JP2021043200A - 低ノイズ多軸mems加速度計 - Google Patents
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Abstract
Description
・ 基板平面を規定する基板と、
・ 少なくとも2つの試験質量であって、両方の試験質量は、基板平面に対して非平行に回転し、基板平面に対して平行に動くように構成され、少なくとも2つの試験質量の結合重心は、加速度計の中心にある、少なくとも2つの試験質量と、
・ 基板平面に平行な少なくとも2つの試験質量の動きを検知するように構成された第1のセンス回路と、
・ 少なくとも2つの試験質量の、基板平面に対して非平行な回転を検知するように構成された第2のセンス回路と
を備えるMEMS加速度計を提供する。
・ 基板平面に平行なキャパシタ軸に沿って、第1の方向において少なくとも1つの面内構造から外方に延伸する可動櫛歯の第1のセットと、
・ キャパシタ軸に沿って、第1の方向とは反対の第2の方向において少なくとも1つの面内構造から外方に延伸する可動櫛歯の第2のセットと、
・ 可動櫛歯の第1のセットに対向し、噛み合っている固定櫛歯の第1のセットであって、少なくとも1つの面内構造に向かって第2の方向に延伸する、固定櫛歯の第1のセットと、
・ 可動櫛歯の第2のセットに対向し、噛み合っている固定櫛歯の第2のセットであって、少なくとも1つの面内構造に向かって第1の方向に延伸する、固定櫛歯の第2のセットと
を備えることができ、
少なくとも1つの面内構造および少なくとも2つの試験質量が第1の方向に動くと、可動櫛歯の第1のセットおよび固定櫛歯の第1のセットがともに近接して動き、可動櫛歯の第2のセットおよび固定櫛歯の第2のセットがさらに離れて動き、少なくとも1つの面内構造および少なくとも2つの試験質量が第2の方向に動くと、可動櫛歯の第1のセットと固定櫛歯の第1のセットがさらに離れて動き、可動櫛歯の第2のセットと固定櫛歯の第2のセットがともに近接して動く。
・ 各試験質量上には4つの電極が位置し、
・ 各試験質量上で、第1の電極対がシーソー試験質量のC字形の第1の端部に位置し、第2の電極対がシーソー試験質量のC字形の第2の端部に位置し、
・ 各電極対内で、第1の電極はシーソー試験質量の回転軸からシーソー試験質量のC字形の中央に向かって配置され、第2の電極はシーソー試験質量の回転軸からシーソー試験質量のC字形の端部に向かって配置される。
Claims (15)
- MEMS加速度計であって、
基板平面を規定する基板と、
少なくとも2つの試験質量であり、両方の試験質量は、前記基板平面に対して非平行に回転し、前記基板平面に対して平行に動くように構成され、前記少なくとも2つの試験質量の結合重心は、前記加速度計の中心にある、少なくとも2つの試験質量と、
前記基板平面に平行に動くように構成された少なくとも1つの面内構造であり、前記少なくとも2つの試験質量は、前記少なくとも1つの面内構造に回転可能に接続され、結果、前記基板平面に平行な前記少なくとも2つの試験質量の運動が、前記基板平面に平行な前記少なくとも1つの面内構造の運動を引き起こす、少なくとも1つの面内構造と、
前記基板平面に平行な前記少なくとも2つの試験質量の動きを検知するように構成された第1のセンス回路と、
前記少なくとも2つの試験質量の、前記基板平面に対して非平行な回転を検知するように構成された第2のセンス回路と
を備え、
前記少なくとも2つの面外試験質量は、前記少なくとも1つの面内構造に対して前記MEMS加速度計の外側に向かって配置される、MEMS加速度計。 - 面外軸内の外部加速度が各試験質量の非対称質量に作用して、回転軸を中心に前記試験質量を回転させ、
前記基板平面に平行な第1の軸内の外部加速度が両方の試験質量の前記非対称質量および対称質量に作用して、前記試験質量を前記基板平面に平行に動かす
ように、各試験質量の重心が、回転軸からオフセットされている、請求項1に記載のMEMS加速度計。 - 前記第2のセンス回路は、各面外試験質量上に配置された1つまたは複数の可動電極と、前記基板に対して固定位置にある固定電極とを備え、前記可動電極と前記固定電極はキャパシタを形成し、前記キャパシタの静電容量は、前記面外試験質量が回転軸を中心に回転するときに変化する、請求項2に記載のMEMS加速度計。
- 前記少なくとも1つの面内試験質量は、1つまたは複数のアンカーポイントにおいてばねを介して前記基板に固定され、前記ばねは、前記基板平面に平行な前記少なくとも1つの面内試験質量の運動を可能にし、前記基板平面外の前記少なくとも1つの面内試験質量の運動に抵抗する、請求項1〜3のいずれか一項に記載のMEMS加速度計。
- 前記少なくとも1つの面内試験質量の重心は、前記加速度計の中心に配置される、請求項1〜4のいずれか一項に記載のMEMS加速度計。
- 前記1つまたは複数のアンカーポイントは、前記MEMS加速度計の線形加速が前記少なくとも1つの面内構造と前記少なくとも2つの試験質量との組み合わせに対して全体的なトルクを生成しないように、前記少なくとも1つの面内構造と前記少なくとも2つの面外試験質量との結合重心に対して対称的に配置される、請求項5に記載のMEMS加速度計。
