JP2019013089A - Actuator - Google Patents

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将生 土橋
Masao Tsuchihashi
将生 土橋
正 武田
Tadashi Takeda
正 武田
北原 裕士
Yuji Kitahara
裕士 北原
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Abstract

To provide an actuator capable of having a proper gravity to a movable body 3 with a weight.SOLUTION: In an actuator 1 that vibrates a movable body 3 by a magnetize driving circuit 6 to a support body 2, the movable body 3 comprises: a yoke 30 to which a magnet 8 is fixed; and a weight 40 which is fixed to a space of an inner side of the yoke 30. The yoke 30 has a three-step structure, and a first weight 41 is arranged between a first plate part 311 and a second plate part 321 of the yoke 30 and a second weight 42 is arranged between the second plate part 321 and a third plate part 331 of the yoke 30. The first and second weights 41 and 42 are fixed to the yoke 30 with a revet 43.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、各種振動を発生させるアクチュエータに関するものである。   The present invention relates to an actuator that generates various vibrations.

磁気駆動機構によって振動を発生させる機器として、第1方向で対向するコイルおよび磁石を備えた磁気駆動回路によって可動体を支持体に対して第1方向に対して交差する第2方向に振動させるアクチュエータが提案されている(特許文献1参照)。特許文献1に記載のアクチュエータは、支持体と可動体の一方に磁石が設けられ、磁石は、磁性板からなるヨークに保持されている。   Actuator that vibrates a movable body in a second direction intersecting the first direction with respect to a support by a magnetic drive circuit having a coil and a magnet opposed in the first direction as a device that generates vibration by a magnetic drive mechanism Has been proposed (see Patent Document 1). In the actuator described in Patent Document 1, a magnet is provided on one of a support and a movable body, and the magnet is held by a yoke made of a magnetic plate.

特開2016−127789号公報JP 2006-127789 A

磁気駆動回路によって可動体を振動させるアクチュエータにおいて、使用者が体感する振動を大きくするためには、可動体の重量を大きくする必要がある。しかしながら、この種のアクチュエータにおいて、従来は、可動体が薄く、可動体の大半が樹脂であるため、可動体の重量を確保することが難しい。そこで、可動体に磁気駆動回路の磁石および磁石を保持するヨークを設け、ヨークの厚さを増大させて重量を確保することが検討されている。しかしながら、ヨークの厚さ増加により重量を確保する場合、設計完了後に重量変更を行うには再設計が必要であり、簡単に重量変更を行うことができない。   In an actuator that vibrates a movable body with a magnetic drive circuit, it is necessary to increase the weight of the movable body in order to increase the vibration experienced by the user. However, in this type of actuator, conventionally, since the movable body is thin and most of the movable body is resin, it is difficult to ensure the weight of the movable body. In view of this, it has been studied to provide a magnet for a magnetic drive circuit and a yoke for holding the magnet on the movable body, and to secure the weight by increasing the thickness of the yoke. However, when securing the weight by increasing the thickness of the yoke, redesign is necessary to change the weight after the design is completed, and the weight cannot be easily changed.

また、可動体の重量を増大させる方法として、可動体にウェイトを追加する方法がある。例えば、特許文献1の実施の形態1では、ヨークは支持体側に設けられているが、可動体は、コイルを保持する板状部材の両面に固定されたウェイトを備えている。しかしながら、この形態では、ウェイトは可動体の外面に固定されるため、可動体の外側にウェイトを取り付けるスペースを確保する必要があり、ウェイトの重量変更によって設計変更が必要になるおそれがある。従って、適正な重量のウェイトを取り付けるのが容易でないおそれがある。   As a method of increasing the weight of the movable body, there is a method of adding a weight to the movable body. For example, in Embodiment 1 of Patent Document 1, the yoke is provided on the support side, but the movable body includes weights fixed to both surfaces of a plate-like member that holds the coil. However, in this embodiment, since the weight is fixed to the outer surface of the movable body, it is necessary to secure a space for attaching the weight to the outside of the movable body, and there is a possibility that a design change may be required due to a change in the weight of the weight. Therefore, it may not be easy to attach a weight having an appropriate weight.

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、適正な重量のウェイトを容易に取り付けることができるアクチュエータを提供することにある。   In view of the above problems, an object of the present invention is to provide an actuator capable of easily attaching a weight having an appropriate weight.

上記問題を解決するために、本発明を適用したアクチュエータは、支持体と、前記支持体に移動可能に支持された可動体と、前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路と、を有し、前記磁気駆動回路は、前記支持体に設けられた第1コイルと、前記可動体に設けられて前記コイルに第1方向で対向する第1磁石と、を備え、前記可動体を前記第1方向に対して交差する第2方向に駆動し、前記可動体は、前記第1コイルおよび前記第1磁石に対して前記第1方向の一方側に配置される第1板部、および、前記第1コイルおよび前記第1磁石に対して前記第1方向の他方側に配置される第2板部が設けられたヨークと、前記ヨークに固定されるウェイトと、を備え前記ウェイトは、前記第1板部と前記第2部の間に配置されることを特徴とする。   In order to solve the above problems, an actuator to which the present invention is applied includes a support, a movable body supported by the support so as to be movable, and a magnetic drive circuit that moves the movable body relative to the support. And the magnetic drive circuit includes: a first coil provided on the support; and a first magnet provided on the movable body and facing the coil in a first direction; A first plate portion that drives a body in a second direction intersecting the first direction, and the movable body is disposed on one side of the first direction with respect to the first coil and the first magnet; And a yoke provided with a second plate portion disposed on the other side in the first direction with respect to the first coil and the first magnet, and a weight fixed to the yoke. Is disposed between the first plate portion and the second portion. It is characterized in.

本発明では、可動体が第1磁石と、第1磁石が固定されるヨークと、ヨークに固定され
るウェイトを備える。ヨークは、第1磁石および第1コイルに対して第1方向の一方側に配置される第1板部、および、他方側に配置される第2板部を備えており、ウェイトは、第1板部と第2部の間に配置されている。このように、ヨークにウェイトを取り付けて重量を増加させる場合、可動体の重量増加のためにヨークの設計変更を行う必要がない。また、第1板部と第2板部の間にウェイトを取り付けるため、ヨーク間のスペースを利用して可動体の内側にウェイトを取り付けることができ、可動体の外形への影響が少ない。従って、適正な重量のウェイトを容易に取り付けることができ、適正な重量を確保することができる。
In the present invention, the movable body includes a first magnet, a yoke to which the first magnet is fixed, and a weight fixed to the yoke. The yoke includes a first plate portion disposed on one side in the first direction with respect to the first magnet and the first coil, and a second plate portion disposed on the other side. It arrange | positions between the board part and the 2nd part. As described above, when the weight is increased by attaching the weight to the yoke, it is not necessary to change the design of the yoke in order to increase the weight of the movable body. Further, since the weight is attached between the first plate portion and the second plate portion, the weight can be attached to the inside of the movable body using the space between the yokes, and the influence on the outer shape of the movable body is small. Therefore, it is possible to easily attach a weight having an appropriate weight and to secure an appropriate weight.

本発明において、前記ヨークは、前記第2板部に対して前記第1方向の他方側に配置される第3板部を備え、前記磁気駆動回路は、前記第1方向に対向する第2コイルおよび第2磁石を備え、前記第2コイルおよび前記第2磁石は、前記第2板部と前記第3板部の間に配置され、前記ウェイトは、前記第1板部と前記第2部の間に配置される第1ウェイトと、前記第2板部と前記第3板部の間に配置される第2ウェイトを備える構成を採用することができる。このように、ヨークを3段構造にすることで、ヨーク間に第1ウェイトと第2ウェイトを取り付けることができる。従って、ウェイトの数を増やすことができ、可動体の重量確保が容易である。また、磁石とコイルの対が2段に配置され、これを挟むように3段のヨークが設けられているので、磁気効率を向上させることができ、磁石の厚さを薄くしても駆動力を確保することができる。   In the present invention, the yoke includes a third plate portion disposed on the other side in the first direction with respect to the second plate portion, and the magnetic drive circuit is a second coil facing the first direction. And the second magnet, the second coil and the second magnet are disposed between the second plate portion and the third plate portion, and the weight is formed between the first plate portion and the second portion. It is possible to employ a configuration including a first weight disposed between and a second weight disposed between the second plate portion and the third plate portion. Thus, the first weight and the second weight can be attached between the yokes by forming the yoke in a three-stage structure. Therefore, the number of weights can be increased, and it is easy to secure the weight of the movable body. In addition, since the magnet and coil pairs are arranged in two stages and a three-stage yoke is provided so as to sandwich the magnet, the magnetic efficiency can be improved, and the driving force can be improved even if the thickness of the magnet is reduced. Can be secured.

本発明において、前記第1ウェイトおよび前記第2ウェイトは、前記第1板部、前記第1ウェイト、前記第2板部、前記第2ウェイト、前記第3板部を貫通するリベットにより前記ヨークに固定されていることが好ましい。このように、ウェイトを貫通するリベットを用いることにより、リベット自体もウェイトとして用いることができる。また、リベットにより位置決めと固定を一度に行うことができる。   In the present invention, the first weight and the second weight are attached to the yoke by a rivet penetrating the first plate portion, the first weight, the second plate portion, the second weight, and the third plate portion. It is preferably fixed. Thus, by using a rivet that penetrates the weight, the rivet itself can also be used as a weight. Also, positioning and fixing can be performed at once by rivets.

本発明において、前記第1コイルおよび前記第1磁石は、前記第1ウェイトの前記第2方向の両側に1組ずつ配置され、前記第2コイルおよび前記第2磁石は、前記第2ウェイトの前記第2方向の両側に1組ずつ配置されていることが好ましい。このような配置により、可動体の中央にウェイトを配置することができる。従って、ウェイトの追加によって重心が変動するおそれが少なく、アクチュエータの駆動バランスが崩れるおそれが少ない。   In the present invention, the first coil and the first magnet are arranged in pairs on both sides of the first weight in the second direction, and the second coil and the second magnet are arranged on the second weight. One set is preferably arranged on each side of the second direction. With such an arrangement, the weight can be arranged at the center of the movable body. Therefore, there is little possibility that the center of gravity will fluctuate due to the addition of the weight, and there is little possibility that the driving balance of the actuator will be lost.

本発明において、前記第1磁石は、前記第1板部に固定され、前記第2磁石は、前記第3板部に固定されていることが好ましい。このようにすると、第1磁石と第2磁石は、第2板部を中心として第1方向に対称に配置されるため、バランスのよい配置を実現することができる。   In the present invention, it is preferable that the first magnet is fixed to the first plate portion, and the second magnet is fixed to the third plate portion. If it does in this way, since the 1st magnet and the 2nd magnet are arranged symmetrically in the 1st direction centering on the 2nd plate part, the arrangement with good balance is realizable.

本発明において、前記支持体は、第1ホルダと、前記第1ホルダに対して前記第1方向の他方側から当接する第2ホルダを備え、前記第1ホルダには、前記第1ウェイトを配置する第1ウェイト配置穴、および前記第1コイルを配置する第1コイル保持穴が形成され、前記第2ホルダには、前記第2ウェイトを配置する第2ウェイト配置穴、および前記第2コイルを配置する第2コイル保持穴が形成され、前記第1ウェイトおよび前記第2ウェイトは、それぞれ、前記第1ウェイト配置穴の内周面および前記第2ウェイト配置穴の内周面と衝突して前記可動体の前記第2方向の可動範囲を規制することが好ましい。このようにすると、ウェイトを利用して可動体の可動範囲を規制するストッパ機構を設けることができる。従って、アクチュエータの耐衝撃性を高めることができる。   In the present invention, the support includes a first holder and a second holder that comes into contact with the first holder from the other side in the first direction, and the first weight is disposed on the first holder. A first weight disposition hole and a first coil holding hole for disposing the first coil are formed, and the second holder includes a second weight disposition hole for disposing the second weight and the second coil. A second coil holding hole is formed, and the first weight and the second weight collide with an inner peripheral surface of the first weight arrangement hole and an inner peripheral surface of the second weight arrangement hole, respectively. It is preferable to restrict the movable range of the movable body in the second direction. If it does in this way, the stopper mechanism which controls the movable range of a movable body using a weight can be provided. Therefore, the impact resistance of the actuator can be improved.

本発明において、前記第1ホルダと前記第2ホルダは、前記第1方向に当接する部分を前記第1方向に貫通する貫通孔を備え、前記貫通孔に通される位置決めピンによって結合
されることが好ましい。このようにすると、位置決めピンを用いて、第1ホルダと第2ホルダを第1方向と交差する方向に位置決めして結合させることができる。また、接着剤を使用せずに第1ホルダと第2ホルダを組み立てることができるので、接着工程を少なくすることができる。
In the present invention, the first holder and the second holder include a through hole that penetrates a portion that contacts the first direction in the first direction, and are coupled by a positioning pin that passes through the through hole. Is preferred. If it does in this way, a 1st holder and a 2nd holder can be positioned and combined in the direction which intersects the 1st direction using a positioning pin. Moreover, since the first holder and the second holder can be assembled without using an adhesive, the number of bonding steps can be reduced.

本発明において、前記ヨークは、前記第1板部を備えた第1ヨークと、前記第2板部を備えた第2ヨークと、前記第3板部を備えた第3ヨークとを有し、前記第1ヨークは、前記第1板部から前記第1方向の他方側に向けて前記第2ヨークと重なる位置まで延在して前記第2ヨークと連結された第1連結板部と、前記第1磁石および前記第1コイルに対して前記第1連結板部とは反対側で前記第1板部から前記第1方向の他方側に向けて前記第2ヨークと重なる位置まで延在して前記第2ヨークと連結された第2連結板部と、を備え、前記第3ヨークは、前記第3板部から前記第1方向の一方側に向けて前記第2ヨークと重なる位置まで延在して前記第2ヨークと連結された第3連結板部と、前記第2磁石および前記第2コイルに対して前記第1連結板部とは反対側で前記第3板部から前記第1方向の一方側に向けて前記第2ヨークと重なる位置まで延在して前記第2ヨークと連結された第4連結板部と、を備え、前記第1連結板部と前記第2連結板部は、それぞれ、前記第1ホルダに形成された開口部の内周面と衝突して前記可動体の前記第2方向の可動範囲を規制し、前記第3連結板部と前記第4連結板部は、それぞれ、前記第2ホルダに形成された開口部の内周面と衝突して前記可動体の前記第2方向の可動範囲を規制することが好ましい。このようにすると、ヨークによってコイルおよび磁石の第2方向の両側を囲んで保護することができる。また、ヨークと支持体との間に第2ストッパ機構を設けることができるので、アクチュエータの耐衝撃性を高めることができる。   In the present invention, the yoke includes a first yoke having the first plate portion, a second yoke having the second plate portion, and a third yoke having the third plate portion, The first yoke extends from the first plate portion toward the other side in the first direction to a position overlapping the second yoke and is connected to the second yoke; and Extending from the first plate portion to the other side in the first direction on the opposite side of the first magnet and the first coil from the first connecting plate portion to a position overlapping the second yoke. A second connecting plate portion connected to the second yoke, and the third yoke extends from the third plate portion toward one side in the first direction to a position overlapping the second yoke. The third connecting plate portion connected to the second yoke, the second magnet, and the second coil A fourth connecting plate portion that extends from the third plate portion to one side in the first direction on the opposite side of the first connecting plate portion to a position overlapping the second yoke and is connected to the second yoke. The first connecting plate portion and the second connecting plate portion collide with the inner peripheral surface of the opening formed in the first holder, and the movable body is movable in the second direction. The range is restricted, and the third connecting plate portion and the fourth connecting plate portion collide with the inner peripheral surface of the opening formed in the second holder, and the movable body is movable in the second direction. It is preferable to regulate the range. If it does in this way, it can surround and protect the both sides of a coil and a magnet in the 2nd direction with a yoke. In addition, since the second stopper mechanism can be provided between the yoke and the support body, the impact resistance of the actuator can be improved.

