JP2019034252A - Actuator - Google Patents

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JP2019034252A
JP2019034252A JP2017155031A JP2017155031A JP2019034252A JP 2019034252 A JP2019034252 A JP 2019034252A JP 2017155031 A JP2017155031 A JP 2017155031A JP 2017155031 A JP2017155031 A JP 2017155031A JP 2019034252 A JP2019034252 A JP 2019034252A
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viscoelastic member
support
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viscoelastic
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正明 安藤
Masaaki Ando
正明 安藤
亮 森
Akira Mori
亮 森
直哉 伊佐治
Naoya Isaji
直哉 伊佐治
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Nidec Instruments Corp
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Nidec Sankyo Corp
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Abstract

To provide an actuator which enables a viscoelastic member provided between a movable body and a support body to stably achieve a function.SOLUTION: In an actuator 1, a viscoelastic member (a first viscoelastic member 910 and a second viscoelastic member 920) is disposed between a movable body 3 and a support medium 2. The first viscoelastic member 910 is disposed in a portion where the movable body 3 faces the support medium 2 at one side X1 in a first direction X. The second viscoelastic member 920 is disposed in a portion where the movable body 3 faces the support medium 2 at the other side X2 in the first direction X. The first viscoelastic member 910 and the second viscoelastic member 920 contact with the support medium 2 and the movable body 3 when the movable body 3 vibrates in the first direction X. Further, in a time period that a driving mechanism 5 is stopped, the first viscoelastic member 910 and the second viscoelastic member 920 are compressed in the first direction X.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

本発明は、振動を発生させるアクチュエータに関するものである。   The present invention relates to an actuator that generates vibration.

振動を発生させる機器として、対向するコイルおよび磁石を備えた駆動機構によって可動体を支持体に対して、コイルと磁石との対向方向に対して交差する方向に振動させるアクチュエータが提案されている(特許文献1参照)。特許文献1に記載のアクチュエータにおいて、可動体と支持体との間には、ゲル状部材からなる粘弾性部材が配置されており、可動体は、粘弾性部材を介して支持体に支持されているとともに、可動体を駆動した際の共振が抑制されている。   As an apparatus for generating vibration, an actuator has been proposed that causes a movable body to vibrate in a direction crossing the opposing direction of the coil and the magnet with respect to the support by a driving mechanism including opposing coils and magnets ( Patent Document 1). In the actuator described in Patent Document 1, a viscoelastic member made of a gel-like member is disposed between the movable body and the support, and the movable body is supported by the support via the viscoelastic member. In addition, resonance when the movable body is driven is suppressed.

特開2016−127789号公報JP 2006-127789 A

しかしながら、特許文献1に記載のアクチュエータにおいて、可動体および支持体は各々、複数の部材が重ねて配置された構造を有し、かつ、可動体と支持体とが可動体の振動方向に交差する方向で対向する部分に粘弾性部材が配置されている。このため、粘弾性部材が配置されている部分における可動体と支持体との対向距離がばらつくと、粘弾性部材の厚さがばらついてしまい、アクチュエータの特性がばらつくという問題点がある。   However, in the actuator described in Patent Document 1, each of the movable body and the support body has a structure in which a plurality of members are overlapped, and the movable body and the support body intersect the vibration direction of the movable body. A viscoelastic member is disposed in a portion facing in the direction. For this reason, if the opposing distance between the movable body and the support in the portion where the viscoelastic member is arranged varies, there is a problem that the thickness of the viscoelastic member varies and the characteristics of the actuator vary.

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、可動体と支持体との間に設けた粘弾性部材が安定した機能を発揮するアクチュエータを提供することにある。   In view of the above problems, an object of the present invention is to provide an actuator in which a viscoelastic member provided between a movable body and a support exhibits a stable function.

上記問題を解決するために、本発明を適用したアクチュエータは、支持体と、可動体と、前記可動体を前記支持体に対して第1方向で振動させる駆動機構と、前記可動体が前記支持体に対して前記第1方向の一方側で対向する部分に設けられた第1粘弾性部材と、前記可動体が前記支持体に対して前記第1方向の他方側で対向する部分に設けられた第2粘弾性部材と、を有することを特徴とする。   In order to solve the above problems, an actuator to which the present invention is applied includes a support, a movable body, a drive mechanism that vibrates the movable body in a first direction with respect to the support, and the movable body supports the support. A first viscoelastic member provided at a part facing the body on one side in the first direction, and a movable body provided at a part facing the support on the other side in the first direction. And a second viscoelastic member.

本発明では、可動体と支持体との間に粘弾性部材(第1粘弾性部材および第2粘弾性部材)が配置されているため、可動体を振動させた際、第1粘弾性部材および第2粘弾性部材がダンパ機能を発揮するので、可動体が共振しにくい。また、第1粘弾性部材は、可動体が支持体に対して第1方向の一方側で対向する部分に配置され、第2粘弾性部材は、可動体が支持体に対して第1方向の他方側で対向する部分に配置されている。このため、可動体と支持体との相対的な位置が第1方向で変動して、第1粘弾性部材が配置されている部分での可動体と支持体との間隔、および第2粘弾性部材が配置されている部分での可動体と支持体との間隔のうちの一方の間隔が広くなった場合には、他方の間隔が狭くなる。従って、第1粘弾性部材の特性と第2粘弾性部材の特性とを合成した特性は、上記の間隔の変動の影響を受けにくく、第1粘弾性部材および第2粘弾性部材は、安定した機能を発揮する。   In the present invention, since the viscoelastic members (the first viscoelastic member and the second viscoelastic member) are arranged between the movable body and the support body, when the movable body is vibrated, the first viscoelastic member and Since the second viscoelastic member exhibits a damper function, the movable body is unlikely to resonate. The first viscoelastic member is disposed in a portion where the movable body is opposed to the support on one side in the first direction, and the second viscoelastic member is disposed in the first direction with respect to the support. It arrange | positions in the part which opposes on the other side. For this reason, the relative position of the movable body and the support body varies in the first direction, the distance between the movable body and the support body at the portion where the first viscoelastic member is disposed, and the second viscoelasticity. When the distance between one of the distances between the movable body and the support at the portion where the member is arranged becomes wider, the distance between the other becomes narrower. Therefore, the characteristics obtained by synthesizing the characteristics of the first viscoelastic member and the characteristics of the second viscoelastic member are not easily affected by the variation in the distance, and the first viscoelastic member and the second viscoelastic member are stable. Demonstrate the function.

本発明において、前記第1粘弾性部材は、前記可動体および前記支持体の前記第1方向の一方側の端部同士が前記第1方向で対向する部分に設けられ、前記第2粘弾性部材は、
前記可動体および前記支持体の前記第1方向の他方側の端部同士が前記第1方向で対向する部分に設けられている態様を採用することができる。
In this invention, the said 1st viscoelastic member is provided in the part which the edge parts of the one side of the said 1st direction of the said movable body and the said support body oppose in the said 1st direction, The said 2nd viscoelastic member Is
It is possible to adopt a mode in which the end portions on the other side in the first direction of the movable body and the support body are provided in portions facing each other in the first direction.

本発明において、前記第1粘弾性部材および前記第2粘弾性部材は各々、前記可動体が前記第1方向に振動する際、前記支持体および前記可動体に接している態様を採用することができる。かかる態様によれば、粘弾性部材(第1粘弾性部材および第2粘弾性部材)は、可動体の移動に確実に追従する。従って、可動体の共振を効果的に防止することができる。   In the present invention, the first viscoelastic member and the second viscoelastic member may each adopt a mode in which the movable body is in contact with the support and the movable body when the movable body vibrates in the first direction. it can. According to this aspect, the viscoelastic members (the first viscoelastic member and the second viscoelastic member) reliably follow the movement of the movable body. Therefore, the resonance of the movable body can be effectively prevented.

前記駆動機構が停止している期間、前記第1粘弾性部材および前記第2粘弾性部材は各々、前記第1方向で圧縮された状態にある態様を採用することができる。かかる態様によれば、粘弾性部材(第1粘弾性部材および第2粘弾性部材)は、可動体の移動に確実に追従する。従って、可動体の共振を効果的に防止することができる。また、可動体が振動した際、所定のストローク内では、第1粘弾性部材および第2粘弾性部材が常に膨張しようとする力を発揮するので、第1粘弾性部材および第2粘弾性部材が安定したダンパ機能を発揮する。   A mode in which the first viscoelastic member and the second viscoelastic member are compressed in the first direction while the drive mechanism is stopped may be employed. According to this aspect, the viscoelastic members (the first viscoelastic member and the second viscoelastic member) reliably follow the movement of the movable body. Therefore, the resonance of the movable body can be effectively prevented. In addition, when the movable body vibrates, the first viscoelastic member and the second viscoelastic member always exert a force to expand within a predetermined stroke, so that the first viscoelastic member and the second viscoelastic member Demonstrate stable damper function.

