JP2021037692A - 液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液滴の吐出圧力を重畳させつつ、サテライト滴の発生を抑制することができる液体吐出装置を提供する。【解決手段】液体吐出装置は、ノズル３０と圧力室４１とを含む個別流路が形成された流路部材と、前記圧力室４１と対向するように前記流路部材に配置され、前記個別流路内の液体に圧力を付与する圧電素子３９と、複数のパルス波形からなる駆動信号を前記圧電素子３９に供給するドライバＩＣ２８とを備える。前記圧電素子３９は、１つの前記パルス波形により、前記圧力室４１を減圧した後前記圧力室４１を加圧するように、引き打ち方式で駆動される。前記ノズル３０の径をφμｍ、前記個別流路の減衰係数をζ、前記個別流路の共振周波数と最も共振するパルス波形の長さＡＬμｓにて前記ノズル３０から前記液体の液滴を吐出した際の液滴速度をＶａｌｍ／ｓとしたとき、φｘ０．９２＋ζｘ１６７．５１−２０．７５≧Ｖａｌを満たし、ζは０．０８以下である。【選択図】図３

Description

本発明は、ノズルから液体を吐出する液体吐出装置に関する。

ノズルから液滴を吐出する液体吐出ヘッドにおいて、液滴の本来の着弾位置の周囲に着弾する、サテライトと呼ばれる微小な液滴の発生を抑制するための様々な手法が知られている。

例えば、特許文献１では、液体吐出ヘッドの圧電アクチュエータに供給する駆動信号において、インク滴を吐出するための吐出パルスの後に、サテライト滴の発生を抑制するためのキャンセルパルスを付加することが開示されている。

特開２００９−２８５９２２号公報

サテライト滴の発生を抑制するための手法としては、他にも、インク滴を吐出するための吐出圧力自体を下げることや、吐出圧力を重畳させないこと等が挙げられる。しかし、吐出圧力自体を下げる場合、インク滴が吐出されない可能性がある。また、吐出圧力を重畳させない場合、吐出されるインク滴の体積が小さいため、濃い色のドットを形成するためにはヘッドを複数回走査させる必要があり、印字時間が増大する可能性がある。

本発明は、液滴の吐出圧力を重畳させつつサテライト滴の発生を抑制できるように設計された、液体吐出ヘッドの流路構造を提供することを目的とする。

本発明の態様に従えば、ノズルと圧力室とを含む個別流路が形成された流路部材と、前記圧力室と対向するように前記流路部材に配置され、前記個別流路内の液体に圧力を付与する圧電素子と、複数のパルス波形からなる駆動信号を前記圧電素子に供給するドライバとを備え、前記圧電素子は、１つの前記パルス波形により、前記圧力室を減圧した後前記圧力室を加圧するように、引き打ち方式で駆動され、前記ノズルの径をφμｍ、前記個別流路の減衰係数をζ、前記個別流路の共振周波数と最も共振するパルス波形の長さＡＬμｓにて前記ノズルから前記液体の液滴を吐出した際の液滴速度をＶａｌｍ／ｓとしたとき、φｘ０．９２＋ζｘ１６７．５１−２０．７５≧Ｖａｌを満たし、ζは０．０８以下である液体吐出装置が提供される。

本発明の態様に従う液体吐出装置は、ノズルの径をφμｍ、個別流路の減衰係数をζ、個別流路の共振周波数と最も共振するパルス波形の長さＡＬμｓにて前記ノズルから液滴を吐出した際の液滴速度をＶａｌｍ／ｓとしたとき、φｘ０．９２＋ζｘ１６７．５１−２０．７５≧Ｖａｌを満たし、ζは０．０８以下であるように設計されている。この結果、液滴の吐出圧力を重畳させつつ、サテライト滴の発生を抑制できる。

