JP7402006B2

JP7402006B2 - actuator

Info

Publication number: JP7402006B2
Application number: JP2019179721A
Authority: JP
Inventors: 将生土橋
Original assignee: Nidec Instruments Corp
Current assignee: Nidec Instruments Corp
Priority date: 2019-09-30
Filing date: 2019-09-30
Publication date: 2023-12-20
Anticipated expiration: 2039-09-30
Also published as: JP2021057993A

Description

本発明は、可動体を振動させるアクチュエータおよび触覚デバイスに関する。 The present invention relates to an actuator and a haptic device that vibrate a movable body.

磁気駆動機構によって振動を発生させる機器として、第１方向で対向するコイルおよび磁石を備えた磁気駆動回路によって可動体を支持体に対して第１方向に対して交差する第２方向または第３方向に振動させるアクチュエータが提案されている。例えば、特許文献１に記載のアクチュエータにおいて、可動体はヨークを有し、ヨークには磁石が保持されている。支持体は、ホルダを有し、ホルダにはコイルが配置されている。磁気駆動機構は、磁石およびコイルで構成され、コイルへ給電されることで、磁気駆動機構が可動体を駆動する。このコイルは、直線部分と曲線部分とからなる長円形であり、直線部分は第２方向に沿って延在している。 As a device that generates vibrations using a magnetic drive mechanism, a magnetic drive circuit including a coil and a magnet facing each other in the first direction moves the movable body relative to the support in a second or third direction that intersects with the first direction. An actuator that vibrates has been proposed. For example, in the actuator described in Patent Document 1, the movable body has a yoke, and the yoke holds a magnet. The support body has a holder, and a coil is arranged in the holder. The magnetic drive mechanism includes a magnet and a coil, and the magnetic drive mechanism drives the movable body by supplying power to the coil. This coil has an oval shape consisting of a straight part and a curved part, and the straight part extends along the second direction.

特開２０１９－０１３０９０号公報Japanese Patent Application Publication No. 2019-013090

近年では、アクチュエータによって振動を発生させる機器をユーザが使用した際、ユーザが感じる振動の大きさがより大きいことが望まれており、それには、アクチュエータの振動を発生させる磁気駆動機構において、可動体が移動する距離を大きくすることも重要となる。この可動体の移動距離（移動量）は、コイルの大きさや磁石の磁力の大きさ等に依存するため、たとえば、コイルを大きくする場合は、コイルの長手方向が長くなるため、アクチュエータが大きくなるという問題がある。 In recent years, when a user uses a device that generates vibrations using an actuator, it is desired that the magnitude of the vibration that the user feels will be larger. It is also important to increase the distance traveled. The moving distance (travel amount) of this movable body depends on the size of the coil and the magnitude of the magnetic force of the magnet, so for example, if the coil is made larger, the longitudinal direction of the coil will be longer, so the actuator will be larger. There is a problem.

以上の問題に鑑みて、本願発明の課題は、アクチュエータおよび触覚デバイスを大きくすることなく、可動体の移動距離を大きく確保することにある。 In view of the above problems, an object of the present invention is to ensure a large moving distance of the movable body without increasing the size of the actuator and the tactile device.

上記課題を解決するために、本発明のアクチュエータは、支持体と、可動体と、前記支持体および前記可動体に接続された接続体と、前記支持体および前記可動体の一方側に配置された磁石と、前記支持体および前記可動体の他方側に配置されるとともに、第１方向で前記磁石と対向するコイルとを有する磁気駆動回路とを備え、前記支持体は、前記第１方向と直交する第２方向において対向する一対の第１側辺部と、前記第１方向および前記第２方向に対して直交する第３方向において対向する一対の第２側辺部と、を有し、前記コイルは、前記第１方向から見たときに、前記第２方向および前記第３方向に対して斜めに交差する第４方向と直交する第５方向に延在する長円形であり、前記磁石は前記第４方向に着磁され、前記磁気駆動回路は、前記可動体を前記支持体に対して前記第４方向に駆動することを特徴とする。 In order to solve the above problems, the actuator of the present invention includes a support body, a movable body, a connection body connected to the support body and the movable body, and a body disposed on one side of the support body and the movable body. a magnetic drive circuit having a coil disposed on the other side of the support body and the movable body and facing the magnet in a first direction, and the support body is arranged on the other side of the support body and the movable body. A pair of first side portions facing each other in a second orthogonal direction, and a pair of second side portions facing each other in a third direction orthogonal to the first direction and the second direction, The coil has an oval shape extending in a fifth direction perpendicular to a fourth direction diagonally intersecting the second direction and the third direction when viewed from the first direction, and the coil is magnetized in the fourth direction, and the magnetic drive circuit drives the movable body in the fourth direction with respect to the support body.

本発明では、支持体は、第１方向と直交する第２方向において対向する一対の第１側辺部と、第１方向と直交するとともに第２方向と交差する第３方向において対向する一対の第２側辺部とを有し、磁気駆動回路は、可動体を支持体に対し、第２方向および第３方向とは異なる第４方向に駆動し、コイルは、第４方向に直交する第５方向に延びる長円形であり、磁石は、第４方向に着磁されている。したがって、このアクチュエータにおいては、磁気駆動回路が第４方向に駆動するため、可動体の移動距離（移動量）を大きく確保す
ることができる。 In the present invention, the support has a pair of first side portions facing each other in a second direction perpendicular to the first direction, and a pair of first side portions facing each other in a third direction perpendicular to the first direction and intersecting the second direction. the magnetic drive circuit drives the movable body relative to the support in a fourth direction different from the second direction and the third direction; It has an oval shape extending in five directions, and the magnet is magnetized in the fourth direction. Therefore, in this actuator, since the magnetic drive circuit drives in the fourth direction, a large moving distance (moving amount) of the movable body can be ensured.

本発明において、前記コイルは、前記第１方向から見たときに前記第５方向に延在する直線部分を有し、前記磁石は、前記第１方向から見たときに前記コイルの前記直線部分の少なくとも一部と重なることが好ましい。このようにすれば、磁気駆動回路が発生させる第４方向への駆動力を効率的に大きくすることができる。 In the present invention, the coil has a linear portion extending in the fifth direction when viewed from the first direction, and the magnet has a linear portion of the coil when viewed from the first direction. It is preferable that at least a portion of the In this way, the driving force in the fourth direction generated by the magnetic drive circuit can be efficiently increased.

本発明において、前記接続体は、弾性体または粘弾性体であり、前記第２方向および前記第３方向の少なくともいずれか一方において前記支持体と前記可動体との間に配置される態様を採用することができる。 In the present invention, the connecting body is an elastic body or a viscoelastic body, and is arranged between the support body and the movable body in at least one of the second direction and the third direction. can do.

本発明において、前記接続体は、前記可動体が前記支持体に対して前記第２方向に振動する第１振動系を構成し、かつ、前記可動体が前記支持体に対して前記第３方向に振動する第２振動系を構成し、前記第１振動系の共振周波数と、前記第２振動系の共振周波数とが異なることが好ましい。このようにすれば、可動体が第２方向に振動する際と、第３方向に振動する際とでは、可動体を振動させる振動系の共振周波数が異なる。したがって、接続体によって、共振周波数が異なる複数の振動系を構成できる。また、共振周波数だけでなく、振動の方向も異なる。したがって、簡素な構成で、２種類の共振周波数および２種類の方向の振動を出力することができる。 In the present invention, the connecting body constitutes a first vibration system in which the movable body vibrates in the second direction with respect to the support body, and the movable body vibrates in the third direction with respect to the support body. It is preferable that the resonant frequency of the first vibration system is different from the resonant frequency of the second vibration system. In this way, the resonance frequency of the vibration system that vibrates the movable body is different when the movable body vibrates in the second direction and when the movable body vibrates in the third direction. Therefore, a plurality of vibration systems having different resonance frequencies can be configured by the connecting body. Furthermore, not only the resonance frequency but also the direction of vibration differs. Therefore, with a simple configuration, it is possible to output vibrations at two types of resonance frequencies and in two types of directions.

本発明において、前記可動体は、ヨークを有し、前記ヨークは、前記磁石を位置決めする位置決め部を有することが好ましい。このようにすれば、磁石をヨークに位置決めすることが容易となる。 In the present invention, it is preferable that the movable body has a yoke, and the yoke has a positioning part that positions the magnet. This makes it easy to position the magnet on the yoke.

本発明において、前記ヨークは、前記第１方向で対向する一対の板部と、前記一対の板部の前記第２方向および前記第３方向の何れか一方の辺において前記一対の板部の間で前記一対の板部を連結する一対の連結部と、を有する態様を採用することができる。 In the present invention, the yoke is arranged between the pair of plate parts facing each other in the first direction and the pair of plate parts on one side of the pair of plate parts in the second direction and the third direction. and a pair of connecting portions that connect the pair of plate portions.

本発明において、前記ヨークは、前記第１方向に重ねて配置された第１ヨークおよび第２ヨークからなり、前記第１ヨークおよび前記第２ヨークは同一形状であることが好ましい。このようにすれば、ヨークを構成する第１ヨークおよび第２ヨークを共通とすることができるので、部品点数を削減することができる。 In the present invention, it is preferable that the yoke includes a first yoke and a second yoke arranged one above the other in the first direction, and the first yoke and the second yoke have the same shape. In this way, the first yoke and the second yoke constituting the yoke can be made common, so the number of parts can be reduced.