本発明において、前記駆動機構は、前記第1方向と交差する第2方向で前記可動体と前記支持体とが対向する部分に配置され、前記支持体は、ベース部材と、前記ベース部材から前記第1方向および前記第2方向と交差する第3方向の一方側に突出して前記駆動機構を構成するための支持体側構成要素を保持するホルダ部と、前記ホルダ部に対して前記第1方向の一方側で前記ベース部材から前記第3方向の一方側に突出した第1凸部と、前記ホルダ部に対して前記第1方向の他方側で前記ベース部材から前記第3方向の一方側に突出した第2凸部と、を有し、前記可動体は、前記ホルダ部に前記第2方向の一方側で対向する第1壁部と、前記ホルダ部に前記第2方向の他方側で対向する第2壁部と、前記第1凸部に前記第1方向の一方側で対向する第3壁部と、前記第2凸部に前記第1方向の他方側で対向する第4壁部と、を備え、前記第1壁部の前記ホルダ部と対向する面に重なるように前記駆動機構を構成するための可動体側構成要素の一部が配置され、前記第2壁部の前記ホルダ部と対向する面に重なるように前記可動体側構成要素の他の一部が配置され、前記第1凸部と前記第3壁部との間に前記第1粘弾性部材が配置され、前記第2凸部と前記第4壁部との間に前記第2粘弾性部材が配置されている態様を採用することができる。   In the present invention, the drive mechanism is disposed in a portion where the movable body and the support body face each other in a second direction intersecting the first direction, and the support body includes a base member, the base member, and the base member. A holder portion that protrudes to one side of a first direction and a third direction that intersects the second direction and holds a support-side component for constituting the drive mechanism; and the holder portion in the first direction A first protrusion protruding from the base member to one side in the third direction on one side, and protruding from the base member to one side in the third direction on the other side of the first direction with respect to the holder portion The movable body has a first wall portion facing the holder portion on one side in the second direction and a holder wall facing the holder portion on the other side in the second direction. On one side of the first direction to the second wall and the first convex And a fourth wall portion facing the second convex portion on the other side in the first direction so as to overlap a surface of the first wall portion facing the holder portion. A part of the movable body side component for configuring the drive mechanism is disposed, and another part of the movable body side component is disposed so as to overlap a surface of the second wall facing the holder part, The first viscoelastic member is disposed between the first convex portion and the third wall portion, and the second viscoelastic member is disposed between the second convex portion and the fourth wall portion. The aspect which is can be employ | adopted.

本発明において、前記可動体は、前記第1壁部、前記第2壁部、前記第3壁部、および前記第4壁部のうちの少なくとも1つの壁部に連結されて前記駆動機構を前記第3方向の一方側から覆う出力部材を有している態様を採用することができる。かかる態様によれば、出力部材を介して可動体の振動を出力することができるので、出力部材に触れた利用者に強い振動を体感させることができる。   In the present invention, the movable body is connected to at least one of the first wall portion, the second wall portion, the third wall portion, and the fourth wall portion so that the driving mechanism is A mode having an output member covering from one side in the third direction can be adopted. According to this aspect, the vibration of the movable body can be output via the output member, so that the user who touched the output member can feel a strong vibration.

本発明において、前記第1壁部の前記第1方向の一方側の端部、前記第1壁部の前記第1方向の他方側の端部、前記第2壁部の前記第1方向の一方側の端部、および前記第2壁部の前記第1方向の他方側の端部の計4個所の各々に、前記可動体を前記第1方向にガイドするガイド機構が設けられている態様を採用することができる。   In the present invention, one end of the first wall in the first direction, one end of the first wall in the first direction, one of the second wall in the first direction. A mode in which a guide mechanism for guiding the movable body in the first direction is provided at each of a total of four positions, that is, an end portion on the side and an end portion on the other side in the first direction of the second wall portion. Can be adopted.

本発明において、前記ガイド機構は、前記4個所の各々に前記可動体と前記支持体とによって前記第2方向の両側から支持された転動ボールを備えている態様を採用することができる。かかる態様によれば、可動体が支持体に転動ボールを介して支持された状態にあっても、可動体は、第1方向にスムーズに振動する。   In the present invention, it is possible to adopt a mode in which the guide mechanism includes rolling balls supported from both sides in the second direction by the movable body and the support body at each of the four locations. According to this aspect, even when the movable body is supported by the support body via the rolling ball, the movable body vibrates smoothly in the first direction.

本発明では、可動体と支持体との間に粘弾性部材(第1粘弾性部材および第2粘弾性部
材)が配置されているため、可動体を振動させた際、可動体がダンパ機能を発揮するので、可動体が共振しにくい。また、第1粘弾性部材は、可動体に対して第1方向の一方側で可動体と支持体との間に配置され、第2粘弾性部材は、可動体に対して第1方向の他方側で可動体と支持体との間に配置されている。このため、可動体に対して第1方向の一方側での可動体と支持体との間隔や、可動体に対して第1方向の他方側での可動体と支持体との間隔がばらついても、一方の間隔が広い場合には、他方の間隔が狭くなるので、第1粘弾性部材の特性と第2粘弾性部材の特性とを合成した特性は、上記の間隔の変動の影響を受けにくく、第1粘弾性部材および第2粘弾性部材は、安定した機能を発揮する。
In the present invention, since the viscoelastic members (the first viscoelastic member and the second viscoelastic member) are arranged between the movable body and the support body, when the movable body is vibrated, the movable body has a damper function. Because it exerts, the movable body is difficult to resonate. The first viscoelastic member is disposed between the movable body and the support on one side in the first direction with respect to the movable body, and the second viscoelastic member is disposed on the other side in the first direction with respect to the movable body. On the side, it is arranged between the movable body and the support. For this reason, the distance between the movable body and the support body on one side in the first direction with respect to the movable body and the distance between the movable body and the support body on the other side in the first direction with respect to the movable body vary. However, when one of the gaps is wide, the other gap is narrowed. Therefore, the characteristic obtained by combining the characteristic of the first viscoelastic member and the characteristic of the second viscoelastic member is affected by the fluctuation of the gap. It is difficult, and the first viscoelastic member and the second viscoelastic member exhibit stable functions.

本発明の実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。It is a perspective view of an actuator concerning an embodiment of the present invention. 図1に示すアクチュエータのXZ断面図である。It is XZ sectional drawing of the actuator shown in FIG. 図1に示すアクチュエータを駆動機構を通る位置で切断したときのYZ断面図である。It is YZ sectional drawing when the actuator shown in FIG. 1 is cut | disconnected in the position which passes a drive mechanism. 図1に示すアクチュエータをガイド機構を通る位置で切断したときのYZ断面図である。It is YZ sectional drawing when the actuator shown in FIG. 1 is cut | disconnected in the position which passes a guide mechanism. 図1に示すアクチュエータから可動体の出力部材を外した状態の斜視図である。It is a perspective view of the state which removed the output member of the movable body from the actuator shown in FIG. 図1に示すアクチュエータにおいて支持体と可動体とを分離した分解斜視図である。It is the disassembled perspective view which isolate | separated the support body and the movable body in the actuator shown in FIG. 図6に示す支持体からカバーを外した状態の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the state which removed the cover from the support body shown in FIG. 図6に示す支持体から駆動機構を構成するための支持体側構成要素を外した状態の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the state which removed the support body side component for comprising a drive mechanism from the support body shown in FIG. 図6に示す可動体から駆動機構を構成するための可動体側構成要素を外した状態の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the state which removed the movable body side component for comprising a drive mechanism from the movable body shown in FIG. 図8に示す駆動機構の斜視図である。It is a perspective view of the drive mechanism shown in FIG. 図10に示す駆動機構の平面図である。It is a top view of the drive mechanism shown in FIG.

図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明において、互いに交差する3つの方向を各々、第1方向X、第2方向Yおよび第3方向Zとして説明する。また、第1方向X、第2方向Yおよび第3方向Zは、互いに直交する方向である。   Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, three directions intersecting each other will be described as a first direction X, a second direction Y, and a third direction Z, respectively. The first direction X, the second direction Y, and the third direction Z are directions orthogonal to each other.

また、第1方向Xの一方側にX1を付し、第1方向Xの他方側にX2を付し、第2方向Yの一方側にY1を付し、第2方向Yの他方側にY2を付し、第3方向Zの一方側にZ1を付し、第3方向Zの他方側にZ2を付して説明する。   Moreover, X1 is attached to one side of the first direction X, X2 is attached to the other side of the first direction X, Y1 is attached to one side of the second direction Y, and Y2 is attached to the other side of the second direction Y. And Z1 is attached to one side of the third direction Z, and Z2 is attached to the other side of the third direction Z.

(全体構成)
図1は、本発明の実施形態に係るアクチュエータ1の斜視図である。図2は、図1に示すアクチュエータ1のXZ断面図である。図3は、図1に示すアクチュエータ1を駆動機構5を通る位置で切断したときのYZ断面図である。図4は、図1に示すアクチュエータ1をガイド機構8を通る位置で切断したときのYZ断面図である。
(overall structure)
FIG. 1 is a perspective view of an actuator 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an XZ sectional view of the actuator 1 shown in FIG. FIG. 3 is a YZ sectional view when the actuator 1 shown in FIG. 1 is cut at a position passing through the drive mechanism 5. FIG. 4 is a YZ cross-sectional view of the actuator 1 shown in FIG. 1 cut at a position passing through the guide mechanism 8.

