JP2021032690A - プローブ - Google Patents

Abstract

【課題】プローブを対象物に押し当てた際の対象物とプローブとの間の電気抵抗を低減する。【解決手段】プローブ１０において、第１対象物２０に押し当てられる巻き部材１００は、導電性の複数の巻き部が連なっており、第１巻き部１０２ａ、第２巻き部１０２ｂ、第３巻き部１０２ｃ及び第４巻き部１０２ｄからなる螺旋状である。第２突出部３２０は、筒体５００内のスプリング４００により外方へ付勢されるプランジャであり、第２対象物３０に押し当てられる。【選択図】図１

Description

本発明は、プローブに関する。

近年、例えば特許文献１に記載されているように、電子デバイスを検査基板によって検査するため、電子デバイスと検査基板とを、プローブを介して電気的に接続することがある。プローブの一端及び他端は、プローブの内部に設けられたスプリングによって、互いに離れる方向に付勢されている。プローブの使用時において、プローブの一端は、電子デバイスの端子（例えば、パッド）に接触し、プローブの他端は、検査基板の端子（例えば、パッド）に接触する。

特開２０１７−１５７３４５号公報

電子デバイスの端子には高価な金が用いられていたが、近年では安価にするため薄い金の下地にパラジウム等の硬い金属が用いられることが多くなっている。このような電子デバイスを対象物とした場合、プローブの一端が絶縁薄膜を破らずに、対象物とプローブとの間の電気抵抗が高くなることがある。

本発明の目的の一例は、プローブを対象物に押し当てた際の対象物とプローブとの間の電気抵抗を低減することにある。本発明の他の目的は、本明細書の記載から明らかになるであろう。

本発明の一態様は、
対象物に押し当てられるプローブであって、
導電性の巻き部材を備え、
前記巻き部材は、前記対象物に押し当てられる際に前記対象物に接触する、プローブである。

本発明の上述した態様によれば、プローブを対象物に押し当てた際の対象物とプローブとの間の電気抵抗を低減することができる。

実施形態１に係るプローブの断面図である。 実施形態１に係る巻き部材の側面図である。 実施形態１に係る巻き部材の下面図である。 実施形態１に係るプローブの動作の一例を説明するための断面図である。 実施形態１に係るプローブの動作の一例を説明するための断面図である。 実施形態１に係るプローブの動作の一例を説明するための断面図である。 実施形態２に係るプローブの動作の一例を説明するための図である。 実施形態２に係るプローブの動作の一例を説明するための図である。 実施形態２に係るプローブの動作の一例を説明するための図である。 実施形態３に係るプローブの動作の一例を説明するための図である。 実施形態３に係るプローブの動作の一例を説明するための図である。 実施形態３に係るプローブの動作の一例を説明するための図である。 変形例１に係るプローブの動作の一例を説明するための図である。 変形例１に係るプローブの動作の一例を説明するための図である。 変形例１に係るプローブの動作の一例を説明するための図である。 変形例２に係る巻き部材の側面図である。 変形例２に係る巻き部材の上面図である。 変形例２に係るプローブの動作の一例を説明するための図である。 変形例２に係るプローブの動作の一例を説明するための図である。

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。

（実施形態１）
図１は、実施形態１に係るプローブ１０の断面図である。図２は、実施形態１に係る巻き部材１００の側面図である。図３は、実施形態１に係る巻き部材１００の下面図である。図４から図６は、実施形態１に係るプローブ１０の動作の一例を説明するための断面図である。図１から図６において、第１方向Ｄ１は、巻き部材１００の荷重方向を示し、例えば、上下方向（例えば、上方向は、図１の上側に向かう方向（プローブ１０から第１対象物２０に向かう方向）であり、下方向は、図１の下側に向かう方向（プローブ１０から第２対象物３０に向かう方向）である。）である。第２方向Ｄ２は、第１方向Ｄ１に交わる方向、具体的には直交する方向を示し、例えば、左右方向（例えば、左方向は、図１においてプローブ１０の左側に向かう方向であり、右方向は、図１においてプローブ１０の右側に向かう方向である。）である。図１及び図４から図６に示す断面は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２に沿ってプローブ１０の中心（例えば、巻き部材１００の複数の巻き部（第１巻き部１０２ａ、第２巻き部１０２ｂ、第３巻き部１０２ｃ及び第４巻き部１０２ｄ）の少なくとも一つの巻き部の中心、第１プランジャ２００の第１突出部２１２の中心又は第２プランジャ３００の第２突出部３２０の中心）を通る断面である。

まず、図１から図３を用いて、巻き部材１００に第１方向Ｄ１の荷重が加わっていない状態におけるプローブ１０を説明する。

プローブ１０の使用時において、プローブ１０は、第１対象物２０と第２対象物３０との間に配置される。プローブ１０の使用時において、プローブ１０は、第１対象物２０及び第２対象物３０に接触する。この場合、第１対象物２０及び第２対象物３０は、プローブ１０を介して電気的に相互に接続される。本実施形態において、第１対象物２０は、電子部品の端子（例えば、パッド）であり、第２対象物３０は、検査回路の端子（例えば、パッド）である。ただし、第１対象物２０は、検査回路の端子（例えば、パッド）であってもよく、第２対象物３０は、電子部品の端子（例えば、パッド）であってもよい。

プローブ１０は、巻き部材１００、第１プランジャ２００、第２プランジャ３００、スプリング４００及び筒体５００を備えている。

第１プランジャ２００は、筒体５００の一端（上端）に取り付けられている。第１プランジャ２００は、第１基部２１０、第１突出部２１２及び基端部２１４を有している。第１突出部２１２は、第１基部２１０から第２プランジャ３００が位置する側の反対側に向けて突出している。基端部２１４は、第１基部２１０を挟んで第１突出部２１２が位置する側の反対側に位置している。基端部２１４は、筒体５００の内部に位置しており、スプリング４００の一端（上端）に接触している。