実施形態に係るプリンタの概略的な平面図である。 実施形態に係るヘッドユニットの底面図である。 図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。 本願の発明者らが行った実験結果を示す表である。 実施形態に係るヘッドユニットと略等価の回路図である。 図４の表に対応するグラフである。

本発明の実施形態について説明する。まず、図１を参照してインクジェットプリンタ１の概略構成について説明する。尚、図１に示す前後左右の各方向をプリンタの「前」「後」「左」「右」と定義する。また、紙面手前側を「上」、紙面向こう側を「下」とそれぞれ定義する。以下では、前後左右上下の各方向語を適宜使用して説明する。

＜インクジェットプリンタ１の概略構成＞
図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、プラテン２、キャリッジ３、インクジェットヘッド４、搬送機構５、及びコントローラ６を主に備えている。

プラテン２の上面には、記録媒体である記録用紙１００が載置される。キャリッジ３は、プラテン２と対向する領域において２本のガイドレール１１，１２に沿って左右方向（以下、走査方向ともいう）に往復移動可能に構成されている。キャリッジ３には無端ベルト１３が連結されている。キャリッジ駆動モータ１４によって無端ベルト１３が駆動されることにより、キャリッジ３は走査方向に移動する。

インクジェットヘッド４は、キャリッジ３に取り付けられており、キャリッジ３とともに走査方向に移動する。インクジェットヘッド４は、走査方向に並ぶ４つのヘッドユニット２５を備えている。４つのヘッドユニット２５は、４つのインクカートリッジ１５が装着されるカートリッジホルダ７と、図示しないチューブによってそれぞれ接続されている。４つのインクカートリッジ１５にはそれぞれ、４色（ブラック、イエロー、シアン、マゼンタ）のインクが貯留されている。各ヘッドユニット２５は、その下面（図１の紙面向こう側の面）に形成された複数のノズル３０（図２参照）を有する。ヘッドユニット２５のノズル３０は、いずれか１つのインクカートリッジ１５から供給された１色のインクを、プラテン２に載置された記録用紙１００に向けて吐出する。

搬送機構５は、前後方向にプラテン２を挟むように配置された２つの搬送ローラ１６，１７を有する。搬送機構５は、２つの搬送ローラ１６，１７によって、プラテン２に載置された記録用紙１００を前方（以下、搬送方向ともいう）に搬送する。

コントローラ６は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、及び、各種制御回路を含むＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等を備える。コントローラ６は、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、ＡＳＩＣにより、記録用紙１００への印刷等の各種処理を実行する。例えば、印刷処理において、コントローラ６は、ＰＣ等の外部装置から入力された印刷指令に基づいて、インクジェットヘッド４、キャリッジ駆動モータ１４、搬送機構５の搬送モータ（図示省略）等を制御して、記録用紙１００に画像等を印刷する。具体的には、キャリッジ３とともにインクジェットヘッド４を走査方向に移動させながら、４つのヘッドユニット２５のノズル３０からインクを吐出させるインク吐出動作と、搬送ローラ１６，１７によって記録用紙１００を搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。

＜ヘッドユニット２５＞
次に、ヘッドユニット２５の構成について詳細に説明する。尚、４つのヘッドユニット２５はそれぞれ同じ構成を有するため、以下では、４つのヘッドユニット２５のうちの１つについて説明する。

図２に示すように、ヘッドユニット２５は、搬送方向に長く、平面視でほぼ矩形状の外形を有する。ヘッドユニット２５の下面には、複数のノズル３０の吐出口が形成されている。ヘッドユニット２５の下面において、複数のノズル３０は、走査方向に並ぶ２列のノズル列３１を構成している。各ノズル列３１は、搬送方向に延びている。

図３に示すように、ヘッドユニット２５の搬送方向の端部には、インク供給口が形成されている。インク供給口は、チューブ（図示省略）を介して、４つのインクカートリッジ１５（図１参照）の何れか１つと接続されている。