図1に示すように、本形態のアクチュエータ1は、全体として、第1方向Xの寸法が第2方向Yの寸法および第3方向Zの寸法より大きい直方体形状を有している。また、図2、図3および図4等を参照して以下に説明するように、アクチュエータ1は、機器本体に連結される支持体2と、支持体2に移動可能に支持された可動体3と、可動体3を支持体2に対して第1方向Xに振動させる駆動機構5とを有している。また、アクチュエータ1は、可動体3を第1方向Xにガイドするガイド機構8と、支持体2と可動体3とに接続された弾性部材(第1弾性部材91および第2弾性部材92)を有している。従って、可動
体3は、ガイド機構8および弾性部材(第1弾性部材91および第2弾性部材92)を介して支持体2に支持され、この状態で第1方向Xに振動する。
As shown in FIG. 1, the actuator 1 of the present embodiment has a rectangular parallelepiped shape as a whole in which the dimension in the first direction X is larger than the dimension in the second direction Y and the dimension in the third direction Z. In addition, as will be described below with reference to FIGS. 2, 3, 4, and the like, the actuator 1 includes a support body 2 coupled to the apparatus main body, and a movable body 3 movably supported by the support body 2. And a drive mechanism 5 that vibrates the movable body 3 in the first direction X with respect to the support body 2. The actuator 1 also includes a guide mechanism 8 that guides the movable body 3 in the first direction X, and elastic members (the first elastic member 91 and the second elastic member 92) connected to the support body 2 and the movable body 3. Have. Therefore, the movable body 3 is supported by the support body 2 via the guide mechanism 8 and the elastic members (the first elastic member 91 and the second elastic member 92), and vibrates in the first direction X in this state.

(支持体2の構成)
図5は、図1に示すアクチュエータ1から可動体3の出力部材38を外した状態の斜視図である。図6は、図1に示すアクチュエータ1において支持体2と可動体3とを分離した分解斜視図である。図7は、図6に示す支持体2からカバー25を外した状態の分解斜視図である。図8は、図6に示す支持体2から駆動機構5を構成するための支持体側構成要素5bを外した状態の分解斜視図である。
(Configuration of the support 2)
FIG. 5 is a perspective view showing a state where the output member 38 of the movable body 3 is removed from the actuator 1 shown in FIG. FIG. 6 is an exploded perspective view in which the support 2 and the movable body 3 are separated from each other in the actuator 1 shown in FIG. FIG. 7 is an exploded perspective view of the support 2 shown in FIG. 6 with the cover 25 removed. FIG. 8 is an exploded perspective view of the support 2 shown in FIG. 6 with the support-side component 5b for configuring the drive mechanism 5 removed.

図2〜図8に示すように、支持体2は、板状のベース部材21と、ベース部材21から第3方向Zの一方側Z1に突出したホルダ部22と、ホルダ部22に対して第1方向Xの一方側X1でベース部材21から第3方向Zの一方側Z1に突出した第1凸部23と、ホルダ部22に対して第1方向Xの他方側X2でベース部材21から第3方向Zの一方側Z1に突出した第2凸部24とを有している。ベース部材21は、機器本体への連結部である。ホルダ部22、第1凸部23、および第2凸部24は各々、ベース部材21に第3方向Zの他方側Z2からネジ219(図2等参照)によって固定されている。   As shown in FIGS. 2 to 8, the support 2 includes a plate-like base member 21, a holder portion 22 that protrudes from the base member 21 to one side Z <b> 1 in the third direction Z, and the holder portion 22. The first convex portion 23 projecting from the base member 21 to the one side Z1 in the third direction Z on the one side X1 in the first direction X, and the first convex portion 23 from the base member 21 on the other side X2 in the first direction X with respect to the holder portion 22. It has the 2nd convex part 24 which protruded to the one side Z1 of the three directions Z. The base member 21 is a connection part to the apparatus main body. The holder part 22, the first convex part 23, and the second convex part 24 are each fixed to the base member 21 from the other side Z2 in the third direction Z by screws 219 (see FIG. 2 and the like).

ホルダ部22は、駆動機構5を構成するための支持体側構成要素5bを保持する部分である。ホルダ部22は、第2方向Yの一方側Y1で第1方向Xに沿って配置された柱状部221、222、223と、第2方向Yの他方側Y2で第1方向Xに沿って配置された柱状部224、225、226とを備えている。柱状部221、222、223は、第1方向Xに延在する連結部227によって根元部分が連結され、柱状部224、225、226は、第1方向Xに延在する連結部228によって根元部分が連結されている。   The holder part 22 is a part that holds the support-side component 5 b for constituting the drive mechanism 5. The holder portion 22 is disposed along the first direction X on the other side Y2 of the second direction Y and the columnar portions 221, 222, and 223 disposed along the first direction X on one side Y1 in the second direction Y. Columnar portions 224, 225, and 226. The columnar portions 221, 222, and 223 have root portions connected by a connecting portion 227 that extends in the first direction X, and the columnar portions 224, 225, and 226 have root portions that are connected by a connecting portion 228 that extends in the first direction X. Are connected.

柱状部221〜226の第3方向Zの一方側Z1の端部、第1凸部23の一方側Z1の端部、および第2凸部24の一方側Z1の端部には、カバー25がネジ259によって固定されている。カバー25は、ホルダ部22を覆う平板部250と、平板部250の第1方向Xの一方側X1の端部から第3方向Zの他方側Z2に屈曲した第1側板部251と、平板部250の第1方向Xの他方側X2の端部から第3方向Zの他方側Z2に屈曲した第2側板部252とを有している。第1側板部251は、第1凸部23に第1方向Xの一方側X1から重なり、第2側板部252は、第2凸部24に第1方向Xの他方側X2から重なっている。平板部250には、矩形の開口部250aと、第1凸部23の位置決め凸部239、および第2凸部24の位置決め凸部249が嵌る穴250b、250cが形成されている。   A cover 25 is provided at one end Z1 of the columnar portions 221 to 226 in the third direction Z, one end Z1 of the first protrusion 23, and one end Z1 of the second protrusion 24. It is fixed by screws 259. The cover 25 includes a flat plate portion 250 that covers the holder portion 22, a first side plate portion 251 that is bent from an end portion on one side X1 in the first direction X of the flat plate portion 250 to the other side Z2 in the third direction Z, and a flat plate portion. And a second side plate portion 252 bent from the end portion of the other side X2 of the first direction X of 250 to the other side Z2 of the third direction Z. The first side plate portion 251 overlaps the first convex portion 23 from one side X1 in the first direction X, and the second side plate portion 252 overlaps the second convex portion 24 from the other side X2 in the first direction X. The flat plate portion 250 is formed with holes 250b and 250c into which the rectangular opening portion 250a, the positioning convex portion 239 of the first convex portion 23, and the positioning convex portion 249 of the second convex portion 24 are fitted.

(可動体3の構成)
図9は、図6に示す可動体3から駆動機構5を構成するための可動体側構成要素5aを外した状態の分解斜視図である。図2〜図6、および図9に示すように、可動体3は、ホルダ部22に第2方向Yの一方側Y1で対向する第1壁部31と、ホルダ部22に第2方向Yの他方側Y2で対向する第2壁部32と、第1凸部23に第1方向Xの一方側X1で対向する第3壁部33と、第2凸部24に第1方向Xの他方側X2で対向する第4壁部34とを備えている。第1壁部31、第2壁部32、第3壁部33、および第4壁部34は各々、別部材からなり、ネジ391によって連結されて、四角形の枠体30を構成している。
(Configuration of movable body 3)
FIG. 9 is an exploded perspective view of the movable body 3 shown in FIG. 6 with the movable body side component 5a for configuring the drive mechanism 5 removed. As shown in FIGS. 2 to 6 and FIG. 9, the movable body 3 includes a first wall portion 31 facing the holder portion 22 on one side Y1 in the second direction Y, and a holder portion 22 in the second direction Y. The second wall portion 32 facing the other side Y2, the third wall portion 33 facing the first convex portion 23 on the one side X1 in the first direction X, and the other side of the second convex portion 24 in the first direction X. And a fourth wall 34 facing each other at X2. The first wall portion 31, the second wall portion 32, the third wall portion 33, and the fourth wall portion 34 are made of different members, and are connected by screws 391 to form a rectangular frame 30.

可動体3は、第1壁部31、第2壁部32、第3壁部33、および第4壁部34のいずれかに連結されて駆動機構5を覆う出力部材38を有している。本形態において、出力部材38は四角形の板状であり、第1壁部31および第2壁部32の第3方向Zの一方側Z1の端部にネジ392によって連結されている。なお、出力部材38は、第1壁部31お
よび第2壁部32の一方のみに連結されている態様や、第1壁部31、第2壁部32、第3壁部33および第4壁部34の少なくとも1つに連結されている態様であってもよい。出力部材38では、第3方向Zの一方側Z1に向けて円筒状の筒部386、387、388、389が突出しており、筒部386、387、388、389は、出力部材38にタッチパネル等を固定する際に利用される。
The movable body 3 includes an output member 38 that is connected to any one of the first wall portion 31, the second wall portion 32, the third wall portion 33, and the fourth wall portion 34 and covers the drive mechanism 5. In this embodiment, the output member 38 has a quadrangular plate shape, and is connected to an end portion on one side Z1 in the third direction Z of the first wall portion 31 and the second wall portion 32 by a screw 392. The output member 38 is connected to only one of the first wall portion 31 and the second wall portion 32, or the first wall portion 31, the second wall portion 32, the third wall portion 33, and the fourth wall. The aspect connected with at least 1 of the part 34 may be sufficient. In the output member 38, cylindrical cylindrical portions 386, 387, 388, and 389 protrude toward the one side Z1 in the third direction Z. The cylindrical portions 386, 387, 388, and 389 Used when fixing.