本発明において、前記支持体は、前記一対の連結部の間で前記コイルを保持するコイルホルダを有し、前記接続体は、前記一対の連結部と前記コイルホルダとの各間に配置されることが望ましい。このようにすれば、ヨークが大きくなることで、ヨークの質量が増加する。この結果、可動体の質量が大きくなるので、アクチュエータの共振周波数を下げることができる。 In the present invention, the support body has a coil holder that holds the coil between the pair of connecting parts, and the connecting body is arranged between each of the pair of connecting parts and the coil holder. This is desirable. In this way, the mass of the yoke increases as the yoke becomes larger. As a result, the mass of the movable body increases, so the resonance frequency of the actuator can be lowered.

本発明において、前記コイルホルダは、前記コイルを収容する凹部を有することが好ましい。このようにすれば、コイルホルダでコイルを保持することが容易となる。 In the present invention, it is preferable that the coil holder has a recess for accommodating the coil. This makes it easy to hold the coil with the coil holder.

本発明において、前記支持体は、前記可動体を収容するケースを有し、前記ケースおよび前記ヨークは、前記第２方向および前記第３方向のうち、前記接続体が配置された方向に穴または切り欠き部を有することが好ましい。このようにすれば、アクチュエータを組み立てる際に、可動体およびコイルホルダをケースに対して位置決めするための位置決め用ピンを用いることができるので、可動体およびコイルホルダがケースに対して位置決め調整することが容易となる。 In the present invention, the support body has a case that accommodates the movable body, and the case and the yoke have holes or It is preferable to have a notch. In this way, when assembling the actuator, the positioning pins for positioning the movable body and the coil holder relative to the case can be used, so the positioning of the movable body and the coil holder relative to the case can be adjusted. becomes easier.

本発明では、磁気駆動回路が第４方向に駆動するため、可動体の移動距離を大きく確保することができる。 In the present invention, since the magnetic drive circuit drives in the fourth direction, a large moving distance of the movable body can be ensured.

本発明の実施形態１に係るアクチュエータの外観斜視図。FIG. 1 is an external perspective view of an actuator according to Embodiment 1 of the present invention. 図１のアクチュエータの分解斜視図。FIG. 2 is an exploded perspective view of the actuator of FIG. 1; 図１のアクチュエータの断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view of the actuator of FIG. 1; ケースを取り外したアクチュエータを第１方向の他方側から見た分解斜視図。FIG. 3 is an exploded perspective view of the actuator with the case removed, seen from the other side in the first direction. ケースを取り外したアクチュエータを第１方向の一方側Ｚ１から見た分解斜視図。FIG. 3 is an exploded perspective view of the actuator with the case removed, seen from one side Z1 in the first direction. コイル、コイルホルダおよび回路基板の分解斜視図。FIG. 3 is an exploded perspective view of a coil, a coil holder, and a circuit board. コイルホルダ、接続体および磁気駆動回路の平面図。A plan view of a coil holder, a connecting body, and a magnetic drive circuit. アクチュエータの振動特性を模式的に示す説明図。FIG. 3 is an explanatory diagram schematically showing vibration characteristics of an actuator. 実施形態２のヨークの斜視図。FIG. 3 is a perspective view of a yoke according to a second embodiment. 本発明の実施形態２の第１ヨークの斜視図。FIG. 3 is a perspective view of a first yoke according to a second embodiment of the present invention. 本発明の実施形態３のアクチュエータの断面図。FIG. 3 is a sectional view of an actuator according to Embodiment 3 of the present invention.

以下、図面を参照しながら、本発明の例示的なアクチュエータの実施形態を説明する。なお、以下の説明において、互いに直交する３つの方向を各々、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙとして説明する。また、第１方向Ｚからみたとき第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに対して交差する方向を第４方向Ｆとし、第１方向Ｚからみたとき第４方向Ｆに対して直交する方向を第５方向Ｇとする。以下に説明する形態において、第４方向Ｆおよび第５方向Ｇは、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙによって規定される仮想面と平行であるため、第１方向Ｚに直交する。また、第２方向Ｘの一方側にＸ１を付し、第２方向Ｘの他方側にＸ２を付し、第３方向Ｙの一方側にＹ１を付し、第３方向Ｙの他方側にＹ２を付し、第１方向Ｚの一方側にＺ１を付し、第１方向Ｚの他方側にＺ２を付して説明する。 Hereinafter, exemplary embodiments of the actuator of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, three mutually orthogonal directions will be referred to as a first direction Z, a second direction X, and a third direction Y, respectively. Furthermore, when viewed from the first direction Z, a direction intersecting the second direction It is assumed that there are 5 directions G. In the form described below, the fourth direction F and the fifth direction G are perpendicular to the first direction Z because they are parallel to the virtual plane defined by the second direction X and the third direction Y. Further, X1 is attached to one side in the second direction X, X2 is attached to the other side in the second direction X, Y1 is attached to one side in the third direction Y, and Y2 is attached to the other side in the third direction Y. , Z1 is attached to one side in the first direction Z, and Z2 is attached to the other side in the first direction Z.

以下に説明するアクチュエータ１は、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動回路１０を有する。磁気駆動回路１０は、磁石５と、第１方向Ｚで磁石５と対向するコイル６とを有する。磁気駆動回路１０は、コイル６が支持体２の側に設けられ、磁石５が可動体３の側に設けられる態様、および、磁石５が支持体２の側に設けられ、コイル６が可動体３の側に設けられる態様を採用することができる。以下に説明する実施形態は、コイル６が支持体２に設けられ、磁石５が可動体３に設けられている。 The actuator 1 described below has a magnetic drive circuit 10 that moves the movable body 3 relative to the support body 2. The magnetic drive circuit 10 includes a magnet 5 and a coil 6 facing the magnet 5 in the first direction Z. The magnetic drive circuit 10 has a mode in which the coil 6 is provided on the support body 2 side and a magnet 5 on the movable body 3 side, and a mode in which the magnet 5 is provided on the support body 2 side and the coil 6 is provided on the movable body side. It is possible to adopt an embodiment provided on the side No. 3. In the embodiment described below, the coil 6 is provided on the support body 2 and the magnet 5 is provided on the movable body 3.

［実施形態１］
図１は、本発明の実施形態１に係るアクチュエータ１の外観斜視図である。図２は、図１のアクチュエータ１の分解斜視図である。図３は、図１のアクチュエータ１の断面図である。図４は、ケース９を取り外したアクチュエータ１を第１方向Ｚの他方側Ｚ２から見た分解斜視図である。図５は、ケース９を取り外したアクチュエータ１を第１方向Ｚの一方側Ｚ１から見た分解斜視図である。図６は、コイル６、コイルホルダ７および回路基板１１の分解斜視図である。図７は、コイルホルダ７、接続体４および磁気駆動回路１０の平面図である。 [Embodiment 1]
FIG. 1 is an external perspective view of an actuator 1 according to Embodiment 1 of the present invention. FIG. 2 is an exploded perspective view of the actuator 1 of FIG. 1. FIG. 3 is a sectional view of the actuator 1 of FIG. 1. FIG. 4 is an exploded perspective view of the actuator 1 with the case 9 removed, viewed from the other side Z2 in the first direction Z. FIG. 5 is an exploded perspective view of the actuator 1 with the case 9 removed, viewed from one side Z1 in the first direction Z. FIG. 6 is an exploded perspective view of the coil 6, coil holder 7, and circuit board 11. FIG. 7 is a plan view of the coil holder 7, the connecting body 4, and the magnetic drive circuit 10.

（全体構成）
図１および図２に示すように、本発明の実施形態１のアクチュエータは、多角形のケース９を含む支持体２と、ケース９の内部に収容された可動体３とを有する。図３に示すように、可動体３は、可動体３と支持体２との間に配置された接続体４を介して、支持体２に支持される。接続体４は、弾性体または粘弾性体からなり、可動体３は、支持体２に対して、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに相対的に移動可能に支持される。本形態では、接続
体４は粘弾性体からなる。 (overall structure)
As shown in FIGS. 1 and 2, the actuator of Embodiment 1 of the present invention includes a support body 2 including a polygonal case 9 and a movable body 3 housed inside the case 9. As shown in FIG. 3, the movable body 3 is supported by the support body 2 via a connecting body 4 arranged between the movable body 3 and the support body 2. The connecting body 4 is made of an elastic body or a viscoelastic body, and the movable body 3 is supported movably in the second direction X and the third direction Y with respect to the support body 2. In this embodiment, the connecting body 4 is made of a viscoelastic body.

支持体２は、第２方向Ｘにおいて対向する一対の第１側辺部２１と、第３方向Ｙにおいて対向する一対の第２側辺部２２とを有する。すなわち、図１に示すように、アクチュエータ１は、第３方向Ｙに長手方向を向けた直方体形状である。支持体２は、コイル６、コイルホルダ７、ケース９および回路基板１１を有する。可動体３は、第３方向Ｙに長手方向を向けた形状である。可動体３は、磁石５（図４、図５参照）およびヨーク８を有する。 The support body 2 has a pair of first side portions 21 facing each other in the second direction X, and a pair of second side portions 22 facing each other in the third direction Y. That is, as shown in FIG. 1, the actuator 1 has a rectangular parallelepiped shape with its longitudinal direction oriented in the third direction Y. The support body 2 includes a coil 6, a coil holder 7, a case 9, and a circuit board 11. The movable body 3 has a shape whose longitudinal direction is oriented in the third direction Y. The movable body 3 has a magnet 5 (see FIGS. 4 and 5) and a yoke 8.