ヘッドユニット２５は、第１流路基板３６、第２流路基板３７、ノズルプレート３８、複数の圧電素子３９、保護部材４０、振動板４５等を備える。振動板４５、第１流路基板３６、第２流路基板３７、及びノズルプレート３８を合わせたものが、本発明の流路部材の一例である。また、第１流路基板３６及び第２流路基板３７を合わせたものが、本発明の流路プレートの一例である。

第１流路基板３６は、例えばステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属からなる基板である。第１流路基板３６には、複数のノズル３０にそれぞれ対応する複数の圧力室４１が形成されている。複数の圧力室４１は、走査方向に並ぶ２列の圧力室４１の列を構成している。２列の圧力室４１の列はそれぞれ、搬送方向に延びている。各圧力室４１は、走査方向に延びており、第１流路基板３６を上下方向に貫通している。第１流路基板３６の上面には、複数の圧力室４１を覆う振動板４５が接着剤で接合されている。振動板４５は、例えばステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属からなり、第１流路基板３６の上面の全体に配置されている。なお、振動板４５の上面は、図示しない絶縁膜により絶縁されている。

第２流路基板３７は、例えばステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属からなる基板であり、第１流路基板３６の下面３６ａに接着剤で接合されている。第２流路基板３７には、インク供給口と連通する２つのマニホールド４２が形成されている。インクカートリッジ１５（図１参照）のインクは、チューブ及びインク供給口を介して、２つのマニホールド４２に供給される。

２つのマニホールド４２は、第１流路基板３６の複数の圧力室４１と上下方向に重なる領域において、搬送方向（図３の紙面垂直方向）にそれぞれ延びている。各マニホールド４２の下端は、ノズルプレート３８によって覆われている。

第２流路基板３７にはさらに、マニホールド４２と複数の圧力室４１とをそれぞれ連通させる複数の絞り流路４３、及び、ノズルプレート３８に形成された複数のノズル３０と複数の圧力室４１とをそれぞれ連通させる複数のディセンダ４４が形成されている。

各絞り流路４３は、第２流路基板３７の上面にハーフエッチングを施すことにより形成されている。各絞り流路４３は、圧力室４１と接続された一端と、マニホールド４２と接続された他端とを有する。複数のディセンダ４４は、走査方向に並ぶ２列のディセンダ４４の列を構成している。２列のディセンダ４４の列はそれぞれ、搬送方向に延びている。各ディセンダ４４は、第２流路基板３７を上下方向に貫通している。第２流路基板３７は、本発明の流路形成体の一例である。各ディセンダ４４は、圧力室４１と接続された一端と、ノズル３０と接続された他端とを有する。なお、各ディセンダ４４の流路抵抗は、対応する絞り流路４３の流路抵抗よりも小さくなるように設計されている。各ディセンダ４４は、本発明の第１流路の一例であり、各絞り流路４３は、本発明の第２流路の一例である。また、各ノズル３０と、そのノズル３０に接続されたディセンダ４４と、そのディセンダ４４に接続された圧力室４１と、その圧力室４１と接続された絞り流路４３とが、本発明の個別流路の一例である。

ノズルプレート３８は、例えばポリイミド等で形成されたプレートであり、第１流路基板３６及び第２流路基板３７よりも剛性が低い。第２流路基板３７の下面に接着剤で接合されている。ノズルプレート３８には、搬送方向に配列された複数のノズル３０が形成されている。上述したように、複数のノズル３０は２列のノズル列３１（図２参照）を構成している。各ノズル３０は、第２流路基板３７に形成されたディセンダ４４を介して、第１流路基板３６に形成された対応する圧力室４１と連通している。なお、各ノズル３０の吐出口の形状は円形が望ましい。

振動板４５の上面には、２列の圧力室４１の列とそれぞれ重なるように、２つの共通電極３２が形成されている。各共通電極３２は搬送方向に延びている。各共通電極３２は、例えば白金（Ｐｔ）からなる。