第1壁部31および第2壁部32において、ホルダ部22と対向する内面310、320側は、後述する可動体側構成要素5aを配置する部分になっており、第1壁部31および第2壁部32の第3方向Zの他方側Z2の端部は、可動体側構成要素5aを支持する底板部315、325を構成している。従って、第1壁部31および第2壁部32は、可動体側構成要素5aに磁気的な影響を及ぼさないように、非磁性材料によって構成されている。本形態において、第1壁部31、第2壁部32、第3壁部33、第4壁部34、および出力部材38が全て非磁性材料によって構成されている。   In the 1st wall part 31 and the 2nd wall part 32, the inner surface 310,320 side facing the holder part 22 is a part which arrange | positions the movable body side component 5a mentioned later, and the 1st wall part 31 and the 2nd The end portion on the other side Z2 in the third direction Z of the wall portion 32 constitutes bottom plate portions 315 and 325 that support the movable body side component 5a. Therefore, the 1st wall part 31 and the 2nd wall part 32 are comprised with the nonmagnetic material so that it may not exert a magnetic influence on the movable body side component 5a. In this embodiment, the first wall portion 31, the second wall portion 32, the third wall portion 33, the fourth wall portion 34, and the output member 38 are all made of a nonmagnetic material.

底板部315、325では、第1方向Xの両端側の各々に第3方向Zの一方側Z1に突出した軸部316、317、326、327が形成されている。軸部316、317、326、327は各々、第3方向Zの一方側Z1の端部が、出力部材38の穴381、382、383、384に嵌るようになっている。また、第1壁部31および第2壁部32の底面では、第1方向Xの中央部から第3方向Zの他方側Z2に軸部318、328が突出している。軸部318、328は、可動体3が第3方向Zの他方側Z1に変位した際にベース部材21と当接して、可動体3の第3方向Zの他方側Z1への可動範囲を規定している。   In the bottom plate portions 315 and 325, shaft portions 316, 317, 326, and 327 projecting to one side Z <b> 1 in the third direction Z are formed on both end sides in the first direction X, respectively. The shaft portions 316, 317, 326, and 327 are configured such that end portions on one side Z 1 in the third direction Z are fitted in the holes 381, 382, 383, and 384 of the output member 38. Further, on the bottom surfaces of the first wall portion 31 and the second wall portion 32, shaft portions 318 and 328 protrude from the center portion in the first direction X to the other side Z <b> 2 in the third direction Z. The shaft portions 318 and 328 abut against the base member 21 when the movable body 3 is displaced to the other side Z1 in the third direction Z, and define a movable range of the movable body 3 toward the other side Z1 in the third direction Z. doing.

(ガイド機構8の構成)
図2、図5および図6等に示す駆動機構5は、可動体3を支持体2に対して第1方向Xの一方側X1および他方側X2に駆動して可動体3を第1方向Xで振動させる。従って、アクチュエータ1では、図4および図6に示すように、第2方向Yで可動体3と支持体2とが対向する個所に、可動体3を第1方向Xにガイドするガイド機構8が設けられている。
(Configuration of guide mechanism 8)
The drive mechanism 5 shown in FIGS. 2, 5, 6 and the like drives the movable body 3 to the one side X1 and the other side X2 in the first direction X with respect to the support body 2 to move the movable body 3 in the first direction X. Vibrate with. Therefore, in the actuator 1, as shown in FIGS. 4 and 6, a guide mechanism 8 that guides the movable body 3 in the first direction X is provided at a position where the movable body 3 and the support body 2 face each other in the second direction Y. Is provided.

ガイド機構8を構成するにあたって、本形態では、同一構成のガイドユニット80が、可動体3の第2方向Yの一方側Y1において第1方向Xで離間する2個所、および可動体3の第2方向Yの他方側Y2において第1方向Xで離間する2個所の計4個所に設けられている。より具体的には、ガイド機構8(ガイドユニット80)は、可動体3の第1壁部31の第1方向Xの一方側X1の端部、第1壁部31の第1方向Xの他方側X2の端部、第2壁部32の第1方向Xの一方側X1の端部、および第2壁部32の第1方向Xの他方側X2の端部の計4個所に設けられている。   In configuring the guide mechanism 8, in this embodiment, the guide unit 80 having the same configuration is separated in the first direction X on the one side Y <b> 1 in the second direction Y of the movable body 3 and the second of the movable body 3. It is provided at a total of four locations, two locations spaced apart in the first direction X on the other side Y2 of the direction Y. More specifically, the guide mechanism 8 (guide unit 80) includes the end of the first wall portion 31 of the movable body 3 on one side X1 in the first direction X and the other end of the first wall portion 31 in the first direction X. It is provided at a total of four locations: an end portion on the side X2, an end portion on one side X1 in the first direction X of the second wall portion 32, and an end portion on the other side X2 in the first direction X of the second wall portion 32. Yes.

ここで、ガイド機構8(ガイドユニット80)は、4個所の各々に可動体3と支持体2とによって第2方向Yの両側から支持された転動ボール83を備えている。より具体的には、ガイド機構8は、支持体2側において第3方向Zで並列して第1方向Xに延在する2本の第1レール81と、可動体3側において第3方向Zで並列して第1方向Xに延在する2本の第2レール82と、2本の第1レール81および2本の第2レール82によって第2方向Yの両側から支持された転動ボール83とを備えている。   Here, the guide mechanism 8 (guide unit 80) includes a rolling ball 83 supported by the movable body 3 and the support body 2 from both sides in the second direction Y at each of the four positions. More specifically, the guide mechanism 8 includes two first rails 81 extending in the first direction X in parallel in the third direction Z on the support body 2 side, and the third direction Z on the movable body 3 side. The two second rails 82 extending in parallel in the first direction X, and the rolling balls supported from both sides in the second direction Y by the two first rails 81 and the two second rails 82 83.

2本の第1レール81は、第1凸部23の第2方向Yの一方側Y1の側面に形成された凹部231、第1凸部23の第2方向Yの他方側Y2の側面に形成された凹部232、第2凸部24の第2方向Yの一方側Y1の側面に形成された凹部241、および第2凸部24において第2方向Yの他方側Y2の側面に形成された凹部232の各々で両端が固定されている。また、凹部231、232、241、242には、2本の第1レール81を転
動ボール83とは反対側から支持する補強用凸部231a、232a、241a、242aが形成されている。
The two first rails 81 are formed on the side surface of the first convex portion 23 on the one side Y1 in the second direction Y and the side surface of the first convex portion 23 on the other side Y2 in the second direction Y. The recessed portion 232 formed, the recessed portion 241 formed on the side surface on one side Y1 in the second direction Y of the second protruding portion 24, and the recessed portion formed on the side surface on the other side Y2 in the second direction Y in the second protruding portion 24. Both ends are fixed at 232. Reinforcing convex portions 231 a, 232 a, 241 a, and 242 a that support the two first rails 81 from the side opposite to the rolling ball 83 are formed in the concave portions 231, 232, 241, and 242.

2本の第2レール82は、第1壁部31の第1方向Xの一方側X1の端部の内面に形成された凹部311、第1壁部31の第1方向Xの他方側X2の端部の内面に形成された凹部312、第2壁部32の第1方向Xの一方側X1の端部の内面に形成された凹部321、および第2壁部32の第1方向Xの他方側X2の端部の内面に形成された凹部322の各々で両端が固定されている。また、凹部311、312、321、322には、2本の第2レール82を転動ボール83とは反対側から支持する補強用凸部311a、312a、321a、322aが形成されている。   The two second rails 82 are a recess 311 formed on the inner surface of the end portion on one side X1 of the first wall portion 31 in the first direction X, and the other side X2 of the first wall portion 31 in the first direction X. The concave portion 312 formed on the inner surface of the end portion, the concave portion 321 formed on the inner surface of the end portion on one side X1 in the first direction X of the second wall portion 32, and the other in the first direction X of the second wall portion 32 Both ends are fixed by each of the recesses 322 formed on the inner surface of the end portion of the side X2. Reinforcing convex portions 311 a, 312 a, 321 a, and 322 a that support the two second rails 82 from the side opposite to the rolling ball 83 are formed in the concave portions 311, 312, 321, and 322.