第２プランジャ３００は、筒体５００の他端（下端）に取り付けられている。第２プランジャ３００は、第２基部３１０及び第２突出部３２０を有している。第２基部３１０は、筒体５００の内部に位置しており、スプリング４００の他端（下端）に接触している。第２突出部３２０は、第２基部３１０から第１プランジャ２００の位置する側の反対側に向けて突出している。プローブ１０の使用時において、第２突出部３２０は、第２対象物３０に接触する。

スプリング４００は、筒体５００の内部に収容されている。スプリング４００は、第１プランジャ２００及び第２プランジャ３００を互いに離れる方向に付勢する。

巻き部材１００は、導電性を有している。例えば、巻き部材１００の少なくとも表面が導電性を有していてもよい。この例において、巻き部材１００を構成する線材（例えば、金属線）の表面に金属（例えば、金メッキ等の金属メッキ）が形成されていてもよい。巻き部材１００を構成する線材は、電気絶縁性を有していてもよいし、又は導電性を有していてもよい。巻き部材１００を構成する線材が導電性を有する場合、巻き部材１００の表面だけでなく、巻き部材１００の内部も、導電性を有することができる。一例において、巻き部材１００は、ピアノ線やベリリウム銅等の抵抗値が低く比較的硬い材料（線材）の表面に金メッキを施したものが望ましい。

巻き部材１００は、スプリング形状を有している。巻き部材１００は、例えば、円錐バネである。具体的には、巻き部材１００は、複数の巻き部、すなわち、第１巻き部１０２ａ、第２巻き部１０２ｂ、第３巻き部１０２ｃ及び第４巻き部１０２ｄを有している。図２及び図３に示すように、第１巻き部１０２ａ、第２巻き部１０２ｂ、第３巻き部１０２ｃ及び第４巻き部１０２ｄは、順に繋がっている。ただし、巻き部の数は、図１から図３に示す例に限定されない。第１巻き部１０２ａ、第２巻き部１０２ｂ、第３巻き部１０２ｃ及び第４巻き部１０２ｄは、第１方向Ｄ１に重なり合っている。第１巻き部１０２ａは、複数の巻き部の一端（上端）に位置している。プローブ１０が第１対象物２０に押し当てられる際、第１巻き部１０２ａは、第１対象物２０に接触する。第２巻き部１０２ｂは、第１方向Ｄ１において、第１巻き部１０２ａからずれて位置している。第３巻き部１０２ｃは、第１方向Ｄ１において第２巻き部１０２ｂから第１巻き部１０２ａが位置する側の反対側に向けてずれて位置している。第４巻き部１０２ｄは、複数の巻き部の他端（下端）に位置している。第４巻き部１０２ｄは、第１方向Ｄ１において第３巻き部１０２ｃから第２巻き部１０２ｂが位置する側の反対側に向けてずれて位置している。図４から図６に示す断面では、第３巻き部１０２ｃ及び第４巻き部１０２ｄは、第２方向Ｄ２の幅が同じである。

第２方向Ｄ２において、第１巻き部１０２ａの中心の位置と第２巻き部１０２ｂの中心の位置とは、互いにずれて位置している。図１に示す断面においては、第１巻き部１０２ａの中心の位置は、第２巻き部１０２ｂの中心の位置に対して、第２方向Ｄ２において右側にずれている。第１巻き部１０２ａの少なくとも一部分は、第２方向Ｄ２において第２巻き部１０２ｂからずれて位置している。具体的には、第１巻き部１０２ａの第２方向Ｄ２の直径は、第２巻き部１０２ｂの第２方向Ｄ２の直径より大きくなっている。第１巻き部１０２ａのうち第１巻き部１０２ａの中心に対して第２方向Ｄ２において両側に位置する２つの部分（例えば、図１に示す断面における第１巻き部１０２ａの２つの部分）は、第２方向Ｄ２において第２巻き部１０２ｂの外側にずれて位置している。

第２巻き部１０２ｂの少なくとも一部分は、第２方向Ｄ２において第３巻き部１０２ｃからずれて位置している。具体的には、第２巻き部１０２ｂの第２方向Ｄ２の直径は、第３巻き部１０２ｃの第２方向Ｄ２の直径より大きくなっている。第２巻き部１０２ｂのうち第２巻き部１０２ｂの中心に対して第２方向Ｄ２において両側に位置する２つの部分（例えば、図１に示す断面における第２巻き部１０２ｂの２つの部分）は、第２方向Ｄ２において第３巻き部１０２ｃの外側にずれて位置している。

第３巻き部１０２ｃ及び第４巻き部１０２ｄは、第１突出部２１２に巻き付けられている。具体的には、第３巻き部１０２ｃ及び第４巻き部１０２ｄは、第１突出部２１２を締め付けている。言い換えると、第３巻き部１０２ｃ及び第４巻き部１０２ｄは、第１突出部２１２に接触している。この場合、第３巻き部１０２ｃ及び第４巻き部１０２ｄの締め付けによって、巻き部材１００が第１突出部２１２から抜けないようになっている。ただし、第３巻き部１０２ｃ及び第４巻き部１０２ｄは、第１突出部２１２を締め付けていなくてもよい。例えば、第３巻き部１０２ｃ及び第４巻き部１０２ｄは、例えば、僅かな隙間を挟んで、第１突出部２１２から離間していてもよい。また、第１突出部２１２に巻き付けられた巻き部は、図１に示す例に限定されない。例えば、巻き部材１００のうちの少なくとも一部（例えば、第４巻き部１０２ｄのみ又は第２巻き部１０２ｂ、第３巻き部１０２ｃ及び第４巻き部１０２ｄの３つの巻き部）が第１突出部２１２に巻き付けられていてもよい。

次に、図４から図６を用いて、プローブ１０の動作の一例を説明する。

まず、図４に示すように、巻き部材１００及び第１対象物２０を互いに対向させる。図４に示す段階では、巻き部材１００及び第１対象物２０は、互いに離間しており、巻き部材１００には、第１方向Ｄ１の荷重（例えば、圧縮荷重又は引張荷重）が加わっていない。この状態において、巻き部材１００の第１巻き部１０２ａは、第１突出部２１２の先端（上端）よりも、第１プランジャ２００の第１基部２１０から離れて位置している。したがって、プローブ１０が第１対象物２０に押し当てられた場合、第１突出部２１２よりも巻き部材１００が先に第１対象物２０に接触する。

