JP2021033141A - 光デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、光送受信装置10の一例を示す図である。本実施例における光送受信装置10は、光送受信部11、LD(Laser Diode)12、およびDSP(Digital Signal Processor)13を備える。光送受信部11は、光送信デバイス20および光受信デバイス30を有する。光送信デバイス20および光受信デバイス30は、光デバイスの一例である。
図2は、実施例1における光送信デバイス20の一例を示す図である。光送信デバイス20は、XI変調器21−1、XQ変調器21−2、YI変調器21−3、およびYQ変調器21−4を有する。また、光送信デバイス20は、VOA24−1、VOA24−2、PR25、EOポリマー27、mPD28−1、mPD28−2、およびPBC29を有する。VOAはVariable Optical Attenuatorの略であり、PRはPolarization Rotatorの略であり、mPDはmonitor PhotoDiodeの略であり、PBCはPolarization Beam Combinerの略である。
図3は、変調器21の構造の一例を示す図である。図4は、変調器21の構造の一例を示すX−X断面図である。図3のX−X断面が図4に対応する。変調器21は、信号配線220、グランド配線221、半導体層210、およびシリコン層211を備える。信号配線220、グランド配線221、半導体層210、およびシリコン層211は、導波路23に沿って配置されている。本実施例における変調器21は、電気信号によってEOポリマー27の屈折率を変化させることで導波路23を伝搬する光の位相を変化させることにより導波路23を伝搬する光を変調する光変調器である。なお、図3では、図面の見やすさの観点から、EOポリマー27にハンチングが施されている。
次に、光送信デバイス20の製造手順について図5〜図11を参照しながら説明する。図5〜図11は、光送信デバイス20の製造過程の一例を示す図である。図5〜図11では、光送信デバイス20の中の変調器21の製造過程について例示されている。
上記説明から明らかなように、本実施例の光送信デバイス20は、変調器21と、溝26と、供給プール270とを有する。変調器21は、基板Wに形成された導波路23上に形成された溝212であって、EOポリマー27が配置された溝212を有する。また、変調器21は、電気信号によって溝212に配置されたEOポリマー27の屈折率を変化させることで導波路23を伝搬する光の位相を変化させることにより導波路23を伝搬する光を変調する。供給プール270は、基板W上に形成され、溝212よりも幅が広い。溝26は、基板W上に形成され、溝212と供給プール270とに連通する。また、溝26および供給プール270には、EOポリマー27が配置されている。これにより、液体状のEOポリマー27を供給するディスペンサのノズルの先端の位置合わせが容易になる。また、先端がそれほど細くないノズルを有するディスペンサを用いてEOポリマー27を塗布することができるため、ノズルの先端からEOポリマー27を容易に吐出することができる。これにより、それぞれの変調器21内の溝212に十分な量のEOポリマー27が配置されるため、小型化に伴う光信号の周波特性の劣化を抑制することができる。
図12は、実施例2における光送信デバイス20の一例を示す図である。なお、以下に説明する点を除き、図12において、図2と同じ符号が付された部材は、図2において説明された部材と同様であるため、重複する説明を省略する。
上記説明から明らかなように、本実施例の光送信デバイス20において、変調器21には、YI変調器21−3とYQ変調器21−4とが含まれている。また、溝26には、溝263と、溝264−1と、溝264−2とが含まれる。溝263は、供給プール270に連通している。溝264−1は、一端が溝263に連通しており、他端がYQ変調器21−4の溝212に連通している。溝264−2は、一端が溝263に連通しており、他端がYI変調器21−3の溝212に連通している。これにより、それぞれの変調器21の溝212がEOポリマー27で満たされるまでに要する時間を短縮することができる。
図13は、実施例3における光送信デバイス20の一例を示す図である。なお、以下に説明する点を除き、図13において、図2または図12と同じ符号が付された部材は、図2または図12において説明された部材と同様であるため、重複する説明を省略する。