(粘弾性部材の構成)
図2および図6に示すように、アクチュエータ1では、可動体3が支持体2に対して第1方向Xの一方側X1で対向する部分に第1弾性部材91が設けられ、第1弾性部材91に対して第1方向Xで離間する位置において可動体3が支持体2に対して第1方向Xの他方側X2で対向する部分に第2弾性部材92が設けられている。
(Configuration of viscoelastic member)
As shown in FIGS. 2 and 6, in the actuator 1, a first elastic member 91 is provided in a portion where the movable body 3 faces the support body 2 on one side X <b> 1 in the first direction X, and the first elastic member A second elastic member 92 is provided at a portion where the movable body 3 is opposed to the support body 2 on the other side X2 in the first direction X at a position spaced apart from 91 in the first direction X.

本形態において、第1弾性部材91は、可動体3および支持体2の第1方向Xの一方側X1の端部同士が第1方向Xで対向する部分に設けられている。第2弾性部材92は、可動体3および支持体2の第1方向Xの他方側X2の端部同士が第1方向Xで対向する部分に設けられている。より具体的には、第1弾性部材91は、可動体3の第1方向Xの一方側X1の端部である第3壁部33と、支持体2の第1方向Xの一方側X1の端部である第1凸部23との間に設けられている。第2弾性部材92は、可動体3の第1方向Xの他方側X2の端部である第4壁部34と、支持体2の第1方向Xの他方側X2の端部である第2凸部24との間に設けられている。   In the present embodiment, the first elastic member 91 is provided at a portion where the end portions on one side X1 in the first direction X of the movable body 3 and the support body 2 face each other in the first direction X. The second elastic member 92 is provided at a portion where the end portions on the other side X2 in the first direction X of the movable body 3 and the support body 2 face each other in the first direction X. More specifically, the first elastic member 91 includes a third wall 33 that is an end portion on one side X1 of the movable body 3 in the first direction X, and a first side X1 of the support body 2 in the first direction X. It is provided between the first convex part 23 which is an end part. The second elastic member 92 is a fourth wall portion 34 that is an end portion on the other side X2 of the movable body 3 in the first direction X, and a second portion that is an end portion on the other side X2 of the support body 2 in the first direction X. It is provided between the convex portions 24.

本形態では、第1凸部23の第1方向Xの一方側X1には、カバー25の第1側板部251が重なっているため、第1弾性部材91は、第1側板部251と第3壁部33との間に設けられている。また、第2凸部24の第1方向Xの他方側X2には、カバー25の第2側板部252が重なっているため、第2弾性部材92は、第2側板部252と第4壁部34との間に設けられている。   In this embodiment, since the first side plate portion 251 of the cover 25 overlaps with the one side X1 of the first convex portion 23 in the first direction X, the first elastic member 91 includes the first side plate portion 251 and the third side plate 251. It is provided between the wall 33. In addition, since the second side plate portion 252 of the cover 25 overlaps the other side X2 of the second convex portion 24 in the first direction X, the second elastic member 92 includes the second side plate portion 252 and the fourth wall portion. 34.

第1弾性部材91および第2弾性部材92は各々、バネや粘弾性部材等から構成されている。本形態において、第1弾性部材91は、ゲル状部材やゴム等の第1粘弾性部材910である。第2弾性部材92は、ゲル状部材やゴム等の第2粘弾性部材920である。粘弾性とは、粘性と弾性の両方を合わせた性質のことであり、ゲル状部材、プラスチック、ゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質である。従って、第1粘弾性部材910および第2粘弾性部材920として、各種ゲル状部材を用いることができる。また、第1粘弾性部材910および第2粘弾性部材920として、天然ゴム、ジエン系ゴム(例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム)、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等)、非ジエン系ゴム(例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等)、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。   The first elastic member 91 and the second elastic member 92 are each composed of a spring, a viscoelastic member, or the like. In this embodiment, the first elastic member 91 is a first viscoelastic member 910 such as a gel-like member or rubber. The second elastic member 92 is a second viscoelastic member 920 such as a gel-like member or rubber. Viscoelasticity is a property that combines both viscosity and elasticity, and is a property that is prominently seen in polymer materials such as gel-like members, plastics, and rubbers. Therefore, various gel-like members can be used as the first viscoelastic member 910 and the second viscoelastic member 920. Further, as the first viscoelastic member 910 and the second viscoelastic member 920, natural rubber, diene rubber (for example, styrene / butadiene rubber, isoprene rubber, butadiene rubber), chloroprene rubber, acrylonitrile / butadiene rubber, etc.), non-diene Various rubber materials such as butyl rubber (for example, butyl rubber, ethylene / propylene rubber, ethylene / propylene / diene rubber, urethane rubber, silicone rubber, fluorine rubber, etc.), thermoplastic elastomers, and modified materials thereof may be used.

本形態において、第1粘弾性部材910および第2粘弾性部材920として、ゲル状部材が用いられている。より具体的には、第1粘弾性部材910および第2粘弾性部材920は、針入度が10度から110度であるシリコーン系ゲルである。針入度とは、JIS−K−2207やJIS−K−2220で規定されており、この値が小さい程、硬いことを意味する。粘弾性部材は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備
える。例えば、粘弾性部材は、その厚さ方向に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分(バネ係数)よりも非線形の成分(バネ係数)が大きい伸縮特性を備える。これに対して、厚さ方向に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分(バネ係数)よりも線形の成分(バネ係数)が大きい伸縮特性を備える。
In this embodiment, gel-like members are used as the first viscoelastic member 910 and the second viscoelastic member 920. More specifically, the first viscoelastic member 910 and the second viscoelastic member 920 are silicone gels having a penetration of 10 degrees to 110 degrees. The penetration is defined by JIS-K-2207 or JIS-K-2220, and the smaller this value is, the harder it is. The viscoelastic member has linear or non-linear stretch characteristics depending on the stretch direction. For example, when the viscoelastic member is pressed in the thickness direction and compressively deformed, the viscoelastic member has an expansion / contraction characteristic in which a nonlinear component (spring coefficient) is larger than a linear component (spring coefficient). On the other hand, when stretched by being pulled in the thickness direction, it has an expansion / contraction characteristic in which a linear component (spring coefficient) is larger than a non-linear component (spring coefficient).

ここで、第1粘弾性部材910および第2粘弾性部材920は各々、可動体3および支持体2に接着等の方法で固定されている。このため、第1粘弾性部材910および第2粘弾性部材920は各々、可動体3が第1方向Xに振動する際、支持体2および可動体3に接している。また、駆動機構5が停止している期間(可動体3の振動が停止している期間)、第1粘弾性部材910および第2粘弾性部材920は各々、第1方向Xで圧縮された状態にあり、可動体3の所定のストローク内では、第1粘弾性部材910および第2粘弾性部材920は各々、第1方向Xで圧縮された状態にある。   Here, the first viscoelastic member 910 and the second viscoelastic member 920 are respectively fixed to the movable body 3 and the support body 2 by a method such as adhesion. For this reason, the first viscoelastic member 910 and the second viscoelastic member 920 are in contact with the support body 2 and the movable body 3 when the movable body 3 vibrates in the first direction X, respectively. Further, the first viscoelastic member 910 and the second viscoelastic member 920 are compressed in the first direction X during a period when the drive mechanism 5 is stopped (a period when vibration of the movable body 3 is stopped). The first viscoelastic member 910 and the second viscoelastic member 920 are each compressed in the first direction X within a predetermined stroke of the movable body 3.

(駆動機構5の構成)
図10は、図8に示す駆動機構5の斜視図である。図11は、図10に示す駆動機構5の平面図である。図10および図11に示すように、駆動機構5は、支持体2および可動体3のうちの一方側部材に、第2方向Yの一方側Y1から他方側Y2に向けて突出した第1突極511が第1方向Xに沿って複数設けられた第1磁性コア51と、第1磁性コア51に第2方向Yの他方側Y2で対向する第2磁性コア52とを有している。第2磁性コア52では、第2方向Yの他方側Y2から一方側Y1に向けて突出した第2突極521が第1方向Xに沿って複数設けられている。ここで、第2突極521は、第1突極511とは逆位相である。すなわち、第1磁性コア51において、第1突極511の間は凹部512になっており、第2磁性コア52において第2突極521が形成する凸部は、第1突極511の間に形成された凹部512に第2方向Yで対向している。また、第2磁性コア52において、第2突極521の間は凹部522になっており、第1磁性コア51において第1突極511が形成する凸部は、第2突極521の間に形成された凹部522に第2方向Yで対向している。
(Configuration of drive mechanism 5)
FIG. 10 is a perspective view of the drive mechanism 5 shown in FIG. FIG. 11 is a plan view of the drive mechanism 5 shown in FIG. As shown in FIGS. 10 and 11, the drive mechanism 5 includes a first protrusion protruding from one side Y1 in the second direction Y toward the other side Y2 on one side member of the support 2 and the movable body 3. The first magnetic core 51 is provided with a plurality of poles 511 along the first direction X, and the second magnetic core 52 is opposed to the first magnetic core 51 on the other side Y2 in the second direction Y. In the second magnetic core 52, a plurality of second salient poles 521 projecting from the other side Y2 in the second direction Y toward the one side Y1 are provided along the first direction X. Here, the second salient pole 521 has an opposite phase to the first salient pole 511. That is, in the first magnetic core 51, the concave portions 512 are formed between the first salient poles 511, and the convex portions formed by the second salient poles 521 in the second magnetic core 52 are between the first salient poles 511. It faces the formed recess 512 in the second direction Y. Further, in the second magnetic core 52, a concave portion 522 is formed between the second salient poles 521, and the convex portion formed by the first salient pole 511 in the first magnetic core 51 is between the second salient poles 521. It faces the formed recess 522 in the second direction Y.

