93. The first case member 91 has a bottom plate portion 911 facing the third direction Y and a side plate portion 912 protruding from the edge of the bottom plate portion 911 to the other side Y2 in the third direction Y. The bottom plate portion 911 is provided with two through holes 913. A notch 914 is provided in the central portion of the side plate portion 912 on one side X1 of the second direction X. Similarly, the second case member 92 has a bottom plate portion 921 facing the third direction Y and a side plate portion 922 protruding from the end edge of the bottom plate portion 921 to one side Y1 of the third direction Y. The bottom plate portion 921 is provided with two through holes 923. A notch 924 is provided at the center of the side plate portion 922 of one side X1 of the second direction X. In the present embodiment, of the side plate portion 912 of the first case member 91 and the side plate portion 922 of the second case member 92, the pair of first side side portions 21 of the support 2 are formed by the portions facing each other in the second direction X. It is composed. Further, the bottom plate portion 911 of the first case member 91 and the bottom plate portion 921 of the second case member 92 form a pair of second side side portions 22 of the support body 2.

貫通穴913は、第2方向Xにおいて、第1ヨーク81の切り欠き部814に対応する位置に設けられ、貫通穴923は、第2方向Xにおいて、第2ヨーク82の切り欠き部814に対応する位置に設けられる。具体的には、アクチュエータ1を組み立てる際に、可動体3およびコイルホルダ7をケース9に対して位置決めするために、位置決め用ピンが貫通穴913または貫通穴923から第3方向Yに挿入される。この時、貫通穴913、923から挿入された位置決め用ピンの側面が、第1ヨーク81の切り欠き部814および第2ヨーク82の切り欠き部814と嵌合する位置となるように、貫通穴913、923が設けられる。 The through hole 913 is provided at a position corresponding to the notch 814 of the first yoke 81 in the second direction X, and the through hole 923 corresponds to the notch 814 of the second yoke 82 in the second direction X. It is provided at the position to be used. Specifically, when assembling the actuator 1, a positioning pin is inserted from the through hole 913 or the through hole 923 in the third direction Y in order to position the movable body 3 and the coil holder 7 with respect to the case 9. .. At this time, the through hole is set so that the side surface of the positioning pin inserted from the through holes 913 and 923 is at a position where it fits with the notch 814 of the first yoke 81 and the notch 814 of the second yoke 82. 913 and 923 are provided.

第1ケース部材91および第2ケース部材92は、第2方向Xで組付けられた状態で、溶接等により固定される。第1ケース部材91および第2ケース部材92が固定されると、切り欠き部914および切り欠き部924は、開口部93を構成する。 The first case member 91 and the second case member 92 are fixed by welding or the like in a state of being assembled in the second direction X. When the first case member 91 and the second case member 92 are fixed, the notch 914 and the notch 924 form an opening 93.

コイルホルダ7は、樹脂材料からなる。図4、図5、図6に示すように、コイルホルダ7は、コイル6と回路基板11とを保持する。コイルホルダ7は、第1方向Zから見た形状が長方形の本体部71と、本体部71の端縁から第1方向Zに突出する側面部72とを有する。本体部71には、第1方向Zの一方側Z1に凹んだ凹部73を有する。凹部73には、コイル6が配置される。凹部73は、第4方向Fに直交する第5方向Gが長手方向となる長円形であり、第4方向Fに直交する第5方向Gが長くなっている。凹部73は、中央部分が第1方向Zに貫通するとともに、第4方向Fの両端部分に底部731を有する。底部731は、コイル6と第1方向Zで当接することで、コイル6は凹部73に対して第1方向Zにおいて位置決めされる。 The coil holder 7 is made of a resin material. As shown in FIGS. 4, 5, and 6, the coil holder 7 holds the coil 6 and the circuit board 11. The coil holder 7 has a main body portion 71 having a rectangular shape when viewed from the first direction Z, and a side surface portion 72 projecting from the edge of the main body portion 71 in the first direction Z. The main body 71 has a recess 73 recessed in one side Z1 of the first direction Z. A coil 6 is arranged in the recess 73. The recess 73 has an oval shape in which the fifth direction G orthogonal to the fourth direction F is the longitudinal direction, and the fifth direction G orthogonal to the fourth direction F is long. The recess 73 has a central portion penetrating in the first direction Z and bottom portions 731 at both end portions in the fourth direction F. The bottom portion 731 comes into contact with the coil 6 in the first direction Z, so that the coil 6 is positioned with respect to the recess 73 in the first direction Z.

側面部72は、第2方向Xの一方側X1に位置する側壁721と、第2方向Xの他方側X2に位置する側壁722と、第3方向Yの一方側Y1に位置する側壁723と、第3方向Yの他方側Y2に位置する側壁724とを有する。側壁722には、第2方向Xの一方側X1に凹んだ位置決め段部740が設けられる。位置決め段部740には、回路基板11が第2方向Xの一方側X1から嵌め込まれる。 The side surface portion 72 includes a side wall 721 located on one side X1 of the second direction X, a side wall 722 located on the other side X2 of the second direction X, and a side wall 723 located on one side Y1 of the third direction Y. It has a side wall 724 located on the other side Y2 of the third direction Y. The side wall 722 is provided with a positioning step portion 740 recessed on one side X1 of the second direction X. The circuit board 11 is fitted into the positioning step portion 740 from one side X1 of the second direction X.