磁石５とコイル６は、可動体３を第４方向Ｆに駆動する磁気駆動回路１０（図７を参照）を構成する。後述するように、本形態では、接続体４は、可動体３が支持体２に対して第２方向Ｘに振動する第１振動系を構成し、かつ、可動体３が支持体２に対して第３方向Ｙに振動する第２振動系を構成し、第１振動系の共振周波数と、第２振動系の共振周波数とが異なることから、磁気駆動回路１０が可動体３を第４方向Ｆに駆動した際、アクチュエータ１は、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙの振動を出力する。本形態では、磁気駆動回路１０が第３方向Ｙに２組並んでいる。接続体４は、第１接続体４１および第２接続体４２を有する。 The magnet 5 and the coil 6 constitute a magnetic drive circuit 10 (see FIG. 7) that drives the movable body 3 in the fourth direction F. As described later, in this embodiment, the connecting body 4 constitutes a first vibration system in which the movable body 3 vibrates in the second direction X with respect to the support body 2, and the movable body 3 vibrates with respect to the support body 2. Since the resonance frequency of the first vibration system and the resonance frequency of the second vibration system are different, the magnetic drive circuit 10 moves the movable body 3 in the fourth direction. When driven in the direction F, the actuator 1 outputs vibrations in the second direction X and the third direction Y. In this embodiment, two sets of magnetic drive circuits 10 are lined up in the third direction Y. The connecting body 4 includes a first connecting body 41 and a second connecting body 42 .

アクチュエータ１は、可動体３が第２方向Ｘまたは第３方向Ｙに振動することにより、アクチュエータ１や、アクチュエータ１を取り付けた機器等を利用する者に触覚を与える触覚デバイスとして使用することができる。例えば、アクチュエータ１は、ゲーム機の操作部材、操作パネル、自動車のハンドルや座席等に組み込んで使用することができる。アクチュエータ１を触覚デバイスとして使用する際、可動体３が第２方向Ｘに振動する際の共振周波数ｆＡ（図８参照）と、可動体３が第３方向Ｙに振動する際の共振周波数ｆＢ（図８参照）とが異なるため、コイル６に印加する交流波形の周波数を調整して、可動体３を２種類の方向および周波数で振動させることができる。したがって、利用者に２種類の異なる振動を体感させることができる。また、コイル６に印加する交流波形を調整して、可動体３が一方側に移動する加速度と、可動体３が他方側に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、方向性を有する振動を体感することができる。 The actuator 1 can be used as a tactile device that provides a tactile sensation to a person who uses the actuator 1 or a device to which the actuator 1 is attached by vibrating the movable body 3 in the second direction X or the third direction Y. . For example, the actuator 1 can be used by being incorporated into an operation member of a game machine, an operation panel, a steering wheel or a seat of an automobile, or the like. When using the actuator 1 as a tactile device, the resonance frequency fA (see FIG. 8) when the movable body 3 vibrates in the second direction X, and the resonance frequency fB (when the movable body 3 vibrates in the third direction Y) (see FIG. 8), the movable body 3 can be vibrated in two different directions and frequencies by adjusting the frequency of the AC waveform applied to the coil 6. Therefore, the user can experience two different types of vibrations. Furthermore, by adjusting the AC waveform applied to the coil 6 to make the acceleration at which the movable body 3 moves to one side different from the acceleration at which the movable body 3 moves to the other side, the user can change the directionality. You can experience the vibrations.

（可動体３）
図４および図５に示すように、可動体３において、磁石５は、第１磁石５１および第２磁石５２を有する。第１磁石５１は、コイル６に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向する。第２磁石５２は、コイル６に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向する。第１磁石５１および第２磁石５２において、少なくともコイル６と対向する面は、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙと交差する第４方向Ｆの一方側と他方側とが異なる極に着磁されている。本形態において、第１磁石５１の少なくともコイル６と対向する面は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１かつ第３方向Ｙの他方側Ｙ２がＮ極に着磁され、第２方向Ｘの他方側Ｘ２かつ第３方向Ｙの一方側Ｙ１がＳ極が着磁されている。これに対して、第２磁石５２の少なくともコイル６と対向する面は、第２方向Ｘの他方側Ｘ２かつ第３方向Ｙの一方側Ｙ１がＮ極に着磁され、第２方向Ｘの一方側Ｘ１かつ第３方向Ｙの他方側Ｙ２がＳ極に着磁されている。従って、第１磁石５１と第２磁石５２とにおいて、コイル６を介して互いに対向する面は異なる極になっている。本形態では、磁気駆動回路１０を２組有するため、第１磁石５１および第２磁石５２は、第４方向Ｆに傾いた状態で第３方向Ｙに２個並んでいる。 (Movable body 3)
As shown in FIGS. 4 and 5, in the movable body 3, the magnet 5 includes a first magnet 51 and a second magnet 52. The first magnet 51 faces the coil 6 on one side Z1 in the first direction Z. The second magnet 52 faces the coil 6 on the other side Z2 in the first direction Z. In the first magnet 51 and the second magnet 52, at least the surfaces facing the coil 6 are magnetized with different polarities on one side and the other side in a fourth direction F that intersects the second direction X and the third direction Y. ing. In this embodiment, at least the surface of the first magnet 51 facing the coil 6 is magnetized to the north pole on one side X1 in the second direction X and the other side Y2 in the third direction Y, and the other side in the second direction One side Y1 in X2 and the third direction Y is magnetized to have an S pole. On the other hand, at least the surface of the second magnet 52 facing the coil 6 is magnetized to the N pole on the other side X2 in the second direction X and on the one side Y1 in the third direction Y; The side X1 and the other side Y2 in the third direction Y are magnetized to the S pole. Therefore, in the first magnet 51 and the second magnet 52, the surfaces facing each other with the coil 6 interposed therebetween have different polarities. In this embodiment, since two sets of magnetic drive circuits 10 are provided, two first magnets 51 and two second magnets 52 are arranged in the third direction Y while being inclined in the fourth direction F.

ヨーク８は磁性材料からなり、本形態ではプレス加工により形成される。ヨーク８は、磁石５を保持する。図４、および図５に示すように、ヨーク８は、第１ヨーク８１と、第１ヨーク８１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２に位置する第２ヨーク８２とによって構成される。第１ヨーク８１は、第１板部８１１と、第１板部８１１の第３方向Ｙの両端の縁から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に折れ曲がった連結部８１２とを有する。第２ヨーク８２は、平板
状の第２板部８２１を有する。 The yoke 8 is made of a magnetic material and is formed by press working in this embodiment. Yoke 8 holds magnet 5. As shown in FIGS. 4 and 5, the yoke 8 includes a first yoke 81 and a second yoke 82 located on the other side Z2 of the first yoke 81 in the first direction Z. The first yoke 81 includes a first plate portion 811 and a connecting portion 812 bent from both ends of the first plate portion 811 in the third direction Y to the other side Z2 in the first direction Z. The second yoke 82 has a flat second plate portion 821.

図４に示すように、第１磁石５１は、第１ヨーク８１の第１板部８１１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面に保持される。この際、第１磁石５１は、第１板部８１１に設けられた位置決め部８３により、第１板部８１１に位置決めされる。本形態では、位置決め部８３は、半抜き加工により形成された複数のダボ８３１からなる。第１磁石５１は、ダボ８３１で区画された部分に嵌め込まれることで、第１磁石５１は、第１板部８１１に位置決めされる。 As shown in FIG. 4, the first magnet 51 is held on the surface of the first plate portion 811 of the first yoke 81 on the other side Z2 in the first direction Z. As shown in FIG. At this time, the first magnet 51 is positioned on the first plate part 811 by the positioning part 83 provided on the first plate part 811. In this embodiment, the positioning portion 83 is composed of a plurality of dowels 831 formed by half-blanking. The first magnet 51 is fitted into a portion defined by the dowels 831, so that the first magnet 51 is positioned on the first plate portion 811.

図５に示すように、第２磁石５２は、第２ヨーク８２の第２板部８２１の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面に保持される。この際、第２磁石５２は、第２板部８２１に設けられた位置決め部８３により、第２板部８２１に位置決めされる。本形態では、位置決め部８３は、半抜き加工により形成された複数のダボ８３１からなる。第２磁石５２は、ダボ８３１で区画された部分に嵌め込まれることで、第２磁石５２は、第２板部８２１に位置決めされる。 As shown in FIG. 5, the second magnet 52 is held on the surface of the second plate portion 821 of the second yoke 82 on one side Z1 in the first direction Z. As shown in FIG. At this time, the second magnet 52 is positioned on the second plate part 821 by the positioning part 83 provided on the second plate part 821. In this embodiment, the positioning portion 83 is composed of a plurality of dowels 831 formed by half-blanking. The second magnet 52 is positioned on the second plate portion 821 by being fitted into the portion defined by the dowel 831 .

連結部８１２は、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に配置された第１連結部８１２１と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に配置された第２連結部８１２２とを有する。第１連結部８１２１および第２連結部８１２２の第２方向Ｘの両端には、切り欠き部８１４が設けられる。第１連結部８１２１において、第１連結部８１２１の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端面に設けられた切り欠き部８１４は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に寄っており、第１連結部８１２１の第２方向Ｘの他方側Ｘ２の端部に設けられた切り欠き部８１４は、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に寄っている。第２連結部８１２２において、第２連結部８１２２の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端面に設けられた切り欠き部８１４は、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に寄っており、第２連結部８１２２の第２方向Ｘの他方側Ｘ２の端部に設けられた切り欠き部８１４は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に寄っている。 The connecting portion 812 includes a first connecting portion 8121 disposed on one side Y1 in the third direction Y, and a second connecting portion 8122 disposed on the other side Y2 in the third direction Y. Cutout portions 814 are provided at both ends of the first connecting portion 8121 and the second connecting portion 8122 in the second direction X. In the first connecting portion 8121, the notch portion 814 provided on the end surface of the first connecting portion 8121 on one side X1 in the second direction The notch 814 provided at the end of the other side X2 in the second direction X of 8121 is closer to the other side Z2 in the first direction Z. In the second connecting portion 8122, the notch portion 814 provided on the end surface of one side X1 in the second direction X of the second connecting portion 8122 is closer to the other side Z2 in the first direction Z, and The notch 814 provided at the end of the other side X2 in the second direction X of 8122 is closer to the one side Z1 in the first direction Z.