２つの共通電極３２の上面にはそれぞれ、２つの圧電層３３が形成されている。各圧電層３３も共通電極３２と同様に搬送方向に延びている。各圧電層３３は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる。

２つの圧電層３３の上面にはそれぞれ、複数の個別電極３４が形成されている。そして、複数の個別電極３４はそれぞれ、対応する圧力室４１の列を構成する複数の圧力室４１と上下方向に重なっている。各個別電極３４は、走査方向に長い略矩形状の外形を有する。各個別電極３４は、例えばイリジウム（Ｉｒ）からなる。

以上のように、振動板４５の上面に、２つの共通電極３２、２つの圧電層３３、及び複数の個別電極３４が積層されることにより、複数の圧力室４１にそれぞれ対向する、複数の圧電素子３９が形成されている。つまり、複数の圧電素子３９は、２列の圧力室４１の列とそれぞれ上下方向に重なる、２列の圧電素子３９の列を形成している。各圧電素子３９は、１つの個別電極３４、１つの圧電層３３、及び１つの共通電極３２から構成されている。

各個別電極３４には、所定の駆動信号を供給するための駆動配線４７が接続されている。駆動配線４７は、各圧電素子３９から、２列の圧電素子３９の列の間の領域に引き出されている。各駆動配線４７の、個別電極３４とは反対側の端部は、後述するＣＯＦ２２が接続される駆動接点４７ａとなっている。複数の駆動配線４７の複数の駆動接点４７ａは、振動板４５の上面の、２列の圧電素子列３９の列の間の領域において、搬送方向に配列されている。複数の駆動配線４７は、例えば金（Ａｕ）等の金属で形成されている。

振動板４５の上面には、保護部材４０が接着剤で接合されている。保護部材４０の下面には、２列の圧電素子３９の列をそれぞれ覆う２つの凹部４６が形成されている。保護部材４０は、圧電素子３９を外気から遮断し、湿気に触れることを防止する等の目的で設けられている。２つの凹部４６は走査方向に並んでおり、それぞれが搬送方向に延びている。さらに、保護部材４０の走査方向及び搬送方向の中央部には、保護部材４０を上下方向に貫通する貫通孔４９が形成されている。貫通孔４９は、走査方向において２つの凹部４６の間に形成されており、搬送方向に延びている。振動板４５の上面に形成された複数の駆動接点４７ａは、貫通孔４９から露出している。

各ヘッドユニット２５には、複数の配線を有する配線部材であるＣＯＦ（Chip On Film）２２が接合されている。より詳細には、ＣＯＦ２２は保護部材４０に形成された貫通孔４９に挿通され、振動板４５の上面に沿って拡がる先端部が、振動板４５の上面に接着剤によって接着されている。これにより、ＣＯＦ２２の複数の配線と複数の個別配線４７とがそれぞれ、貫通孔４９から露出した複数の駆動接点４７ａを介して電気的に接続される。

ＣＯＦ２２には、複数の配線と接続されたドライバＩＣ２８が実装されている。また図示は省略するが、ＣＯＦ２２の他端部は、インクジェットプリンタ１のコントローラ６（図１参照）に接続されている。ドライバＩＣ２８は、コントローラ６からの制御信号に基づいて、複数の圧電素子３９を駆動するための駆動信号を生成する。ドライバＩＣ２８によって生成された駆動信号は、ＣＯＦ２２の複数の配線及び複数の駆動接点４７ａを介して、複数の圧電素子３９に供給される。共通電極３２の電位は、グランド電位に維持される。駆動信号が供給されると、個別電極３４の電位は、所定の駆動電位とグランド電位との間で変化する。ヘッドユニット２５とドライバＩＣ２８とを合わせたものは、本発明の液体吐出装置の一例である。