本発明において、前記支持体は、前記第1ホルダに対して前記第1方向の一方側から当接する第1カバー部材と、前記第2ホルダに対して前記第1方向の他方側から当接する第2カバー部材と、前記第1カバー部材、前記第1ホルダ、前記第2ホルダ、前記第2カバー部材の外周側を囲む筒状ケースを備えることが好ましい。このようにすると、支持体を構成する部材がばらけることを筒状ケースによって防止できるため、支持体を構成する部材を接着剤で固定する必要がない。従って、接着工程を減らすことができる。   In the present invention, the support body includes a first cover member that contacts the first holder from one side in the first direction, and a first cover member that contacts the second holder from the other side in the first direction. It is preferable that a two-cover member and a cylindrical case that surrounds an outer peripheral side of the first cover member, the first holder, the second holder, and the second cover member are provided. If it does in this way, since the cylindrical case can prevent that the member which comprises a support body spreads, it is not necessary to fix the member which comprises a support body with an adhesive agent. Therefore, the bonding process can be reduced.

本発明において、前記第1カバー部材と前記第1ホルダとの間に前記第1板部が配置され、前記第2カバー部材と前記第2ホルダとの間に前記第3板部が配置され、前記第1カバー部材と前記第1板部との間、および、前記第2カバー部材と前記第3板部との間に粘弾性部材が配置されていることが好ましい。例えば、粘弾性部材は、ゲル状ダンパー部材であることが好ましい。このようにすると、可動体を振動させた際の共振を粘弾性部材によって抑制することができる。また、粘弾性部材のせん断方向の変形は、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分(バネ係数)よりも線形の成分(バネ係数)が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材では、運動方向によるバネ力が一定となる。それゆえ、本発明では、可動体を振動させる際、粘弾性部材のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができ、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。一方、粘弾性部材が可動体と支持体との間で厚さ方向(軸方向)に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分(バネ係数)よりも非線形の成分(バネ係数)が大きい伸縮特性を備える。従って、可動体の駆動方向と直交する方向では、粘弾性部材が大きく変形することを抑制できるので、可動体と支持体とのギャップが大きく変化することを抑制できる。   In the present invention, the first plate portion is disposed between the first cover member and the first holder, and the third plate portion is disposed between the second cover member and the second holder, It is preferable that a viscoelastic member is disposed between the first cover member and the first plate portion and between the second cover member and the third plate portion. For example, the viscoelastic member is preferably a gel damper member. If it does in this way, the resonance at the time of vibrating a movable body can be suppressed with a viscoelastic member. Further, since the deformation in the shear direction of the viscoelastic member is a deformation in the direction in which the viscoelastic member is stretched, the linear component (spring coefficient) is larger than the nonlinear component (spring coefficient). Therefore, in the viscoelastic member, the spring force according to the moving direction is constant. Therefore, in the present invention, when the movable body is vibrated, by using the spring element in the shear direction of the viscoelastic member, the reproducibility of the vibration acceleration with respect to the input signal can be improved, and the vibration is realized with a subtle nuance. can do. On the other hand, when the viscoelastic member is compressed in the thickness direction (axial direction) between the movable body and the support body, the nonlinear component (spring coefficient) is larger than the linear component (spring coefficient). It has elastic properties. Therefore, since the viscoelastic member can be prevented from being greatly deformed in the direction orthogonal to the driving direction of the movable body, the gap between the movable body and the support body can be prevented from greatly changing.

本発明において、前記第1カバー部材は、前記粘弾性部材が接続される面から前記第1板部に向けて突出する第1凸部を備え、前記第2カバー部材は、前記粘弾性部材が接続される面から前記第3板部に向けて突出する第2凸部を備えることが好ましい。このようにすると、粘弾性部材の第1方向の潰れ量を規制することができる。   In this invention, the said 1st cover member is provided with the 1st convex part which protrudes toward the said 1st board part from the surface where the said viscoelastic member is connected, The said 2nd cover member is the said viscoelastic member. It is preferable to provide the 2nd convex part which protrudes toward the said 3rd board part from the surface connected. If it does in this way, the amount of crushing of the 1st direction of a viscoelastic member can be controlled.

本発明によれば、可動体が第1磁石と、第1磁石が固定されるヨークと、ヨークに固定されるウェイトを備える。ヨークは、第1磁石および第1コイルに対して第1方向の一方側に配置される第1板部、および、他方側に配置される第2板部を備えており、ウェイトは、第1板部と第2部の間に配置されている。このように、ヨークにウェイトを取り付けて重量を増加させる場合、可動体の重量増加のためにヨークの設計変更を行う必要がない。また、第1板部と第2板部の間にウェイトを取り付けるため、ヨーク間のスペースを利用して可動体の内側にウェイトを取り付けることができ、可動体の外形への影響が少ない。従って、適正な重量のウェイトを容易に取り付けることができ、適正な重量を確保することができる。   According to the present invention, the movable body includes the first magnet, the yoke to which the first magnet is fixed, and the weight fixed to the yoke. The yoke includes a first plate portion disposed on one side in the first direction with respect to the first magnet and the first coil, and a second plate portion disposed on the other side. It arrange | positions between the board part and the 2nd part. As described above, when the weight is increased by attaching the weight to the yoke, it is not necessary to change the design of the yoke in order to increase the weight of the movable body. Further, since the weight is attached between the first plate portion and the second plate portion, the weight can be attached to the inside of the movable body using the space between the yokes, and the influence on the outer shape of the movable body is small. Therefore, it is possible to easily attach a weight having an appropriate weight and to secure an appropriate weight.

本発明の実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。It is a perspective view of an actuator concerning an embodiment of the present invention. 図1に示すアクチュエータの断面斜視図である。It is a cross-sectional perspective view of the actuator shown in FIG. 図1に示すアクチュエータの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the actuator shown in FIG. 配線基板を取り外したアクチュエータの部分拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view of the actuator which removed the wiring board. 配線基板の保持構造を模式的に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the holding structure of a wiring board typically. 可動体、ホルダ、磁気駆動回路および配線基板の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of a movable body, a holder, a magnetic drive circuit, and a wiring board. 筒状ケースおよび第2カバー部材を取り外したアクチュエータの平面図である。It is a top view of the actuator which removed the cylindrical case and the 2nd cover member.

図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明において、互いに交差する3つの方向を各々、第1方向Z、第2方向Xおよび第3方向Yとして説明する。また、第1方向Z、第2方向Xおよび第3方向Yは、互いに直交する方向である。また、第2方向Xの一方側にX1を付し、第2方向Xの他方側にX2を付し、第3方向Yの一方側にY1を付し、第3方向Yの他方側にY2を付し、第1方向Zの一方側にZ1を付し、第1方向Zの他方側にZ2を付して説明する。   Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, three directions intersecting each other will be described as a first direction Z, a second direction X, and a third direction Y, respectively. Further, the first direction Z, the second direction X, and the third direction Y are directions orthogonal to each other. Moreover, X1 is attached to one side of the second direction X, X2 is attached to the other side of the second direction X, Y1 is attached to one side of the third direction Y, and Y2 is attached to the other side of the third direction Y. And Z1 is attached to one side of the first direction Z, and Z2 is attached to the other side of the first direction Z.

(全体構成)
図1は、本発明の実施形態に係るアクチュエータ1の斜視図である。図2は、図1に示すアクチュエータ1の断面斜視図であり、XZ面で切断した断面斜視図である。図3は、図1に示すアクチュエータの分解斜視図である。図1、図2に示すように、アクチュエータ1は、全体として、第2方向Xの寸法が第3方向Yの寸法より大きい直方体形状を有している。また、図2に示すように、アクチュエータ1は、支持体2と、支持体2に移動可能に支持された可動体3と、可動体3を支持体2に対して相対移動させる磁気駆動回路6とを有しており、磁気駆動回路6は、可動体3を第2方向Xに振動させる。磁気駆動回路6は、第1方向Zで対向するコイル7と磁石8を有する。本形態では、コイル7が支持体2の側に設けられ、磁石8が可動体3の側に設けられている。
(overall structure)
FIG. 1 is a perspective view of an actuator 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional perspective view of the actuator 1 shown in FIG. 1, and is a cross-sectional perspective view cut along the XZ plane. FIG. 3 is an exploded perspective view of the actuator shown in FIG. As shown in FIGS. 1 and 2, the actuator 1 as a whole has a rectangular parallelepiped shape in which the dimension in the second direction X is larger than the dimension in the third direction Y. As shown in FIG. 2, the actuator 1 includes a support 2, a movable body 3 that is movably supported by the support 2, and a magnetic drive circuit 6 that moves the movable body 3 relative to the support 2. The magnetic drive circuit 6 vibrates the movable body 3 in the second direction X. The magnetic drive circuit 6 includes a coil 7 and a magnet 8 that face each other in the first direction Z. In this embodiment, the coil 7 is provided on the support 2 side, and the magnet 8 is provided on the movable body 3 side.

(支持体)
支持体2は、角筒状の筒状ケース4と、筒状ケース4の内側に保持されるカバー11およびホルダ60とを有しており、支持体2の内側に、可動体3および磁気駆動回路6が配置されている(図2参照)。図3に示すように、カバー11は、第1方向Zの一方側Z1に位置する第1カバー部材16と、第1カバー部材16に対して第1方向Zの他方側Z2から重なる第2カバー部材17とを有しており、第1カバー部材16および第2カバー部材17は、四角形の平面形状を有している。第1カバー部材16と第2カバー部材17との間には、四角形の平面形状を有するホルダ60が配置されている。第1カバー部材16、ホルダ60、および第2カバー部材17は、第1方向Zからみたとき、第2方向Xの幅
が第3方向Yの幅より広い形状である。図1に示すように、支持体2の第2方向Xの一方側の側面2A(図1参照)には、磁気駆動回路6のコイル7と接続される配線基板15が取り付けられている。支持体2の側面2Aは、第1カバー部材16の第2方向Xの一方側X1の端部160、ホルダ60の第2方向Xの一方側X1の端部600、および第2カバー部材17の第2方向Xの一方側X1の端部170によって構成されている。
(Support)
The support 2 includes a rectangular tubular case 4, a cover 11 and a holder 60 that are held inside the tubular case 4, and the movable body 3 and magnetic drive are provided inside the support 2. A circuit 6 is arranged (see FIG. 2). As shown in FIG. 3, the cover 11 includes a first cover member 16 located on one side Z1 in the first direction Z and a second cover that overlaps the first cover member 16 from the other side Z2 in the first direction Z. The first cover member 16 and the second cover member 17 have a quadrangular planar shape. Between the first cover member 16 and the second cover member 17, a holder 60 having a quadrangular planar shape is disposed. When viewed from the first direction Z, the first cover member 16, the holder 60, and the second cover member 17 have a shape in which the width in the second direction X is wider than the width in the third direction Y. As shown in FIG. 1, a wiring board 15 connected to the coil 7 of the magnetic drive circuit 6 is attached to the side surface 2 </ b> A (see FIG. 1) on one side in the second direction X of the support 2. The side surface 2 </ b> A of the support body 2 includes an end portion 160 on one side X <b> 1 in the second direction X of the first cover member 16, an end portion 600 on one side X <b> 1 in the second direction X of the holder 60, and the second cover member 17. An end 170 on one side X1 in the second direction X is formed.

(筒状ケース)
図1、図2に示すように、第1カバー部材16、ホルダ60および第2カバー部材17は、第1方向Zに積層され、各部材の第3方向Yの両側の外周縁が第1方向Zで重なっている。第1カバー部材16、ホルダ60および第2カバー部材17は、筒状ケース4によって保持されている。本形態では、筒状ケース4はステンレスなどの金属板からなり、図3に示すように、第1ケース410と第2ケース420の2部材から構成される。なお、筒状ケース4は樹脂製であってもよい。第1ケース410と第2ケース420は、筒状に接合されている。
(Tubular case)
As shown in FIGS. 1 and 2, the first cover member 16, the holder 60, and the second cover member 17 are stacked in the first direction Z, and the outer peripheral edges on both sides in the third direction Y of each member are in the first direction. It overlaps with Z. The first cover member 16, the holder 60 and the second cover member 17 are held by the cylindrical case 4. In this embodiment, the cylindrical case 4 is made of a metal plate such as stainless steel, and includes two members, a first case 410 and a second case 420, as shown in FIG. The cylindrical case 4 may be made of resin. The first case 410 and the second case 420 are joined in a cylindrical shape.