次いで、図５に示すように、巻き部材１００を第１対象物２０に向けて押し当てる。図５に示す段階では、第１プランジャ２００の第１突出部２１２の先端が第１対象物２０に接触していない。巻き部材１００を第１対象物２０に向けて押し当てることによって、巻き部材１００が第１方向Ｄ１に圧縮される。この時、巻き部材１００の隣り合う巻き部同士（第１巻き部１０２ａと第２巻き部１０２ｂ、第２巻き部１０２ｂと第３巻き部１０２ｃ又は第３巻き部１０２ｃと第４巻き部１０２ｄ）が互いに接触する。これによって、図５において第１対象物２０から巻き部材１００を介して第１基部２１０にかけて付された矢印で示すように、第１対象物２０と第１プランジャ２００との間で巻き部材１００を介して電流経路が形成される。

図５に示す例では、第３巻き部１０２ｃ及び第４巻き部１０２ｄが第１プランジャ２００の第１突出部２１２に接触している。このため、図５内において巻き部材１００から第１突出部２１２にかけて付された矢印で示すように、電流経路は、第３巻き部１０２ｃ及び第４巻き部１０２ｄと第１突出部２１２との間でも形成されている。

次いで、図６に示すように、巻き部材１００を第１対象物２０に向けてさらに押し当てる。これによって、巻き部材１００がさらに第１方向Ｄ１に圧縮される。

第１巻き部１０２ａの少なくとも一部分は、巻き部材１００への第１方向Ｄ１の圧縮荷重によって、第２巻き部１０２ｂに対して第２方向Ｄ２に移動する。具体的には、第１巻き部１０２ａのうち第１巻き部１０２ａの中心に対して両側に位置する２つの部分（例えば、図６に示す断面における第１巻き部１０２ａの２つの部分）は、巻き部材１００への第１方向Ｄ１の圧縮荷重によって第２方向Ｄ２に沿って第２巻き部１０２ｂの外側に向けて移動する。本実施形態においては、巻き部材１００への第１方向Ｄ１の圧縮荷重によって第１巻き部１０２ａの上記２つの部分を第２方向Ｄ２に沿って第２巻き部１０２ｂの外側に向けて移動させる力が第１巻き部１０２ａの上記２つの部分に対してほぼ同じタイミングで作用する。したがって、第１巻き部１０２ａの上記２つの部分は、ほぼ同じタイミングで第２巻き部１０２ｂの外側に向けて第２巻き部１０２ｂから滑り落ちる。

第１巻き部１０２ａが第２方向Ｄ２に移動することで、第１対象物２０の表面の一部分（第１対象物２０のうち図６内の２つの部分Ｐ）は、巻き部材１００の第１巻き部１０２ａによって引っ掻かれる。すなわち、第１対象物２０に対する第１巻き部１０２ａのスクラブ（ワイピング）が実行される。これによって、第１対象物２０の表面の部分Ｐにおける絶縁薄膜（例えば、酸化膜）が除去される。このため、巻き部材１００（第１巻き部１０２ａ）は、この絶縁薄膜の下地面（絶縁薄膜が除去される前、絶縁薄膜によって覆われている面）に接触する。したがって、第１対象物２０と巻き部材１００との間の電気抵抗を、第１対象物２０の表面の絶縁薄膜が残っている場合と比較して低減することができる。さらに、本実施形態においては、巻き部材１００に第１方向Ｄ１の荷重が加わっていない状態（例えば、図４）において、第２方向Ｄ２に対する第１巻き部１０２ａの傾きが比較的小さくなっており、例えば、この傾きは、後述する実施形態２における第２方向Ｄ２に対する第１巻き部１０２ａの傾き（例えば、図７）より小さくなっている。このため、図６内の２つの部分Ｐのそれぞれの長さは、互いにほぼ等しくなっている。

図６に示す段階において、巻き部材１００のうち第１対象物２０の部分Ｐへの接触部分は、第１方向Ｄ１から見て第１巻き部１０２ａの中心から第１巻き部１０２ａの外側に向かう径方向（例えば、図６に示す断面における第２方向Ｄ２）だけでなく、第１方向Ｄ１から見て第１巻き部１０２ａを構成する線材の延伸方向に沿って当該径方向に交わる周方向（例えば、図６に示す断面において、紙面の手前又は奥に向かって第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２の双方に交わる方向）にも移動する。具体的には、巻き部材１００の上記接触部分が上記径方向に移動すると、巻き部材１００の最上段の巻き部（すなわち、巻き部材１００の上記接触部分）の直径が拡大する。この場合、巻き部材１００の上記接触部分を構成する線材の周長も増大する。巻き部材１００に使用する線材の長さは一定であるため、巻き部材１００の上記接触部分は、上記周方向にも移動する。したがって、第１対象物２０は、上記径方向だけでなく、上記周方向にも引っ掻かれる。

図６に示す例では、第１突出部２１２の先端が第１対象物２０の表面に接触する。すなわち、第１突出部２１２は、巻き部材１００が過大に押しつぶされることを防ぐストッパとして機能している。さらに、第１突出部２１２の先端は、第１対象物２０と導通してもよい。この場合、第１対象物２０は、巻き部材１００だけでなく、第１突出部２１２にも電気的に接続される。さらに、第１突出部２１２の先端には、ストッパとしての抑え部材が設けられていてもよい。

第１巻き部１０２ａが第２方向Ｄ２に移動した後も、巻き部材１００の隣り合う巻き部同士（第１巻き部１０２ａと第２巻き部１０２ｂ、第２巻き部１０２ｂと第３巻き部１０２ｃ又は第３巻き部１０２ｃと第４巻き部１０２ｄ）は、互いに接触したままとなっている。したがって、巻き部材１００によって形成される電流経路は、維持されたままとなっている。