また、駆動機構5は、支持体2および可動体3のうちの他方側部材に、第1磁性コア51と第2磁性コア52との間に設けられた電機子54を備えている。電機子54は、第1方向Xで着磁された永久磁石56と、永久磁石56に第1方向Xの一方側X1から重なる第1電機子コア57と、永久磁石56に第1方向Xの他方側X2から重なる第2電機子コア58と、第1電機子コア57の外面側および第2電機子コア58の外面側を通るように巻回された駆動コイル59とを備えている。本形態において、駆動コイル59は、絶縁性のボビン55に巻回されており、第1電機子コア57および第2電機子コア58は、ボビン55の胴部の内側に、第2方向Yの一方側Y1から挿入されたコア部材57a、58aと第2方向Yの他方側Y2から挿入されたコア部材57b、58bとからなる。   The drive mechanism 5 includes an armature 54 provided between the first magnetic core 51 and the second magnetic core 52 on the other member of the support 2 and the movable body 3. The armature 54 includes a permanent magnet 56 magnetized in the first direction X, a first armature core 57 that overlaps the permanent magnet 56 from one side X1 in the first direction X, and a permanent magnet 56 in the first direction X. A second armature core 58 overlapping from the other side X2 and a drive coil 59 wound so as to pass through the outer surface side of the first armature core 57 and the outer surface side of the second armature core 58 are provided. In this embodiment, the drive coil 59 is wound around an insulating bobbin 55, and the first armature core 57 and the second armature core 58 are arranged in the second direction Y inside the body portion of the bobbin 55. It consists of core members 57a and 58a inserted from one side Y1, and core members 57b and 58b inserted from the other side Y2 in the second direction Y.

電機子54では、永久磁石56、第1電機子コア57、第2電機子コア58、および駆動コイル59を備えた電機子ユニット540が第1方向Xに沿って複数配置されている。本形態において、電機子54では、電機子ユニット540が第1方向Xに沿って2つ配置されている。   In the armature 54, a plurality of armature units 540 including a permanent magnet 56, a first armature core 57, a second armature core 58, and a drive coil 59 are arranged along the first direction X. In this embodiment, in the armature 54, two armature units 540 are arranged along the first direction X.

本形態において、一方側部材は可動体3であり、他方側部材は支持体2である。従って、第1磁性コア51および第2磁性コア52は、駆動機構5を構成するための可動体側構成要素5aとして、可動体3に設けられている。より具体的には、第1磁性コア51および第2磁性コア52は、可動体側構成要素5aとして、可動体3の第1壁部31および第2壁部32の内面310、320に重なるように配置され、固定されている。ここで、第1磁性コア51および第2磁性コア52には、第1方向Xで離間する2個所に穴516、517、526、527が形成されており、第1磁性コア51および第2磁性コア52を
第1壁部31および第2壁部32に固定する際、第1磁性コア51および第2磁性コア52の穴516、517、526、527に第1壁部31および第2壁部32の軸部316、317、326、327が嵌って位置決めされる。
In this embodiment, the one side member is the movable body 3, and the other side member is the support body 2. Therefore, the first magnetic core 51 and the second magnetic core 52 are provided on the movable body 3 as the movable body-side component 5 a for configuring the drive mechanism 5. More specifically, the first magnetic core 51 and the second magnetic core 52 overlap the inner surfaces 310 and 320 of the first wall portion 31 and the second wall portion 32 of the movable body 3 as the movable body-side component 5a. Arranged and fixed. Here, in the first magnetic core 51 and the second magnetic core 52, holes 516, 517, 526, and 527 are formed at two positions spaced apart in the first direction X, and the first magnetic core 51 and the second magnetic core 52 are formed. When fixing the core 52 to the first wall portion 31 and the second wall portion 32, the first wall portion 31 and the second wall portion are inserted into the holes 516, 517, 526 and 527 of the first magnetic core 51 and the second magnetic core 52. 32 shaft portions 316, 317, 326, 327 are fitted and positioned.

また、電機子54(電機子ユニット540)は、駆動機構5を構成するための支持体側構成要素5bとして、可動体3のホルダ部22に設けられている。より具体的には、ホルダ部22に設けた柱状部221、224と柱状部222、225との間に電機子ユニット540が1つ配置され、ホルダ部22に設けた柱状部222、225と柱状部223、226との間に電機子ユニット540が1つ配置される。ここで、第1電機子コア57および第2電機子コア58の永久磁石56とは反対側の面(外面)には、柱状部221〜226と係合する係合凹部571、581が形成されている。従って、第1電機子コア57および第2電機子コア58は、ホルダ部22に対して第1方向Xおよび第2方向Yで位置決めされた状態で支持体2に固定され、電機子54(電機子ユニット540)の第3方向Zの一方側Z1の端部は、カバー25の開口部250aの内側に位置する。   Further, the armature 54 (armature unit 540) is provided in the holder portion 22 of the movable body 3 as a support side component 5b for constituting the drive mechanism 5. More specifically, one armature unit 540 is arranged between the columnar portions 221 and 224 provided in the holder portion 22 and the columnar portions 222 and 225, and the columnar portions 222 and 225 provided in the holder portion 22 and the columnar shapes are arranged. One armature unit 540 is arranged between the parts 223 and 226. Here, engagement concave portions 571 and 581 that engage with the columnar portions 221 to 226 are formed on the surfaces (outer surfaces) opposite to the permanent magnets 56 of the first armature core 57 and the second armature core 58. ing. Accordingly, the first armature core 57 and the second armature core 58 are fixed to the support 2 in a state where the first armature core 57 and the second armature core 58 are positioned in the first direction X and the second direction Y with respect to the holder portion 22. The end of one side Z1 in the third direction Z of the child unit 540) is located inside the opening 250a of the cover 25.

この状態で、第1磁性コア51および第2磁性コア52の第1突極511および第2突極521は各々、電機子54の第1電機子コア57および第2電機子コア58の第2方向Yの端面に隙間を介して第2方向Yで対向する。このようにして、駆動機構5が構成された際、第3方向Zからみたとき、ガイド機構8(ガイドユニット80)が配置された4個所で囲まれた空間内に駆動機構5が構成される。本形態では、支持体2の全体が非磁性材料からなる。   In this state, the first salient pole 511 and the second salient pole 521 of the first magnetic core 51 and the second magnetic core 52 are the second armature core 57 and the second armature core 58 of the armature 54, respectively. It faces the end surface in the direction Y in the second direction Y with a gap. In this way, when the drive mechanism 5 is configured, the drive mechanism 5 is configured in a space surrounded by four places where the guide mechanism 8 (guide unit 80) is disposed when viewed from the third direction Z. . In this embodiment, the entire support 2 is made of a nonmagnetic material.

(基本動作)
本形態のアクチュエータ1において、駆動コイル59に交流を印加すると、駆動機構5はリニアモータと同様、可動体3を第1方向Xの一方側X1および他方側X2に直線駆動する。従って、可動体3は、第1方向Xに振動するため、アクチュエータ1における重心が第1方向Xに振動する。このため、アクチュエータ1に触れた利用者は、第1方向Xの振動を体感することができる。その際、駆動コイル59に印加する交流波形を調整して、可動体3が第1方向Xの一方側X1に移動する加速度と、可動体3が第1方向Xの他方側X2に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、第1方向Xにおいて方向性を有する振動を体感することができる。
(basic action)
In the actuator 1 of this embodiment, when an alternating current is applied to the drive coil 59, the drive mechanism 5 linearly drives the movable body 3 to the one side X1 and the other side X2 in the first direction X, like a linear motor. Therefore, since the movable body 3 vibrates in the first direction X, the center of gravity of the actuator 1 vibrates in the first direction X. For this reason, the user who touched the actuator 1 can experience the vibration in the first direction X. At that time, the AC waveform applied to the drive coil 59 is adjusted, and the acceleration at which the movable body 3 moves to one side X1 in the first direction X and the acceleration at which the movable body 3 moves to the other side X2 in the first direction X. , The user can experience vibration having directionality in the first direction X.

本形態では、出力部材38が露出した状態にあるため、利用者が出力部材38に触れれば、可動体3の振動を直接、体感することができる。   In this embodiment, since the output member 38 is exposed, if the user touches the output member 38, the vibration of the movable body 3 can be directly experienced.

(本形態の主な効果)
以上説明したように、本形態のアクチュエータ1において、駆動機構5は、電機子54から発生した磁束が第1磁性コア51および第2磁性コア52を通過する磁束密度の変化を利用して推力を発生させる、すなわち、駆動機構5は、リニアモータと同様に動作するので、可動体3に大きな推力を発生させることができる。それ故、利用者に強い振動を体感させることができる。
(Main effects of this form)
As described above, in the actuator 1 of the present embodiment, the drive mechanism 5 uses the change in magnetic flux density in which the magnetic flux generated from the armature 54 passes through the first magnetic core 51 and the second magnetic core 52 to generate thrust. In other words, since the drive mechanism 5 operates in the same manner as a linear motor, a large thrust can be generated in the movable body 3. Therefore, the user can feel a strong vibration.