側壁723の第2方向Xの両端部には、第3方向Yの一方側Y1に突出するとともに、第1方向Zに延びる一対の第1柱状部75が設けられる。図3に示すように、第1柱状部75の第1方向Zの長さは、第1ケース部材91の内壁部に第1柱状部75が嵌合する寸法長さである。同様に、側壁724の第2方向Xの両端部には、第3方向Yの他方側Y2に突出するとともに、第1方向Zに延びる一対の第2柱状部76が設けられる。図3に示すように、第2柱状部76の第1方向Zの長さは、第2ケース部材92の内壁部に第2柱状部76が嵌合する寸法長さである At both ends of the side wall 723 in the second direction X, a pair of first columnar portions 75 projecting to one side Y1 of the third direction Y and extending in the first direction Z are provided. As shown in FIG. 3, the length of the first columnar portion 75 in the first direction Z is the dimensional length at which the first columnar portion 75 fits into the inner wall portion of the first case member 91. Similarly, at both ends of the side wall 724 in the second direction X, a pair of second columnar portions 76 projecting to the other side Y2 of the third direction Y and extending in the first direction Z are provided. As shown in FIG. 3, the length of the second columnar portion 76 in the first direction Z is the dimensional length at which the second columnar portion 76 fits into the inner wall portion of the second case member 92.

コイルホルダ7において、側壁723は、ヨーク8の第1連結部8121と第3方向Yの他方側Y2で対向し、側壁724は、ヨーク8の第2連結部8122と第3方向Yの一方側Y1で対向する。したがって、側壁723および側壁724は、可動体3が第3方向Yに移動する際の可動範囲を規定する度当たり部として機能する。 In the coil holder 7, the side wall 723 faces the first connecting portion 8121 of the yoke 8 on the other side Y2 of the third direction Y, and the side wall 724 is one side of the second connecting portion 8122 of the yoke 8 and the third direction Y. Oppose at Y1. Therefore, the side wall 723 and the side wall 724 function as a hit portion that defines a movable range when the movable body 3 moves in the third direction Y.

コイルホルダ7において、第1柱状部75は、ヨーク8の第1連結部8121と第2方向Xで対向し、第2柱状部76は、ヨーク8の第2連結部8122と第2方向Xで対向する。したがって、第1柱状部75および第2柱状部76は、可動体3が第2方向Xに移動する際の可動範囲を規定する度当たり部として機能する。 In the coil holder 7, the first columnar portion 75 faces the first connecting portion 8121 of the yoke 8 in the second direction X, and the second columnar portion 76 faces the second connecting portion 8122 of the yoke 8 in the second direction X. opposite. Therefore, the first columnar portion 75 and the second columnar portion 76 function as a percussion portion that defines a movable range when the movable body 3 moves in the second direction X.

コイル6は、接着剤によって、コイルホルダ7の凹部73に固定される。コイル6は、第4方向Fに直交する第5方向Gが長手方向である長円形であり、第4方向Fに直交する第5方向Gが長くなっている。すなわち、第2方向Xおよび第3方向Yに延びる支持体2
および可動体3の形状に対して、コイル6の長手方向が第4方向Fに直交する第5方向Gとなっているので、長手方向が第2方向Xまたは第3方向Yに延びるコイルと比べて、本形態のコイル6の長手方向は大きい。コイル6は、直線部分61と曲線部分62とを有する。直線部分61は、第4方向Fに直交する第5方向Gに延びる。コイル6は、第2方向Xの一方側X1から引き出された引き出し部分63を有する。引き出し部分63は、回路基板11に電気的に接続する。
The coil 6 is fixed to the recess 73 of the coil holder 7 by an adhesive. The coil 6 has an oval shape in which the fifth direction G orthogonal to the fourth direction F is the longitudinal direction, and the fifth direction G orthogonal to the fourth direction F is long. That is, the support 2 extending in the second direction X and the third direction Y
And since the longitudinal direction of the coil 6 is the fifth direction G orthogonal to the fourth direction F with respect to the shape of the movable body 3, the longitudinal direction is compared with the coil extending in the second direction X or the third direction Y. Therefore, the coil 6 of this embodiment has a large longitudinal direction. The coil 6 has a straight portion 61 and a curved portion 62. The straight line portion 61 extends in the fifth direction G orthogonal to the fourth direction F. The coil 6 has a drawer portion 63 drawn from one side X1 of the second direction X. The lead-out portion 63 is electrically connected to the circuit board 11.

アクチュエータ1は、回路基板11を介して外部(上位の機器)からコイル6に給電する。回路基板11は、コイルホルダ7に保持されて、ケース9の開口部93から露出する。 The actuator 1 supplies power to the coil 6 from the outside (upper device) via the circuit board 11. The circuit board 11 is held by the coil holder 7 and exposed from the opening 93 of the case 9.

(接続体)
図2に示すように、可動体3は、可動体3および支持体2に接続された第1接続体41および第2接続体42によって、支持体2に対して第2方向Xおよび第3方向Yに相対移動可能に支持される。第1接続体41は、第1ケース部材91とヨーク8の第1連結部8121との間に配置され、接着剤等により固定される。第2接続体42は、第2ケース部材92とヨーク8の第2連結部8122との間に配置され、接着剤等により固定される。第1接続体41および第2接続体42は、第3方向Yに圧縮された状態にある。
(Connector)
As shown in FIG. 2, the movable body 3 has a second direction X and a third direction with respect to the support body 2 by the first connecting body 41 and the second connecting body 42 connected to the movable body 3 and the support body 2. It is supported so that it can move relative to Y. The first connecting body 41 is arranged between the first case member 91 and the first connecting portion 8121 of the yoke 8, and is fixed by an adhesive or the like. The second connecting body 42 is arranged between the second case member 92 and the second connecting portion 8122 of the yoke 8, and is fixed by an adhesive or the like. The first connecting body 41 and the second connecting body 42 are in a state of being compressed in the third direction Y.

可動体3が第2方向Xに振動する際、アクチュエータ1は、第1接続体41および第2接続体42がせん断方向に変形する第1振動系を構成する。可動体3が第3方向Yに振動する際、アクチュエータ1は、第1接続体41および第2接続体42が伸縮方向に変形する第2振動系を構成する。 When the movable body 3 vibrates in the second direction X, the actuator 1 constitutes a first vibration system in which the first connecting body 41 and the second connecting body 42 are deformed in the shearing direction. When the movable body 3 vibrates in the third direction Y, the actuator 1 constitutes a second vibration system in which the first connecting body 41 and the second connecting body 42 are deformed in the expansion / contraction direction.