個別電極３４の電位がグランド電位から駆動電位に変化すると、個別電極３４と共通電極３２との間に電位差が生じる。これにより、圧電層３３の、個別電極３４と共通電極３２とで挟まれた部分（以下、「活性部」という）に、圧電層３３の厚み方向に平行な電界が作用する。このとき、活性部の分極方向（圧電層３３の厚み方向）と、電界の方向とが一致することで、活性部は、圧電層３３の厚み方向に伸び、圧電層３３の面方向に収縮する。活性部の収縮変形に伴い、圧電素子３９及び振動板４５の圧力室４１と対向する部分が、圧力室４１に向かって凸となるように変形する。

本実施形態における圧電素子３９の、所謂引き打ちと呼ばれる駆動手順について説明する。まず、予め個別電極３４を駆動電位とする。そして、吐出要求がある毎に個別電極３４を共通電極３２と同じグランド電位とし、その後所定のタイミングで再び個別電極３４を駆動電位とする。これにより、個別電極３４がグランド電位となるタイミングで、圧電層３３が元の形状に戻り、圧力室４１の容積が初期状態（個別電極３４と共通電極３２の電位が異なる状態）と比較して増加する。このとき、圧力室４１内が負圧となり、インクがマニホールド４２から圧力室４１内に吸い込まれる。その後再び個別電極３４を駆動電位としたタイミングで、圧電層３３が圧力室４１側に凸となるように変形する。このとき、圧力室４１の容積が減少して圧力室４１内が正圧となり、インクへの圧力が上昇し、ノズル３０からインク滴が吐出される。つまり、インク滴を吐出させるため、駆動電位を基準とするパルスを含む駆動信号が、個別電極３４に供給される。

ここで、駆動信号のパルス幅は、圧力室４１内において圧力波がマニホールド４２からノズル３０まで伝播する時間長さであるＡＬ（Acoustic Length）が理想的である。この場合、圧力室４１内が負圧から正圧に反転するときに両者の圧力が合わさり、より強い圧力でインク滴を吐出させることができる。

また、一般に、インク滴を複数回連続して吐出する場合、インク滴を吐出させるために供給するパルスの間隔をＡＬとすることが好ましい。これにより、先に吐出されたインク滴を吐出させるときに発生した圧力の残余圧力波と、後に吐出させるインク滴を吐出させるときに発生する圧力の圧力波との周期が一致し、これらが重畳してインク滴を吐出するための圧力を増幅させることができる。

次に、本願の発明者らが行った実験について、図４〜６を参照しつつ説明する。

まず、図４に示されるように、ノズル径及び減衰係数が異なる複数種類の個別流路を用意した。なお、各個別流路は、１つのノズル３０と、そのノズル３０に接続されたディセンダ４４と、そのディセンダ４４に接続された圧力室４１と、その圧力室４１に接続された絞り流路４３とから構成されている。そして、各個別流路に対応する圧電素子３９に対して２回駆動信号を付与することにより、その個別流路に含まれるノズル３０から複数回連続してインク滴を吐出させ、各インク滴の飛翔速度を測定するとともに、サテライト滴が発生するか確認した。なお、駆動信号におけるパルス幅及びパルス間隔は、いずれもＡＬ（μｓ）とした。また、各個別流路に対応する圧電素子３９は、上記の引き打ち方式で駆動した。そして、各個別流路について、サテライト滴の発生が確認されるまで、駆動信号の駆動電圧を所定電圧ずつ上げていった。図４におけるサテライト発生時の液滴速度（ｍ／ｓ）とは、サテライト滴の発生が確認された時に吐出された複数のインク滴の先頭滴の飛翔速度を表している。つまり、先頭滴の飛翔速度が、図４に示される値よりも小さい場合はサテライト滴が発生せず、図４に示される値よりも大きい場合はサテライト滴が発生することを意味している。