上記説明から明らかなように、本実施例の光送信デバイス20において、溝264−1の一端は、溝264−2と溝263との連通位置よりも供給プール270側の溝263に連通している。また、溝264−1と溝263との連通位置と、供給プール270との間の範囲R1における溝263の幅W1は、溝264−2と溝263との連通位置と、溝264−1と溝263との連通位置との間の範囲R2における溝263の幅W2よりも広い。これにより、供給プール270に供給された液体状のEOポリマー27が溝263内を流れ、溝263と溝264との連通位置を通過する際に、EOポリマー27の液面の低下が抑制される。そのため、溝263内を流れるEOポリマー27の流速の低下を抑制することができる。これにより、それぞれの変調器21の溝212にEOポリマー27を迅速に配置することができる。
なお、開示の技術は、上記した各実施例に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形が可能である。
10 光送受信装置
11 光送受信部
12 LD
13 DSP
20 光送信デバイス
21 変調器
21−1 XI変調器
21−2 XQ変調器
21−3 YI変調器
21−4 YQ変調器
210 半導体層
211 シリコン層
212 溝
220 信号配線
221 グランド配線
222 パッド
23 導波路
230 入力端
231 出力端
24 VOA
25 PR
26 溝
261 溝
262 溝
263 溝
264 溝
265 溝
27 EOポリマー
270 供給プール
271 終端プール
28 mPD
29 PBC
30 光受信デバイス
51 BOX層
53 絶縁層
55 レジスト
60 凹部
61 凹部
Claims (7)
- 基板に形成された導波路上に、長手方向に形成され、EO(Electro Optic)ポリマーが配置された溝と、電気信号によって前記溝に配置されたEOポリマーの屈折率を変化させることで前記導波路を伝搬する光の位相を変化させることにより前記導波路を伝搬する光を変調する光変調器と、を有する光デバイスであって、
前記基板上に形成され、光の伝搬方向に対して垂直な方向における前記溝よりも広い幅を持つ第1の終端溝と、
前記基板上に形成され、前記光変調器の溝および前記第1の終端溝に連通する中継溝と
を有し、
前記光変調器の溝、前記中継溝、および前記第1の終端溝には、前記EOポリマーが配置されていることを特徴とする光デバイス。 - 前記光変調器には、第1の光変調器と第2の光変調器とが含まれており、
前記中継溝には、
前記第1の終端溝と前記第1の光変調器の溝とに連通する第1の中継溝と、
前記第1の光変調器の溝と前記第2の光変調器の溝とに連通する第2の中継溝と
が含まれることを特徴とする請求項1に記載の光デバイス。 - 前記中継溝には、前記第2の光変調器の溝に連通する第3の中継溝がさらに含まれ、
前記第2の光変調器の溝には、前記第3の中継溝を介して前記第2の光変調器の溝よりも幅が広い第2の終端溝が連通しており、
前記第2の終端溝には、前記EOポリマーが配置されていることを特徴とする請求項2に記載の光デバイス。 - 前記光変調器には、第1の光変調器と第2の光変調器とが含まれており、
前記中継溝には、
前記第1の終端溝に連通している第1の共通溝と、
一端が前記第1の共通溝に連通しており、他端が前記第1の光変調器の溝に連通している第1の分岐溝と、
一端が前記第1の共通溝に連通しており、他端が前記第2の光変調器の溝に連通している第2の分岐溝と
が含まれることを特徴とする請求項1に記載の光デバイス。 - 前記第1の分岐溝の一端は、前記第2の分岐溝と前記第1の共通溝との連通位置よりも前記第1の終端溝側の前記第1の共通溝に連通しており、
前記第1の分岐溝と前記第1の共通溝との連通位置と、前記第1の終端溝との間の前記第1の共通溝の幅は、前記第2の分岐溝と前記第1の共通溝との連通位置と、前記第1の分岐溝と前記第1の共通溝との連通位置との間の前記第1の共通溝の幅よりも広いことを特徴とする請求項4に記載の光デバイス。 - 前記中継溝には、
第2の共通溝と、
一端が前記第2の共通溝に連通しており、他端が前記第1の光変調器の溝に連通している第3の分岐溝と、
一端が前記第2の共通溝に連通しており、他端が前記第2の光変調器の溝に連通している第4の分岐溝と
がさらに含まれ、
前記第2の共通溝の端部には、前記第2の光変調器の溝よりも幅が広い第2の終端溝が連通しており、
前記第2の終端溝には、前記EOポリマーが配置されていることを特徴とする請求項4または5に記載の光デバイス。 - 前記第4の分岐溝の一端は、前記第3の分岐溝と前記第2の共通溝との連通位置よりも前記第2の終端溝側の前記第2の共通溝に連通しており、
前記第4の分岐溝と前記第2の共通溝との連通位置と、前記第2の終端溝との間の前記第2の共通溝の幅は、前記第3の分岐溝と前記第2の共通溝との連通位置と、前記第4の分岐溝と前記第2の共通溝との連通位置との間の前記第2の共通溝の幅よりも広いことを特徴とする請求項6に記載の光デバイス。
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