第1接続体41および第2接続体42は、伸縮方向に変形する際のばね定数とせん断方向に変形する際のばね定数が異なる。本形態では、第1接続体41および第2接続体42は粘弾性体である。例えば、第1接続体41および第2接続体42は、シリコーンゲル等からなるゲル状部材である。シリコーンゲルは、伸縮方向に変形する際のばね定数が、せん断方向に変形する際のばね定数の3倍程度になる粘弾性体である。粘弾性体は、厚さ方向と交差する方向(せん断方向)に変形する場合、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分よりも線形の成分が大きい変形特性を備える。また、厚さ方向に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分よりも非線形の成分が大きい伸縮特性を備える一方、厚さ方向に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分よりも線形の成分が大きい伸縮特性を備える。 The first connecting body 41 and the second connecting body 42 have different spring constants when they are deformed in the expansion and contraction direction and when they are deformed in the shear direction. In this embodiment, the first connecting body 41 and the second connecting body 42 are viscoelastic bodies. For example, the first connecting body 41 and the second connecting body 42 are gel-like members made of silicone gel or the like. Silicone gel is a viscoelastic body in which the spring constant when deformed in the expansion and contraction direction is about three times the spring constant when deformed in the shear direction. When the viscoelastic body is deformed in the direction intersecting the thickness direction (shearing direction), the viscoelastic body is deformed in the direction of being pulled and stretched, and therefore has a deformation characteristic in which the linear component is larger than the non-linear component. Further, when the component is pressed in the thickness direction and is compressed and deformed, the non-linear component has a larger expansion / contraction characteristic than the linear component, while when the component is pulled in the thickness direction and stretches, the linear component is larger than the non-linear component. Has large expansion and contraction characteristics.

第1接続体41および第2接続体42として、天然ゴム、ジエン系ゴム(例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等)、非ジエン系ゴム(例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等)、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。 As the first connector 41 and the second connector 42, natural rubber, diene rubber (for example, styrene / butadiene rubber, isoprene rubber, butadiene rubber, chloroprene rubber, acrylonitrile / butadiene rubber, etc.), non-diene rubber (for example, Various rubber materials such as butyl rubber, ethylene / propylene rubber, ethylene / propylene / diene rubber, urethane rubber, silicone rubber, fluororubber, etc., and various rubber materials thereof and modified materials thereof may be used.

(磁気駆動回路)
図7に示すように、アクチュエータ1は、磁石5と長円形のコイル6の対からなる磁気駆動回路10を2組有する。各磁気駆動回路10は、第2方向Xおよび第3方向Yを含む面内方向であって、第2方向Xおよび第3方向Yとは異なる第4方向Fに働く駆動力を発生させる。例えば、第4方向Fは、第2方向Xおよび第3方向Yに対して45°傾いた方向である。各磁気駆動回路10において、磁石5は、コイル6と対向する面がN極とS極に着磁され、その着磁分極線50は、第4方向Fに対して直交する第5方向Gに延びる。本形態では、第4方向Fの方向に磁石5が着磁されている。第1磁石51および第2磁石
52は、第1方向Zから見たときに、第1方向Zで対向するコイル6の直線部分61の一部と重なるように配置される。
(Magnetic drive circuit)
As shown in FIG. 7, the actuator 1 has two sets of magnetic drive circuits 10 including a pair of a magnet 5 and an oval coil 6. Each magnetic drive circuit 10 generates a driving force acting in a fourth direction F, which is an in-plane direction including the second direction X and the third direction Y and is different from the second direction X and the third direction Y. For example, the fourth direction F is a direction inclined by 45 ° with respect to the second direction X and the third direction Y. In each magnetic drive circuit 10, the surface of the magnet 5 facing the coil 6 is magnetized to the north and south poles, and the magnetizing polarization line 50 is in the fifth direction G orthogonal to the fourth direction F. Extend. In this embodiment, the magnet 5 is magnetized in the fourth direction F. The first magnet 51 and the second magnet 52 are arranged so as to overlap a part of the linear portion 61 of the coils 6 facing each other in the first direction Z when viewed from the first direction Z.

(アクチュエータの位置決め調整)
アクチュエータ1を組み立てる際に、可動体3およびコイルホルダ7をケース9に対して位置決め調整を行う。位置決めするために、位置決め用ピン(不図示)が貫通穴913または貫通穴923から第3方向Yに挿入される。この時、貫通穴913、923から挿入された位置決め用ピンの側面が、第1ヨーク81の切り欠き部814および第2ヨーク82の切り欠き部814と嵌合するとともに、位置決め用ピンの先端が、コイルホルダ7と第2方向Xにおいて当接する。この結果、位置決め用ピンの位置を調整することで、可動体3およびコイルホルダ7がケース9に対して位置決め調整することが可能となる。
(Actuator positioning adjustment)
When assembling the actuator 1, the movable body 3 and the coil holder 7 are positioned and adjusted with respect to the case 9. For positioning, a positioning pin (not shown) is inserted through the through hole 913 or through hole 923 in the third direction Y. At this time, the side surface of the positioning pin inserted from the through holes 913 and 923 is fitted with the notch 814 of the first yoke 81 and the notch 814 of the second yoke 82, and the tip of the positioning pin is , Contact the coil holder 7 in the second direction X. As a result, by adjusting the position of the positioning pin, the movable body 3 and the coil holder 7 can be positioned and adjusted with respect to the case 9.