第1磁性コア51および第2磁性コア52が可動体3に設けられ、電機子54が支持体2に設けられている。このため、可動体3に駆動コイル59を設けた場合と違って、駆動コイル59に対する給電が容易である。   The first magnetic core 51 and the second magnetic core 52 are provided on the movable body 3, and the armature 54 is provided on the support body 2. For this reason, unlike the case where the movable coil 3 is provided with the drive coil 59, power supply to the drive coil 59 is easy.

可動体3は、駆動機構5を第3方向Zの一方側Z1から覆う出力部材38を有しており、出力部材38が露出している。従って、出力部材38を介して可動体3の振動を出力することができるので、出力部材38に触れた利用者に強い振動を体感させることができる。   The movable body 3 has an output member 38 that covers the drive mechanism 5 from one side Z1 in the third direction Z, and the output member 38 is exposed. Therefore, since the vibration of the movable body 3 can be output via the output member 38, the user who touched the output member 38 can feel a strong vibration.

また、ガイド機構8では、支持体2側の2本の第1レール81と可動体3側の2本の第2レール82とによって転動ボール83が支持されている。このため、可動体3は、ガイド機構8にガイドされながら第1方向Xにスムーズに振動する。ここで、転動ボール83は、支持体2側の2本の第1レール81と可動体3側の2本の第2レール82とによって第2方向Yの両側から支持されている。このため、可動体3に外力が加わっても、可動体3の第2方向Yおよび第3方向Zへの変位がガイド機構8によって抑制される。従って、可動体3に外力が加わった状態でも、可動体3を第1方向Xに適正に振動させることができる。   In the guide mechanism 8, the rolling ball 83 is supported by the two first rails 81 on the support body 2 side and the two second rails 82 on the movable body 3 side. For this reason, the movable body 3 vibrates smoothly in the first direction X while being guided by the guide mechanism 8. Here, the rolling ball 83 is supported from both sides in the second direction Y by the two first rails 81 on the support body 2 side and the two second rails 82 on the movable body 3 side. For this reason, even if an external force is applied to the movable body 3, the displacement of the movable body 3 in the second direction Y and the third direction Z is suppressed by the guide mechanism 8. Therefore, the movable body 3 can be appropriately vibrated in the first direction X even when an external force is applied to the movable body 3.

2本の第1レール81、および2本の第2レール82は各々、転動ボール83を支持する面が凸曲面になっているため、転動ボール823支持体2側(第1レール81)との接触面積や、転動ボール83と可動体3側(第2レール82)との接触面積が狭い。従って、可動体3が第1方向Xに振動する際の摺動抵抗が小さいので、可動体3をスムーズに第1方向Xで振動させることができる。また、第1レール81、および第2レール82は各々、丸棒状であるため、第1レール81および第2レール82は各々、大きな強度を有する。   Since the two first rails 81 and the two second rails 82 each have a convex curved surface for supporting the rolling ball 83, the rolling ball 823 support 2 side (first rail 81) And the contact area between the rolling ball 83 and the movable body 3 (second rail 82) is small. Therefore, since the sliding resistance when the movable body 3 vibrates in the first direction X is small, the movable body 3 can be smoothly vibrated in the first direction X. Further, since the first rail 81 and the second rail 82 are each in the shape of a round bar, the first rail 81 and the second rail 82 each have a high strength.

ガイド機構8(ガイドユニット80)は、可動体3の第2方向Yの一方側Y1において第1方向Xで離間する2個所、および可動体3の第2方向Yの他方側Y2において第1方向Xで離間する2個所の計4個所に設けられている。従って、可動体3を安定した姿勢で適正にガイドすることができる。   The guide mechanism 8 (guide unit 80) has two locations that are separated in the first direction X on one side Y1 in the second direction Y of the movable body 3 and the first direction on the other side Y2 in the second direction Y of the movable body 3. It is provided in a total of four places, two places separated by X. Therefore, the movable body 3 can be properly guided in a stable posture.

また、可動体3と支持体2との間に粘弾性部材(第1粘弾性部材910および第2粘弾性部材920)が配置されているため、可動体3を振動させた際、第1粘弾性部材910および第2粘弾性部材920がダンパ機能を発揮する。従って、可動体3が共振しにくい。また、第1粘弾性部材910は、可動体3が支持体2に対して第1方向Xの一方側X1で対向する部分に配置され、第2粘弾性部材920は、可動体3が支持体2に対して第1方向Xの他方側X2で対向する部分に配置されている。このため、可動体3と支持体2との相対的な位置が第1方向Xで変動して、第1粘弾性部材910が配置されている部分での可動体3と支持体2との間隔、および第2粘弾性部材920が配置されている部分での可動体3と支持体2との間隔のうちの一方の間隔が広くなった場合には、他方の間隔が狭くなる。従って、第1粘弾性部材910の特性と第2粘弾性部材920の特性とを合成した特性は、上記の間隔の変動の影響を受けにくい。それ故、第1粘弾性部材910および第2粘弾性部材920は、安定した機能を発揮する。   Further, since the viscoelastic members (the first viscoelastic member 910 and the second viscoelastic member 920) are arranged between the movable body 3 and the support body 2, when the movable body 3 is vibrated, the first viscoelastic member is disposed. The elastic member 910 and the second viscoelastic member 920 exhibit a damper function. Therefore, the movable body 3 is unlikely to resonate. The first viscoelastic member 910 is disposed at a portion where the movable body 3 is opposed to the support body 2 on the one side X1 in the first direction X, and the second viscoelastic member 920 is the movable body 3 is the support body. 2 on the other side X2 in the first direction X. For this reason, the relative position between the movable body 3 and the support body 2 varies in the first direction X, and the distance between the movable body 3 and the support body 2 at the portion where the first viscoelastic member 910 is disposed. When the distance between one of the distances between the movable body 3 and the support 2 at the portion where the second viscoelastic member 920 is disposed becomes larger, the other distance becomes smaller. Therefore, the characteristic obtained by synthesizing the characteristic of the first viscoelastic member 910 and the characteristic of the second viscoelastic member 920 is not easily affected by the variation in the interval. Therefore, the first viscoelastic member 910 and the second viscoelastic member 920 exhibit stable functions.

第1粘弾性部材910および第2粘弾性部材920は各々、可動体3が第1方向Xに振動する際、支持体2および可動体3に接している。従って、第1粘弾性部材910および第2粘弾性部材920は、可動体3の移動に確実に追従するので、可動体3の共振を効果的に防止することができる。   The first viscoelastic member 910 and the second viscoelastic member 920 are in contact with the support body 2 and the movable body 3 when the movable body 3 vibrates in the first direction X, respectively. Accordingly, the first viscoelastic member 910 and the second viscoelastic member 920 reliably follow the movement of the movable body 3, so that the resonance of the movable body 3 can be effectively prevented.

また、駆動機構5が停止している期間、第1粘弾性部材910および第2粘弾性部材920は各々、第1方向Xで圧縮された状態にある。このため、第1粘弾性部材910および第2粘弾性部材920は、可動体3の移動に確実に追従するので、可動体3の共振を効果的に防止することができる。また、可動体3が振動した際、所定のストローク内では、第1粘弾性部材910および第2粘弾性部材920が常に伸長しようとする力を発揮するので、第1粘弾性部材910および第2粘弾性部材920が安定したダンパ機能を発揮する。すなわち、粘弾性部材は、その厚さ方向(軸方向)に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分(バネ係数)よりも非線形の成分(バネ係数)が大きい伸縮特性を備える。これに対して、厚さ方向(軸方向)に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分(バネ係数
)よりも線形の成分(バネ係数)が大きい伸縮特性を備える。それ故、本形態のように、第1粘弾性部材910および第2粘弾性部材920が第1方向Xで圧縮された状態にある場合、第1粘弾性部材910および第2粘弾性部材920では、運動方向によるバネ力が一定となる。それ故、本形態のように、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもった振動を実現することができる。
During the period when the drive mechanism 5 is stopped, the first viscoelastic member 910 and the second viscoelastic member 920 are each compressed in the first direction X. For this reason, since the 1st viscoelastic member 910 and the 2nd viscoelastic member 920 follow the movement of the movable body 3 reliably, the resonance of the movable body 3 can be prevented effectively. In addition, when the movable body 3 vibrates, the first viscoelastic member 910 and the second viscoelastic member 920 always exert a force to extend within a predetermined stroke, so that the first viscoelastic member 910 and the second viscoelastic member 910 are secondly extended. The viscoelastic member 920 exhibits a stable damper function. That is, when the viscoelastic member is pressed in the thickness direction (axial direction) and compressively deformed, the viscoelastic member has an expansion / contraction characteristic in which a nonlinear component (spring coefficient) is larger than a linear component (spring coefficient). On the other hand, when stretched by being pulled in the thickness direction (axial direction), it has an expansion / contraction characteristic in which a linear component (spring coefficient) is larger than a non-linear component (spring coefficient). Therefore, when the first viscoelastic member 910 and the second viscoelastic member 920 are compressed in the first direction X as in the present embodiment, the first viscoelastic member 910 and the second viscoelastic member 920 The spring force according to the direction of movement is constant. Therefore, as in this embodiment, the reproducibility of the vibration acceleration with respect to the input signal can be improved, so that vibration with a delicate nuance can be realized.

