JP2021032957A - 光照射装置 - Google Patents
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Abstract
Description
6a、6b、6c:圧電素子 8:ヨーク
9、14:スペーサ 10:ダンパ 12:ミラー支持部 13:球体部材
101:光照射ユニット 102:レーザ加工制御部
103:加工プログラム記憶部 104H:H軸系レーザ照射制御部
104V:V軸系レーザ照射制御部 105H:H軸系角度検出部
105V:V軸系角度検出部 106:駆動電圧発生部 107:バイアス回路
108:放電回路
Claims (4)
- 入射された光を反射させる反射面を有する光反射部材と前記反射面に設定される正三角形の頂点位置の各々を駆動する駆動部とを備える光照射ユニットであって、前記頂点位置の一つと前記正三角形の外心とを結ぶ線を第1の回転軸、また当該第1の回転軸と直交し前記正三角形の外心を通る線を第2の回転軸とした場合に前記駆動部の各々を動作させることにより前記光反射部材を前記第1の回転軸および前記第2の回転軸の方向にそれぞれ回転させ前記光反射部材に入射された光を任意の位置に照射するようにしたものと、
新たな照射位置が指示された時にさらに回転すべき前記第1の回転軸および前記第2の回転軸の回転量を指示する信号を発生する回転量信号発生部と、
当該回転量信号発生部から指示された前記回転量に基づいて前記駆動部の各々の駆動量に応じた駆動信号を計算して出力する駆動信号発生部と
を備えることを特徴とする光照射装置。 - 請求項1に記載の光照射装置において、前記駆動信号発生部は前記正三角形の外心と前記頂点位置間の距離及び前記回転量に基づいて前記駆動信号を計算して出力することを特徴とする光照射装置。
- 請求項1または2に記載の光照射装置において、前記第1の回転軸および前記第2の回転軸の回転量をそれぞれ検出する角度検出部を備え、当該角度検出部からの信号により前記回転量信号発生部をフィードバック制御することを特徴とする光照射装置。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の光照射装置において、前記駆動部の各々は圧電素子による駆動を行うものであり、前記駆動信号発生部には前記圧電素子に蓄積された静電容量を前記圧電素子の駆動時において放電させる回路が付加されていることを特徴とする光照射装置。
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2019
- 2019-08-20 JP JP2019150460A patent/JP7329792B2/ja active Active
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