第１連結部８１２１、および第２連結部８１２２の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部の中央部分には、凸部８１３が設けられる。第２板部８２１の第３方向Ｙの両端部の中央部分には凹部８２２が各々、設けられる。第１ヨーク８１と第２ヨーク８２は、凸部８１３と凹部８２２とが嵌合することで、連結される。そして、凸部８１３および凹部８２２を溶接等で固定することにより、第１ヨーク８１および第２ヨーク８２は連結されている。 A convex portion 813 is provided at the center of the end of the first connecting portion 8121 and the second connecting portion 8122 on the other side Z2 in the first direction Z. Recesses 822 are provided in the center portions of both ends of the second plate portion 821 in the third direction Y, respectively. The first yoke 81 and the second yoke 82 are connected by fitting the convex portion 813 and the concave portion 822. The first yoke 81 and the second yoke 82 are connected by fixing the convex portion 813 and the concave portion 822 by welding or the like.

（支持体２）
図１および図２に示すように、支持体２において、ケース９は、第１ケース部材９１と、第２ケース部材９２とを有する。第１ケース部材９１と第２ケース部材９２との間には、可動体３、コイル６およびコイルホルダ７が収容される。ケース９の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の側面には、開口部９３が形成され、開口部９３から回路基板１１が露出する。第１ケース部材９１は、第３方向Ｙを向く底板部９１１と、底板部９１１の端縁から第３方向Ｙの他方側Ｙ２に突出する側板部９１２とを有する。底板部９１１には、２つの貫通穴９１３が設けられる。第２方向Ｘの一方側Ｘ１の側板部９１２の中央部分には、切り欠き部９１４が設けられる。同様に、第２ケース部材９２は、第３方向Ｙを向く底板部９２１と、底板部９２１の端縁から第３方向Ｙの一方側Ｙ１に突出する側板部９２２とを有する。底板部９２１には、２つの貫通穴９２３が設けられる。第２方向Ｘの一方側Ｘ１の側板部９２２の中央部には、切り欠き部９２４が設けられる。本形態では、第１ケース部材９１の側板部９１２、および第２ケース部材９２の側板部９２２のうち、第２方向Ｘにおいて対向する部分によって、支持体２の一対の第１側辺部２１が構成される。また、第１ケース部材９１の底板部９１１、および第２ケース部材９２の底板部９２１によって、支持体２の一対の第２側辺部２２が構成される。 (Support 2)
As shown in FIGS. 1 and 2, in the support body 2, the case 9 includes a first case member 91 and a second case member 92. The movable body 3, the coil 6, and the coil holder 7 are housed between the first case member 91 and the second case member 92. An opening 93 is formed in the side surface of the case 9 on one side X1 in the second direction X, and the circuit board 11 is exposed from the opening 93. The first case member 91 has a bottom plate portion 911 facing in the third direction Y, and a side plate portion 912 protruding from the edge of the bottom plate portion 911 to the other side Y2 in the third direction Y. Two through holes 913 are provided in the bottom plate portion 911 . A notch portion 914 is provided in the center portion of the side plate portion 912 on one side X1 in the second direction X. Similarly, the second case member 92 includes a bottom plate portion 921 facing in the third direction Y, and a side plate portion 922 protruding from the edge of the bottom plate portion 921 to one side Y1 in the third direction Y. Two through holes 923 are provided in the bottom plate portion 921 . A cutout portion 924 is provided in the center of the side plate portion 922 on one side X1 in the second direction X. In this embodiment, the pair of first side portions 21 of the support body 2 are formed by opposing portions of the side plate portion 912 of the first case member 91 and the side plate portion 922 of the second case member 92 in the second direction configured. Further, the pair of second side portions 22 of the support body 2 are configured by the bottom plate portion 911 of the first case member 91 and the bottom plate portion 921 of the second case member 92.

貫通穴９１３は、第２方向Ｘにおいて、第１ヨーク８１の切り欠き部８１４に対応する位置に設けられ、貫通穴９２３は、第２方向Ｘにおいて、第２ヨーク８２の切り欠き部８１４に対応する位置に設けられる。具体的には、アクチュエータ１を組み立てる際に、可動体３およびコイルホルダ７をケース９に対して位置決めするために、位置決め用ピンが貫通穴９１３または貫通穴９２３から第３方向Ｙに挿入される。この時、貫通穴９１３、９２３から挿入された位置決め用ピンの側面が、第１ヨーク８１の切り欠き部８１４および第２ヨーク８２の切り欠き部８１４と嵌合する位置となるように、貫通穴９１３、９２３が設けられる。 The through hole 913 is provided at a position corresponding to the notch 814 of the first yoke 81 in the second direction X, and the through hole 923 is provided at a position corresponding to the notch 814 of the second yoke 82 in the second direction It is installed in a position where Specifically, when assembling the actuator 1, a positioning pin is inserted in the third direction Y from the through hole 913 or the through hole 923 in order to position the movable body 3 and the coil holder 7 with respect to the case 9. . At this time, the through holes are inserted so that the side surfaces of the positioning pins inserted through the through holes 913 and 923 are in positions where they fit into the notches 814 of the first yoke 81 and the notches 814 of the second yoke 82. 913 and 923 are provided.

第１ケース部材９１および第２ケース部材９２は、第２方向Ｘで組付けられた状態で、溶接等により固定される。第１ケース部材９１および第２ケース部材９２が固定されると、切り欠き部９１４および切り欠き部９２４は、開口部９３を構成する。 The first case member 91 and the second case member 92 are assembled in the second direction X and fixed by welding or the like. When the first case member 91 and the second case member 92 are fixed, the notch 914 and the notch 924 constitute the opening 93.

コイルホルダ７は、樹脂材料からなる。図４、図５、図６に示すように、コイルホルダ７は、コイル６と回路基板１１とを保持する。コイルホルダ７は、第１方向Ｚから見た形状が長方形の本体部７１と、本体部７１の端縁から第１方向Ｚに突出する側面部７２とを有する。本体部７１には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に凹んだ凹部７３を有する。凹部７３には、コイル６が配置される。凹部７３は、第４方向Ｆに直交する第５方向Ｇが長手方向となる長円形であり、第４方向Ｆに直交する第５方向Ｇが長くなっている。凹部７３は、中央部分が第１方向Ｚに貫通するとともに、第４方向Ｆの両端部分に底部７３１を有する。底部７３１は、コイル６と第１方向Ｚで当接することで、コイル６は凹部７３に対して第１方向Ｚにおいて位置決めされる。 Coil holder 7 is made of resin material. As shown in FIGS. 4, 5, and 6, the coil holder 7 holds the coil 6 and the circuit board 11. The coil holder 7 includes a main body portion 71 having a rectangular shape when viewed from the first direction Z, and a side surface portion 72 protruding from an edge of the main body portion 71 in the first direction Z. The main body portion 71 has a recessed portion 73 recessed on one side Z1 in the first direction Z. The coil 6 is arranged in the recess 73. The recessed portion 73 has an oval shape whose longitudinal direction is in the fifth direction G that is orthogonal to the fourth direction F, and is elongated in the fifth direction G that is orthogonal to the fourth direction F. The recess 73 has a central portion penetrating in the first direction Z, and has bottom portions 731 at both end portions in the fourth direction F. The bottom portion 731 comes into contact with the coil 6 in the first direction Z, so that the coil 6 is positioned in the first direction Z with respect to the recessed portion 73.

側面部７２は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に位置する側壁７２１と、第２方向Ｘの他方側Ｘ２に位置する側壁７２２と、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する側壁７２３と、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に位置する側壁７２４とを有する。側壁７２２には、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に凹んだ位置決め段部７４０が設けられる。位置決め段部７４０には、回路基板１１が第２方向Ｘの一方側Ｘ１から嵌め込まれる。 The side wall 72 includes a side wall 721 located on one side X1 in the second direction X, a side wall 722 located on the other side X2 in the second direction X, and a side wall 723 located on one side Y1 in the third direction Y. and a side wall 724 located on the other side Y2 in the third direction Y. The side wall 722 is provided with a positioning step 740 that is recessed on one side X1 in the second direction X. The circuit board 11 is fitted into the positioning step portion 740 from one side X1 in the second direction X.

側壁７２３の第２方向Ｘの両端部には、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に突出するとともに、第１方向Ｚに延びる一対の第１柱状部７５が設けられる。図３に示すように、第１柱状部７５の第１方向Ｚの長さは、第１ケース部材９１の内壁部に第１柱状部７５が嵌合する寸法長さである。同様に、側壁７２４の第２方向Ｘの両端部には、第３方向Ｙの他方側Ｙ２に突出するとともに、第１方向Ｚに延びる一対の第２柱状部７６が設けられる。図３に示すように、第２柱状部７６の第１方向Ｚの長さは、第２ケース部材９２の内壁部に第２柱状部７６が嵌合する寸法長さである At both ends of the side wall 723 in the second direction X, a pair of first columnar parts 75 that protrude to one side Y1 in the third direction Y and extend in the first direction Z are provided. As shown in FIG. 3 , the length of the first columnar portion 75 in the first direction Z is a length that allows the first columnar portion 75 to fit into the inner wall portion of the first case member 91 . Similarly, a pair of second columnar parts 76 are provided at both ends of the side wall 724 in the second direction X, protruding to the other side Y2 in the third direction Y and extending in the first direction Z. As shown in FIG. 3, the length of the second columnar portion 76 in the first direction Z is a length that allows the second columnar portion 76 to fit into the inner wall portion of the second case member 92.