(アクチュエータの駆動方法)
図8は、アクチュエータ1の振動特性を模式的に示す説明図である。図8の横軸は磁気駆動回路10の駆動周波数fであり、コイル6へ流す駆動電流の周波数である。また、図8の縦軸は、可動体3が振動する際の加速度である。上記のように、アクチュエータ1は、可動体3が第2方向Xに振動する第1振動系を構成する場合と、可動体3が第3方向Yに振動する第2振動系を構成する場合とで、接続体4が全体として異なるばね定数で変形するように構成されている。そのため、アクチュエータ1は、第1振動系の共振周波数fAと、第2振動系の共振周波数fBとが異なり、図8に示すように、2つの共振周波数fA、fBで可動体3の加速度最大周波数が大きくなっている。
(Actuator drive method)
FIG. 8 is an explanatory diagram schematically showing the vibration characteristics of the actuator 1. The horizontal axis of FIG. 8 is the drive frequency f of the magnetic drive circuit 10, and is the frequency of the drive current flowing through the coil 6. The vertical axis of FIG. 8 is the acceleration when the movable body 3 vibrates. As described above, the actuator 1 constitutes a first vibration system in which the movable body 3 vibrates in the second direction X and a second vibration system in which the movable body 3 vibrates in the third direction Y. Therefore, the connecting body 4 is configured to be deformed with a different spring constant as a whole. Therefore, in the actuator 1, the resonance frequency fA of the first vibration system and the resonance frequency fB of the second vibration system are different, and as shown in FIG. 8, the two resonance frequencies fA and fB are the maximum acceleration frequencies of the movable body 3. Is getting bigger.

磁気駆動回路10が発生させる駆動力は、第2方向Xの成分と第3方向Yの成分を含む第4方向Fの駆動力である。したがって、磁気駆動回路10の駆動周波数を変化させると、共振周波数fAと一致あるいは共振周波数fAに近い値の駆動周波数にしたとき、可動体3が第2方向Xに大きく振動する。この結果、アクチュエータ1は、共振周波数fAの第2方向Xの振動を出力することができる。また、磁気駆動回路10の駆動周波数を共振周波数fBと一致あるいは共振周波数fBに近い値にしたとき、可動体3が第3方向Yに大きく振動する。この結果、アクチュエータ1は、共振周波数fBの第3方向Yの振動を出力することができる。よって、アクチュエータ1は、共通の磁気駆動回路10の駆動周波数を調節するだけで、異なる振動方向で、且つ、異なる周波数の振動を出力することができる。 The driving force generated by the magnetic drive circuit 10 is a driving force in the fourth direction F including a component in the second direction X and a component in the third direction Y. Therefore, when the drive frequency of the magnetic drive circuit 10 is changed, the movable body 3 vibrates greatly in the second direction X when the drive frequency is set to match the resonance frequency fA or a value close to the resonance frequency fA. As a result, the actuator 1 can output the vibration of the resonance frequency fA in the second direction X. Further, when the drive frequency of the magnetic drive circuit 10 matches the resonance frequency fB or is set to a value close to the resonance frequency fB, the movable body 3 vibrates greatly in the third direction Y. As a result, the actuator 1 can output the vibration of the resonance frequency fB in the third direction Y. Therefore, the actuator 1 can output vibrations in different vibration directions and different frequencies only by adjusting the drive frequency of the common magnetic drive circuit 10.

(本形態の主な効果)
本形態では、支持体2は、第1方向Zと直交する第2方向Xにおいて対向する一対の第1側辺部21と、第1方向Zと直交するとともに第2方向Xと交差する第3方向Yにおいて対向する一対の第2側辺部22とを有する。磁気駆動回路10は、可動体3を支持体2に対し、第2方向Xおよび第3方向Yとは異なる第4方向Fに駆動する。コイル6は、第4方向Fに直交する第5方向Gに延びる長円形である。磁石5は、第4方向Fに着磁されている。したがって、磁気駆動回路10が第4方向Fに駆動するため、可動体3の移動距離(移動量)を大きく確保することができる。また、第2方向Xにおいて対向する一対の第1側辺部21と、第3方向Yにおいて対向する一対の第2側辺部22とを有する支持体2に対して、コイル6は第4方向Fに直交する第5方向Gに延びる長円形である。このため、コイル6が第2方向Xおよび第3方向Yの何れかに延びる長円形に比べて、コイル6の長手方向の長さを大きくすることができる。この結果、アクチュエータ1において、磁気駆動回路10が発生させる第4方向Fへの駆動力を大きくすることができる。
(Main effect of this form)
In the present embodiment, the support 2 has a pair of first side edges 21 that face each other in the second direction X that is orthogonal to the first direction Z, and a third that is orthogonal to the first direction Z and intersects the second direction X. It has a pair of second side portions 22 facing each other in the direction Y. The magnetic drive circuit 10 drives the movable body 3 with respect to the support 2 in a fourth direction F different from the second direction X and the third direction Y. The coil 6 is an oval extending in the fifth direction G orthogonal to the fourth direction F. The magnet 5 is magnetized in the fourth direction F. Therefore, since the magnetic drive circuit 10 is driven in the fourth direction F, a large moving distance (moving amount) of the movable body 3 can be secured. Further, the coil 6 has a fourth direction with respect to the support 2 having a pair of first side side portions 21 facing each other in the second direction X and a pair of second side side portions 22 facing each other in the third direction Y. It is an oval extending in the fifth direction G orthogonal to F. Therefore, the length of the coil 6 in the longitudinal direction can be increased as compared with the oval shape in which the coil 6 extends in either the second direction X or the third direction Y. As a result, in the actuator 1, the driving force generated by the magnetic drive circuit 10 in the fourth direction F can be increased.

本形態では、コイル6は、第4方向Fに直交する第5方向Gに延びる直線部分61を有し、磁石5は、第1方向Zから見たときに、コイル6の直線部分61の少なくとも一部と重なる。このようにすれば、磁気駆動回路10が発生させる第4方向Fへの駆動力を効率
的に大きくすることができる。
In this embodiment, the coil 6 has a straight line portion 61 extending in the fifth direction G orthogonal to the fourth direction F, and the magnet 5 has at least a straight line portion 61 of the coil 6 when viewed from the first direction Z. It overlaps with a part. In this way, the driving force generated by the magnetic driving circuit 10 in the fourth direction F can be efficiently increased.