本実施形態において、巻き部材１００の最上段の巻き部（第１巻き部１０２ａ）の少なくとも一部分は、当該最上段の巻き部（第１巻き部１０２ａ）に最隣接する巻き部（第２巻き部１０２ｂ）から第２方向Ｄ２において外側にずれて位置している。ただし、巻き部材１００の最上段の巻き部（第１巻き部１０２ａ）の少なくとも一部分は、当該最上段の巻き部（第１巻き部１０２ａ）に最隣接する巻き部（第２巻き部１０２ｂ）から第２方向Ｄ２において外側にずれて位置しておらず、当該最上段の巻き部（第１巻き部１０２ａ）に最隣接する巻き部（第２巻き部１０２ｂ）と異なる巻き部（例えば、第３巻き部１０２ｃ又は第４巻き部１０２ｄ）から第２方向Ｄ２において外側にずれて位置していてもよい。この場合、例えば、上から２段目の巻き部（第２巻き部１０２ｂ）の少なくとも一部分が上から３段目の巻き部（第３巻き部１０２ｃ）から第２方向Ｄ２において外側にずれて位置しているとき、まず、巻き部材１００への第１方向Ｄ１の圧縮荷重によって、上から２段目の巻き部（第２巻き部１０２ｂ）を上から３段目の巻き部（第３巻き部１０２ｃ）に対して第２方向Ｄ２に沿って外側に移動させることができる。これによって、最上段の巻き部（第１巻き部１０２ａ）の少なくとも一部分は、上から２段目の巻き部（第２巻き部１０２ｂ）から第２方向Ｄ２において外側にずれて位置するようになる。その後、巻き部材１００への第１方向Ｄ１のさらなる圧縮荷重によって最上段の巻き部（第１巻き部１０２ａ）を上から２段目の巻き部（第２巻き部１０２ｂ）に対して第２方向Ｄ２に沿って外側に移動させることができる。

本実施形態においては、巻き部材１００の各巻き部（第１巻き部１０２ａ、第２巻き部１０２ｂ、第３巻き部１０２ｃ及び第４巻き部１０２ｄ）の第２方向Ｄ２の大きさは、巻き部材１００の最上段の巻き部（第１巻き部１０２ａ）から最下段の巻き部（第４巻き部１０２ｄ）にかけて順に小さくなっている。このようにすることで、巻き部材１００のストローク量（ワイピング量）を大きくすることができる。ただし、巻き部材１００の形状は、この例に限定されない。例えば、巻き部材１００の各巻き部の第２方向Ｄ２の大きさは、巻き部材１００の最上段の巻き部（第１巻き部１０２ａ）を除いて、互いに等しくてもよい。この例においては、例えば、巻き部材１００の第２巻き部１０２ｂ、第３巻き部１０２ｃ及び第４巻き部１０２ｄのそれぞれの第２方向Ｄ２の大きさは互いに等しくなっており、第１巻き部１０２ａの第２方向Ｄ２の大きさは、第２巻き部１０２ｂの第２方向Ｄ２の大きさと異なっている。この場合、第１巻き部１０２ａの第２方向Ｄ２の大きさは、第２巻き部１０２ｂの第２方向Ｄ２の大きさより、大きくてもよいし、又は小さくてもよい。

（実施形態２）
図７から図９は、実施形態２に係るプローブ１０の動作の一例を説明するための図である。実施形態２に係るプローブ１０は、以下の点を除いて、実施形態１に係るプローブ１０と同様である。

まず、図７を用いて、巻き部材１００に第１方向Ｄ１の荷重が加わっていない状態におけるプローブ１０を説明する。

第２方向Ｄ２において、第１巻き部１０２ａの中心の位置と第２巻き部１０２ｂの中心の位置とは、互いにずれて位置している。図７に示す断面においては、第１巻き部１０２ａの中心の位置は、第２巻き部１０２ｂの中心の位置に対して、第２方向Ｄ２において右側にずれている。第１巻き部１０２ａの少なくとも一部分は、第２方向Ｄ２において第２巻き部１０２ｂからずれて位置している。具体的には、第１巻き部１０２ａの第２方向Ｄ２の直径は、第２巻き部１０２ｂの第２方向Ｄ２の直径より小さくなっている。第１巻き部１０２ａのうち第１巻き部１０２ａの中心に対して両側に位置する２つの部分（例えば、図７に示す断面における第１巻き部１０２ａの２つの部分）は、第２方向Ｄ２において第２巻き部１０２ｂの内側にずれて位置している。さらに、当該２つの部分のうちの図７内の右側の部分は、当該２つの部分のうちの図７内の左側の部分よりも、第１方向Ｄ１において上方に位置している。

第１プランジャ２００の第１突出部２１２は、第１部分２１２ａ及び第２部分２１２ｂを含んでいる。第１部分２１２ａは、第１基部２１０上に位置している。第２部分２１２ｂは、第１部分２１２ａ上に位置している。第２部分２１２ｂの第２方向Ｄ２の幅は、第１部分２１２ａの第２方向Ｄ２の幅より狭くなっている。

巻き部材１００の最下段の巻き部（第３巻き部１０２ｃ）は、第１突出部２１２の第１部分２１２ａに巻き付けられている。実施形態１において説明した例と同様にして、第３巻き部１０２ｃは、第１基部２１０の第１部分２１２aを締め付けていてもよいし、又は例えば、僅かな隙間を挟んで、第１基部２１０の第１部分２１２aから離間していてもよい。巻き部材１００の最下段の巻き部（第３巻き部１０２ｃ）だけでなく、巻き部材１００の最下段よりも上段の巻き部（例えば、第２巻き部１０２ｂ）も、第１基部２１０の第１部分２１２ａに巻き付けられていてもよい。すなわち、巻き部材１００のうちの少なくとも一の巻き部が第１基部２１０の第１部分２１２ａに巻き付けられていてもよい。