コイルホルダ７において、側壁７２３は、ヨーク８の第１連結部８１２１と第３方向Ｙの他方側Ｙ２で対向し、側壁７２４は、ヨーク８の第２連結部８１２２と第３方向Ｙの一方側Ｙ１で対向する。したがって、側壁７２３および側壁７２４は、可動体３が第３方向Ｙに移動する際の可動範囲を規定する度当たり部として機能する。 In the coil holder 7, the side wall 723 faces the first connecting portion 8121 of the yoke 8 on the other side Y2 in the third direction Y, and the side wall 724 faces the second connecting portion 8122 of the yoke 8 on one side in the third direction Y. Opposing at Y1. Therefore, the side wall 723 and the side wall 724 function as a contact portion that defines a movable range when the movable body 3 moves in the third direction Y.

コイルホルダ７において、第１柱状部７５は、ヨーク８の第１連結部８１２１と第２方向Ｘで対向し、第２柱状部７６は、ヨーク８の第２連結部８１２２と第２方向Ｘで対向する。したがって、第１柱状部７５および第２柱状部７６は、可動体３が第２方向Ｘに移動する際の可動範囲を規定する度当たり部として機能する。 In the coil holder 7, the first columnar part 75 faces the first connecting part 8121 of the yoke 8 in the second direction X, and the second columnar part 76 faces the second connecting part 8122 of the yoke 8 in the second direction X. opposite. Therefore, the first columnar part 75 and the second columnar part 76 function as a stopper part that defines a movable range when the movable body 3 moves in the second direction X.

コイル６は、接着剤によって、コイルホルダ７の凹部７３に固定される。コイル６は、第４方向Ｆに直交する第５方向Ｇが長手方向である長円形であり、第４方向Ｆに直交する第５方向Ｇが長くなっている。すなわち、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに延びる支持体２
および可動体３の形状に対して、コイル６の長手方向が第４方向Ｆに直交する第５方向Ｇとなっているので、長手方向が第２方向Ｘまたは第３方向Ｙに延びるコイルと比べて、本形態のコイル６の長手方向は大きい。コイル６は、直線部分６１と曲線部分６２とを有する。直線部分６１は、第４方向Ｆに直交する第５方向Ｇに延びる。コイル６は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１から引き出された引き出し部分６３を有する。引き出し部分６３は、回路基板１１に電気的に接続する。 The coil 6 is fixed to the recess 73 of the coil holder 7 with an adhesive. The coil 6 has an oval shape whose longitudinal direction is a fifth direction G perpendicular to the fourth direction F, and is elongated in the fifth direction G perpendicular to the fourth direction F. That is, the support body 2 extending in the second direction X and the third direction Y
With respect to the shape of the movable body 3, the longitudinal direction of the coil 6 is in the fifth direction G perpendicular to the fourth direction F, so compared to a coil whose longitudinal direction extends in the second direction X or the third direction Y. Therefore, the length of the coil 6 in this embodiment is large. The coil 6 has a straight portion 61 and a curved portion 62. The straight portion 61 extends in a fifth direction G perpendicular to the fourth direction F. The coil 6 has a drawn-out portion 63 drawn out from one side X1 in the second direction X. The drawer portion 63 is electrically connected to the circuit board 11 .

アクチュエータ１は、回路基板１１を介して外部（上位の機器）からコイル６に給電する。回路基板１１は、コイルホルダ７に保持されて、ケース９の開口部９３から露出する。 The actuator 1 supplies power to the coil 6 from the outside (upper device) via the circuit board 11 . The circuit board 11 is held by the coil holder 7 and exposed through the opening 93 of the case 9.

（接続体）
図２に示すように、可動体３は、可動体３および支持体２に接続された第１接続体４１および第２接続体４２によって、支持体２に対して第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに相対移動可能に支持される。第１接続体４１は、第１ケース部材９１とヨーク８の第１連結部８１２１との間に配置され、接着剤等により固定される。第２接続体４２は、第２ケース部材９２とヨーク８の第２連結部８１２２との間に配置され、接着剤等により固定される。第１接続体４１および第２接続体４２は、第３方向Ｙに圧縮された状態にある。 (connection body)
As shown in FIG. 2, the movable body 3 is moved in a second direction It is supported so that it can move relative to Y. The first connecting body 41 is disposed between the first case member 91 and the first connecting portion 8121 of the yoke 8, and is fixed with an adhesive or the like. The second connecting body 42 is disposed between the second case member 92 and the second connecting portion 8122 of the yoke 8, and is fixed with an adhesive or the like. The first connecting body 41 and the second connecting body 42 are in a compressed state in the third direction Y.

可動体３が第２方向Ｘに振動する際、アクチュエータ１は、第１接続体４１および第２接続体４２がせん断方向に変形する第１振動系を構成する。可動体３が第３方向Ｙに振動する際、アクチュエータ１は、第１接続体４１および第２接続体４２が伸縮方向に変形する第２振動系を構成する。 When the movable body 3 vibrates in the second direction X, the actuator 1 constitutes a first vibration system in which the first connecting body 41 and the second connecting body 42 deform in the shearing direction. When the movable body 3 vibrates in the third direction Y, the actuator 1 constitutes a second vibration system in which the first connecting body 41 and the second connecting body 42 deform in the expansion and contraction direction.

第１接続体４１および第２接続体４２は、伸縮方向に変形する際のばね定数とせん断方向に変形する際のばね定数が異なる。本形態では、第１接続体４１および第２接続体４２は粘弾性体である。例えば、第１接続体４１および第２接続体４２は、シリコーンゲル等からなるゲル状部材である。シリコーンゲルは、伸縮方向に変形する際のばね定数が、せん断方向に変形する際のばね定数の３倍程度になる粘弾性体である。粘弾性体は、厚さ方向と交差する方向（せん断方向）に変形する場合、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分よりも線形の成分が大きい変形特性を備える。また、厚さ方向に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分よりも非線形の成分が大きい伸縮特性を備える一方、厚さ方向に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分よりも線形の成分が大きい伸縮特性を備える。 The first connecting body 41 and the second connecting body 42 have different spring constants when deforming in the expansion/contraction direction and in a shearing direction. In this embodiment, the first connecting body 41 and the second connecting body 42 are viscoelastic bodies. For example, the first connecting body 41 and the second connecting body 42 are gel-like members made of silicone gel or the like. Silicone gel is a viscoelastic body whose spring constant when deforming in the stretching direction is about three times the spring constant when deforming in the shearing direction. When a viscoelastic body is deformed in a direction intersecting the thickness direction (shear direction), the deformation is in the direction of stretching and elongation, so it has a deformation characteristic in which the linear component is larger than the nonlinear component. In addition, when compressed and deformed by being pressed in the thickness direction, the nonlinear component has a larger elasticity than the linear component, while when it is stretched by being pulled in the thickness direction, the linear component is larger than the nonlinear component. has great elastic properties.

第１接続体４１および第２接続体４２として、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。 The first connector 41 and the second connector 42 may be natural rubber, diene rubber (e.g., styrene-butadiene rubber, isoprene rubber, butadiene rubber, chloroprene rubber, acrylonitrile-butadiene rubber, etc.), non-diene rubber (e.g., Various rubber materials such as butyl rubber, ethylene propylene rubber, ethylene propylene diene rubber, urethane rubber, silicone rubber, fluororubber, etc.), thermoplastic elastomers, and modified materials thereof may also be used.

（磁気駆動回路）
図７に示すように、アクチュエータ１は、磁石５と長円形のコイル６の対からなる磁気駆動回路１０を２組有する。各磁気駆動回路１０は、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙを含む面内方向であって、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙとは異なる第４方向Ｆに働く駆動力を発生させる。例えば、第４方向Ｆは、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに対して４５°傾いた方向である。各磁気駆動回路１０において、磁石５は、コイル６と対向する面がＮ極とＳ極に着磁され、その着磁分極線５０は、第４方向Ｆに対して直交する第５方向Ｇに延びる。本形態では、第４方向Ｆの方向に磁石５が着磁されている。第１磁石５１および第２磁石
５２は、第１方向Ｚから見たときに、第１方向Ｚで対向するコイル６の直線部分６１の一部と重なるように配置される。 (Magnetic drive circuit)
As shown in FIG. 7, the actuator 1 has two sets of magnetic drive circuits 10 each consisting of a magnet 5 and an oval coil 6. Each magnetic drive circuit 10 generates a driving force that acts in a fourth direction F, which is an in-plane direction that includes a second direction X and a third direction Y, and is different from the second direction X and third direction Y. For example, the fourth direction F is a direction inclined at 45 degrees with respect to the second direction X and the third direction Y. In each magnetic drive circuit 10, the surface of the magnet 5 facing the coil 6 is magnetized to have an N pole and an S pole, and the magnetized polarization line 50 extends in a fifth direction G perpendicular to the fourth direction F. Extends. In this embodiment, the magnet 5 is magnetized in the fourth direction F. When viewed from the first direction Z, the first magnet 51 and the second magnet 52 are arranged so as to overlap part of the linear portion 61 of the coil 6 facing each other in the first direction Z.