本形態では、接続体4は、可動体3が支持体2に対し、第2方向Xに振動する第1振動系を構成し、かつ、可動体3が支持体2に対し、第3方向Yに振動する第2振動系を構成し、第1振動系の共振周波数fAと、第2振動系の共振周波数fBとが異なる。このようにすれば、可動体3が第2方向Xに振動する際と、第3方向Yに振動する際とでは、可動体3を振動させる振動系の共振周波数が異なる。したがって、接続体4によって、共振周波数が異なる複数の振動系を構成できる。また、共振周波数だけでなく、振動の方向も異なる。したがって、簡素な構成で、2種類の共振周波数および2種類の方向の振動を出力することができる。 In the present embodiment, the connecting body 4 constitutes a first vibration system in which the movable body 3 vibrates in the second direction X with respect to the support 2, and the movable body 3 constitutes a third direction Y with respect to the support 2. The resonance frequency fA of the first vibration system and the resonance frequency fB of the second vibration system are different from each other. In this way, the resonance frequency of the vibration system that vibrates the movable body 3 differs between when the movable body 3 vibrates in the second direction X and when it vibrates in the third direction Y. Therefore, the connection body 4 can form a plurality of vibration systems having different resonance frequencies. Moreover, not only the resonance frequency but also the direction of vibration is different. Therefore, it is possible to output vibrations of two types of resonance frequencies and two types of directions with a simple configuration.

本形態では、可動体3は、ヨーク8を有し、ヨーク8は、磁石5を位置決めする位置決め部83を有する。このようにすれば、磁石5をヨーク8に位置決めすることが容易となる。 In this embodiment, the movable body 3 has a yoke 8, and the yoke 8 has a positioning portion 83 for positioning the magnet 5. In this way, it becomes easy to position the magnet 5 on the yoke 8.

本発明において、ヨーク8は、第1方向Zで分割される、第1ヨーク81および第2ヨーク82からなり、第1ヨーク81および第2ヨーク82は同一形状である。このようにすれば、ヨーク8を構成する第1ヨーク81および第2ヨーク82を共通とすることができるので、部品点数を削減することができる。 In the present invention, the yoke 8 is composed of a first yoke 81 and a second yoke 82 divided in the first direction Z, and the first yoke 81 and the second yoke 82 have the same shape. By doing so, the first yoke 81 and the second yoke 82 constituting the yoke 8 can be shared, so that the number of parts can be reduced.

本形態では、コイルホルダ7は、コイル6を収容する凹部822を有する。このようにすれば、コイルホルダ7でコイル6を保持することが容易となる。 In this embodiment, the coil holder 7 has a recess 822 that houses the coil 6. In this way, it becomes easy to hold the coil 6 in the coil holder 7.

本形態では、支持体2は、可動体3を収容するケース9を有し、ケース9は、第2方向Xおよび第3方向Yのうち、接続体4が配置された方向に貫通穴913、923を有し、ヨーク8は、第2方向Xおよび第3方向Yのうち、接続体4が配置された方向に切り欠き部814を有する。このようにすれば、アクチュエータ1を組み立てる際に、可動体3およびコイルホルダ7をケース9に対して位置決めするための位置決め用ピンを用いることができるので、可動体3およびコイルホルダ7がケース9に対して位置決め調整することが容易となる。 In the present embodiment, the support 2 has a case 9 for accommodating the movable body 3, and the case 9 has a through hole 913 in the direction in which the connecting body 4 is arranged among the second direction X and the third direction Y. It has 923, and the yoke 8 has a notch 814 in the direction in which the connecting body 4 is arranged in the second direction X and the third direction Y. In this way, when assembling the actuator 1, a positioning pin for positioning the movable body 3 and the coil holder 7 with respect to the case 9 can be used, so that the movable body 3 and the coil holder 7 can be used as the case 9. It becomes easy to position and adjust the position.

[実施形態2]
図9は、本発明の実施形態2のヨーク8の斜視図である。図10は、実施形態2の第1ヨーク86の斜視図である。実施形態2では、上記形態のヨーク8の第1ヨーク81および第2ヨーク82の形状とは異なる形状であり、他の構成は同一である。
[Embodiment 2]
FIG. 9 is a perspective view of the yoke 8 of the second embodiment of the present invention. FIG. 10 is a perspective view of the first yoke 86 of the second embodiment. In the second embodiment, the shape is different from the shapes of the first yoke 81 and the second yoke 82 of the yoke 8 of the above-described embodiment, and the other configurations are the same.

図9に示すように、ヨーク8は、第1方向Zで重なる第1ヨーク86および第2ヨーク87からなる。第1ヨーク86および第2ヨーク87は同一形状である。具体的には、図10に示すように、第1ヨーク86は、第2方向Xから見たときの形状が、L字の形状である。第1ヨーク86は、板部881と、板部881の第3方向Yの他方側Y2の端縁から第1方向Zの他方側Z2に突出した連結部882とを有する。連結部882の第1方向Zの一方側Z1の端部の中央部分には、凸部883が設けられる。板部881の第3方向Yの一方側Y1の端部の中央部分には、凹部884が設けられる。連結部882の第2方向Xの両端には、切り欠き部885が設けられる。ここで、第2ヨーク87は、第1ヨーク86と同一形状であるので、同一部分には同一の符号を付す。したがって、図9に示すように、第1ヨーク86と第2ヨーク87は、凸部883と凹部884とが嵌合することで、組み立てられる。そして、凸部883および凹部884を溶接等で固定することで、第1ヨーク86および第2ヨーク87は、連結している。このように、第1ヨーク86と第2ヨーク87は、同一形状であるので、部品点数を削減することができる。 As shown in FIG. 9, the yoke 8 includes a first yoke 86 and a second yoke 87 that overlap in the first direction Z. The first yoke 86 and the second yoke 87 have the same shape. Specifically, as shown in FIG. 10, the shape of the first yoke 86 when viewed from the second direction X is an L-shape. The first yoke 86 has a plate portion 881 and a connecting portion 882 protruding from the edge of the plate portion 881 on the other side Y2 in the third direction Y to the other side Z2 in the first direction Z. A convex portion 883 is provided at the central portion of the end portion of one side Z1 of the first direction Z of the connecting portion 882. A recess 884 is provided in the central portion of the end portion of Y1 on one side of the third direction Y of the plate portion 881. Notches 885 are provided at both ends of the connecting portion 882 in the second direction X. Here, since the second yoke 87 has the same shape as the first yoke 86, the same parts are designated by the same reference numerals. Therefore, as shown in FIG. 9, the first yoke 86 and the second yoke 87 are assembled by fitting the convex portion 883 and the concave portion 884. Then, the first yoke 86 and the second yoke 87 are connected by fixing the convex portion 883 and the concave portion 884 by welding or the like. As described above, since the first yoke 86 and the second yoke 87 have the same shape, the number of parts can be reduced.