次に、図７から図９を用いて、プローブ１０の動作の一例を説明する。

まず、図７に示すように、巻き部材１００及び第１対象物２０を互いに対向させる。図７に示す段階では、巻き部材１００及び第１対象物２０は、互いに離間しており、巻き部材１００には、第１方向Ｄ１の荷重（例えば、圧縮荷重又は引張荷重）が加わっていない。この状態において、巻き部材１００の第１巻き部１０２ａは、第１突出部２１２の先端（上端）、すなわち、第２部分２１２ｂの先端（上端）よりも、第１プランジャ２００の第１基部２１０から離れて位置している。

次いで、図８に示すように、巻き部材１００を第１対象物２０に向けて押し当てる。図８に示す段階では、第１プランジャ２００の第１突出部２１２の先端が第１対象物２０に接触していない。巻き部材１００を第１対象物２０に向けて押し当てることによって、巻き部材１００が第１方向Ｄ１に圧縮される。この時、巻き部材１００の中心に対して一方の側（図８の右側）において、巻き部材１００の隣り合う巻き部同士（第１巻き部１０２ａと第２巻き部１０２ｂ又は第２巻き部１０２ｂと第３巻き部１０２ｃ）が互いに接触する。これによって、図８において第１対象物２０から巻き部材１００を介して第１基部２１０にかけて付された矢印で示すように、巻き部材１００の中心に対して一方の側（図８の右側）において、第１対象物２０と第１プランジャ２００との間で巻き部材１００を介して電流経路が形成される。

次いで、図９に示すように、巻き部材１００を第１対象物２０に向けてさらに押し当てる。これによって、巻き部材１００がさらに第１方向Ｄ１に圧縮される。

第１巻き部１０２ａの少なくとも一部分は、巻き部材１００への第１方向Ｄ１の圧縮荷重によって、第２巻き部１０２ｂに対して第２方向Ｄ２に移動する。具体的には、第１巻き部１０２ａのうち第１巻き部１０２ａの中心に対して両側に位置する２つの部分（例えば、図９に示す断面における第１巻き部１０２ａの２つの部分）は、巻き部材１００への第１方向Ｄ１の圧縮荷重によって第２方向Ｄ２に沿って第２巻き部１０２ｂの内側に向けて移動する。本実施形態においては、巻き部材１００への第１方向Ｄ１の圧縮荷重によって第１巻き部１０２ａの上記２つの部分を第２方向Ｄ２に沿って第２巻き部１０２ｂの内側に向けて移動させる力が第１巻き部１０２ａの上記２つの部分に対してほぼ同じタイミングで作用する。したがって、第１巻き部１０２ａの上記２つの部分は、ほぼ同じタイミングで第２巻き部１０２ｂの内側に向けて第２巻き部１０２ｂから滑り落ちる。

第１巻き部１０２ａが第２方向Ｄ２に移動することで、第１対象物２０の表面の一部分（第１対象物２０のうち図９内の２つの部分Ｐ）は、巻き部材１００の第１巻き部１０２ａによって引っ掻かれる。すなわち、第１対象物２０に対する第１巻き部１０２ａのスクラブ（ワイピング）が実行される。これによって、第１対象物２０の表面の部分Ｐにおける絶縁薄膜（例えば、酸化膜）が除去される。このため、巻き部材１００（第１巻き部１０２ａ）は、この絶縁薄膜の下地面（絶縁薄膜が除去される前、絶縁薄膜によって覆われている面）に接触する。したがって、第１対象物２０と巻き部材１００との間の電気抵抗を、第１対象物２０の表面の絶縁薄膜が残っている場合と比較して低減することができる。さらに、本実施形態においては、巻き部材１００に第１方向Ｄ１の荷重が加わっていない状態（例えば、図７）において、第２方向Ｄ２に対する第１巻き部１０２ａの傾きが比較的大きくなっており、例えば、この傾きは、実施形態１における第２方向Ｄ２に対する第１巻き部１０２ａの傾き（例えば、図４）より大きくなっている。このため、図９内の２つの部分Ｐのそれぞれの長さは、互いに異なっている。具体的には、図９内の右側の部分Ｐの長さは、図９内の左側の部分Ｐの長さより長くなっている。

図９に示す段階では、実施形態１と同様にして、巻き部材１００のうち第１対象物２０の部分Ｐへの接触部分は、第１方向Ｄ１から見て第１巻き部１０２ａの中心から第１巻き部１０２ａの外側に向かう径方向（例えば、図９に示す断面における第２方向Ｄ２）だけでなく、第１方向Ｄ１から見て第１巻き部１０２ａを構成する線材の延伸方向に沿って当該径方向に交わる周方向（例えば、図９に示す断面において、紙面の手前又は奥に向かって第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２の双方に交わる方向）にも移動する。

図９に示す例では、第１突出部２１２の第２部分２１２ｂの先端が第１対象物２０の表面に接触する。すなわち、第１突出部２１２は、巻き部材１００が過大に押しつぶされることを防ぐストッパとして機能している。さらに、第１突出部２１２の第２部分２１２ｂの先端は、第１対象物２０と導通してもよい。この場合、第１対象物２０は、巻き部材１００だけでなく、第１突出部２１２にも電気的に接続される。

第１巻き部１０２ａが第２方向Ｄ２に移動した後、巻き部材１００の中心に対して両側において、巻き部材１００の隣り合う巻き部同士（第１巻き部１０２ａと第２巻き部１０２ｂ又は第２巻き部１０２ｂと第３巻き部１０２ｃ）は互いに接触する。したがって、図９において第１対象物２０から巻き部材１００を介して第１基部２１０にかけて付された矢印で示すように、巻き部材１００の中心に対して両側において、第１対象物２０と第１プランジャ２００の第１基部２１０との間で巻き部材１００を介して電流経路が形成される。

（実施形態３）
図１０から図１２は、実施形態３に係るプローブ１０の動作の一例を説明するための図である。実施形態３に係るプローブ１０は、以下の点を除いて、実施形態２に係るプローブ１０と同様である。