（アクチュエータの位置決め調整）
アクチュエータ１を組み立てる際に、可動体３およびコイルホルダ７をケース９に対して位置決め調整を行う。位置決めするために、位置決め用ピン（不図示）が貫通穴９１３または貫通穴９２３から第３方向Ｙに挿入される。この時、貫通穴９１３、９２３から挿入された位置決め用ピンの側面が、第１ヨーク８１の切り欠き部８１４および第２ヨーク８２の切り欠き部８１４と嵌合するとともに、位置決め用ピンの先端が、コイルホルダ７と第２方向Ｘにおいて当接する。この結果、位置決め用ピンの位置を調整することで、可動体３およびコイルホルダ７がケース９に対して位置決め調整することが可能となる。 (Actuator positioning adjustment)
When assembling the actuator 1, the positioning of the movable body 3 and the coil holder 7 with respect to the case 9 is adjusted. For positioning, a positioning pin (not shown) is inserted in the third direction Y from the through hole 913 or the through hole 923. At this time, the side surfaces of the positioning pins inserted through the through holes 913 and 923 fit into the notches 814 of the first yoke 81 and the notches 814 of the second yoke 82, and the tips of the positioning pins , comes into contact with the coil holder 7 in the second direction X. As a result, by adjusting the position of the positioning pin, it becomes possible to adjust the position of the movable body 3 and the coil holder 7 with respect to the case 9.

（アクチュエータの駆動方法）
図８は、アクチュエータ１の振動特性を模式的に示す説明図である。図８の横軸は磁気駆動回路１０の駆動周波数ｆであり、コイル６へ流す駆動電流の周波数である。また、図８の縦軸は、可動体３が振動する際の加速度である。上記のように、アクチュエータ１は、可動体３が第２方向Ｘに振動する第１振動系を構成する場合と、可動体３が第３方向Ｙに振動する第２振動系を構成する場合とで、接続体４が全体として異なるばね定数で変形するように構成されている。そのため、アクチュエータ１は、第１振動系の共振周波数ｆＡと、第２振動系の共振周波数ｆＢとが異なり、図８に示すように、２つの共振周波数ｆＡ、ｆＢで可動体３の加速度最大周波数が大きくなっている。 (Actuator driving method)
FIG. 8 is an explanatory diagram schematically showing the vibration characteristics of the actuator 1. The horizontal axis in FIG. 8 is the drive frequency f of the magnetic drive circuit 10, which is the frequency of the drive current flowing to the coil 6. Moreover, the vertical axis in FIG. 8 is the acceleration when the movable body 3 vibrates. As described above, the actuator 1 can be used in two cases: one in which the movable body 3 constitutes a first vibration system that vibrates in the second direction X, and the other in which the movable body 3 constitutes a second vibration system in which it vibrates in the third direction Y. The connecting body 4 is configured to deform as a whole with different spring constants. Therefore, in the actuator 1, the resonant frequency fA of the first vibration system and the resonant frequency fB of the second vibration system are different, and as shown in FIG. is getting bigger.

磁気駆動回路１０が発生させる駆動力は、第２方向Ｘの成分と第３方向Ｙの成分を含む第４方向Ｆの駆動力である。したがって、磁気駆動回路１０の駆動周波数を変化させると、共振周波数ｆＡと一致あるいは共振周波数ｆＡに近い値の駆動周波数にしたとき、可動体３が第２方向Ｘに大きく振動する。この結果、アクチュエータ１は、共振周波数ｆＡの第２方向Ｘの振動を出力することができる。また、磁気駆動回路１０の駆動周波数を共振周波数ｆＢと一致あるいは共振周波数ｆＢに近い値にしたとき、可動体３が第３方向Ｙに大きく振動する。この結果、アクチュエータ１は、共振周波数ｆＢの第３方向Ｙの振動を出力することができる。よって、アクチュエータ１は、共通の磁気駆動回路１０の駆動周波数を調節するだけで、異なる振動方向で、且つ、異なる周波数の振動を出力することができる。 The driving force generated by the magnetic drive circuit 10 is a driving force in the fourth direction F that includes a component in the second direction X and a component in the third direction Y. Therefore, when the drive frequency of the magnetic drive circuit 10 is changed, the movable body 3 vibrates largely in the second direction X when the drive frequency is set to a value that is equal to or close to the resonance frequency fA. As a result, the actuator 1 can output vibration in the second direction X at the resonance frequency fA. Furthermore, when the drive frequency of the magnetic drive circuit 10 is set to match the resonance frequency fB or to a value close to the resonance frequency fB, the movable body 3 vibrates largely in the third direction Y. As a result, the actuator 1 can output vibration in the third direction Y at the resonance frequency fB. Therefore, the actuator 1 can output vibrations in different vibration directions and at different frequencies simply by adjusting the drive frequency of the common magnetic drive circuit 10.

（本形態の主な効果）
本形態では、支持体２は、第１方向Ｚと直交する第２方向Ｘにおいて対向する一対の第１側辺部２１と、第１方向Ｚと直交するとともに第２方向Ｘと交差する第３方向Ｙにおいて対向する一対の第２側辺部２２とを有する。磁気駆動回路１０は、可動体３を支持体２に対し、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙとは異なる第４方向Ｆに駆動する。コイル６は、第４方向Ｆに直交する第５方向Ｇに延びる長円形である。磁石５は、第４方向Ｆに着磁されている。したがって、磁気駆動回路１０が第４方向Ｆに駆動するため、可動体３の移動距離（移動量）を大きく確保することができる。また、第２方向Ｘにおいて対向する一対の第１側辺部２１と、第３方向Ｙにおいて対向する一対の第２側辺部２２とを有する支持体２に対して、コイル６は第４方向Ｆに直交する第５方向Ｇに延びる長円形である。このため、コイル６が第２方向Ｘおよび第３方向Ｙの何れかに延びる長円形に比べて、コイル６の長手方向の長さを大きくすることができる。この結果、アクチュエータ１において、磁気駆動回路１０が発生させる第４方向Ｆへの駆動力を大きくすることができる。 (Main effects of this form)
In this embodiment, the support body 2 has a pair of first side portions 21 facing each other in a second direction It has a pair of second side portions 22 that face each other in the direction Y. The magnetic drive circuit 10 drives the movable body 3 with respect to the support body 2 in a fourth direction F that is different from the second direction X and the third direction Y. The coil 6 has an oval shape extending in a fifth direction G perpendicular to the fourth direction F. The magnet 5 is magnetized in the fourth direction F. Therefore, since the magnetic drive circuit 10 drives in the fourth direction F, a large moving distance (moving amount) of the movable body 3 can be ensured. Further, the coil 6 is arranged in the fourth direction with respect to the support body 2 having a pair of first side portions 21 facing each other in the second direction X and a pair of second side portions 22 facing each other in the third direction Y. It is an ellipse extending in the fifth direction G perpendicular to F. Therefore, the length of the coil 6 in the longitudinal direction can be increased compared to an oval shape in which the coil 6 extends in either the second direction X or the third direction Y. As a result, in the actuator 1, the driving force in the fourth direction F generated by the magnetic drive circuit 10 can be increased.

本形態では、コイル６は、第４方向Ｆに直交する第５方向Ｇに延びる直線部分６１を有し、磁石５は、第１方向Ｚから見たときに、コイル６の直線部分６１の少なくとも一部と重なる。このようにすれば、磁気駆動回路１０が発生させる第４方向Ｆへの駆動力を効率
的に大きくすることができる。 In this embodiment, the coil 6 has a straight portion 61 extending in the fifth direction G perpendicular to the fourth direction F, and the magnet 5 has at least the straight portion 61 of the coil 6 when viewed from the first direction Z. Some overlap. In this way, the driving force in the fourth direction F generated by the magnetic drive circuit 10 can be efficiently increased.

本形態では、接続体４は、可動体３が支持体２に対し、第２方向Ｘに振動する第１振動系を構成し、かつ、可動体３が支持体２に対し、第３方向Ｙに振動する第２振動系を構成し、第１振動系の共振周波数ｆＡと、第２振動系の共振周波数ｆＢとが異なる。このようにすれば、可動体３が第２方向Ｘに振動する際と、第３方向Ｙに振動する際とでは、可動体３を振動させる振動系の共振周波数が異なる。したがって、接続体４によって、共振周波数が異なる複数の振動系を構成できる。また、共振周波数だけでなく、振動の方向も異なる。したがって、簡素な構成で、２種類の共振周波数および２種類の方向の振動を出力することができる。 In this embodiment, the connecting body 4 constitutes a first vibration system in which the movable body 3 vibrates in the second direction X with respect to the support body 2, and the movable body 3 vibrates in the third direction Y with respect to the support body 2. A second vibration system is configured to vibrate, and the resonance frequency fA of the first vibration system is different from the resonance frequency fB of the second vibration system. In this way, when the movable body 3 vibrates in the second direction X and when it vibrates in the third direction Y, the resonance frequency of the vibration system that vibrates the movable body 3 is different. Therefore, the connecting body 4 can configure a plurality of vibration systems having different resonance frequencies. Furthermore, not only the resonance frequency but also the direction of vibration differs. Therefore, with a simple configuration, it is possible to output vibrations at two types of resonance frequencies and in two types of directions.

本形態では、可動体３は、ヨーク８を有し、ヨーク８は、磁石５を位置決めする位置決め部８３を有する。このようにすれば、磁石５をヨーク８に位置決めすることが容易となる。 In this embodiment, the movable body 3 has a yoke 8, and the yoke 8 has a positioning part 83 for positioning the magnet 5. In this way, it becomes easy to position the magnet 5 on the yoke 8.

本発明において、ヨーク８は、第１方向Ｚで分割される、第１ヨーク８１および第２ヨーク８２からなり、第１ヨーク８１および第２ヨーク８２は同一形状である。このようにすれば、ヨーク８を構成する第１ヨーク８１および第２ヨーク８２を共通とすることができるので、部品点数を削減することができる。 In the present invention, the yoke 8 consists of a first yoke 81 and a second yoke 82, which are divided in the first direction Z, and the first yoke 81 and the second yoke 82 have the same shape. In this way, the first yoke 81 and the second yoke 82 constituting the yoke 8 can be made common, so the number of parts can be reduced.