[実施形態3]
図11は、本発明の実施形態3のアクチュエータ1の断面図である。実施形態3は、上記形態2とは、接続体4の配置される位置が異なり、他の構成は同一である。図11に示すように、実施形態3では、接続体4は、第1接続体41と、第2接続体42とを有する。第1接続体41は、第2ヨーク87の連結部882の内側(第3方向Yの他方側Y2)において、第2ヨーク87の連結部882とコイルホルダ7との間に配置される。第2接続体42は、第1ヨーク86の連結部882の内側(第3方向Yの一方側Y1)において、第1ヨーク86の連結部882とコイルホルダ7との間に配置される。より具体的には、第1接続体41は、第2ヨーク87の連結部882と側壁723との間に配置される。第2接続体42は、第1ヨーク86の連結部882と側壁724との間に配置される。このようにすることで、ヨーク8が第3方向Yに大きくなり、ヨーク8の質量が増加する。この結果、可動体3の質量を増大することができるので、可動体3の移動距離(移動量)が同程度または小さくても、推力を向上または維持できる。また、ケース9に外力が加わっても、外力が直接接続体4に伝わらないため、接続体4の変形を抑制することができる。また、本形態の第1ヨーク86および第2ヨーク87の形状であれば、接続体4をヨーク8の内側に配置することが容易となる。
[Embodiment 3]
FIG. 11 is a cross-sectional view of the actuator 1 of the third embodiment of the present invention. The third embodiment is different from the second embodiment in the position where the connecting body 4 is arranged, and the other configurations are the same. As shown in FIG. 11, in the third embodiment, the connecting body 4 has a first connecting body 41 and a second connecting body 42. The first connecting body 41 is arranged inside the connecting portion 882 of the second yoke 87 (Y2 on the other side of the third direction Y) between the connecting portion 882 of the second yoke 87 and the coil holder 7. The second connecting body 42 is arranged inside the connecting portion 882 of the first yoke 86 (one side Y1 of the third direction Y) between the connecting portion 882 of the first yoke 86 and the coil holder 7. More specifically, the first connecting body 41 is arranged between the connecting portion 882 of the second yoke 87 and the side wall 723. The second connecting body 42 is arranged between the connecting portion 882 of the first yoke 86 and the side wall 724. By doing so, the yoke 8 becomes larger in the third direction Y, and the mass of the yoke 8 increases. As a result, since the mass of the movable body 3 can be increased, the thrust can be improved or maintained even if the moving distance (moving amount) of the movable body 3 is the same or small. Further, even if an external force is applied to the case 9, the external force is not directly transmitted to the connecting body 4, so that the deformation of the connecting body 4 can be suppressed. Further, in the shape of the first yoke 86 and the second yoke 87 of the present embodiment, it becomes easy to arrange the connecting body 4 inside the yoke 8.

[他の実施形態]
上記形態は、可動体3と支持体2とが第3方向Yで対向する位置に接続体4を配置するものであったが、接続体4の位置は、可動体3と支持体2とが第2方向Xで対向する位置であってもよい。また、接続体4を配置する位置を、可動体3と支持体2とが第2方向Xで対向する位置、および、可動体3と支持体2とが第3方向Yで対向する位置の両方としてもよい。
[Other Embodiments]
In the above embodiment, the connecting body 4 is arranged at a position where the movable body 3 and the supporting body 2 face each other in the third direction Y, but the position of the connecting body 4 is such that the movable body 3 and the supporting body 2 are opposed to each other. It may be a position facing each other in the second direction X. Further, the position where the connecting body 4 is arranged is both a position where the movable body 3 and the support body 2 face each other in the second direction X and a position where the movable body 3 and the support body 2 face each other in the third direction Y. May be.

上記形態は、コイル6に対する第1方向Zの両側に磁石5(第1磁石51および第2磁石52)を配置しているが、コイル6に対する第1方向Zの一方側Z1または他方側Z2のみに磁石5を配置してもよい。 In the above embodiment, magnets 5 (first magnet 51 and second magnet 52) are arranged on both sides of the first direction Z with respect to the coil 6, but only one side Z1 or the other side Z2 of the first direction Z with respect to the coil 6 is arranged. The magnet 5 may be arranged in the.

上記形態では、コイル6およびコイルホルダ7を支持体2に設け、磁石5(第1磁石51および第2磁石52)およびヨーク8(第1ヨーク81および第2ヨーク82)を可動体3に設けたが、コイル6およびコイルホルダ7を可動体3に設け、磁石5(第1磁石51および第2磁石52)およびヨーク8(第1ヨーク81および第2ヨーク82)を支持体2に設けたアクチュエータに本発明を適用してもよい。 In the above embodiment, the coil 6 and the coil holder 7 are provided on the support 2, and the magnets 5 (first magnet 51 and second magnet 52) and the yoke 8 (first yoke 81 and second yoke 82) are provided on the movable body 3. However, the coil 6 and the coil holder 7 are provided on the movable body 3, and the magnet 5 (first magnet 51 and second magnet 52) and the yoke 8 (first yoke 81 and second yoke 82) are provided on the support 2. The present invention may be applied to the actuator.