(他の実施形態)
上記実施形態では、可動体3を第1方向Xのみに駆動するアクチュエータ1に本発明を適用したが、可動体3を第1方向Xおよび第2方向Yに駆動するアクチュエータ1に本発明を適用してもよい。
(Other embodiments)
In the above embodiment, the present invention is applied to the actuator 1 that drives the movable body 3 only in the first direction X. However, the present invention is applied to the actuator 1 that drives the movable body 3 in the first direction X and the second direction Y. May be.

X…第1方向、Y…第2方向、Z…第3方向、1…アクチュエータ、2…支持体、3…可動体、5…駆動機構、5a…可動体側構成要素、5b…支持体側構成要素、8…ガイド機構、21…ベース部材、22…ホルダ部、23…第1凸部、24…第2凸部、25…カバー、30…枠体、31…第1壁部、32…第2壁部、33…第3壁部、34…第4壁部、38…出力部材、51…第1磁性コア、52…第2磁性コア、54…電機子、55…ボビン、56…永久磁石、57…第1電機子コア、58…第2電機子コア、59…駆動コイル、80…ガイドユニット、81…第1レール、82…第2レール、83…転動ボール、91…第1弾性部材、92…第2弾性部材、221〜226…柱状部、250…平板部、250a…開口部、251…第1側板部、252…第2側板部、310、320…内面、315、325…底板部、316、317、318、326、327、328…軸部、511…第1突極、521…第2突極、540…電機子ユニット、571、581…係合凹部、910…第1粘弾性部材、920…第2粘弾性部材   X ... 1st direction, Y ... 2nd direction, Z ... 3rd direction, 1 ... Actuator, 2 ... Support body, 3 ... Movable body, 5 ... Drive mechanism, 5a ... Movable body side component, 5b ... Support body side component , 8 ... Guide mechanism, 21 ... Base member, 22 ... Holder part, 23 ... First convex part, 24 ... Second convex part, 25 ... Cover, 30 ... Frame body, 31 ... First wall part, 32 ... Second Wall part 33 ... 3rd wall part 34 ... 4th wall part 38 ... Output member 51 ... 1st magnetic core 52 ... 2nd magnetic core 54 ... Armature 55 ... Bobbin 56 ... Permanent magnet 57 ... first armature core, 58 ... second armature core, 59 ... drive coil, 80 ... guide unit, 81 ... first rail, 82 ... second rail, 83 ... rolling ball, 91 ... first elastic member , 92 ... second elastic member, 221 to 226 ... columnar part, 250 ... flat plate part, 250a ... opening part, 251 ... first Side plate portion, 252 ... second side plate portion, 310, 320 ... inner surface, 315, 325 ... bottom plate portion, 316, 317, 318, 326, 327, 328 ... shaft portion, 511 ... first salient pole, 521 ... second projection Pole, 540 ... Armature unit, 571, 581 ... Engaging recess, 910 ... First viscoelastic member, 920 ... Second viscoelastic member

Claims (8)

支持体と、
可動体と、
前記可動体を前記支持体に対して第1方向で振動させる駆動機構と、
前記可動体が前記支持体に対して前記第1方向の一方側で対向する部分に設けられた第1粘弾性部材と、
前記可動体が前記支持体に対して前記第1方向の他方側で対向する部分に設けられた第2粘弾性部材と、
を有することを特徴とするアクチュエータ。
A support;
A movable body,
A drive mechanism for vibrating the movable body in a first direction with respect to the support;
A first viscoelastic member provided on a portion of the movable body facing the support on one side in the first direction;
A second viscoelastic member provided on a portion of the movable body facing the support on the other side in the first direction;
An actuator comprising:
前記第1粘弾性部材は、前記可動体および前記支持体の前記第1方向の一方側の端部同士が前記第1方向で対向する部分に設けられ、
前記第2粘弾性部材は、前記可動体および前記支持体の前記第1方向の他方側の端部同士が前記第1方向で対向する部分に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。
The first viscoelastic member is provided at a portion where one end in the first direction of the movable body and the support is opposed to each other in the first direction,
The said 2nd viscoelastic member is provided in the part which the edge parts of the other side of the said 1st direction of the said movable body and the said support body oppose in the said 1st direction. The actuator described.
前記第1粘弾性部材および前記第2粘弾性部材は各々、前記可動体が前記第1方向に振動する際、前記支持体および前記可動体に接していることを特徴とする請求項1または2に記載のアクチュエータ。   3. The first viscoelastic member and the second viscoelastic member are in contact with the support and the movable body, respectively, when the movable body vibrates in the first direction. Actuator. 前記駆動機構が停止している期間、前記第1粘弾性部材および前記第2粘弾性部材は各々、前記第1方向で圧縮された状態にあることを特徴とする請求項3に記載のアクチュエータ。   4. The actuator according to claim 3, wherein the first viscoelastic member and the second viscoelastic member are each compressed in the first direction while the driving mechanism is stopped. 5. 前記駆動機構は、前記第1方向と交差する第2方向で前記可動体と前記支持体とが対向する部分に配置され、
前記支持体は、ベース部材と、前記ベース部材から前記第1方向および前記第2方向と交差する第3方向の一方側に突出して前記駆動機構を構成するための支持体側構成要素を保持するホルダ部と、前記ホルダ部に対して前記第1方向の一方側で前記ベース部材から前記第3方向の一方側に突出した第1凸部と、前記ホルダ部に対して前記第1方向の他方側で前記ベース部材から前記第3方向の一方に突出した第2凸部と、を有し、
前記可動体は、前記ホルダ部に前記第2方向の一方側で対向する第1壁部と、前記ホルダ部に前記第2方向の他方側で対向する第2壁部と、前記第1凸部に前記第1方向の一方側で対向する第3壁部と、前記第2凸部に前記第1方向の他方側で対向する第4壁部と、を備え、
前記第1壁部の前記ホルダ部と対向する面に重なるように前記駆動機構を構成するための可動体側構成要素の一部が配置され、前記第2壁部の前記ホルダ部と対向する面に重なるように前記可動体側構成要素の他の一部が配置され、前記第1凸部と前記第3壁部との間に前記第1粘弾性部材が配置され、前記第2凸部と前記第4壁部との間に前記第2粘弾性部材が配置されていることを特徴とする請求項1から4までの何れか一項に記載のアクチュエータ。
The drive mechanism is disposed in a portion where the movable body and the support body face each other in a second direction intersecting the first direction,
The support is a holder that holds a base member and a support-side component for projecting from the base member to one side in a third direction that intersects the first direction and the second direction to form the drive mechanism. A first protrusion projecting from the base member to one side in the third direction on one side in the first direction with respect to the holder part, and the other side in the first direction with respect to the holder part And a second convex portion protruding in one of the third directions from the base member,
The movable body includes a first wall portion facing the holder portion on one side in the second direction, a second wall portion facing the holder portion on the other side in the second direction, and the first convex portion. A third wall portion facing on one side in the first direction, and a fourth wall portion facing the second convex portion on the other side in the first direction,
A part of the movable body side component for configuring the drive mechanism is arranged so as to overlap the surface of the first wall portion facing the holder portion, and the surface of the second wall portion facing the holder portion is arranged. Another part of the movable body side component is disposed so as to overlap, the first viscoelastic member is disposed between the first convex portion and the third wall portion, and the second convex portion and the first convex portion are disposed. The actuator according to any one of claims 1 to 4, wherein the second viscoelastic member is disposed between four wall portions.
前記可動体は、前記第1壁部、前記第2壁部、前記第3壁部、および前記第4壁部のうちの少なくとも1つの壁部に連結されて前記駆動機構を前記第3方向の一方側から覆う出力部材を有していることを特徴とする請求項5に記載のアクチュエータ。   The movable body is connected to at least one of the first wall portion, the second wall portion, the third wall portion, and the fourth wall portion to move the drive mechanism in the third direction. The actuator according to claim 5, further comprising an output member that covers from one side. 前記第1壁部の前記第1方向の一方側の端部、前記第1壁部の前記第1方向の他方側の端部、前記第2壁部の前記第1方向の一方側の端部、および前記第2壁部の前記第1方向の他方側の端部の計4個所の各々に、前記可動体を前記第1方向にガイドするガイド機構
が設けられていることを特徴とする請求項5または6に記載のアクチュエータ。
One end portion of the first wall portion in the first direction, one end portion of the first wall portion in the first direction, and one end portion of the second wall portion in the first direction. And a guide mechanism for guiding the movable body in the first direction is provided at each of a total of four locations on the other end of the second wall in the first direction. Item 7. The actuator according to Item 5 or 6.
前記ガイド機構は、前記4個所の各々に前記可動体と前記支持体とによって前記第2方向の両側から支持された転動ボールを備えていることを特徴とする請求項7に記載のアクチュエータ。   The actuator according to claim 7, wherein the guide mechanism includes a rolling ball supported from both sides in the second direction by the movable body and the support body at each of the four locations.
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