- 前記1つまたは複数のアンカーポイントは、前記少なくとも1つの面内構造および前記少なくとも2つの試験質量の結合重心にまたは結合重心の近くに配置される、請求項4〜6のいずれか一項に記載のMEMS加速度計。
- 前記少なくとも2つの試験質量が、ねじりばねを介して前記少なくとも1つの面内構造に接続され、前記ねじりばねは、前記基板平面に平行でない前記少なくとも2つの試験質量の回転を可能にし、前記少なくとも1つの面内構造に対する前記基板平面に平行な前記少なくとも2つの試験質量の動きに抵抗する、請求項1〜7のいずれか一項に記載のMEMS加速度計。
- 前記面外試験質量は、前記少なくとも1つの面内質量の外部にわたって延伸する2つのC字形シーソー試験質量を含み、結果、前記2つのC字形面外試験質量は鏡像として配置され、前記試験質量は、面外軸の外部加速度に応答して反対方向に回転するように構成される、請求項1〜8のいずれか一項に記載のMEMS加速度計。
- 前記2つのC字形面外試験質量は、少なくとも2つのばねによって結合され、少なくとも1つのばねが前記C字形の各端部に配置され、結果、前記ばねは、前記2つのC字形面外試験質量の反対方向の回転を可能にし、ただし、同じ方向における前記2つのC字形面外試験質量の回転に抵抗する、請求項9に記載のMEMS加速度計。
- 前記第1のセンス回路は、櫛型キャパシタを備え、各櫛型キャパシタの1つまたは複数の固定電極が前記基板に固定され、各櫛型キャパシタの1つまたは複数の可動電極が前記少なくとも1つの面内試験質量に接続され、前記MEMS加速度計は、微分容量測定を使用して、前記少なくとも2つの面外試験質量および前記少なくとも1つの面内試験質量の動きを測定するように構成されている、請求項1〜10のいずれか一項に記載のMEMS加速度計。
- 各櫛型キャパシタは、
前記基板平面に平行なキャパシタ軸に沿って、第1の方向において前記少なくとも1つの面内構造から外方に延伸する可動櫛歯の第1のセットと、
前記キャパシタ軸に沿って、前記第1の方向とは反対の第2の方向において前記少なくとも1つの面内構造から外方に延伸する可動櫛歯の第2のセットと、
前記可動櫛歯の第1のセットに対向し、噛み合っている固定櫛歯の第1のセットであって、前記少なくとも1つの面内構造に向かって前記第2の方向に延伸する、固定櫛歯の第1のセットと、
前記可動櫛歯の第2のセットに対向し、噛み合っている固定櫛歯の第2のセットであって、前記少なくとも1つの面内構造に向かって前記第1の方向に延伸する、固定櫛歯の第2のセットと
を備え、
前記少なくとも1つの面内構造および前記少なくとも2つの試験質量が前記第1の方向に動くと、前記可動櫛歯の第1のセットおよび前記固定櫛歯の第1のセットがともに近接して動き、前記可動櫛歯の第2のセットおよび前記固定櫛歯の第2のセットがさらに離れて動き、前記少なくとも1つの面内構造および前記少なくとも2つの試験質量が前記第2の方向に動くと、前記可動櫛歯の第1のセットと前記固定櫛歯の第1のセットがさらに離れて動き、前記可動櫛歯の第2のセットと前記固定櫛歯の第2のセットがともに近接して動く、
請求項11に記載のMEMS加速度計。 - 前記少なくとも1つの面内構造および前記少なくとも2つの試験質量が前記第1の方向に動くと、前記可動櫛歯の第1のセットおよび前記固定櫛歯の第1のセットがともに近接して第1の距離だけ動くことができ、前記可動櫛歯の第2のセットおよび前記固定櫛歯の第2のセットが前記第1の距離だけさらに離れて動き、前記第2の方向における前記少なくとも1つの面内構造および前記少なくとも2つの試験質量の動きにより、前記可動櫛歯の第1のセットと前記固定櫛歯の第1のセットが第2の距離だけさらに離れて動き、前記可動櫛歯の第2のセットと前記固定櫛歯の第2のセットがともに近接して前記第2の距離だけ動く、請求項12に記載のMEMS加速度計。
- 前記第2のセンス回路は、前記シーソー試験質量上に配置された8つの電極と、前記シーソー試験質量の上方または下方に配置された8つの電極とを含み、8つの間隙検出キャパシタが形成され、各キャパシタは前記シーソー試験質量電極の1つ、および、前記シーソー試験質量の上方または下方に配置された前記電極の1つから形成され、
各試験質量上には4つの電極が位置し、
各試験質量上で、第1の電極対が前記シーソー試験質量の前記C字形の第1の端部に位置し、第2の電極対が前記シーソー試験質量の前記C字形の第2の端部に位置し、
各電極対内で、第1の電極は前記シーソー試験質量の前記回転軸から前記シーソー試験質量の前記C字形の中央に向かって配置され、第2の電極は前記シーソー試験質量の前記回転軸から前記シーソー試験質量の前記C字形の端部に向かって配置される、
請求項9〜13のいずれか一項に記載のMEMS加速度計。 - Z方向の前記加速度計の加速度は、二重微分測定を使用して、間隙検出キャパシタの静電容量の変化から測定される、請求項14に記載のMEMS加速度計。
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