上記形態では、磁石5とコイル6の組を2組備えているが、1組もしくは3組以上であってもよい。また、磁石5とコイル6の組が3組以上である場合、第2方向Xおよび第3方向Yにそれぞれ複数並んでいてもよい。 In the above embodiment, two sets of the magnet 5 and the coil 6 are provided, but one set or three sets or more may be provided. Further, when there are three or more sets of the magnet 5 and the coil 6, a plurality of sets may be arranged in the second direction X and the third direction Y, respectively.

上記形態では、第1ケース部材91および第2ケース部材92は、貫通穴913、923を有しているが、切り欠き部であってもよい。また、連結部812は、切り欠き部814を有しているが、穴であってもよい。何れの場合でも、アクチュエータ1を組み立てる際に、位置決め用ピンを用いて、可動体3およびコイルホルダ7をケース9に対して位置決めすることができる。 In the above embodiment, the first case member 91 and the second case member 92 have through holes 913 and 923, but may be notched portions. Further, although the connecting portion 812 has a notched portion 814, it may be a hole. In either case, when assembling the actuator 1, the movable body 3 and the coil holder 7 can be positioned with respect to the case 9 by using the positioning pin.

上記形態では、第4方向Fは、第2方向Xおよび第3方向Yに対して45°傾いた方向であったが、これに限定されない。例えば、第4方向Fは、第2方向Xおよび第3方向Yに対して30°傾いた方向であってもよい。このように構成しても、コイル6が第2方向Xおよび第3方向Yの何れかに延びる長円形に比べて、コイル6の長手方向の長さを大きくすることができる。 In the above embodiment, the fourth direction F is a direction inclined by 45 ° with respect to the second direction X and the third direction Y, but the present invention is not limited to this. For example, the fourth direction F may be a direction inclined by 30 ° with respect to the second direction X and the third direction Y. Even with this configuration, the length of the coil 6 in the longitudinal direction can be increased as compared with the oval shape in which the coil 6 extends in either the second direction X or the third direction Y.

1…アクチュエータ、2…支持体、3…可動体、4…接続体、5…磁石、6…コイル、7…コイルホルダ、8…ヨーク、9…ケース、10…磁気駆動回路、11…回路基板、21…第1側辺部、22…第2側辺部、41…第1接続体、42…第2接続体、50…着磁分極線、51…第1磁石、52…第2磁石、61…直線部分、62…曲線部分、63…引き出し部分、71…本体部、72…側面部、721、722、723、724…側壁、73…凹部、731…底部、75…第1柱状部、76…第2柱状部、740…位置決め段部、81…第1ヨーク、811…第1板部、812…連結部、8121…第1連結部、8122…第2連結部、813…凸部、814…切り欠き部、82…第2ヨーク、821…第2板部、822…凹部、83…位置決め部、831…ダボ、86…第1ヨーク、87…第2ヨーク、881…板部、882…連結部、883…凸部、884…凹部、885…切り欠き部、91…第1ケース部材、911…底板部、912…側板部、913…貫通穴、914…切り欠き部、92…第2ケース部材、921…底板部、922…底板部、923…貫通穴、924…切り欠き部、93…開口部 1 ... actuator, 2 ... support, 3 ... movable body, 4 ... connector, 5 ... magnet, 6 ... coil, 7 ... coil holder, 8 ... yoke, 9 ... case, 10 ... magnetic drive circuit, 11 ... circuit board , 21 ... 1st side side, 22 ... 2nd side, 41 ... 1st connection, 42 ... 2nd connection, 50 ... Magnetized polarization line, 51 ... 1st magnet, 52 ... 2nd magnet, 61 ... straight part, 62 ... curved part, 63 ... drawer part, 71 ... main body part, 72 ... side part, 721, 722, 723, 724 ... side wall, 73 ... concave part, 731 ... bottom part, 75 ... first columnar part, 76 ... 2nd columnar part, 740 ... Positioning step part, 81 ... 1st yoke, 811 ... 1st plate part, 812 ... Connecting part, 8121 ... 1st connecting part, 8122 ... 2nd connecting part, 813 ... Convex part, 814 ... Notch, 82 ... 2nd yoke, 821 ... 2nd plate, 822 ... Recess, 83 ... Positioning, 831 ... Dove, 86 ... 1st yoke, 87 ... 2nd yoke, 881 ... Plate, 882 ... Connecting part, 883 ... Convex part, 884 ... Concave part, 885 ... Notch part, 91 ... First case member, 911 ... Bottom plate part, 912 ... Side plate part, 913 ... Through hole, 914 ... Notch part, 92 ... 2 case member, 921 ... bottom plate, 922 ... bottom plate, 923 ... through hole, 924 ... notch, 93 ... opening

Claims (11)