第1ケース410は、第1カバー部材16、ホルダ60および第2カバー部材17の積層方向である第1方向Zに延在する第1板部411と、第1板部411の第1方向Zの一方側Z1の端部から略直角に屈曲して第1カバー部材16の外側面に沿って第3方向Yに延在する第2板部412と、第2板部412の第3方向Yの他方側Y2の縁から第1方向Zの他方側Z2へ立ち上がる第3板部413を備える。また、第2ケース420は、第1方向Zに延在する第4板部421と、第4板部421の第1方向Zの他方側Z2の端部から略直角に屈曲して第2カバー部材17の外側面に沿って第3方向Yに延在する第5板部422と、第5板部422の第3方向Yの一方側Y1の縁から第1方向Zの一方側Z1へ立ち上がる第6板部423を備える。第3板部413は第4板部421と接合され、第1板部411は第6板部423と接合されている。第2板部412および第5板部422には板バネ部430が形成され、第1カバー部材16と第2カバー部材17には、それぞれ、第1方向Zに見て板バネ部430と重なる位置に矩形の凹部が形成されている。   The first case 410 includes a first plate part 411 extending in a first direction Z that is a stacking direction of the first cover member 16, the holder 60, and the second cover member 17, and a first direction Z of the first plate part 411. A second plate portion 412 that bends substantially perpendicularly from the end of one side Z1 of the first cover member 16 and extends in the third direction Y along the outer surface of the first cover member 16, and a third direction Y of the second plate portion 412. A third plate portion 413 rising from the edge of the other side Y2 to the other side Z2 in the first direction Z is provided. The second case 420 is bent at a substantially right angle from the fourth plate portion 421 extending in the first direction Z and the end portion of the other side Z2 of the fourth plate portion 421 in the first direction Z. A fifth plate portion 422 extending in the third direction Y along the outer surface of the member 17, and rises from the edge of one side Y1 in the third direction Y of the fifth plate portion 422 to one side Z1 in the first direction Z. A sixth plate portion 423 is provided. The third plate portion 413 is joined to the fourth plate portion 421, and the first plate portion 411 is joined to the sixth plate portion 423. A leaf spring portion 430 is formed on the second plate portion 412 and the fifth plate portion 422, and the first cover member 16 and the second cover member 17 respectively overlap the leaf spring portion 430 when viewed in the first direction Z. A rectangular recess is formed at the position.

(第1カバー部材および第2カバー部材)
図2、図3に示すように、第1カバー部材16には、第1方向Zの他方側Z2に向かって開口する凹部165が形成されている。第1カバー部材16において、凹部165は、第2方向Xの一方側X1に位置する第1壁部161と、第2方向Xの他方側X2に位置する第2壁部162と、第3方向Yの一方側Y1に位置する第3壁部163と、第3方向Yの他方側Y2に位置する第4壁部164とによって囲まれている。第1カバー部材16には、第1壁部161の両端で第1方向Zの他方側Z2に向けて開口した位置決め用の凹部16aが形成されている。また、第2壁部162の両端で第1方向Zの他方側Z2に向けて突出した位置決め用の凸部16bが形成されている。凹部16aおよび凸部16bは、ホルダ60において凹部16aおよび凸部16bと対向する位置に設けられた凹部60bおよび凸部60aと嵌め合わされる。これにより、第1カバー部材16は、ホルダ60に対して第1方向Zと交差する方向に位置決めされる。
(First cover member and second cover member)
As shown in FIGS. 2 and 3, the first cover member 16 is formed with a recess 165 that opens toward the other side Z <b> 2 in the first direction Z. In the first cover member 16, the concave portion 165 includes a first wall portion 161 located on one side X1 in the second direction X, a second wall portion 162 located on the other side X2 in the second direction X, and a third direction. It is surrounded by a third wall portion 163 located on one side Y1 of Y and a fourth wall portion 164 located on the other side Y2 in the third direction Y. The first cover member 16 is formed with a positioning recess 16 a that opens toward the other side Z <b> 2 in the first direction Z at both ends of the first wall portion 161. In addition, positioning convex portions 16 b that protrude toward the other side Z <b> 2 in the first direction Z are formed at both ends of the second wall portion 162. The concave portion 16a and the convex portion 16b are fitted with the concave portion 60b and the convex portion 60a provided in the holder 60 at positions facing the concave portion 16a and the convex portion 16b. Accordingly, the first cover member 16 is positioned in a direction intersecting the first direction Z with respect to the holder 60.

第2カバー部材17は、第1カバー部材16と同一形状の部材を第1方向Zに裏返して配置されている。第2カバー部材17には、第1方向Zの一方側Z1に向かって開口する凹部175が形成されている(図2参照)。図2、図3に示すように、第2カバー部材17において、凹部175は、第2方向Xの一方側X1に位置する第1壁部171と、第2方向Xの他方側X2に位置する第2壁部172と、第3方向Yの一方側Y1に位置する第3壁部173と、第3方向Yの他方側Y2に位置する第4壁部174とによって囲まれている。第2カバー部材17には、第1壁部171の両端で第1方向Zの一方側Z1に向けて開口した位置決め用の凹部(図示省略)が形成されている。また、第2壁部172の両端で第1方向Zの一方側に向けて突出した位置決め用の凸部(図示省略)が形成されてい
る。これらは、第1カバー部材16の凹部16aおよび凸部16bと同様に、支持体2を組み立てる際、ホルダ60の対応する位置に設けられた凹部60bおよび凸部60aと嵌め合わされる。これにより、第2カバー部材17は、ホルダ60に対して第1方向Zと交差する方向に位置決めされる。
The second cover member 17 is disposed by turning over a member having the same shape as the first cover member 16 in the first direction Z. The second cover member 17 is formed with a recess 175 that opens toward one side Z1 in the first direction Z (see FIG. 2). As shown in FIGS. 2 and 3, in the second cover member 17, the recess 175 is located on the first wall 171 located on one side X <b> 1 in the second direction X and on the other side X <b> 2 in the second direction X. It is surrounded by the second wall portion 172, the third wall portion 173 located on one side Y1 in the third direction Y, and the fourth wall portion 174 located on the other side Y2 in the third direction Y. The second cover member 17 is formed with positioning recesses (not shown) that open toward one side Z <b> 1 in the first direction Z at both ends of the first wall portion 171. In addition, positioning protrusions (not shown) protruding toward one side in the first direction Z are formed at both ends of the second wall portion 172. Similar to the recesses 16 a and the projections 16 b of the first cover member 16, these are fitted with the recesses 60 b and the projections 60 a provided at corresponding positions of the holder 60 when the support body 2 is assembled. Accordingly, the second cover member 17 is positioned in a direction intersecting the first direction Z with respect to the holder 60.

図3に示すように、第1カバー部材16の凹部165の第2方向Xの中央には、第3方向Yに延在するリブ166が形成されている。リブ166の第3方向Yの両端および中央の3箇所には、第1方向Zの他方側Z2に突出する第1凸部167が形成されている。同様に、第2カバー部材17の凹部175の第2方向Xの中央には、第3方向Yに延在するリブ176が形成され、リブ176の第3方向Yの両端および中央の3箇所には、第1方向Zの他方側Z2に突出する第2凸部177が形成されている(図2参照)。図2、図3に示すように、第1カバー部材16の凹部165には、リブ166の第2方向Xの両側の2箇所に粘弾性部材9が配置されている。同様に、第2カバー部材17の凹部175には、リブ176の第2方向Xの両側の2箇所に粘弾性部材9が配置されている。   As shown in FIG. 3, a rib 166 extending in the third direction Y is formed at the center in the second direction X of the recess 165 of the first cover member 16. First protrusions 167 that protrude to the other side Z <b> 2 in the first direction Z are formed at both ends and the center in the third direction Y of the rib 166. Similarly, a rib 176 extending in the third direction Y is formed in the center of the recess 175 of the second cover member 17 in the second direction X, and the rib 176 is formed at both ends and the center in the third direction Y. Is formed with a second convex portion 177 projecting to the other side Z2 in the first direction Z (see FIG. 2). As shown in FIGS. 2 and 3, the viscoelastic members 9 are disposed in the recess 165 of the first cover member 16 at two locations on both sides in the second direction X of the rib 166. Similarly, in the concave portion 175 of the second cover member 17, the viscoelastic members 9 are disposed at two locations on both sides in the second direction X of the rib 176.

(粘弾性部材)
支持体2の内側において、可動体3は、ホルダ60に対して第2方向Xに移動可能に組み付けられ、第1カバー部材16と第2カバー部材17との間に配置されている。粘弾性部材9は、第1カバー部材16と可動体3が第1方向Zに対向する部位、および、第2カバー部材17と可動体3が第1方向Zに対向する部位に配置されている。粘弾性部材9は、一方の面が凹部165もしくは凹部175の底面に接着剤により接続され、他方の面が可動体3に接着剤により接続されている。従って、粘弾性部材9によって可動体3と支持体2とが接続されている。後述するように、可動体3は、第1カバー部材16と第1方向Zに対向する第1板部311、および、第2カバー部材17と第1方向Zに対応する第3板部331を備えたヨーク30を有しており、第1カバー部材16と可動体3との間に配置される粘弾性部材9は、ヨーク30の第1板部311と接続され、第2カバー部材17と可動体3との間に配置される粘弾性部材9は、ヨーク30の第3板部331と接続される。
(Viscoelastic member)
Inside the support body 2, the movable body 3 is assembled to the holder 60 so as to be movable in the second direction X, and is disposed between the first cover member 16 and the second cover member 17. The viscoelastic member 9 is disposed at a portion where the first cover member 16 and the movable body 3 face each other in the first direction Z, and at a portion where the second cover member 17 and the movable body 3 face each other in the first direction Z. . One surface of the viscoelastic member 9 is connected to the bottom surface of the recess 165 or the recess 175 by an adhesive, and the other surface is connected to the movable body 3 by an adhesive. Therefore, the movable body 3 and the support body 2 are connected by the viscoelastic member 9. As will be described later, the movable body 3 includes a first plate portion 311 facing the first cover member 16 in the first direction Z, and a third plate portion 331 corresponding to the second cover member 17 and the first direction Z. The viscoelastic member 9 having the yoke 30 provided and disposed between the first cover member 16 and the movable body 3 is connected to the first plate portion 311 of the yoke 30, and the second cover member 17. The viscoelastic member 9 disposed between the movable body 3 and the third plate portion 331 of the yoke 30 is connected.

粘弾性部材9は、凹部165の底面と可動体3との間、および、凹部175の底面と可動体3との間で第1方向Zに圧縮した状態で配置される。本形態において、粘弾性部材9は、第1方向Zを厚さ方向(軸方向)とし、第1方向Zと交差する第2方向をせん断方向とするように配置されている。第1カバー部材16に形成された第1凸部167、および、第2カバー部材17に形成された第2凸部177は、粘弾性部材9の第1方向Zの潰れ量を規制するストッパとして機能する。   The viscoelastic member 9 is disposed in a compressed state in the first direction Z between the bottom surface of the recess 165 and the movable body 3 and between the bottom surface of the recess 175 and the movable body 3. In this embodiment, the viscoelastic member 9 is disposed such that the first direction Z is the thickness direction (axial direction) and the second direction intersecting the first direction Z is the shear direction. The 1st convex part 167 formed in the 1st cover member 16 and the 2nd convex part 177 formed in the 2nd cover member 17 serve as a stopper which controls the amount of crushing of viscoelastic member 9 in the 1st direction Z. Function.

ここで、粘弾性とは、粘性と弾性の両方を合わせた性質のことであり、ゲル状部材、プラスチック、ゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質である。従って、粘弾性部材9として、各種ゲル状部材を用いることができる。また、粘弾性部材9として、天然ゴム、ジエン系ゴム(例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム)、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等)、非ジエン系ゴム(例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等)、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。本形態において、粘弾性部材9は、針入度が10度から110度であるシリコーン系ゲルである。針入度とは、JIS−K−2207やJIS−K−2220で規定されており、この値が小さい程、硬いことを意味する。粘弾性部材9は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、粘弾性部材9は、その厚さ方向(軸方向)に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分(バネ係数)よりも非線形の成分(バネ係数)が大きい伸縮特性を備える。これに対して、厚さ方向(軸方向)に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分(バネ係数)よりも線形の成分(
バネ係数)が大きい伸縮特性を備える。一方、本形態のように、粘弾性部材9が厚さ方向(軸方向)と交差する方向(せん断方向)に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分(バネ係数)よりも線形の成分(バネ係数)が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材9では、運動方向によるバネ力が一定となる。それ故、本形態のように、粘弾性部材9のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。
Here, viscoelasticity is a property that combines both viscosity and elasticity, and is a property that is remarkably seen in polymer materials such as gel-like members, plastics, and rubbers. Therefore, various gel-like members can be used as the viscoelastic member 9. Further, as the viscoelastic member 9, natural rubber, diene rubber (for example, styrene / butadiene rubber, isoprene rubber, butadiene rubber), chloroprene rubber, acrylonitrile / butadiene rubber, etc., non-diene rubber (for example, butyl rubber, ethylene Propylene rubber, ethylene / propylene / diene rubber, urethane rubber, silicone rubber, fluorine rubber, etc.), various rubber materials such as thermoplastic elastomers, and modified materials thereof may be used. In this embodiment, the viscoelastic member 9 is a silicone gel having a penetration of 10 degrees to 110 degrees. The penetration is defined by JIS-K-2207 or JIS-K-2220, and the smaller this value is, the harder it is. The viscoelastic member 9 has linear or non-linear expansion / contraction characteristics depending on the expansion / contraction direction. For example, when the viscoelastic member 9 is pressed in the thickness direction (axial direction) and compressively deformed, the viscoelastic member 9 has an expansion / contraction characteristic in which a nonlinear component (spring coefficient) is larger than a linear component (spring coefficient). On the other hand, when stretched by being pulled in the thickness direction (axial direction), a linear component (non-linear component (spring coefficient)) (
It has elastic characteristics with a large spring coefficient. On the other hand, when the viscoelastic member 9 is deformed in the direction (shear direction) intersecting the thickness direction (axial direction) as in this embodiment, it is a deformation in the direction of being pulled and extended regardless of the direction of movement. For this reason, the linear component (spring coefficient) is larger than the nonlinear component (spring coefficient). Therefore, in the viscoelastic member 9, the spring force according to the movement direction is constant. Therefore, by using the spring element in the shear direction of the viscoelastic member 9 as in this embodiment, the reproducibility of the vibration acceleration with respect to the input signal can be improved, so that vibration can be realized with a subtle nuance. it can.

(配線基板の保持構造)
第1カバー部材16の第2方向Xの一方側X1の端部160には、第2方向Xの他方側X2に向けて凹む凹部168が形成されている。また、凹部168の第1方向Zの一方側Z1の内面から第1方向Zの他方側Z2に立ち上がる第1基板支持壁50と、第1基板支持壁50の第3方向Yの他方側Y2において第1方向Zの他方側Z2に突出する位置決め突起51が形成されている。第1基板支持壁50と第1壁部161との間には、第1方向Zの他方側Z2に向けて開口する第1基板保持溝52が形成されている。
(Wiring board holding structure)
A concave portion 168 that is recessed toward the other side X <b> 2 in the second direction X is formed at the end 160 on the one side X <b> 1 in the second direction X of the first cover member 16. Further, in the first substrate support wall 50 that rises from the inner surface of one side Z1 in the first direction Z of the recess 168 to the other side Z2 in the first direction Z, and in the other side Y2 of the first substrate support wall 50 in the third direction Y. A positioning projection 51 that projects to the other side Z2 in the first direction Z is formed. A first substrate holding groove 52 that opens toward the other side Z2 in the first direction Z is formed between the first substrate support wall 50 and the first wall portion 161.