まず、図１０を用いて、巻き部材１００に第１方向Ｄ１の荷重が加わっていない状態におけるプローブ１０を説明する。

第２方向Ｄ２において、第１巻き部１０２ａの中心の位置と第２巻き部１０２ｂの中心の位置とは、互いにずれて位置している。図１０に示す断面においては、第１巻き部１０２ａの中心の位置は、第２巻き部１０２ｂの中心の位置に対して、第２方向Ｄ２において右側にずれている。第１巻き部１０２ａの少なくとも一部分は、第２方向Ｄ２において第２巻き部１０２ｂからずれて位置している。具体的には、第１巻き部１０２ａの第２方向Ｄ２の直径は、第２巻き部１０２ｂの第２方向Ｄ２の直径より小さくなっている。第１巻き部１０２ａのうち第１巻き部１０２ａの中心に対して両側に位置する２つの部分（例えば、図１０に示す断面における第１巻き部１０２ａの２つの部分）は、第２方向Ｄ２において第２巻き部１０２ｂの内側にずれて位置している。

第１プランジャ２００の第１突出部２１２の第１部分２１２ａの側面は、第１基部２１０から第２部分２１２ｂに向かうにつれて第１部分２１２ａの第２方向Ｄ２の幅が狭くなるように傾いている。

次に、図１０から図１２を用いて、プローブ１０の動作の一例を説明する。

まず、図１０に示すように、巻き部材１００及び第１対象物２０を互いに対向させる。図１０に示す段階では、巻き部材１００及び第１対象物２０は、互いに離間しており、巻き部材１００には、第１方向Ｄ１の荷重（例えば、圧縮荷重又は引張荷重）が加わっていない。

次いで、図１１に示すように、巻き部材１００を第１対象物２０に向けて押し当てる。図１１に示す段階では、第１プランジャ２００の第１突出部２１２の先端が第１対象物２０に接触していない。巻き部材１００を第１対象物２０に向けて押し当てることによって、巻き部材１００が第１方向Ｄ１に圧縮される。この時、巻き部材１００の中心に対して一方の側（図１１の右側）において、巻き部材１００の隣り合う巻き部同士（第１巻き部１０２ａと第２巻き部１０２ｂ又は第２巻き部１０２ｂと第３巻き部１０２ｃ）が互いに接触する。これによって、図１１において第１対象物２０から巻き部材１００を介して第１基部２１０にかけて付された矢印で示すように、巻き部材１００の中心に対して一方の側（図１１の右側）において、第１対象物２０と第１プランジャ２００との間で巻き部材１００を介して電流経路が形成される。

次いで、図１２に示すように、巻き部材１００を第１対象物２０に向けてさらに押し当てる。これによって、巻き部材１００がさらに第１方向Ｄ１に圧縮される。

第１巻き部１０２ａの少なくとも一部分は、巻き部材１００への第１方向Ｄ１の圧縮荷重によって、第２巻き部１０２ｂに対して第２方向Ｄ２に移動する。具体的には、第１巻き部１０２ａのうち第１巻き部１０２ａの中心に対して一方の側に位置する部分（図１２に示す断面における第１巻き部１０２ａの左側部分）は、巻き部材１００への第１方向Ｄ１の圧縮荷重によって第２方向Ｄ２に沿って第２巻き部１０２ｂの内側に向けて移動する。一方、第１巻き部１０２ａのうち第１巻き部１０２ａの中心に対して他方の側に位置する部分（図１２に示す断面における第１巻き部１０２ａの右側部分）は、巻き部材１００への第１方向Ｄ１の圧縮荷重によって第２方向Ｄ２に沿って第２巻き部１０２ｂの外側に向けて移動する。本実施形態においては、第１巻き部１０２ａの中心の位置と第２巻き部１０２ｂの中心の位置とが互いにずれている。このため、第１巻き部１０２ａの上記右側部分は、第２巻き部１０２ｂのうち第２巻き部１０２ｂの中心に対して右側に位置する部分（図１２に示す断面における第２巻き部１０２ｂの右側部分）と、ほぼ第１方向Ｄ１において重なっている。したがって、第１巻き部１０２ａの上記右側部分に第１対象物２０から第１方向Ｄ１の圧縮荷重が加わっても第１巻き部１０２ａの上記右側部分はすぐには第２巻き部１０２ｂの上記右側部分から滑り落ちない。したがって、第１巻き部１０２ａの上記右側部分が滑り落ちる前に、第１巻き部１０２ａの上記左側部分が第２巻き部１０２ｂの内側に向けて滑り落ちる。これによって、第１巻き部１０２ａの全体が第２方向Ｄ２に沿って右側に向けて移動し、第１巻き部１０２ａの上記右側部分も第２方向Ｄ２に沿って右側に移動する。さらに、第１巻き部１０２ａの上記右側部分は、第２巻き部１０２ｂの上記右側部分を斜め左下に向けて押し込む。これによって、第２巻き部１０２ｂの上記右側部分は、第１突出部２１２の第１部分２１２ａに接触する。

第１巻き部１０２ａが第２方向Ｄ２に移動することで、第１対象物２０の表面の一部分（第１対象物２０のうち図１２内の２つの部分Ｐ）は、巻き部材１００の第１巻き部１０２ａによって引っ掻かれる。すなわち、第１対象物２０に対する第１巻き部１０２ａのスクラブ（ワイピング）が実行される。これによって、第１対象物２０の表面の部分Ｐにおける絶縁薄膜（例えば、酸化膜）が除去される。このため、巻き部材１００（第１巻き部１０２ａ）は、この絶縁薄膜の下地面（絶縁薄膜が除去される前、絶縁薄膜によって覆われている面）に接触する。したがって、第１対象物２０と巻き部材１００との間の電気抵抗を、第１対象物２０の表面の絶縁薄膜が残っている場合と比較して低減することができる。

図１２に示す段階では、実施形態１と同様にして、巻き部材１００のうち第１対象物２０の部分Ｐへの接触部分は、第１方向Ｄ１から見て第１巻き部１０２ａの中心から第１巻き部１０２ａの外側に向かう径方向（例えば、図１２に示す断面における第２方向Ｄ２）だけでなく、第１方向Ｄ１から見て第１巻き部１０２ａを構成する線材の延伸方向に沿って当該径方向に交わる周方向（例えば、図１２に示す断面において、紙面の手前又は奥に向かって第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２の双方に交わる方向）にも移動する。