支持体と、
可動体と、
前記支持体および前記可動体に接続された接続体と、
前記支持体および前記可動体の一方側に配置された磁石と、前記支持体および前記可動体の他方側に配置されるとともに、第1方向で前記磁石と対向するコイルとを有する磁気駆動回路とを備え、
前記支持体は、前記第1方向と直交する第2方向において対向する一対の第1側辺部と、前記第1方向および前記第2方向に対して交差する第3方向において対向する一対の第2側辺部と、を有し、
前記コイルは、前記第1方向から見たときに、前記第2方向および前記第3方向に対して斜めに交差する第4方向と直交する第5方向に延在する長円形であり、前記磁石は前記第4方向に着磁され、前記磁気駆動回路は、前記可動体を前記支持体に対して前記第4方向に駆動することを特徴とするアクチュエータ。
With the support
Movable body and
With the support and the connection body connected to the movable body,
A magnetic drive circuit having a magnet arranged on one side of the support and the movable body, and a coil arranged on the other side of the support and the movable body and facing the magnet in the first direction. With
The support has a pair of first side edges facing each other in a second direction orthogonal to the first direction, and a pair of first sides facing each other in a third direction intersecting the first direction and the second direction. It has two side parts and
The coil is an oval extending in a fifth direction orthogonal to a fourth direction diagonally intersecting the second direction and the third direction when viewed from the first direction, and the magnet. Is magnetized in the fourth direction, and the magnetic drive circuit is an actuator characterized in that the movable body is driven in the fourth direction with respect to the support.
請求項1において、
前記コイルは、前記第1方向から見たときに前記第5方向に延在する直線部分を有し、
前記磁石は、前記第1方向から見たときに、前記コイルの前記直線部分の少なくとも一部と重なることを特徴とするアクチュエータ。
In claim 1,
The coil has a linear portion extending in the fifth direction when viewed from the first direction.
An actuator characterized in that the magnet overlaps at least a part of the straight line portion of the coil when viewed from the first direction.
請求項1または2において、
前記接続体は、弾性体または粘弾性体であり、前記第2方向および前記第3方向の少なくともいずれか一方において前記支持体と前記可動体との間に配置されることを特徴とするアクチュエータ。
In claim 1 or 2,
The actuator is an elastic body or a viscoelastic body, and is arranged between the support and the movable body in at least one of the second direction and the third direction.
請求項3において、
前記接続体は、前記可動体が前記支持体に対して前記第2方向に振動する第1振動系を構成し、かつ、前記可動体が前記支持体に対して前記第3方向に振動する第2振動系を構成し、
前記第1振動系の共振周波数と、前記第2振動系の共振周波数とが異なることを特徴とするアクチュエータ。
In claim 3,
The connecting body constitutes a first vibration system in which the movable body vibrates in the second direction with respect to the support, and the movable body vibrates in the third direction with respect to the support. Consists of two vibration systems,
An actuator characterized in that the resonance frequency of the first vibration system and the resonance frequency of the second vibration system are different.
請求項3または4において、
前記可動体は、ヨークを有し、
前記ヨークは、前記磁石を位置決めする位置決め部を有することを特徴とするアクチュエータ。
In claim 3 or 4,
The movable body has a yoke and
The yoke is an actuator characterized by having a positioning portion for positioning the magnet.
請求項5において、
前記ヨークは、前記第1方向で対向する一対の板部と、前記一対の板部の前記第2方向および前記第3方向の何れか一方の辺において前記一対の板部の間で前記一対の板部を連結する一対の連結部と、を有することを特徴とするアクチュエータ。
In claim 5,
The yoke is formed between the pair of plate portions facing each other in the first direction and the pair of plate portions on either side of the second direction and the third direction of the pair of plate portions. An actuator characterized by having a pair of connecting portions for connecting plate portions.
請求項6において、
前記ヨークは、前記第1方向に重ねて配置された第1ヨークおよび第2ヨークからなり、
前記第1ヨークおよび前記第2ヨークは同一形状であることを特徴とするアクチュエータ。
In claim 6,
The yoke is composed of a first yoke and a second yoke arranged so as to be overlapped in the first direction.
An actuator characterized in that the first yoke and the second yoke have the same shape.
請求項6または7において、
前記支持体は、前記一対の連結部の間で前記コイルを保持するコイルホルダを有し、
前記接続体は、前記一対の連結部と前記コイルホルダとの各間に配置されることを特徴とするアクチュエータ。
In claim 6 or 7,
The support has a coil holder that holds the coil between the pair of connecting portions.
An actuator characterized in that the connecting body is arranged between each of the pair of connecting portions and the coil holder.
請求項8において、
前記コイルホルダは、前記コイルを収容する凹部を有することを特徴とするアクチュエータ。
In claim 8.
The coil holder is an actuator characterized by having a recess for accommodating the coil.
請求項5から9の何れか一項において、
前記支持体は、前記可動体を収容するケースを有し、
前記ケースおよび前記ヨークは、前記第2方向および前記第3方向のうち、前記接続体が配置された方向に穴または切り欠き部を有することを特徴とするアクチュエータ。
In any one of claims 5 to 9,
The support has a case for accommodating the movable body.
An actuator characterized in that the case and the yoke have a hole or a notch in the direction in which the connecting body is arranged in the second direction and the third direction.
支持体と、
可動体と、
前記支持体および前記可動体に接続された接続体と、
前記支持体および前記可動体の一方側に配置された磁石と、前記支持体および前記可動体の他方側に配置されるとともに、第1方向で前記磁石と対向するコイルとを有する磁気駆動回路とを備え、
前記支持体は、前記第1方向と直交する第2方向において対向する一対の第1側辺部と、前記第1方向および前記第2方向に対して交差する第3方向において対向する一対の第2側辺部と、を有し、
前記コイルは、前記第1方向から見たときに、前記第2方向および前記第3方向に対して斜めに交差する第4方向と直交する第5方向に延在する長円形であり、前記磁石は前記第4方向に着磁され、前記磁気駆動回路は、前記可動体を前記支持体に対して前記第4方向に駆動することを特徴とする触覚デバイス。
With the support
Movable body and
With the support and the connection body connected to the movable body,
A magnetic drive circuit having a magnet arranged on one side of the support and the movable body, and a coil arranged on the other side of the support and the movable body and facing the magnet in the first direction. With
The support has a pair of first side edges facing each other in a second direction orthogonal to the first direction, and a pair of first sides facing each other in a third direction intersecting the first direction and the second direction. It has two side parts and
The coil is an oval extending in a fifth direction orthogonal to a fourth direction diagonally intersecting the second direction and the third direction when viewed from the first direction, and the magnet. Is magnetized in the fourth direction, and the magnetic drive circuit is a tactile device characterized in that the movable body is driven in the fourth direction with respect to the support.
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