また、第2カバー部材17の第2方向Xの一方側X1の端部170には、第2方向Xの他方側X2に向けて凹む凹部178が形成され、凹部178の第1方向Zの他方側Z2の内面から第1方向Zの一方側Y1に立ち上がる第2基板支持壁53と、第2基板支持壁53の第3方向Yの他方側Z2において第1方向Zの他方側Z2に突出する位置決め突起54が形成されている。第2基板支持壁53と第1壁部171との間には、第1方向Zの一方側Z1に向けて開口する第2基板保持溝55が形成されている。   In addition, a concave portion 178 that is recessed toward the other side X2 of the second direction X is formed at the end portion 170 on the one side X1 in the second direction X of the second cover member 17, and the other side of the concave portion 178 in the first direction Z is formed. The second substrate support wall 53 rising from the inner surface of the side Z2 to the one side Y1 in the first direction Z, and the other side Z2 in the third direction Y of the second substrate support wall 53 protrudes to the other side Z2 in the first direction Z. A positioning protrusion 54 is formed. Between the second substrate support wall 53 and the first wall portion 171, a second substrate holding groove 55 that opens toward one side Z <b> 1 in the first direction Z is formed.

図3に示すように、ホルダ60の第2方向Xの一方側X1の端部600には、第2方向Xの他方側X2に凹む凹部610が形成されている。凹部610は、第1カバー部材16の凹部168、および、第2カバー部材17の凹部178と繋がっており、凹部168、凹部610、凹部178は、全体として第2方向Xから見て矩形の基板配置用凹部56(図1、図2参照)を形成している。基板配置用凹部56は、支持体2の第2方向Xの一方側X1の側面2Aに形成され、基板配置用凹部56の第1方向Zの一方側Z1および他方側の内面には、第1方向Zに対向する第1基板保持溝52および第2基板保持溝55が形成されている。配線基板15は、基板配置用凹部56に配置され、第1方向Zの一方側Z1の端部が第1基板保持溝52に挿入され、他方側Z2の端部が第2基板保持溝55に挿入されることにより、支持体2に保持されている。図3に示すように、配線基板15には、対角位置に切り欠き151が形成されている。切り欠き151は、配線基板15の裏表の向きが正しい状態で配線基板15を基板配置用凹部56に配置したとき、支持体2側の位置決め突起51、54と嵌合する。   As shown in FIG. 3, a concave portion 610 that is recessed on the other side X <b> 2 in the second direction X is formed on the end portion 600 on the one side X <b> 1 in the second direction X of the holder 60. The concave portion 610 is connected to the concave portion 168 of the first cover member 16 and the concave portion 178 of the second cover member 17, and the concave portion 168, the concave portion 610, and the concave portion 178 are rectangular substrates as a whole when viewed from the second direction X. An arrangement recess 56 (see FIGS. 1 and 2) is formed. The substrate placement recess 56 is formed on the side surface 2A on one side X1 of the support 2 in the second direction X, and the substrate placement recess 56 has a first side Z1 in the first direction Z and an inner surface on the other side on the first side Z1. A first substrate holding groove 52 and a second substrate holding groove 55 facing in the direction Z are formed. The wiring substrate 15 is disposed in the substrate placement recess 56, the end on one side Z1 in the first direction Z is inserted into the first substrate holding groove 52, and the end on the other side Z2 is inserted into the second substrate holding groove 55. By being inserted, it is held on the support 2. As shown in FIG. 3, the wiring board 15 has a notch 151 formed at a diagonal position. The notch 151 fits with the positioning projections 51 and 54 on the support 2 side when the wiring board 15 is placed in the board placement recess 56 in a state where the front and back sides of the wiring board 15 are correct.

図4は配線基板15を取り外したアクチュエータ1の部分拡大断面図である。また、図5は配線基板の保持構造を模式的に示す説明図である。図4、図5に示すように、第1基板保持溝52および第2基板保持溝55は、それぞれ、溝幅方向である第2方向Xに対向する第1内面57および第2内面58を備える。第2方向Xの一方側X1に位置する第1内面57は溝深さ方向(第1方向Z)に対して傾斜するテーパ面であり、第2方向Xの他方側X2に位置する第2内面58は溝深さ方向(第1方向Z)と平行に延在する面である。   FIG. 4 is a partially enlarged cross-sectional view of the actuator 1 with the wiring board 15 removed. FIG. 5 is an explanatory diagram schematically showing a wiring board holding structure. As shown in FIGS. 4 and 5, the first substrate holding groove 52 and the second substrate holding groove 55 each include a first inner surface 57 and a second inner surface 58 that face the second direction X that is the groove width direction. . The first inner surface 57 located on one side X1 in the second direction X is a tapered surface inclined with respect to the groove depth direction (first direction Z), and the second inner surface located on the other side X2 in the second direction X. Reference numeral 58 denotes a surface extending in parallel with the groove depth direction (first direction Z).

図4、図5に示すように、第2内面58は、ホルダ60の端部600に形成された凹部610の底面611と第1方向Zに隣り合う位置に設けられ、第2内面58は、底面611との間に段差を有している。底面611は、第2内面58より第2方向Xの一方側X1に位置している。つまり、ホルダ60の端部600において、第1基板保持溝52および第2基板保持溝55の間に位置する部分(底面611)は、第2内面58より第2方向X
の一方側X1に突出した位置にある。
As shown in FIGS. 4 and 5, the second inner surface 58 is provided at a position adjacent to the bottom surface 611 of the recess 610 formed in the end portion 600 of the holder 60 in the first direction Z, and the second inner surface 58 is There is a step between the bottom surface 611. The bottom surface 611 is located on one side X1 in the second direction X from the second inner surface 58. That is, in the end portion 600 of the holder 60, a portion (bottom surface 611) located between the first substrate holding groove 52 and the second substrate holding groove 55 is in the second direction X from the second inner surface 58.
It is in the position which protruded to one side X1.

配線基板15の端部を第1基板保持溝52および第2基板保持溝55に挿入すると、図5に示すように、配線基板15の端部には、第2方向Xの一方側X1から第1内面57が当接し、第2方向Xの他方側X2から凹部610の底面611が当接する。すなわち、底面611は、第1内面57とは反対側から配線基板15に当接する基板当接部であり、配線基板15の端部は、第1内面57(テーパ面)と底面611(基板当接部)との間に挟まれる。第1内面57はテーパ面であるため、配線基板15は、全体として第2方向Xの一方側X1へ凸となるようにわずかに撓み、この撓みを解消する方向に両端が付勢される。その結果、配線基板15の端部がテーパ面である第1内面57に押し付けられる。これにより、配線基板15の端部は、第1基板保持溝52および第2基板保持溝55にがたつきなく保持される。   When the end portion of the wiring substrate 15 is inserted into the first substrate holding groove 52 and the second substrate holding groove 55, the end portion of the wiring substrate 15 is connected to the first side X1 in the second direction X from the first side X1 as shown in FIG. The first inner surface 57 comes into contact with the bottom surface 611 of the recess 610 from the other side X2 in the second direction X. That is, the bottom surface 611 is a substrate contact portion that contacts the wiring substrate 15 from the side opposite to the first inner surface 57, and the end portion of the wiring substrate 15 includes the first inner surface 57 (tapered surface) and the bottom surface 611 (substrate contact). Between them. Since the first inner surface 57 is a tapered surface, the wiring substrate 15 is slightly bent so as to be convex toward the one side X1 in the second direction X as a whole, and both ends are urged in a direction to eliminate this bending. As a result, the end of the wiring board 15 is pressed against the first inner surface 57 that is a tapered surface. As a result, the end portion of the wiring substrate 15 is held in the first substrate holding groove 52 and the second substrate holding groove 55 without rattling.

(磁気駆動回路)
磁気駆動回路6は、コイル7と、コイル7に対して第1方向Zで対向する磁石8とを有している。図2に示すように、本形態では、コイル7として、第2方向Xで並列するように配置された2つの第1コイル71、72と、第1コイル71、72の第1方向Zの他方側Z2において第2方向Xで並列するように配置された2つの第2コイル73、74を備える。第1コイル71、72と第2コイル73、74は、第1方向Zから見たときに重なる位置に配置されている。それぞれのコイル7は、第3方向Yに長辺701(有効部分)が延在する長円形状の空芯コイルである。コイル7はホルダ60に保持されており、支持体2の側に設けられている。
(Magnetic drive circuit)
The magnetic drive circuit 6 includes a coil 7 and a magnet 8 that faces the coil 7 in the first direction Z. As shown in FIG. 2, in the present embodiment, as the coil 7, two first coils 71 and 72 arranged in parallel in the second direction X, and the other of the first coils 71 and 72 in the first direction Z. Two second coils 73 and 74 arranged in parallel in the second direction X on the side Z2 are provided. The first coils 71 and 72 and the second coils 73 and 74 are arranged at positions that overlap when viewed from the first direction Z. Each coil 7 is an elliptical air-core coil in which the long side 701 (effective portion) extends in the third direction Y. The coil 7 is held by a holder 60 and provided on the support 2 side.

(ホルダ)
図6は可動体3、ホルダ60、磁気駆動回路6および配線基板15の分解斜視図である。図2〜図4に示すように、ホルダ60は、第1ホルダ61と、第1ホルダ61に対して第1方向Zの他方側Z2から当接する第2ホルダ62を備える。第1ホルダ61と第2ホルダ62の形状は同一であり、第1方向Zで逆向きにして配置されている。以下、第1ホルダ61の構成を説明し、第2ホルダ62については、同じ構成には同じ符号を付して説明を省略する。
(holder)
FIG. 6 is an exploded perspective view of the movable body 3, the holder 60, the magnetic drive circuit 6, and the wiring board 15. 2 to 4, the holder 60 includes a first holder 61 and a second holder 62 that comes into contact with the first holder 61 from the other side Z2 in the first direction Z. The first holder 61 and the second holder 62 have the same shape, and are arranged in the first direction Z in the opposite directions. Hereinafter, the configuration of the first holder 61 will be described, and with respect to the second holder 62, the same reference numerals are given to the same configuration, and description thereof will be omitted.

第1ホルダ61は、第1方向の他方側Z2の面から第1方向Zの一方側Z1に凹んだ凹部63と、第1方向の一方側Z1の面から第1方向Zの他方側Z2に凹んだ凹部64を備えており、凹部63、64の底部を構成する部分が薄肉状となっている。この薄肉状部分には、第2方向Xの略中央にウェイト配置穴65が形成され、ウェイト配置穴65の第2方向Xの両側にコイル保持穴66が形成されている。コイル保持穴66およびウェイト配置穴65は貫通穴であり、各コイル保持穴66の第3方向Yの両端部には受け部67が形成されている。コイル保持穴66にコイル7を装着すると、コイル7の短辺702(無効部分)が受け部67によって支持される。この状態で、コイル7は接着剤等によって第1ホルダ61に固定される。   The first holder 61 includes a recess 63 that is recessed from the surface of the other side Z2 in the first direction to the one side Z1 of the first direction Z, and a surface of the one side Z1 of the first direction to the other side Z2 of the first direction Z. The recessed part 64 is provided and the part which comprises the bottom part of the recessed parts 63 and 64 is thin shape. In the thin-walled portion, a weight arrangement hole 65 is formed in the approximate center of the second direction X, and coil holding holes 66 are formed on both sides of the weight arrangement hole 65 in the second direction X. The coil holding hole 66 and the weight arrangement hole 65 are through holes, and receiving portions 67 are formed at both ends of each coil holding hole 66 in the third direction Y. When the coil 7 is mounted in the coil holding hole 66, the short side 702 (invalid portion) of the coil 7 is supported by the receiving portion 67. In this state, the coil 7 is fixed to the first holder 61 with an adhesive or the like.

第1ホルダ61は、凹部63、64の外周側を囲む外枠部68を備える。外枠部68は、凹部63に対して第2方向Xの一方側X1、第2方向Xの他方側X2、第3方向Yの一方側Y1、および第3方向Yの他方側Y2に、第1外枠部分681、第2外枠部分682、第3外枠部分683、および第4外枠部分684を備えている。第1ホルダ61には、第2方向Xの一方側X1のコイル保持穴66と第1外枠部分681との間に第1開口部601が形成され、第2方向Xの他方側X2のコイル保持穴66と第2外枠部分682との間に第2開口部602が形成されている。第1開口部601、および第2開口部602は第1ホルダ61を第1方向Zで貫通している。   The first holder 61 includes an outer frame portion 68 that surrounds the outer peripheral sides of the recesses 63 and 64. The outer frame portion 68 is located on one side X1 in the second direction X, the other side X2 in the second direction X, the one side Y1 in the third direction Y, and the other side Y2 in the third direction Y with respect to the recess 63. A first outer frame portion 681, a second outer frame portion 682, a third outer frame portion 683, and a fourth outer frame portion 684 are provided. A first opening 601 is formed in the first holder 61 between the coil holding hole 66 on one side X1 in the second direction X and the first outer frame portion 681, and the coil on the other side X2 in the second direction X is formed. A second opening 602 is formed between the holding hole 66 and the second outer frame portion 682. The first opening 601 and the second opening 602 penetrate the first holder 61 in the first direction Z.

第1ホルダ61の第1方向Zの他方側Z2の面には、外枠部68の一方の対角位置に、第1方向Zの他方側Z2に突出した凸部60aが形成され、他方の対角位置には、第1方向Zの一方側Z1に凹んだ凹部60bが形成されている。第1ホルダ61と第2ホルダ62を組み立ててホルダ60を構成する際、第1方向Zに対向する凸部60aと凹部60bを嵌め合わせる。また、第1ホルダ61の第1方向Zの一方側Z1の面には、第1外枠部分681の両端に凸部60a(図示省略)が形成され、第2外枠部分682の両端に凹部60b(図示省略)が形成されている。第1方向Zの一方側Z1の面に形成された凸部60aおよび凹部60bは、上述したように、第1カバー部材16の凹部16aおよび凸部16bと嵌め合わされる。   On the surface of the other side Z2 in the first direction Z of the first holder 61, a convex portion 60a projecting to the other side Z2 in the first direction Z is formed at one diagonal position of the outer frame portion 68. In the diagonal position, a recess 60b that is recessed on one side Z1 in the first direction Z is formed. When the first holder 61 and the second holder 62 are assembled to form the holder 60, the convex portions 60a and the concave portions 60b facing the first direction Z are fitted together. Also, on the surface of the first holder 61 on one side Z1 in the first direction Z, convex portions 60a (not shown) are formed at both ends of the first outer frame portion 681, and concave portions are formed at both ends of the second outer frame portion 682. 60b (illustration omitted) is formed. The convex portion 60a and the concave portion 60b formed on the surface on the one side Z1 in the first direction Z are fitted with the concave portion 16a and the convex portion 16b of the first cover member 16 as described above.

