JP2021039907A - キャビティ、及びアース板 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 荷電粒子を加速する電場を生成するキャビティであって、
ディー電極と、アース板と、ステムと、を備え、
前記アース板の板厚内部には、冷却媒体を流通させる冷却流路が形成され、
前記アース板は、第1の部材と、当該第1の部材と別体の第2の部材と、を有し、
前記冷却流路は、前記第1の部材と、当該第1の部材に対して固定された前記第2の部材と、の間に形成された内部空間によって構成される、キャビティ。 - 前記冷却流路は、前記アース板において、前記ディー電極の縁周面と対向する位置に形成される、請求項1に記載のキャビティ。
- 前記第2の部材は、溶接部を介して前記第1の部材に固定される、請求項1又は2に記載のキャビティ。
- 前記アース板には、前記冷却流路に対して前記冷却媒体を供給する供給管が接続されており、前記アース板に対する前記供給管の接続部にはシール部が形成されている、請求項1〜3の何れか一項に記載のキャビティ。
- 荷電粒子を加速する電場を生成するキャビティのアース板であって、
第1の部材と、当該第1の部材と別体の第2の部材と、を有し、
板厚内部には、冷却媒体を流通させる冷却流路が形成され、
前記冷却流路は、前記第1の部材と、当該第1の部材に対して固定された前記第2の部材と、の間に形成された内部空間によって構成される、アース板。
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