第１巻き部１０２ａが第２方向Ｄ２に移動した後、巻き部材１００の中心に対して両側において、巻き部材１００の隣り合う巻き部同士（第１巻き部１０２ａと第２巻き部１０２ｂ又は第２巻き部１０２ｂと第３巻き部１０２ｃ）は互いに接触する。したがって、図１２において第１対象物２０から巻き部材１００を介して第１基部２１０にかけて付された矢印で示すように、巻き部材１００の中心に対して両側において、第１対象物２０と第１プランジャ２００の第１基部２１０との間で巻き部材１００を介して電流経路が形成される。さらに、本実施形態では、第２巻き部１０２ｂの上記右側部分が第１突出部２１２の第１部分２１２ａに接触している。したがって、図１２において第２巻き部１０２ｂの上記右側部分から第１部分２１２ａにかけて付された矢印で示すように、巻き部材１００と第１プランジャ２００の第１突出部２１２との間でも電流経路が形成される。

本実施形態においては、第１巻き部１０２ａの直径は、第２巻き部１０２ｂの直径より大きくなっている。ただし、第１巻き部１０２ａの直径は、第２巻き部１０２ｂの直径と等しくてもよい。この場合において、第２方向Ｄ２において、第１巻き部１０２ａの中心の位置と第２巻き部１０２ｂの中心の位置とが互いにずれているとき、巻き部材１００は、図１０から図１２に示した動作と同様の動作をとることができる。

本実施形態においては、巻き部材１００に第１方向Ｄ１の荷重が加わっていない状態において、第１巻き部１０２ａのうち第１巻き部１０２ａの中心に対して両側に位置する２つの部分（例えば、図１０に示す断面における第１巻き部１０２ａの２つの部分）は、第２方向Ｄ２において第２巻き部１０２ｂの内側にずれて位置している。ただし、巻き部材１００に第１方向Ｄ１の荷重が加わっていない状態において、第１巻き部１０２ａの上記２つの部分の一方は、第２方向Ｄ２において第２巻き部１０２ｂの内側にずれて位置し、第１巻き部１０２ａの上記２つの部分の他方は、第２方向Ｄ２において第２巻き部１０２ｂの外側にずれて位置していてもよい。この場合においても、本実施形態と同様にして、第１巻き部１０２ａの上記２つの部分を互いに異なるタイミングで第２巻き部１０２ｂから滑り落とすことができる。また、巻き部材１００に第１方向Ｄ１の荷重が加わっていない状態において、第１巻き部１０２ａの上記２つの部分の一方は、第２方向Ｄ２において第２巻き部１０２ｂの内側又は外側にずれて位置し、第１巻き部１０２ａの上記２つの部分の他方は、第２方向Ｄ２において第２巻き部１０２ｂと揃っていてもよい。この場合においても、本実施形態と同様にして、第１巻き部１０２ａの上記２つの部分の上記一方を第２巻き部１０２ｂから滑り落として、その後、第１巻き部１０２ａの上記２つの部分の上記他方を第２巻き部１０２ｂから滑り落とすことができる。

（変形例１）
図１３から図１５は、変形例１に係るプローブ１０の動作の一例を説明するための図である。変形例１に係るプローブ１０は、以下の点を除いて、実施形態１に係るプローブ１０と同様である。

まず、図１３を用いて、巻き部材１００に第１方向Ｄ１の荷重が加わっていない状態におけるプローブ１０を説明する。

巻き部材１００は、第１巻き部１０２ａ、第２巻き部１０２ｂ、第３巻き部１０２ｃ、第４巻き部１０２ｄ及び第５巻き部１０２ｅを有している。ただし、巻き部材１００の巻き部の数は、図１３に示す例に限定されない。第２方向Ｄ２において、第１巻き部１０２ａの中心の位置と第２巻き部１０２ｂの中心の位置とは、互いにずれて位置している。図１３に示す断面においては、第１巻き部１０２ａの中心の位置は、第２巻き部１０２ｂの中心の位置に対して、第２方向Ｄ２において右側にずれている。第１巻き部１０２ａの直径は、第２巻き部１０２ｂの直径より大きくなっている。第２巻き部１０２ｂの直径は、第３巻き部１０２ｃの直径と等しくなっている。第３巻き部１０２ｃの直径は、第４巻き部１０２ｄの直径より小さくなっている。第４巻き部１０２ｄの直径は、第５巻き部１０２ｅの直径より小さくなっている。

プローブ１０は、収容体６００をさらに備えている。収容体６００は、第１プランジャ２００上に位置している。収容体６００は、内壁６１２を有している。内壁６１２は、巻き部材１００の一部が収容される収容空間を画定している。巻き部材１００の第１巻き部１０２ａは、収容体６００の収容空間から突出している。したがって、プローブ１０が第１対象物２０に押し当てられた場合、収容体６００よりも巻き部材１００が先に第１対象物２０に接触する。

次に、図１３から図１５を用いて、プローブ１０の動作の一例を説明する。

まず、図１３に示すように、巻き部材１００及び第１対象物２０を互いに対向させる。図１３に示す段階では、巻き部材１００及び第１対象物２０は、互いに離間しており、巻き部材１００には、第１方向Ｄ１の荷重（例えば、圧縮荷重又は引張荷重）が加わっていない。

次いで、図１４に示すように、巻き部材１００を第１対象物２０に向けて押し当てる。これによって、巻き部材１００が第１方向Ｄ１に圧縮される。この時、巻き部材１００の隣り合う巻き部同士（第１巻き部１０２ａと第２巻き部１０２ｂ、第２巻き部１０２ｂと第３巻き部１０２ｃ、第３巻き部１０２ｃと第４巻き部１０２ｄ又は第４巻き部１０２ｄと第５巻き部１０２ｅ）が互いに接触する。これによって、図１４において第１対象物２０から巻き部材１００を介して第１基部２１０にかけて付された矢印で示すように、第１対象物２０と第１プランジャ２００との間で巻き部材１００を介して電流経路が形成される。