また、第1ホルダ61の外枠部68には、凸部60aおよび凹部60bよりも外周側の4箇所の対角位置に貫通孔60cが形成されている。貫通孔60cは、第1ホルダ61の外枠部68と、第2ホルダ62の外枠部68とが第1方向Zに当接する部位に設けられている。4箇所の貫通孔60cには、それぞれ、位置決めピン69が挿通される。位置決めピン69は、一方の端部が第1ホルダ61の貫通孔60cに通され、他方の端部が第2ホルダ62の貫通孔60cに通される。位置決めピン69により、第1ホルダ61と第2ホルダ62が第1方向Zと直交する方向に位置決めされるとともに、第1ホルダ61と第2ホルダ62が結合される。   Further, the outer frame portion 68 of the first holder 61 is formed with through holes 60c at four diagonal positions on the outer peripheral side of the convex portion 60a and the concave portion 60b. The through hole 60 c is provided at a portion where the outer frame portion 68 of the first holder 61 and the outer frame portion 68 of the second holder 62 abut in the first direction Z. The positioning pins 69 are inserted through the four through holes 60c, respectively. One end of the positioning pin 69 is passed through the through hole 60 c of the first holder 61, and the other end is passed through the through hole 60 c of the second holder 62. The positioning pins 69 position the first holder 61 and the second holder 62 in a direction orthogonal to the first direction Z, and couple the first holder 61 and the second holder 62 together.

コイル7は、凹部64側からコイル保持穴66に配置され、受け部67に支持される。第1ホルダ61のコイル保持穴66(第1コイル保持穴)には、第1コイル71、72が保持される。また、第2ホルダ62のコイル保持穴66(第2コイル保持穴)には、第2コイル73、74が保持される。第1ホルダ61および第2ホルダ62の第1外枠部分681には、凹部64が開口する側の端面に端子ピン保持溝685が形成されている。すなわち、第1ホルダ61では、第1外枠部分681の第1方向Zの一方側Z1の端面に端子ピン保持溝685が形成されている。また、第2ホルダ62では、凹部64が開口する側の端面は、第1方向Zの他方側Z2を向いているので、端子ピン保持溝685は、第1方向Zの他方側Z2を向く端面に形成されている。端子ピン保持溝685は、第1外枠部分681の第3方向Yの両端に形成され、それぞれ1本ずつ端子ピン10を保持している。端子ピン10は、端子ピン保持溝685に配置されて第2方向Xに直線状に延びる第1部分10aと、第1部分10aに対して略直角に繋がる第2部分10bとを備える(図4参照)。第2部分10bは、端子ピン保持溝685の底部に設けられた取付孔686(図7参照)に挿入される。第1部分10aの先端は、端子ピン保持溝685から第2方向Xの一方側X1へ突出する。   The coil 7 is disposed in the coil holding hole 66 from the concave portion 64 side and is supported by the receiving portion 67. The first coils 71 and 72 are held in the coil holding hole 66 (first coil holding hole) of the first holder 61. The second coils 73 and 74 are held in the coil holding hole 66 (second coil holding hole) of the second holder 62. In the first outer frame portion 681 of the first holder 61 and the second holder 62, a terminal pin holding groove 685 is formed on the end surface on the side where the concave portion 64 opens. That is, in the first holder 61, the terminal pin holding groove 685 is formed on the end surface on the one side Z <b> 1 in the first direction Z of the first outer frame portion 681. Further, in the second holder 62, the end surface on the side where the recess 64 opens faces the other side Z <b> 2 in the first direction Z, so the terminal pin holding groove 685 is the end surface facing the other side Z <b> 2 in the first direction Z. Is formed. The terminal pin holding grooves 685 are formed at both ends of the first outer frame portion 681 in the third direction Y, and hold the terminal pins 10 one by one. The terminal pin 10 includes a first portion 10a disposed in the terminal pin holding groove 685 and extending linearly in the second direction X, and a second portion 10b connected to the first portion 10a at a substantially right angle (FIG. 4). reference). The second portion 10b is inserted into a mounting hole 686 (see FIG. 7) provided at the bottom of the terminal pin holding groove 685. The tip of the first portion 10a protrudes from the terminal pin holding groove 685 to one side X1 in the second direction X.

図7は、筒状ケース4および第2カバー部材17を取り外したアクチュエータ1の平面図であり、後述する第3ヨーク33の図示を省略して第1方向Zの他方側Z2から見た平面図である。図7に示すように、第2ホルダ62において、端子ピン保持溝685の第2方向Xの他方側X2は凹部64と繋がっている。凹部64にはコイル保持穴66が形成され、コイル7が保持されている。コイル7から引き出された導線75は、凹部64から端子ピン保持溝685に引き込まれ、絡げ、半田付け等により端子ピン10の第1部分10aに接続される。第1ホルダ61には第1コイル71、72が保持され、第1ホルダ61に取り付けられた2本の端子ピン10には、第1コイル71、72の巻き始め側の導線75と、巻き終り側の導線75が接続される。また、第2ホルダ62に取り付けられた2本の端子ピン10には、第2コイル73、74の巻き始め側の導線75と、巻き終り側の導線75が接続される。   FIG. 7 is a plan view of the actuator 1 with the cylindrical case 4 and the second cover member 17 removed, and is a plan view seen from the other side Z2 in the first direction Z, omitting the illustration of a third yoke 33 to be described later. It is. As shown in FIG. 7, in the second holder 62, the other side X <b> 2 of the terminal pin holding groove 685 in the second direction X is connected to the recess 64. A coil holding hole 66 is formed in the recess 64 to hold the coil 7. The conducting wire 75 drawn out from the coil 7 is drawn into the terminal pin holding groove 685 from the recess 64, and is connected to the first portion 10a of the terminal pin 10 by binding, soldering, or the like. The first holder 61 holds the first coils 71 and 72, and the two terminal pins 10 attached to the first holder 61 have the lead wires 75 on the winding start side of the first coils 71 and 72 and the end of winding. The side conductor 75 is connected. The two terminal pins 10 attached to the second holder 62 are connected to the winding start side conductor 75 and the winding end side conductor 75 of the second coils 73 and 74.

図3に示すように、ホルダ60の端部600に形成された凹部610には、第1ホルダ61および第2ホルダ62からそれぞれ、端子ピン10が2本ずつ突出している。これらの4本の端子ピン10は、配線基板15に形成された孔に挿入され、配線基板15の表面
に形成された回路パターンに接続される(図1参照)。
As shown in FIG. 3, two terminal pins 10 protrude from the first holder 61 and the second holder 62 in the recess 610 formed in the end portion 600 of the holder 60. These four terminal pins 10 are inserted into holes formed in the wiring board 15 and connected to a circuit pattern formed on the surface of the wiring board 15 (see FIG. 1).

(可動体)
図2、図6に示すように、可動体3は、磁性板からなるヨーク30と、ヨーク30に固定されるウェイト40および磁石8を備える。磁石8は、ヨーク30に接着等により固定される。ヨーク30は、第1板部311を備える第1ヨーク31と、第1板部311の第1方向Zの他方側Z2に配置される第2板部321を備える第2ヨーク32と、第2板部321の第1方向Zの他方側Z2に配置される第3板部331を備える第3ヨーク33とを有しており、第1板部311、第2板部321、第3板部331は第2方向Xに平行に延在する。第2板部321は、第1ホルダ61に保持される第1コイル71、72と第2ホルダ62に保持される第2コイル73、74の間に配置される。磁石8は、第1コイル71、72と第1方向Zに対向する第1磁石81、82と、第2コイル73、74と第1方向Zに対向する第2磁石83、84を備える。第1磁石81、82は第1板部311に固定され、第2磁石83、84は第3板部331に固定されている。第1磁石81、82および第2磁石83、84は、それぞれ、コイル7の長辺701と第1方向Zに対向する2本の長方形の磁石によって構成されている。
(Movable body)
As shown in FIGS. 2 and 6, the movable body 3 includes a yoke 30 made of a magnetic plate, a weight 40 fixed to the yoke 30, and a magnet 8. The magnet 8 is fixed to the yoke 30 by adhesion or the like. The yoke 30 includes a first yoke 31 including a first plate portion 311, a second yoke 32 including a second plate portion 321 disposed on the other side Z <b> 2 of the first plate portion 311 in the first direction Z, and a second yoke 32. A third yoke 33 having a third plate portion 331 disposed on the other side Z2 of the plate portion 321 in the first direction Z. The first plate portion 311, the second plate portion 321, and the third plate portion. 331 extends parallel to the second direction X. The second plate portion 321 is disposed between the first coils 71 and 72 held by the first holder 61 and the second coils 73 and 74 held by the second holder 62. The magnet 8 includes first magnets 81 and 82 facing the first coils 71 and 72 in the first direction Z, and second magnets 83 and 84 facing the second coils 73 and 74 in the first direction Z. The first magnets 81 and 82 are fixed to the first plate portion 311, and the second magnets 83 and 84 are fixed to the third plate portion 331. The first magnets 81, 82 and the second magnets 83, 84 are each composed of two rectangular magnets facing the long side 701 of the coil 7 in the first direction Z.

(ヨーク)
図2、図6に示すように、第2ヨーク32は平板状である。すなわち、第2ヨーク32は第2板部321である。第1ヨーク31は、第1板部311の第2方向Xの一方側X1の端部において第1板部311から第1方向Zの他方側Z2に向けて第2ヨーク32と重なる位置まで延在して第2ヨーク32と連結された第1連結板部312と、第2方向Xの他方側X2の端部において第1板部311から第1方向Zの他方側Z2に向けて第2ヨーク32と重なる位置まで延在して第2ヨーク32と連結された第2連結板部313を備える。第1連結板部312および第2連結板部313は各々、第1板部311において第2方向Xの互いに対側に位置する端部から第1方向Zの他方側Z2に向けて折れ曲がっている。このため、第1連結板部312は、第1コイル71に対して第2方向Xの一方側X1を通って第2ヨーク32まで延在し、第2連結板部313は、第1コイル72に対して第2方向Xの他方側Z2を通って第2ヨーク32まで延在している。第1連結板部312は、第1コイル71に対して第2方向Xの一方側X1を通る際、第1ホルダ61の第1開口部601を通る。また、第2連結板部313は、第1コイル72に対して第2方向Xの他方側Z2を通る際、第1ホルダ61の第2開口部602を通る。
(yoke)
As shown in FIGS. 2 and 6, the second yoke 32 has a flat plate shape. That is, the second yoke 32 is the second plate portion 321. The first yoke 31 extends from the first plate 311 toward the other side Z2 in the first direction Z to the position overlapping the second yoke 32 at the end on the one side X1 in the second direction X of the first plate 311. A first connecting plate portion 312 that is connected to the second yoke 32 and a second portion X2 from the first plate portion 311 toward the other side Z2 in the first direction Z at the end portion on the other side X2 in the second direction X. A second connecting plate portion 313 extending to a position overlapping the yoke 32 and connected to the second yoke 32 is provided. The first connecting plate portion 312 and the second connecting plate portion 313 are each bent toward the other side Z2 in the first direction Z from the end portion of the first plate portion 311 located on the opposite side in the second direction X. . For this reason, the first connecting plate portion 312 extends to the second yoke 32 through the one side X1 in the second direction X with respect to the first coil 71, and the second connecting plate portion 313 includes the first coil 72. On the other hand, it extends to the second yoke 32 through the other side Z2 in the second direction X. The first connecting plate portion 312 passes through the first opening 601 of the first holder 61 when passing the one side X <b> 1 in the second direction X with respect to the first coil 71. Further, the second connecting plate portion 313 passes through the second opening 602 of the first holder 61 when passing through the other side Z <b> 2 in the second direction X with respect to the first coil 72.

第1連結板部312および第2連結板部313は、第1方向Zの他方側Z2の端部が溶接により第2ヨーク32の端部と連結されている。図4に示すように、第2ヨーク32(第2板部321)の第2方向Xの両側の端部には、第3方向Yの両端の角部を矩形に切り欠いた凹部322が形成されている。一方、第1ヨーク31には、第1連結板部312の端部、および、第2連結板部313の端部に、第2ヨーク32の凹部322に嵌って溶接される凸部314が形成されている。   As for the 1st connection board part 312 and the 2nd connection board part 313, the edge part of the other side Z2 of the 1st direction Z is connected with the edge part of the 2nd yoke 32 by welding. As shown in FIG. 4, concave portions 322 are formed at both end portions in the second direction X of the second yoke 32 (second plate portion 321) by cutting out corners at both ends in the third direction Y into rectangles. Has been. On the other hand, the first yoke 31 is formed with convex portions 314 that are fitted and welded to the concave portions 322 of the second yoke 32 at the end portions of the first connecting plate portion 312 and the second connecting plate portion 313. Has been.