本形態では、コイルホルダ７は、コイル６を収容する凹部８２２を有する。このようにすれば、コイルホルダ７でコイル６を保持することが容易となる。 In this embodiment, the coil holder 7 has a recess 822 that accommodates the coil 6. In this way, it becomes easy to hold the coil 6 with the coil holder 7.

本形態では、支持体２は、可動体３を収容するケース９を有し、ケース９は、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙのうち、接続体４が配置された方向に貫通穴９１３、９２３を有し、ヨーク８は、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙのうち、接続体４が配置された方向に切り欠き部８１４を有する。このようにすれば、アクチュエータ１を組み立てる際に、可動体３およびコイルホルダ７をケース９に対して位置決めするための位置決め用ピンを用いることができるので、可動体３およびコイルホルダ７がケース９に対して位置決め調整することが容易となる。 In this embodiment, the support body 2 has a case 9 that accommodates the movable body 3, and the case 9 has a through hole 913 in the direction in which the connecting body 4 is arranged, of the second direction X and the third direction Y. 923, and the yoke 8 has a cutout portion 814 in the direction in which the connecting body 4 is disposed of the second direction X and the third direction Y. In this way, when assembling the actuator 1, the positioning pins for positioning the movable body 3 and the coil holder 7 with respect to the case 9 can be used, so that the movable body 3 and the coil holder 7 can be attached to the case 9. This makes it easy to adjust the position.

［実施形態２］
図９は、本発明の実施形態２のヨーク８の斜視図である。図１０は、実施形態２の第１ヨーク８６の斜視図である。実施形態２では、上記形態のヨーク８の第１ヨーク８１および第２ヨーク８２の形状とは異なる形状であり、他の構成は同一である。 [Embodiment 2]
FIG. 9 is a perspective view of the yoke 8 according to the second embodiment of the present invention. FIG. 10 is a perspective view of the first yoke 86 of the second embodiment. In the second embodiment, the first yoke 81 and the second yoke 82 of the yoke 8 of the above embodiment have a different shape, and the other configurations are the same.

図９に示すように、ヨーク８は、第１方向Ｚで重なる第１ヨーク８６および第２ヨーク８７からなる。第１ヨーク８６および第２ヨーク８７は同一形状である。具体的には、図１０に示すように、第１ヨーク８６は、第２方向Ｘから見たときの形状が、Ｌ字の形状である。第１ヨーク８６は、板部８８１と、板部８８１の第３方向Ｙの他方側Ｙ２の端縁から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出した連結部８８２とを有する。連結部８８２の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端部の中央部分には、凸部８８３が設けられる。板部８８１の第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端部の中央部分には、凹部８８４が設けられる。連結部８８２の第２方向Ｘの両端には、切り欠き部８８５が設けられる。ここで、第２ヨーク８７は、第１ヨーク８６と同一形状であるので、同一部分には同一の符号を付す。したがって、図９に示すように、第１ヨーク８６と第２ヨーク８７は、凸部８８３と凹部８８４とが嵌合することで、組み立てられる。そして、凸部８８３および凹部８８４を溶接等で固定することで、第１ヨーク８６および第２ヨーク８７は、連結している。このように、第１ヨーク８６と第２ヨーク８７は、同一形状であるので、部品点数を削減することができる。 As shown in FIG. 9, the yoke 8 includes a first yoke 86 and a second yoke 87 that overlap in the first direction Z. The first yoke 86 and the second yoke 87 have the same shape. Specifically, as shown in FIG. 10, the first yoke 86 has an L-shape when viewed from the second direction X. The first yoke 86 includes a plate portion 881 and a connecting portion 882 that protrudes from the edge of the plate portion 881 on the other side Y2 in the third direction Y to the other side Z2 in the first direction Z. A convex portion 883 is provided at the center of the end of the connecting portion 882 on one side Z1 in the first direction Z. A recess 884 is provided in the center of the end of the plate portion 881 on one side Y1 in the third direction Y. Notches 885 are provided at both ends of the connecting portion 882 in the second direction X. Here, since the second yoke 87 has the same shape as the first yoke 86, the same parts are given the same reference numerals. Therefore, as shown in FIG. 9, the first yoke 86 and the second yoke 87 are assembled by fitting the convex portion 883 and the concave portion 884. The first yoke 86 and the second yoke 87 are connected by fixing the convex portion 883 and the concave portion 884 by welding or the like. In this way, since the first yoke 86 and the second yoke 87 have the same shape, the number of parts can be reduced.

［実施形態３］
図１１は、本発明の実施形態３のアクチュエータ１の断面図である。実施形態３は、上記形態２とは、接続体４の配置される位置が異なり、他の構成は同一である。図１１に示すように、実施形態３では、接続体４は、第１接続体４１と、第２接続体４２とを有する。第１接続体４１は、第２ヨーク８７の連結部８８２の内側（第３方向Ｙの他方側Ｙ２）において、第２ヨーク８７の連結部８８２とコイルホルダ７との間に配置される。第２接続体４２は、第１ヨーク８６の連結部８８２の内側（第３方向Ｙの一方側Ｙ１）において、第１ヨーク８６の連結部８８２とコイルホルダ７との間に配置される。より具体的には、第１接続体４１は、第２ヨーク８７の連結部８８２と側壁７２３との間に配置される。第２接続体４２は、第１ヨーク８６の連結部８８２と側壁７２４との間に配置される。このようにすることで、ヨーク８が第３方向Ｙに大きくなり、ヨーク８の質量が増加する。この結果、可動体３の質量を増大することができるので、可動体３の移動距離（移動量）が同程度または小さくても、推力を向上または維持できる。また、ケース９に外力が加わっても、外力が直接接続体４に伝わらないため、接続体４の変形を抑制することができる。また、本形態の第１ヨーク８６および第２ヨーク８７の形状であれば、接続体４をヨーク８の内側に配置することが容易となる。 [Embodiment 3]
FIG. 11 is a sectional view of the actuator 1 according to Embodiment 3 of the present invention. Embodiment 3 differs from Embodiment 2 in the position where the connecting body 4 is arranged, and the other configurations are the same. As shown in FIG. 11, in the third embodiment, the connection body 4 includes a first connection body 41 and a second connection body 42. As shown in FIG. The first connecting body 41 is arranged between the connecting portion 882 of the second yoke 87 and the coil holder 7 inside the connecting portion 882 of the second yoke 87 (on the other side Y2 in the third direction Y). The second connecting body 42 is arranged between the connecting portion 882 of the first yoke 86 and the coil holder 7 inside the connecting portion 882 of the first yoke 86 (on one side Y1 in the third direction Y). More specifically, the first connecting body 41 is arranged between the connecting portion 882 of the second yoke 87 and the side wall 723. The second connecting body 42 is disposed between the connecting portion 882 of the first yoke 86 and the side wall 724. By doing so, the yoke 8 becomes larger in the third direction Y, and the mass of the yoke 8 increases. As a result, the mass of the movable body 3 can be increased, so even if the moving distance (amount of movement) of the movable body 3 is the same or smaller, the thrust can be improved or maintained. Further, even if an external force is applied to the case 9, the external force is not directly transmitted to the connecting body 4, so that deformation of the connecting body 4 can be suppressed. Moreover, with the shapes of the first yoke 86 and the second yoke 87 of this embodiment, it becomes easy to arrange the connecting body 4 inside the yoke 8.

［他の実施形態］
上記形態は、可動体３と支持体２とが第３方向Ｙで対向する位置に接続体４を配置するものであったが、接続体４の位置は、可動体３と支持体２とが第２方向Ｘで対向する位置であってもよい。また、接続体４を配置する位置を、可動体３と支持体２とが第２方向Ｘで対向する位置、および、可動体３と支持体２とが第３方向Ｙで対向する位置の両方としてもよい。 [Other embodiments]
In the above embodiment, the connecting body 4 is arranged at a position where the movable body 3 and the supporting body 2 face each other in the third direction Y, but the position of the connecting body 4 is such that the movable body 3 and the supporting body 2 The positions may be opposite to each other in the second direction X. Moreover, the position where the connecting body 4 is arranged is both a position where the movable body 3 and the support body 2 face each other in the second direction X, and a position where the movable body 3 and the support body 2 face each other in the third direction Y. You can also use it as

上記形態は、コイル６に対する第１方向Ｚの両側に磁石５（第１磁石５１および第２磁石５２）を配置しているが、コイル６に対する第１方向Ｚの一方側Ｚ１または他方側Ｚ２のみに磁石５を配置してもよい。 In the above embodiment, the magnets 5 (first magnet 51 and second magnet 52) are arranged on both sides of the first direction Z with respect to the coil 6, but only on one side Z1 or the other side Z2 in the first direction Z with respect to the coil 6. The magnet 5 may be placed at.

上記形態では、コイル６およびコイルホルダ７を支持体２に設け、磁石５（第１磁石５１および第２磁石５２）およびヨーク８（第１ヨーク８１および第２ヨーク８２）を可動体３に設けたが、コイル６およびコイルホルダ７を可動体３に設け、磁石５（第１磁石５１および第２磁石５２）およびヨーク８（第１ヨーク８１および第２ヨーク８２）を支持体２に設けたアクチュエータに本発明を適用してもよい。 In the above embodiment, the coil 6 and the coil holder 7 are provided on the support 2, and the magnets 5 (first magnet 51 and second magnet 52) and yoke 8 (first yoke 81 and second yoke 82) are provided on the movable body 3. However, the coil 6 and coil holder 7 were provided on the movable body 3, and the magnets 5 (first magnet 51 and second magnet 52) and yoke 8 (first yoke 81 and second yoke 82) were provided on the support 2. The present invention may also be applied to actuators.