また、各個別流路の減衰係数は、以下の手順で算出した。まず、各個別流路に含まれる、ノズル３０、ディセンダ４４、圧力室４１、及び絞り流路４３の寸法を測定した。次に、測定した寸法から、ノズル３０、ディセンダ４４、圧力室４１、及び絞り流路４３の各々について、抵抗、イナータンス、コンプライアンスを算出した。そして、各ヘッドユニット２５は、図５に示されるＲＬＣ直接回路と略等価であるため、以下の式（１）に示されるＲＬＣ直列回路の公式を適用し、減衰係数ζを算出した。ここで、図５に示されるコンプライアンスは、圧力室４１周りの合成コンプライアンスを表している。また、抵抗及びイナータンスは、絞り流路４３及びディセンダ４４の、合成抵抗及び合成イナータンスを表している。
ζ＝１／２＊Ｒ＊（Ｃ／Ｌ）^１／２ （１）
なお、上記の式（１）によって算出した結果、減衰係数ζの値は図４に示されるように、０．０２〜０．１０の範囲に分散したが、減衰係数ζが高い場合、圧力が速やかに減衰するため、ノズルから吐出されるインク滴の体積が小さくなり、印刷効率が低下する。このため、個別流路の流路設計としては、ζの値は０．０８以下であることが好ましい。

また、各個別流路における減衰係数と、サテライト滴の発生が確認された時のインク滴の飛翔速度の平均値とを表したものが、図６のグラフである。なお、図６において四角で表されるデータは、図４におけるノズル径が１６．２〜１７．９（μｍ）のデータに相当する。図６において三角で表されるデータは、図４におけるノズル径が２３．９又は２４．２のデータに相当する。図６において丸で表されるデータは、図４におけるノズル径が３０．４のデータに相当する。

そして、これらのデータについて、サテライト発生時の液滴速度Ｖ_ＡＬ（ｍ／ｓ）、ノズル径φ（μｍ）、及び減衰係数ζをそれぞれ、目的変数ｙ、説明変数ｘ_１、及び説明変数ｘ_２として、重回帰分析を行った。この結果、以下の式（２）が得られた。また、決定係数はおよそ０．７８であった。
Ｖ_ＡＬ＝φ＊０．９２＋ζ＊１６７．５１−２０．７５ （２）

以上の実験結果から、本願発明者らは、ある個別流路においてサテライト滴の発生を抑制するためには、ノズル径をφ（μｍ）、減衰係数をζ、個別流路の共振周波数と最も共振するパルス波形の長さＡＬ（μｓ）で当該ノズルからインク滴を吐出した際のインク滴の速度をＶ_ＡＬ（ｍ／ｓ）としたとき、以下の式（３）が満たされればよいという知見を得た。
Ｖ_ＡＬ≦φ＊０．９２＋ζ＊１６７．５１−２０．７５ （３）

以上説明した本発明の実施形態において、各ノズル３０の吐出口の形状は円形である。このため、吐出口の形状が四角形の場合や楕円形の場合と比べて、メニスカスにはたらく表面張力が均等になり、サテライト滴の発生が抑制される。

上記実施形態において、振動板４５、第１流路基板３６、第２流路基板３７、及びノズルプレート３８は互いに、接着剤により接合されている。このため、接着剤によるダンピング効果を有しており、圧力を効果的に減衰することができる。

上記実施形態では、各個別流路において、圧力室４１の上流には絞り流路４３が接続されており、圧力室４１の下流にはディセンダ４４が接続されている。また、ディセンダ４４の流路抵抗は、絞り流路４３の流路抵抗よりも小さい。このため、圧力室４１で発生した圧力を効果的に減衰しつつも、インクに効率よく吐出エネルギーを付与することができる。

上記実施形態において、ノズルプレート３８は、第１流路基板３６及び第２流路基板３７よりも剛性が低い。このため、ノズルプレート３８のダンピング効果により、圧力室４１で発生した圧力を効果的に減衰することができる。