第3ヨーク33と第1ヨーク31は同一形状であり、第1方向Zで逆向きにして配置されている。第3ヨーク33は、第3板部331の第2方向Xの一方側X1の端部において第3板部331から第1方向Zの一方側Z1に向けて第2ヨーク32と重なる位置まで延在して第2ヨーク32と連結された第3連結板部332と、第2方向Xの他方側X2の端部において第3板部331から第1方向Zの一方側Z1に向けて第2ヨーク32と重なる位置まで延在して第2ヨーク32と連結された第4連結板部333を備える。第3連結板部332および第4連結板部333は各々、第3板部331において第2方向Xの互いに反対側に位置する端部から第1方向Zの他方側Z2に向けて折れ曲がっている。このため、第3連結板部332は、第2コイル73に対して第2方向Xの一方側X1を通って第2ヨーク32まで延在し、第4連結板部333は、第2コイル74に対して第2方向Xの他
方側Z2を通って第2ヨーク32まで延在している。第3連結板部332は、第2コイル73に対して第2方向Xの一方側X1を通る際、第2ホルダ62の第1開口部601を通る。また、第4連結板部333は、第2コイル74に対して第2方向Xの他方側Z2を通る際、第2ホルダ62の第2開口部602を通る。
The third yoke 33 and the first yoke 31 have the same shape and are arranged in the first direction Z in the opposite direction. The third yoke 33 extends from the third plate portion 331 toward the one side Z1 in the first direction Z to the position overlapping the second yoke 32 at the end portion on the one side X1 in the second direction X of the third plate portion 331. A third connecting plate portion 332 connected to the second yoke 32 and a second end from the third plate portion 331 toward the one side Z1 in the first direction Z at the end of the other side X2 in the second direction X. A fourth connecting plate portion 333 extending to a position overlapping the yoke 32 and connected to the second yoke 32 is provided. The third connecting plate portion 332 and the fourth connecting plate portion 333 are each bent toward the other side Z2 in the first direction Z from the end portions of the third plate portion 331 that are located on opposite sides of the second direction X. . For this reason, the third connecting plate portion 332 extends to the second yoke 32 through the one side X1 in the second direction X with respect to the second coil 73, and the fourth connecting plate portion 333 includes the second coil 74. On the other hand, it extends to the second yoke 32 through the other side Z2 in the second direction X. The third connecting plate portion 332 passes through the first opening 601 of the second holder 62 when passing through the one side X <b> 1 in the second direction X with respect to the second coil 73. The fourth connecting plate portion 333 passes through the second opening 602 of the second holder 62 when passing through the other side Z <b> 2 in the second direction X with respect to the second coil 74.

第3連結板部332および第4連結板部333は、第1方向Zの一方側Z1の端部が溶接により第2ヨーク32の端部と連結されている。第3連結板部332の端部、および、第4連結板部333の端部には、第2ヨーク32の凹部322に嵌って溶接される凸部334が形成されている。第1ヨーク31および第3ヨーク33は、第1板部311および第3板部331の第2方向Xの中央部分が最も第3方向Yの幅が広く、第1開口部601および第2開口部602に通される部分(第1連結板部312、第2連結板部313、第3連結板部332、第4連結板部333)は、第1板部311および第3板部331の第2方向Xの中央部分よりも第3方向Yの幅が狭い。   As for the 3rd connection board part 332 and the 4th connection board part 333, the edge part of the one side Z1 of the 1st direction Z is connected with the edge part of the 2nd yoke 32 by welding. Convex portions 334 that fit into the concave portions 322 of the second yoke 32 and are welded are formed at the end portions of the third connecting plate portion 332 and the end portions of the fourth connecting plate portion 333. As for the 1st yoke 31 and the 3rd yoke 33, the center part of the 2nd direction X of the 1st board part 311 and the 3rd board part 331 is the widest of the 3rd direction Y, and the 1st opening part 601 and the 2nd opening part The portions (the first connecting plate portion 312, the second connecting plate portion 313, the third connecting plate portion 332, the fourth connecting plate portion 333) that are passed through the portion 602 are the first plate portion 311 and the third plate portion 331. The width in the third direction Y is narrower than the central portion in the second direction X.

(ウェイト)
図2に示すように、ウェイト40は、ヨーク30の第1板部311と第2板部321の間に配置される第1ウェイト41と、ヨーク30の第2板部321と第3板部331の間に配置される第2ウェイト42を備える。本形態では、第1ウェイト41と第2ウェイト42は同一形状であり、タングステン、ステンレス等の非磁性の金属からなる直方体状の部材である。図2、図7に示すように、第1ウェイト41は、第1ホルダ61のウェイト配置穴65に配置され、第2ウェイト42は、第2ホルダ62のウェイト配置穴65に配置される。ウェイト配置穴65は、第1ウェイト41および第2ウェイト42より一回り大きいため、可動体3が第2方向Xに振動する際、第1ウェイト41および第2ウェイト42は、ウェイト配置穴65の内部で第2方向Xに移動する。
(weight)
As shown in FIG. 2, the weight 40 includes a first weight 41 disposed between the first plate portion 311 and the second plate portion 321 of the yoke 30, and the second plate portion 321 and the third plate portion of the yoke 30. 331 includes a second weight 42 disposed between 331. In this embodiment, the first weight 41 and the second weight 42 have the same shape and are rectangular parallelepiped members made of a nonmagnetic metal such as tungsten or stainless steel. As shown in FIGS. 2 and 7, the first weight 41 is arranged in the weight arrangement hole 65 of the first holder 61, and the second weight 42 is arranged in the weight arrangement hole 65 of the second holder 62. Since the weight arrangement hole 65 is slightly larger than the first weight 41 and the second weight 42, when the movable body 3 vibrates in the second direction X, the first weight 41 and the second weight 42 are arranged in the weight arrangement hole 65. It moves in the second direction X inside.

第1ウェイト41および第2ウェイト42は、リベット43によってヨーク30に固定される。図6に示すように、第1ウェイト41および第2ウェイト42は、第3方向Yの幅が第2方向Xよりも長く、リベット43は、第3方向Yに離間した2箇所に配置されている。第1ウェイト41および第2ウェイト42と、ヨーク30の第1板部311、第2板部321、および第3板部331には、それぞれ、リベット43を通すための貫通孔が第1方向Zから見て重なる位置に形成されている。   The first weight 41 and the second weight 42 are fixed to the yoke 30 by rivets 43. As shown in FIG. 6, the first weight 41 and the second weight 42 have a width in the third direction Y that is longer than the second direction X, and the rivets 43 are arranged at two locations separated in the third direction Y. Yes. The first weight 41 and the second weight 42, and the first plate portion 311, the second plate portion 321, and the third plate portion 331 of the yoke 30 have through holes for passing the rivets 43 in the first direction Z. It is formed at a position overlapping when viewed from above.

図2に示すように、本形態では、第1板部311と第2板部321との第1方向Zの隙間の高さは、第1ウェイト41の第1方向Zの厚さと等しい。また、第2板部321と第3板部331との第1方向Zの隙間の高さは、第2ウェイト42の第1方向Zの厚さと等しい。従って、第1板部311と第2板部321の間、および、第2板部321と第3板部331の間に、第1ウェイト41および第2ウェイト42を隙間なく取り付けることができる。なお、第1ウェイト41および第2ウェイト42の厚さを薄くし、隙間にスペーサを取り付けることもできる。   As shown in FIG. 2, in this embodiment, the height of the gap in the first direction Z between the first plate portion 311 and the second plate portion 321 is equal to the thickness of the first weight 41 in the first direction Z. The height of the gap in the first direction Z between the second plate portion 321 and the third plate portion 331 is equal to the thickness of the second weight 42 in the first direction Z. Therefore, it is possible to attach the first weight 41 and the second weight 42 between the first plate portion 311 and the second plate portion 321 and between the second plate portion 321 and the third plate portion 331 without any gap. In addition, the thickness of the 1st weight 41 and the 2nd weight 42 can be made thin, and a spacer can also be attached to a clearance gap.

(ストッパ機構)
図2、図7に示すように、第1ウェイト41および第2ウェイト42の外周面は、ウェイト配置穴65の内周面と第2方向Xに対向する。従って、第1ウェイト41および第2ウェイト42は、可動体3が第2方向Xに大きく移動した際に、ウェイト配置穴65の内周面と衝突して可動体3の第2方向Xの可動範囲を規制する第1ストッパ機構38を構成する。
(Stopper mechanism)
As shown in FIGS. 2 and 7, the outer peripheral surfaces of the first weight 41 and the second weight 42 face the inner peripheral surface of the weight arrangement hole 65 in the second direction X. Accordingly, the first weight 41 and the second weight 42 are movable in the second direction X of the movable body 3 by colliding with the inner peripheral surface of the weight arrangement hole 65 when the movable body 3 is largely moved in the second direction X. A first stopper mechanism 38 for regulating the range is configured.

また、第3ヨーク33の第3連結板部332および第4連結板部333は、第2ホルダ62の第1開口部601および第2開口部602の内周面と第2方向Xに対向する。従って、第3連結板部332および第4連結板部333は、可動体3が第2方向Xに大きく移
動した際に、第1開口部601および第2開口部602の内周面と衝突して可動体3の第2方向Xの可動範囲を規制する第2ストッパ機構39を構成する。また、第2ストッパ機構39は、第1ヨーク31の第1連結板部312および第2連結板部313と、第1ホルダ61の第1開口部601および第2開口部602の内周面との間においても、同様に構成されている。
The third connecting plate portion 332 and the fourth connecting plate portion 333 of the third yoke 33 are opposed to the inner peripheral surfaces of the first opening 601 and the second opening 602 of the second holder 62 in the second direction X. . Therefore, the third connecting plate portion 332 and the fourth connecting plate portion 333 collide with the inner peripheral surfaces of the first opening portion 601 and the second opening portion 602 when the movable body 3 moves greatly in the second direction X. Thus, the second stopper mechanism 39 that restricts the movable range of the movable body 3 in the second direction X is configured. The second stopper mechanism 39 includes the first connecting plate portion 312 and the second connecting plate portion 313 of the first yoke 31, and the inner peripheral surfaces of the first opening 601 and the second opening 602 of the first holder 61. In the same way, the configuration is the same.

(基本動作)
本形態のアクチュエータ1において、コイル7に交流を印加すると、可動体3は、第2方向Xに振動するため、アクチュエータ1における重心が第2方向Xに変動する。このため、利用者は、第2方向Xの振動を体感することができる。その際、コイル7に印加する交流波形を調整して、可動体3が第2方向Xの一方側X1に移動する加速度と、可動体3が第2方向の他方側X2に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、第2方向Xにおいて方向性を有する振動を体感することができる。
(basic action)
In the actuator 1 of this embodiment, when an alternating current is applied to the coil 7, the movable body 3 vibrates in the second direction X, so that the center of gravity of the actuator 1 varies in the second direction X. For this reason, the user can experience the vibration in the second direction X. At that time, the AC waveform applied to the coil 7 is adjusted to obtain an acceleration at which the movable body 3 moves to one side X1 in the second direction X and an acceleration at which the movable body 3 moves to the other side X2 in the second direction X. If different, the user can experience vibration having directionality in the second direction X.

(本形態の主な効果)
以上説明したように、本形態のアクチュエータ1において、可動体3は、磁石8が固定されるヨーク30と、ヨーク30に固定されるウェイト40を備える。ウェイト40は、ヨーク30の内側のスペースに配置されている。具体的には、ヨーク30の第1板部311と第2板部321の間に第1ウェイト41が配置され、ヨーク30の第2板部321と第3板部331の間に第2ウェイト42が配置されている。このように、ヨーク30の内側のスペースにウェイト40を取り付けると、可動体3の中心の近くにウェイト40を取り付けることができるので、可動体3の重心の変動が少なく、アクチュエータ1の駆動バランスが崩れるおそれが少ない。また、ウェイト40が可動体3の外形に影響しないため、可動体3の外側にウェイト40の配置スペースを確保する必要がない。また、ヨーク30の設計変更を行う必要もない。従って、適正な重量のウェイト40を容易に取り付けることができる。
(Main effects of this form)
As described above, in the actuator 1 of this embodiment, the movable body 3 includes the yoke 30 to which the magnet 8 is fixed and the weight 40 to be fixed to the yoke 30. The weight 40 is disposed in a space inside the yoke 30. Specifically, the first weight 41 is disposed between the first plate portion 311 and the second plate portion 321 of the yoke 30, and the second weight is disposed between the second plate portion 321 and the third plate portion 331 of the yoke 30. 42 is arranged. When the weight 40 is attached to the space inside the yoke 30 as described above, the weight 40 can be attached near the center of the movable body 3, so that the fluctuation of the center of gravity of the movable body 3 is small and the drive balance of the actuator 1 is reduced. There is little possibility of collapse. In addition, since the weight 40 does not affect the outer shape of the movable body 3, it is not necessary to secure an arrangement space for the weight 40 outside the movable body 3. Further, it is not necessary to change the design of the yoke 30. Therefore, the weight 40 having an appropriate weight can be easily attached.

本形態では、ヨーク30が3段構造であるため、第1ウェイト41と第2ウェイト42を2段に取り付けることができる。従って、ウェイト40の数を増やすことができ、可動体3の重量確保が容易である。また、磁石8とコイル7の対が2段に配置され、これを挟むように3段のヨーク30(第1板部311、第2板部321、第3板部331)が設けられているので、磁気効率を向上させることができ、磁石8の厚さを薄くしても駆動力を確保することができる。   In this embodiment, since the yoke 30 has a three-stage structure, the first weight 41 and the second weight 42 can be attached in two stages. Therefore, the number of weights 40 can be increased, and it is easy to secure the weight of the movable body 3. A pair of the magnet 8 and the coil 7 is arranged in two stages, and a three-stage yoke 30 (a first plate part 311, a second plate part 321 and a third plate part 331) is provided so as to sandwich the pair. Therefore, magnetic efficiency can be improved, and driving force can be ensured even if the thickness of the magnet 8 is reduced.

本形態のウェイト40は、リベット43によってヨーク30に固定されている。すなわち、第1板部311、第1ウェイト41、第2板部321、第2ウェイト42、第3板部331がこの順で積層され、これら全部を貫通するリベット43によって第1ウェイト41および第2ウェイト42がヨーク30に固定されている。従って、リベット43により、ウェイト40の位置決めと固定を一度に行うことができる。また、リベット43自体もウェイトとして用いることができるので、可動体3の重量確保が容易である。   The weight 40 of this embodiment is fixed to the yoke 30 by rivets 43. That is, the first plate portion 311, the first weight 41, the second plate portion 321, the second weight 42, and the third plate portion 331 are stacked in this order, and the first weight 41 and the second weight are formed by the rivets 43 penetrating all of them. Two weights 42 are fixed to the yoke 30. Therefore, the weight 40 can be positioned and fixed by the rivet 43 at a time. Further, since the rivet 43 itself can be used as a weight, it is easy to secure the weight of the movable body 3.

本形態では、コイル7および磁石8の組は、第1ウェイト41の第2方向Xの両側、および、第2ウェイト42の第2方向Xの両側に1組ずつ配置されている。従って、可動体3の中央にウェイト40を配置することができるため、ウェイト40の追加によって重心が変動するおそれが少ない。従って、アクチュエータ1の駆動バランスが崩れるおそれが少ない。また、第1方向Zに2段に配置されたコイル7と磁石8の組は、第1板部311と第3板部331に磁石8が固定され、コイル7は、第2板部321と対向する位置に配置されている。従って、磁石8およびコイル7は、第2板部321を中心として第1方向Zに対称に配置されるため、バランスが良い。   In this embodiment, one set of the coil 7 and the magnet 8 is arranged on both sides of the first weight 41 in the second direction X and on both sides of the second weight 42 in the second direction X. Therefore, since the weight 40 can be disposed at the center of the movable body 3, the center of gravity is less likely to fluctuate due to the addition of the weight 40. Therefore, there is little possibility that the drive balance of the actuator 1 is lost. Further, in the set of the coil 7 and the magnet 8 arranged in two stages in the first direction Z, the magnet 8 is fixed to the first plate portion 311 and the third plate portion 331, and the coil 7 is connected to the second plate portion 321. It is arranged at the opposite position. Therefore, since the magnet 8 and the coil 7 are symmetrically arranged in the first direction Z with the second plate portion 321 as the center, the balance is good.