上記形態では、磁石５とコイル６の組を２組備えているが、１組もしくは３組以上であってもよい。また、磁石５とコイル６の組が３組以上である場合、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙにそれぞれ複数並んでいてもよい。 In the above embodiment, two sets of magnets 5 and coils 6 are provided, but there may be one set or three or more sets. Further, when there are three or more sets of magnets 5 and coils 6, a plurality of them may be lined up in each of the second direction X and the third direction Y.

上記形態では、第１ケース部材９１および第２ケース部材９２は、貫通穴９１３、９２３を有しているが、切り欠き部であってもよい。また、連結部８１２は、切り欠き部８１４を有しているが、穴であってもよい。何れの場合でも、アクチュエータ１を組み立てる際に、位置決め用ピンを用いて、可動体３およびコイルホルダ７をケース９に対して位置決めすることができる。 In the above embodiment, the first case member 91 and the second case member 92 have the through holes 913 and 923, but they may be cut out portions. Further, although the connecting portion 812 has a notch portion 814, it may be a hole. In either case, when assembling the actuator 1, the movable body 3 and the coil holder 7 can be positioned with respect to the case 9 using positioning pins.

上記形態では、第４方向Ｆは、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに対して４５°傾いた方向であったが、これに限定されない。例えば、第４方向Ｆは、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに対して３０°傾いた方向であってもよい。このように構成しても、コイル６が第２方向Ｘおよび第３方向Ｙの何れかに延びる長円形に比べて、コイル６の長手方向の長さを大きくすることができる。 In the above embodiment, the fourth direction F is a direction inclined by 45 degrees with respect to the second direction X and the third direction Y, but the present invention is not limited thereto. For example, the fourth direction F may be a direction inclined by 30 degrees with respect to the second direction X and the third direction Y. Even with this configuration, the length of the coil 6 in the longitudinal direction can be increased compared to an oval shape in which the coil 6 extends in either the second direction X or the third direction Y.

１…アクチュエータ、２…支持体、３…可動体、４…接続体、５…磁石、６…コイル、７…コイルホルダ、８…ヨーク、９…ケース、１０…磁気駆動回路、１１…回路基板、２１…第１側辺部、２２…第２側辺部、４１…第１接続体、４２…第２接続体、５０…着磁分極線、５１…第１磁石、５２…第２磁石、６１…直線部分、６２…曲線部分、６３…引き出し部分、７１…本体部、７２…側面部、７２１、７２２、７２３、７２４…側壁、７３…凹部、７３１…底部、７５…第１柱状部、７６…第２柱状部、７４０…位置決め段部、８１…第１ヨーク、８１１…第１板部、８１２…連結部、８１２１…第１連結部、８１２２…第２連結部、８１３…凸部、８１４…切り欠き部、８２…第２ヨーク、８２１…第２板部、８２２…凹部、８３…位置決め部、８３１…ダボ、８６…第１ヨーク、８７…第２ヨーク、８８１…板部、８８２…連結部、８８３…凸部、８８４…凹部、８８５…切り欠き部、９１…第１ケース部材、９１１…底板部、９１２…側板部、９１３…貫通穴、９１４…切り欠き部、９２…第２ケース部材、９２１…底板部、９２２…底板部、９２３…貫通穴、９２４…切り欠き部、９３…開口部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Actuator, 2... Support body, 3... Movable body, 4... Connection body, 5... Magnet, 6... Coil, 7... Coil holder, 8... Yoke, 9... Case, 10... Magnetic drive circuit, 11... Circuit board , 21... first side part, 22... second side part, 41... first connection body, 42... second connection body, 50... magnetized polarization line, 51... first magnet, 52... second magnet, 61... Straight line part, 62... Curved part, 63... Drawer part, 71... Main body part, 72... Side part, 721, 722, 723, 724... Side wall, 73... Recessed part, 731... Bottom part, 75... First columnar part, 76... Second columnar part, 740... Positioning step part, 81... First yoke, 811... First plate part, 812... Connecting part, 8121... First connecting part, 8122... Second connecting part, 813... Convex part, 814... Notch part, 82... Second yoke, 821... Second plate part, 822... Recessed part, 83... Positioning part, 831... Dowel, 86... First yoke, 87... Second yoke, 881... Plate part, 882 ...Connection part, 883...Convex part, 884...Concave part, 885...Notch part, 91...First case member, 911...Bottom plate part, 912...Side plate part, 913...Through hole, 914...Notch part, 92...Nth 2 case member, 921...bottom plate part, 922...bottom plate part, 923...through hole, 924...notch part, 93...opening part

Claims

a support and
A movable body,
a connection body connected to the support body and the movable body;
A magnetic drive circuit including a magnet disposed on one side of the support and the movable body, and a coil disposed on the other side of the support and the movable body and facing the magnet in a first direction. Equipped with
The support body includes a pair of first side portions facing each other in a second direction perpendicular to the first direction, and a pair of first side portions facing each other in a third direction crossing the first direction and the second direction. having two side parts;
The coil has an oval shape extending in a fifth direction perpendicular to a fourth direction diagonally intersecting the second direction and the third direction when viewed from the first direction, and the coil is magnetized in the fourth direction, and the magnetic drive circuit drives the movable body in the fourth direction with respect to the support body,
The connecting body is an elastic body or a viscoelastic body, and is arranged between the support body and the movable body in at least one of the second direction and the third direction,
The movable body has a yoke,
The yoke has a positioning part that positions the magnet,
The yoke includes a pair of plate portions facing each other in the first direction, and a side of the pair of plate portions in either the second direction or the third direction of the pair of plate portions. A pair of connecting parts connecting the plate parts,
The positioning portion is a plurality of half-blanked portions protruding from each of the plate portions of the pair of plate portions,
The actuator is characterized in that the magnet is fitted between the half-blanked portion .

In claim 1 ,
The yoke includes a first yoke and a second yoke that are arranged one on top of the other in the first direction,
An actuator characterized in that the first yoke and the second yoke have the same shape.

a support and
A movable body,
a connection body connected to the support body and the movable body;
A magnetic drive circuit including a magnet disposed on one side of the support and the movable body, and a coil disposed on the other side of the support and the movable body and facing the magnet in a first direction. Equipped with
The support body includes a pair of first side portions facing each other in a second direction perpendicular to the first direction, and a pair of first side portions facing each other in a third direction crossing the first direction and the second direction. having two side parts;
The coil has an oval shape extending in a fifth direction perpendicular to a fourth direction diagonally intersecting the second direction and the third direction when viewed from the first direction, and the coil is magnetized in the fourth direction, and the magnetic drive circuit drives the movable body in the fourth direction with respect to the support body,
The connecting body is an elastic body or a viscoelastic body, and is arranged between the support body and the movable body in at least one of the second direction and the third direction,
The movable body has a yoke,
The yoke includes a pair of plate portions facing each other in the first direction, and a side of the pair of plate portions in either the second direction or the third direction of the pair of plate portions. A pair of connecting parts connecting the plate parts,
The support body has a coil holder that holds the coil between the pair of connecting parts,
The actuator is characterized in that the connecting body is disposed between each of the pair of connecting parts and the coil holder.

In claim 3 ,
The actuator is characterized in that the coil holder has a recess that accommodates the coil.

a support and
A movable body,
a connection body connected to the support body and the movable body;
A magnetic drive circuit including a magnet disposed on one side of the support and the movable body, and a coil disposed on the other side of the support and the movable body and facing the magnet in a first direction. Equipped with
The support body includes a pair of first side portions facing each other in a second direction perpendicular to the first direction, and a pair of first side portions facing each other in a third direction crossing the first direction and the second direction. having two side parts;
The coil has an oval shape extending in a fifth direction perpendicular to a fourth direction diagonally intersecting the second direction and the third direction when viewed from the first direction, and the coil is magnetized in the fourth direction, and the magnetic drive circuit drives the movable body in the fourth direction with respect to the support body,
The connecting body is an elastic body or a viscoelastic body, and is arranged between the support body and the movable body in at least one of the second direction and the third direction,
The movable body has a yoke,
The support body has a case that houses the movable body,
The actuator is characterized in that the case and the yoke have a hole or a notch in a direction in which the connecting body is arranged, out of the second direction and the third direction.

In claim 5 ,
The yoke includes a pair of plate portions facing each other in the first direction, and a side of the pair of plate portions in either the second direction or the third direction of the pair of plate portions. A pair of connecting parts connecting the plate parts,
The support body has a coil holder that holds the coil between the pair of connecting parts,
The hole or the notch provided in the yoke is arranged at a position where a positioning pin inserted through the hole or the notch provided in the case fits, and the coil holder is arranged in the hole or the notch provided in the case. An actuator characterized in that the actuator is arranged at a position where the tip of a positioning pin abuts.

In any one of claims 1, 3, and 5 ,
The coil has a straight portion extending in the fifth direction when viewed from the first direction,
The actuator is characterized in that the magnet overlaps at least a portion of the linear portion of the coil when viewed from the first direction.

In any one of claims 1, 3, and 5 ,
The connecting body constitutes a first vibration system in which the movable body vibrates in the second direction with respect to the support body, and a first vibration system in which the movable body vibrates in the third direction with respect to the support body. Constructs a two-vibration system,
An actuator characterized in that the resonance frequency of the first vibration system and the resonance frequency of the second vibration system are different.

In any one of claims 1 to 8 ,
An actuator characterized in that the movable body is used as a tactile device that provides a tactile sensation by vibrating.