上記実施形態において、絞り流路４３は、第２流路基板３７をハーフエッチングすることにより形成されている。このため、絞り流路４３の内壁面の摩擦係数が高くなり、絞り流路４３の流路抵抗を高くすることができる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能である。

本発明者らが行った上記実験では、ノズル３０、ディセンダ４４、圧力室４１、及び絞り流路４３の寸法を測定し、測定した寸法とＲＬＣ直列回路の公式に基づいて減衰係数ζを算出したが、これには限られない。例えば、減衰係数ζは、シミュレータを用いて取得してもよい。

上記実施形態において、インクジェットプリンタ１は、キャリッジ３によってインクジェットヘッド４をシート幅方向に移動させる所謂シリアルヘッド方式で、記録用紙１００への印刷を行う。しかし、インクジェットプリンタ１は、インクジェットプリンタ１に対して固定されたシート幅方向に長いヘッドユニットからインクを吐出する所謂ラインヘッド方式で、記録用紙１００への印刷を行ってもよい。

上記実施形態は、本発明を、記録用紙にインクを吐出して画像等を印刷するインクジェットヘッドに適用したものであるが、画像等の印刷以外の様々な用途で使用される液体吐出装置にも本発明は適用されうる。例えば、基板に導電性の液体を吐出して、基板表面に導電パターンを形成する液体吐出装置にも、本発明を適用することは可能である。

１ インクジェットプリンタ
４ インクジェットヘッド
２２ ＣＯＦ
２５ ヘッドユニット
２８ ドライバＩＣ
３０ ノズル
３２ 共通電極
３３ 圧電層
３４ 個別電極
３９ 圧電素子
４１ 圧力室
４２ マニホールド
４３ 絞り流路
４４ ディセンダ

Claims (7)

1. ノズルと圧力室とを含む個別流路が形成された流路部材と、
   前記圧力室と対向するように前記流路部材に配置され、前記個別流路内の液体に圧力を付与する圧電素子と、
   複数のパルス波形からなる駆動信号を前記圧電素子に供給するドライバとを備え、
   前記圧電素子は、１つの前記パルス波形により、前記圧力室を減圧した後前記圧力室を加圧するように、引き打ち方式で駆動され、
   前記ノズルの径をφμｍ、前記個別流路の減衰係数をζ、前記個別流路の共振周波数と最も共振するパルス波形の長さＡＬμｓにて前記ノズルから前記液体の液滴を吐出した際の液滴速度をＶａｌｍ／ｓとしたとき、
   φｘ０．９２＋ζｘ１６７．５１−２０．７５≧Ｖａｌを満たし、
   ζは０．０８以下である液体吐出装置。
2. 前記ノズルの開口の形状は円形である請求項１に記載の液体吐出装置。
3. 前記流路部材は、接着剤で接合された複数のプレートにより形成されている請求項１又は２に記載の液体吐出装置。
4. 前記個別流路はさらに、
   前記圧力室と接続された一端、及び、前記ノズルと接続された他端を有する第１流路、及び
   前記圧力室と接続された一端、及び、前記ノズルとは接続されていない他端を有する第２流路の少なくとも一方を含む請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体吐出装置。
5. 前記個別流路は、前記第１流路及び前記第２流路の両方を含み、
   前記第１流路の流路抵抗は、前記第２流路の流路抵抗よりも小さい請求項４に記載の液体吐出装置。
6. 前記流路部材は、前記ノズルが形成されたノズルプレートと、前記ノズルプレートとは異なる材料で形成され、前記ノズルプレートに接合された流路プレートとを含み、
   前記ノズルプレートの剛性は、前記流路プレートの剛性よりも小さい請求項１又は２に記載の液体吐出装置。
7. 前記個別流路の少なくとも一部は、前記複数のプレートのうちのいずれかのプレートをハーフエッチングすることにより形成されている請求項３に記載の液体吐出装置。

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