本形態の支持体2は、コイル7を保持する第1ホルダ61および第2ホルダ62を備えており、第1ホルダ61と第2ホルダ62は、第1方向Zに当接する状態に組み立てられている。第1ホルダ61側の凹部63(第1凹部)と、第2ホルダ62側の凹部63(第2凹部)とが対向して形成される隙間に第2板部321が配置され、第1ホルダ61と第2ホルダ62には、それぞれ、ウェイト配置穴65とコイル保持穴66が形成されている。第1ウェイト41および第2ウェイト42は、それぞれ、第1ホルダ61側のウェイト配置穴65(第1ウェイト配置穴)、および、第2ホルダ62側のウェイト配置穴65(第2ウェイト配置穴)と衝突して可動体3の第2方向Xの可動範囲を規制する第1ストッパ機構38を構成する。従って、ウェイト40を利用して第1ストッパ機構38を設けることができるので、アクチュエータ1の耐衝撃性を高めることができる。   The support body 2 of this embodiment includes a first holder 61 and a second holder 62 that hold the coil 7, and the first holder 61 and the second holder 62 are assembled in a state in which they abut in the first direction Z. Yes. The second plate portion 321 is disposed in a gap formed by the concave portion 63 (first concave portion) on the first holder 61 side and the concave portion 63 (second concave portion) on the second holder 62 side facing each other. A weight arrangement hole 65 and a coil holding hole 66 are formed in 61 and the second holder 62, respectively. The first weight 41 and the second weight 42 are respectively a weight arrangement hole 65 (first weight arrangement hole) on the first holder 61 side and a weight arrangement hole 65 (second weight arrangement hole) on the second holder 62 side. The first stopper mechanism 38 that restricts the movable range of the movable body 3 in the second direction X is configured. Therefore, since the first stopper mechanism 38 can be provided using the weight 40, the impact resistance of the actuator 1 can be improved.

本形態では、第1ホルダ61と第2ホルダ62は、第1方向Zに当接する外枠部68を備え、外枠部68を第1方向Zに貫通する貫通孔60cに位置決めピン69が通されている。従って、位置決めピン69を用いて、第1ホルダ61と第2ホルダ62を第1方向Zと交差する方向に位置決めして結合させることができる。また、接着剤を使用せずに第1ホルダ61と第2ホルダ62を組み立てることができるので、接着工程を少なくすることができる。   In this embodiment, the first holder 61 and the second holder 62 include an outer frame portion 68 that abuts in the first direction Z, and the positioning pin 69 passes through the through hole 60c that penetrates the outer frame portion 68 in the first direction Z. Has been. Therefore, the first holder 61 and the second holder 62 can be positioned and coupled in the direction intersecting the first direction Z using the positioning pins 69. Moreover, since the 1st holder 61 and the 2nd holder 62 can be assembled without using an adhesive agent, an adhesion process can be decreased.

本形態のヨーク30は、第1板部311から第2板部321に向けて折れ曲がって延びて第2板部321と連結される第1連結板部312および第2連結板部313、および、第3板部331から第2板部321に向けて折れ曲がって延びて第2板部321と連結される第3連結板部332および第4連結板部333を備える。従って、ヨーク30によってコイル7および磁石8の第2方向Xの両側を囲んで保護することができる。また、第1連結板部312および第2連結板部313は、第1ホルダ61の第1開口部601および第2開口部602の内周面と衝突して可動体3の第2方向Xの可動範囲を規制する第2ストッパ機構39を構成する。同様に、第3連結板部332および第4連結板部333は、第2ホルダ62の第1開口部601および第2開口部602の内周面と衝突して可動体3の第2方向Xの可動範囲を規制する第2ストッパ機構39を構成する。従って、アクチュエータの耐衝撃性を高めることができる。   The yoke 30 of this embodiment is bent from the first plate portion 311 toward the second plate portion 321, and is connected to the second plate portion 321. The first connection plate portion 312 and the second connection plate portion 313, and A third connecting plate portion 332 and a fourth connecting plate portion 333 are provided that are bent from the third plate portion 331 toward the second plate portion 321 and connected to the second plate portion 321. Therefore, the yoke 30 can protect the coil 7 and the magnet 8 by surrounding both sides in the second direction X. Further, the first connecting plate portion 312 and the second connecting plate portion 313 collide with the inner peripheral surfaces of the first opening portion 601 and the second opening portion 602 of the first holder 61 in the second direction X of the movable body 3. A second stopper mechanism 39 that restricts the movable range is configured. Similarly, the third connecting plate portion 332 and the fourth connecting plate portion 333 collide with the inner peripheral surfaces of the first opening portion 601 and the second opening portion 602 of the second holder 62 and the second direction X of the movable body 3. The 2nd stopper mechanism 39 which regulates the movable range of this is comprised. Therefore, the impact resistance of the actuator can be improved.

本形態の支持体2は、第1カバー部材16、第1ホルダ61、第2ホルダ62、および第2カバー部材17を備えており、これらの部材は、第1方向Zに積層されて相互に当接している。そして、これらの部材の外周側を筒状ケース4で囲み、筒状ケース4によって保持している。このように、筒状ケース4を用いることで、接着剤を用いて第1カバー部材16、第1ホルダ61、第2ホルダ62、および第2カバー部材17を固定する必要がないので、接着工程を減らすことができる。また、ねじ等の固定部材を用いて固定する必要がないので、ねじが不要であり、第1カバー部材16、第1ホルダ61、第2ホルダ62、および第2カバー部材17にねじ穴を形成する必要がない。従って、固定部材および固定穴が不要であり、支持体2を小型化することができる。   The support body 2 of the present embodiment includes a first cover member 16, a first holder 61, a second holder 62, and a second cover member 17, and these members are stacked in the first direction Z and are mutually connected. It is in contact. The outer peripheral side of these members is surrounded by the cylindrical case 4 and is held by the cylindrical case 4. Thus, since it is not necessary to fix the 1st cover member 16, the 1st holder 61, the 2nd holder 62, and the 2nd cover member 17 using an adhesive agent by using cylindrical case 4, it is an adhesion process. Can be reduced. Moreover, since it is not necessary to fix using fixing members, such as a screw, a screw is unnecessary and a screw hole is formed in the 1st cover member 16, the 1st holder 61, the 2nd holder 62, and the 2nd cover member 17. There is no need to do. Therefore, a fixing member and a fixing hole are unnecessary, and the support body 2 can be reduced in size.

本形態では、支持体2と可動体3が第1方向Zで対向する部分に粘弾性部材9が配置されている。具体的には、第1カバー部材16と第1板部311の間、および、第2カバー部材17と第3板部331の間に粘弾性部材9が配置されている。従って、可動体3を駆動した際の共振を粘弾性部材9によって抑制することができる。   In this embodiment, the viscoelastic member 9 is disposed at a portion where the support 2 and the movable body 3 face each other in the first direction Z. Specifically, the viscoelastic member 9 is disposed between the first cover member 16 and the first plate portion 311 and between the second cover member 17 and the third plate portion 331. Therefore, resonance when the movable body 3 is driven can be suppressed by the viscoelastic member 9.

粘弾性部材9は、可動体3が第2方向Xに振動する際、せん断方向に変形するので、粘弾性部材9は、非線形の成分よりも線形の成分が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材9では、運動方向によるバネ力が一定となる。それゆえ、可動体3が第2方向Xに振動する際、粘弾性部材9のせん断方向のバネ要素を用いることができるので、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上させることができ、微妙なニュアンスもって振動を実現
することができる。また、粘弾性部材9が可動体3と支持体2との間で厚さ方向(軸方向)に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分よりも非線形の成分が大きい伸縮特性を持つため、粘弾性部材が大きく変形することを抑制できる。従って、可動体3と支持体2とのギャップが大きく変化することを抑制できる。
Since the viscoelastic member 9 is deformed in the shear direction when the movable body 3 vibrates in the second direction X, the viscoelastic member 9 has a deformation characteristic in which a linear component is larger than a non-linear component. Therefore, in the viscoelastic member 9, the spring force according to the movement direction is constant. Therefore, since the spring element in the shear direction of the viscoelastic member 9 can be used when the movable body 3 vibrates in the second direction X, the reproducibility of the vibration acceleration with respect to the input signal can be improved, and the subtle Vibration can be realized with nuances. In addition, when the viscoelastic member 9 is pressed in the thickness direction (axial direction) between the movable body 3 and the support body 2 and compressively deformed, the non-linear component is larger than the linear component, and thus has a stretching property. The viscoelastic member can be prevented from being greatly deformed. Therefore, it can suppress that the gap of the movable body 3 and the support body 2 changes a lot.

本形態では、支持体2が第1方向Zに積層された複数の部材(第1カバー部材16、ホルダ60および第2カバー部材17)を備えているため、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所の間隔がばらつきやすいが、支持体2は、筒状ケース4によって分離しないように保持されているため、粘弾性部材9を第1方向Zに圧縮した状態で保持することができる。従って、粘弾性部材9は、支持体2および可動体3に常に接している。このため、粘弾性部材9は、可動体3の移動に確実に追従する。また、支持体2の第1カバー部材16および第2カバー部材17において粘弾性部材9が接する部分は凹部165、175になっているので、粘弾性部材9の位置がずれにくい。更に、粘弾性部材9は、支持体2と接する面が支持体2に接着され、可動体3と接する面が可動体3に接着されているため、粘弾性部材9の位置がずれにくい。従って、粘弾性部材9は、可動体3の移動に確実に追従する。   In this embodiment, since the support body 2 includes a plurality of members (first cover member 16, holder 60, and second cover member 17) laminated in the first direction Z, the support body 2 and the movable body 3 are provided. Although the distance between the opposing portions in the first direction Z is likely to vary, the support 2 is held so as not to be separated by the cylindrical case 4, so the viscoelastic member 9 is held in a compressed state in the first direction Z. can do. Therefore, the viscoelastic member 9 is always in contact with the support body 2 and the movable body 3. For this reason, the viscoelastic member 9 reliably follows the movement of the movable body 3. Moreover, since the part which the viscoelastic member 9 contacts in the 1st cover member 16 and the 2nd cover member 17 of the support body 2 is the recessed parts 165 and 175, the position of the viscoelastic member 9 is hard to shift | deviate. Further, since the surface of the viscoelastic member 9 that is in contact with the support 2 is bonded to the support 2 and the surface that is in contact with the movable body 3 is bonded to the movable body 3, the position of the viscoelastic member 9 is not easily displaced. Therefore, the viscoelastic member 9 reliably follows the movement of the movable body 3.

本形態では、粘弾性部材9が配置されるスペースに、第1カバー部材16から第1板部311に向けて突出する第1凸部167、および、第2カバー部材17から第3板部331に向けて突出する第2凸部177が形成されている。従って、第1凸部167が第1板部311と当接し、第2凸部177が第3板部331と当接することによって粘弾性部材9の潰れ量を規制することができる。従って、粘弾性部材9の耐久性を高めることができる。   In this embodiment, in the space where the viscoelastic member 9 is disposed, the first convex portion 167 protruding from the first cover member 16 toward the first plate portion 311 and the third cover portion 331 from the second cover member 17 are arranged. A second convex portion 177 that protrudes toward is formed. Therefore, the amount of crushing of the viscoelastic member 9 can be regulated by the first convex portion 167 contacting the first plate portion 311 and the second convex portion 177 contacting the third plate portion 331. Therefore, the durability of the viscoelastic member 9 can be increased.

(他の実施形態)
上記形態は、第1板部311、第2板部321、第3板部331を備えた3段構成のヨーク30を備えるアクチュエータ1に本発明を適用するものであったが、2段構成のヨークを備えたアクチュエータに本発明を適応してもよい。
(Other embodiments)
In the above embodiment, the present invention is applied to the actuator 1 including the three-stage yoke 30 including the first plate portion 311, the second plate portion 321, and the third plate portion 331. The present invention may be applied to an actuator having a yoke.

上記形態では、第1板部311と第2板部321の間、および、第2板部321と第3板部331の間の2箇所にウェイトを取り付けているが、必要な重量によっては、いずれか1箇所のみウェイトを取り付けるようにしてもよい。また、1箇所に金属のウェイトを取り付け、もう1箇所に樹脂などの軽量な部材を取り付けてもよい。   In the above embodiment, weights are attached between the first plate portion 311 and the second plate portion 321 and between the second plate portion 321 and the third plate portion 331, but depending on the required weight, Only one of the weights may be attached. Alternatively, a metal weight may be attached to one place and a lightweight member such as resin may be attached to the other place.

上記形態では、リベット43を用いてウェイト40を固定するが、強度を必要としない場合には、接着材を用いてウェイト40を固定してもよい。   In the above embodiment, the weight 40 is fixed using the rivet 43. However, when the strength is not required, the weight 40 may be fixed using an adhesive.

上記形態では、可動体3の第2方向Xの中央にウェイト40を配置しているが、可動体3の第2方向Xの両端にウェイトを取り付けても良い。   In the above embodiment, the weight 40 is disposed in the center of the movable body 3 in the second direction X, but weights may be attached to both ends of the movable body 3 in the second direction X.

上記形態では、可動体3を第2方向Xのみに駆動するアクチュエータ1に本発明を適用したが、可動体3を第2方向Xおよび第3方向Yに駆動するアクチュエータ1に本発明を適用してもよい。   In the above embodiment, the present invention is applied to the actuator 1 that drives the movable body 3 only in the second direction X. However, the present invention is applied to the actuator 1 that drives the movable body 3 in the second direction X and the third direction Y. May be.

上記形態では、粘弾性部材としてゲル状ダンパー部材を用いたが、ゴム等を粘弾性部材として用いてもよい。   In the above embodiment, the gel-like damper member is used as the viscoelastic member, but rubber or the like may be used as the viscoelastic member.

1…アクチュエータ、2…支持体、2A…側面、3…可動体、4…筒状ケース、6…磁気駆動回路、7…コイル、8…磁石、9…粘弾性部材、10…端子ピン、10a…第1部分
、10b…第2部分、11…カバー、15…配線基板、16…第1カバー部材、16a…凹部、16b…凸部、17…第2カバー部材、30…ヨーク、31…第1ヨーク、32…第2ヨーク、33…第3ヨーク、38…第1ストッパ機構、39…第2ストッパ機構、40…ウェイト、41…第1ウェイト、42…第2ウェイト、43…リベット、50…第1基板支持壁、51…位置決め突起、52…第1基板保持溝、53…第2基板支持壁、54…位置決め突起、55…第2基板保持溝、56…基板配置用凹部、57…第1内面(テーパ面)、58…第2内面、60…ホルダ、60a…凸部、60b…凹部、60c…貫通孔、61…第1ホルダ、62…第2ホルダ、63…凹部、64…凹部、65…ウェイト配置穴、66…コイル保持穴、67…受け部、68…外枠部、69…位置決めピン、71、72…第1コイル、73、74…第2コイル、75…導線、81、82…第1磁石、83、84…第2磁石、160…第1カバー部材の端部、161…第1壁部、162…第2壁部、163…第3壁部、164…第4壁部、165…凹部、166…リブ、167…第1凸部、168…凹部、170…第2カバー部材の端部、171…第1壁部、172…第2壁部、173…第3壁部、174…第4壁部、175…凹部、176…リブ、177…第2凸部、178…凹部、311…第1板部、312…第1連結板部、313…第2連結板部、314…凸部、321…第2板部、322…凹部、331…第3板部、332…第3連結板部、333…第4連結板部、334…凸部、410…第1ケース、411…第1板部、412…第2板部、413…第3板部、420…第2ケース、421…第4板部、422…第5板部、423…第6板部、430…板バネ部、600…ホルダの端部、601…第1開口部、602…第2開口部、610…凹部、611…底面(基板当接部)、681…第1外枠部分、682…第2外枠部分、683…第3外枠部分、684…第4外枠部分、685…端子ピン保持溝、686…取付孔、701…コイルの長辺、702…コイルの短辺、X…第2方向、Y…第3方向、Z…第1方向
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Actuator, 2 ... Support body, 2A ... Side surface, 3 ... Movable body, 4 ... Cylindrical case, 6 ... Magnetic drive circuit, 7 ... Coil, 8 ... Magnet, 9 ... Viscoelastic member, 10 ... Terminal pin, 10a ... 1st part, 10b ... 2nd part, 11 ... Cover, 15 ... Circuit board, 16 ... 1st cover member, 16a ... Recessed part, 16b ... Convex part, 17 ... 2nd cover member, 30 ... Yoke, 31 ... 1st 1 yoke 32 32 second yoke 33 third yoke 38 first stopper mechanism 39 second stopper mechanism 40 weight 41 first weight 42 second weight 43 rivet 50 ... 1st substrate support wall, 51 ... Positioning projection, 52 ... 1st substrate holding groove, 53 ... 2nd substrate support wall, 54 ... Positioning projection, 55 ... 2nd substrate holding groove, 56 ... Concave for substrate arrangement, 57 ... First inner surface (tapered surface), 58 ... second inner surface, 6 ... Holder, 60a ... Convex part, 60b ... Concave part, 60c ... Through hole, 61 ... First holder, 62 ... Second holder, 63 ... Concave part, 64 ... Concave part, 65 ... Weight placement hole, 66 ... Coil holding hole, 67 ... receiving part, 68 ... outer frame part, 69 ... positioning pin, 71, 72 ... first coil, 73, 74 ... second coil, 75 ... conducting wire, 81, 82 ... first magnet, 83, 84 ... second magnet , 160 ... end of the first cover member, 161 ... first wall part, 162 ... second wall part, 163 ... third wall part, 164 ... fourth wall part, 165 ... concave part, 166 ... rib, 167 ... first 1 convex part, 168 ... concave part, 170 ... end of second cover member, 171 ... first wall part, 172 ... second wall part, 173 ... third wall part, 174 ... fourth wall part, 175 ... concave part, 176 ... ribs, 177 ... second convex part, 178 ... concave part, 311 ... first plate part, 312 ... first series Plate part, 313 ... 2nd connection plate part, 314 ... convex part, 321 ... 2nd plate part, 322 ... recessed part, 331 ... 3rd plate part, 332 ... 3rd connection plate part, 333 ... 4th connection plate part, 334: convex portion, 410: first case, 411: first plate portion, 412: second plate portion, 413: third plate portion, 420: second case, 421: fourth plate portion, 422: fifth plate , 423 ... sixth plate part, 430 ... leaf spring part, 600 ... end part of holder, 601 ... first opening part, 602 ... second opening part, 610 ... concave part, 611 ... bottom face (substrate contact part), 681: First outer frame portion, 682: Second outer frame portion, 683 ... Third outer frame portion, 684 ... Fourth outer frame portion, 685 ... Terminal pin holding groove, 686 ... Mounting hole, 701 ... Long side of coil 702, short side of coil, X, second direction, Y, third direction, Z, first direction.

Claims (12)

支持体と、
前記支持体に移動可能に支持された可動体と、
前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路と、を有し、
前記磁気駆動回路は、前記支持体に設けられた第1コイルと、前記可動体に設けられて前記コイルに第1方向で対向する第1磁石と、を備え、前記可動体を前記第1方向に対して交差する第2方向に駆動し、
前記可動体は、前記第1コイルおよび前記第1磁石に対して前記第1方向の一方側に配置される第1板部、および、前記第1コイルおよび前記第1磁石に対して前記第1方向の他方側に配置される第2板部が設けられたヨークと、前記ヨークに固定されるウェイトと、を備え
前記ウェイトは、前記第1板部と前記第2部の間に配置されることを特徴とするアクチュエータ。
A support;
A movable body supported movably on the support;
A magnetic drive circuit for moving the movable body relative to the support,
The magnetic drive circuit includes a first coil provided on the support and a first magnet provided on the movable body and facing the coil in a first direction, and the movable body is disposed in the first direction. Drive in the second direction intersecting with
The movable body includes a first plate portion disposed on one side in the first direction with respect to the first coil and the first magnet, and the first plate with respect to the first coil and the first magnet. A yoke provided with a second plate portion disposed on the other side of the direction, and a weight fixed to the yoke, wherein the weight is disposed between the first plate portion and the second portion. An actuator characterized by that.
前記ヨークは、前記第2板部に対して前記第1方向の他方側に配置される第3板部を備え、
前記磁気駆動回路は、前記第1方向に対向する第2コイルおよび第2磁石を備え、前記第2コイルおよび前記第2磁石は、前記第2板部と前記第3板部の間に配置され、
前記ウェイトは、前記第1板部と前記第2部の間に配置される第1ウェイトと、前記第2板部と前記第3板部の間に配置される第2ウェイトを備えることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。
The yoke includes a third plate portion disposed on the other side in the first direction with respect to the second plate portion,
The magnetic drive circuit includes a second coil and a second magnet that face each other in the first direction, and the second coil and the second magnet are disposed between the second plate portion and the third plate portion. ,
The weight includes a first weight disposed between the first plate portion and the second portion, and a second weight disposed between the second plate portion and the third plate portion. The actuator according to claim 1.
前記第1ウェイトおよび前記第2ウェイトは、前記第1板部、前記第1ウェイト、前記第2板部、前記第2ウェイト、前記第3板部を貫通するリベットにより前記ヨークに固定されていることを特徴とする請求項2に記載のアクチュエータ。   The first weight and the second weight are fixed to the yoke by rivets penetrating the first plate portion, the first weight, the second plate portion, the second weight, and the third plate portion. The actuator according to claim 2. 前記第1コイルおよび前記第1磁石は、前記第1ウェイトの前記第2方向の両側に1組ずつ配置され、
前記第2コイルおよび前記第2磁石は、前記第2ウェイトの前記第2方向の両側に1組ずつ配置されていることを特徴とする請求項2または3に記載のアクチュエータ。
The first coil and the first magnet are arranged one by one on both sides of the first weight in the second direction,
4. The actuator according to claim 2, wherein one set of the second coil and the second magnet is disposed on each side of the second weight in the second direction. 5.
前記第1磁石は、前記第1板部に固定され、前記第2磁石は、前記第3板部に固定されていることを特徴とする請求項2から4の何れか一項に記載のアクチュエータ。   5. The actuator according to claim 2, wherein the first magnet is fixed to the first plate portion, and the second magnet is fixed to the third plate portion. 6. . 前記支持体は、第1ホルダと、前記第1ホルダに対して前記第1方向の他方側から当接する第2ホルダを備え、
前記第1ホルダには、前記第1ウェイトを配置する第1ウェイト配置穴、および前記第1コイルを配置する第1コイル保持穴が形成され、
前記第2ホルダには、前記第2ウェイトを配置する第2ウェイト配置穴、および前記第2コイルを配置する第2コイル保持穴が形成され、
前記第1ウェイトおよび前記第2ウェイトは、それぞれ、前記第1ウェイト配置穴の内周面および前記第2ウェイト配置穴の内周面と衝突して前記可動体の前記第2方向の可動範囲を規制することを特徴とする請求項5に記載のアクチュエータ。
The support includes a first holder and a second holder that comes into contact with the first holder from the other side in the first direction,
The first holder is formed with a first weight placement hole for placing the first weight, and a first coil holding hole for placing the first coil.
The second holder is formed with a second weight placement hole for placing the second weight, and a second coil holding hole for placing the second coil.
The first weight and the second weight collide with the inner peripheral surface of the first weight disposition hole and the inner peripheral surface of the second weight disposition hole, respectively, and thereby move the movable range of the movable body in the second direction. The actuator according to claim 5, wherein the actuator is regulated.
前記第1ホルダと前記第2ホルダは、前記第1方向に当接する部分を前記第1方向に貫通する貫通孔を備え、前記貫通孔に通される位置決めピンによって結合されることを特徴とする請求項6に記載のアクチュエータ。   The first holder and the second holder include a through-hole penetrating in the first direction through a portion in contact with the first direction, and are coupled by a positioning pin that passes through the through-hole. The actuator according to claim 6. 前記ヨークは、前記第1板部を備えた第1ヨークと、前記第2板部を備えた第2ヨーク
と、前記第3板部を備えた第3ヨークとを有し、
前記第1ヨークは、前記第1板部から前記第1方向の他方側に向けて前記第2ヨークと重なる位置まで延在して前記第2ヨークと連結された第1連結板部と、前記第1磁石および前記第1コイルに対して前記第1連結板部とは反対側で前記第1板部から前記第1方向の他方側に向けて前記第2ヨークと重なる位置まで延在して前記第2ヨークと連結された第2連結板部と、を備え、
前記第3ヨークは、前記第3板部から前記第1方向の一方側に向けて前記第2ヨークと重なる位置まで延在して前記第2ヨークと連結された第3連結板部と、前記第2磁石および前記第2コイルに対して前記第1連結板部とは反対側で前記第3板部から前記第1方向の一方側に向けて前記第2ヨークと重なる位置まで延在して前記第2ヨークと連結された第4連結板部と、を備え、
前記第1連結板部と前記第2連結板部は、それぞれ、前記第1ホルダに形成された開口部の内周面と衝突して前記可動体の前記第2方向の可動範囲を規制し、
前記第3連結板部と前記第4連結板部は、それぞれ、前記第2ホルダに形成された開口部の内周面と衝突して前記可動体の前記第2方向の可動範囲を規制することを特徴とする請求項7に記載のアクチュエータ。
The yoke includes a first yoke having the first plate portion, a second yoke having the second plate portion, and a third yoke having the third plate portion,
The first yoke extends from the first plate portion toward the other side in the first direction to a position overlapping the second yoke and is connected to the second yoke; and Extending from the first plate portion to the other side in the first direction on the opposite side of the first magnet and the first coil from the first connecting plate portion to a position overlapping the second yoke. A second connecting plate portion connected to the second yoke,
The third yoke extends from the third plate portion toward one side in the first direction to a position overlapping with the second yoke, and is connected to the second yoke; and The second magnet and the second coil extend from the third plate portion to the one side in the first direction on the opposite side of the first coupling plate portion to a position overlapping the second yoke. A fourth connecting plate portion connected to the second yoke,
The first connecting plate portion and the second connecting plate portion each collide with an inner peripheral surface of an opening formed in the first holder to regulate a movable range in the second direction of the movable body,
The third connecting plate portion and the fourth connecting plate portion collide with the inner peripheral surface of the opening formed in the second holder, respectively, and restrict the movable range of the movable body in the second direction. The actuator according to claim 7.
前記支持体は、
前記第1ホルダに対して前記第1方向の一方側から当接する第1カバー部材と、
前記第2ホルダに対して前記第1方向の他方側から当接する第2カバー部材と、
前記第1カバー部材、前記第1ホルダ、前記第2ホルダ、前記第2カバー部材の外周側を囲む筒状ケースを備えることを特徴とする請求項6から8の何れか一項に記載のアクチュエータ。
The support is
A first cover member in contact with the first holder from one side in the first direction;
A second cover member in contact with the second holder from the other side in the first direction;
The actuator according to any one of claims 6 to 8, further comprising a cylindrical case surrounding an outer peripheral side of the first cover member, the first holder, the second holder, and the second cover member. .
前記第1カバー部材と前記第1ホルダとの間に前記第1板部が配置され、前記第2カバー部材と前記第2ホルダとの間に前記第3板部が配置され、
前記第1カバー部材と前記第1板部との間、および、前記第2カバー部材と前記第3板部との間に粘弾性部材が配置されていることを特徴とする請求項9に記載のアクチュエータ。
The first plate portion is disposed between the first cover member and the first holder, and the third plate portion is disposed between the second cover member and the second holder,
The viscoelastic member is disposed between the first cover member and the first plate portion and between the second cover member and the third plate portion. Actuator.
前記第1カバー部材は、前記粘弾性部材が接続される面から前記第1板部に向けて突出する第1凸部を備え、
前記第2カバー部材は、前記粘弾性部材が接続される面から前記第3板部に向けて突出する第2凸部を備えることを特徴とする請求項10に記載のアクチュエータ。
The first cover member includes a first convex portion that protrudes from the surface to which the viscoelastic member is connected toward the first plate portion,
11. The actuator according to claim 10, wherein the second cover member includes a second convex portion that projects toward the third plate portion from a surface to which the viscoelastic member is connected.
前記粘弾性部材は、ゲル状ダンパー部材であることを特徴とする請求項10または11に記載のアクチュエータ。   The actuator according to claim 10 or 11, wherein the viscoelastic member is a gel-like damper member.
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