第１巻き部１０２ａの少なくとも一部分は、巻き部材１００への第１方向Ｄ１の圧縮荷重によって、第２巻き部１０２ｂに対して第２方向Ｄ２に移動する。具体的には、第１巻き部１０２ａのうち第１巻き部１０２ａの中心に対して両側に位置する２つの部分（例えば、図１４に示す断面における第１巻き部１０２ａの２つの部分）は、巻き部材１００への第１方向Ｄ１の圧縮荷重によって第２方向Ｄ２に沿って第２巻き部１０２ｂの外側に向けて移動する。本実施形態においては、巻き部材１００への第１方向Ｄ１の圧縮荷重によって第１巻き部１０２ａの上記２つの部分を第２方向Ｄ２に沿って第２巻き部１０２ｂの外側に向けて移動させる力が第１巻き部１０２ａの上記２つの部分に対してほぼ同じタイミングで作用する。したがって、第１巻き部１０２ａの上記２つの部分は、ほぼ同じタイミングで第２巻き部１０２ｂの外側に向けて第２巻き部１０２ｂから滑り落ちる。

第１巻き部１０２ａが第２方向Ｄ２に移動することで、第１対象物２０の表面の一部分（第１対象物２０のうち図１４内の２つの部分Ｐ）は、巻き部材１００の第１巻き部１０２ａによって引っ掻かれる。すなわち、第１対象物２０に対する第１巻き部１０２ａのスクラブ（ワイピング）が実行される。これによって、第１対象物２０の表面の部分Ｐにおける絶縁薄膜（例えば、酸化膜）が除去される。このため、巻き部材１００（第１巻き部１０２ａ）は、この絶縁薄膜の下地面（絶縁薄膜が除去される前、絶縁薄膜によって覆われている面）に接触する。したがって、第１対象物２０と巻き部材１００との間の電気抵抗を、第１対象物２０の表面の絶縁薄膜が残っている場合と比較して低減することができる。

図１４に示す段階では、実施形態１と同様にして、巻き部材１００のうち第１対象物２０の部分Ｐへの接触部分は、第１方向Ｄ１から見て第１巻き部１０２ａの中心から第１巻き部１０２ａの外側に向かう径方向（例えば、図１２に示す断面における第２方向Ｄ２）だけでなく、第１方向Ｄ１から見て第１巻き部１０２ａを構成する線材の延伸方向に沿って当該径方向に交わる周方向（例えば、図１２に示す断面において、紙面の手前又は奥に向かって第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２の双方に交わる方向）にも移動する。

次いで、図１５に示すように、巻き部材１００を第１対象物２０に向けてさらに押し当てる。これによって、巻き部材１００が第１方向Ｄ１にさらに圧縮される。

第５巻き部１０２ｅは、巻き部材１００への第１方向Ｄ１の圧縮荷重によって、収容体６００の内壁６１２に接触する。したがって、巻き部材１００の第５巻き部１０２ｅと収容体６００の内壁６１２との間の静止摩擦力によって、巻き部材１００を収容体６００に対して固定することができる。本実施形態においては、巻き部材１００への第１方向Ｄ１の圧縮荷重によって、第５巻き部１０２ｅの上段の巻き部（第４巻き部１０２ｄ）が第５巻き部１０２ｅの内側に向けて第５巻き部１０２ｅから滑り落ちる。これによって、第５巻き部１０２ｅの直径が拡大する。

図１５に示す例では、収容体６００の先端（上面）が第１対象物２０の表面に接触する。すなわち、収容体６００は、巻き部材１００が過大に押しつぶされることを防ぐストッパとして機能している。さらに、収容体６００の先端（上面）は、第１対象物２０と導通してもよい。この場合、第１対象物２０は、巻き部材１００だけでなく、収容体６００にも電気的に接続される。

図１５に示す段階においても、巻き部材１００の隣り合う巻き部同士（第１巻き部１０２ａと第２巻き部１０２ｂ、第２巻き部１０２ｂと第３巻き部１０２ｃ、第３巻き部１０２ｃと第４巻き部１０２ｄ又は第４巻き部１０２ｄと第５巻き部１０２ｅ）は、互いに接触したままとなっている。したがって、巻き部材１００によって形成される電流経路は、維持されたままとなっている。

本実施形態において、巻き部材１００の最下段の巻き部（第５巻き部１０２ｅ）が収容体６００の内壁６１２に接触している。ただし、巻き部材１００の最下段の巻き部（第５巻き部１０２ｅ）と異なる巻き部（例えば、第４巻き部１０２ｄ）が収容体６００の内壁６１２に接触してもよい。

本実施形態において、巻き部材１００は、５つの巻き部を有している。ただし、巻き部材１００の巻き部の数は、以下のとおり、５つに限定されるものではない。

一例において、巻き部材１００は、３つのみの巻き部を有していてもよい。この例においては、最上段の巻き部の直径及び最下段の巻き部の直径のそれぞれは、中央段の巻き部の直径より大きくなる。この場合、最上段の巻き部は、巻き部材１００への第１方向Ｄ１の圧縮荷重によって、中央段の巻き部の外側に滑り落ちて、第２方向Ｄ２に移動し、第１対象物２０の表面を引っ掻くことができる。さらに、最下段の巻き部は、巻き部材１００への第１方向Ｄ１の圧縮荷重によって中央段の巻き部が最下段の巻き部の内側に滑り落ちることで最下段の巻き部の第２方向Ｄ２の直径が拡大し、収容体６００の内壁６１２に接触することができる。

他の例において、巻き部材１００は、２つのみの巻き部を有していてもよい。この例においては、上段の巻き部の第２方向Ｄ２の直径は、下段の巻き部の第２方向Ｄ２の直径より小さくなる。この場合、上段の巻き部は、巻き部材１００への第１方向Ｄ１の圧縮荷重によって、下段の巻き部の内側に滑り落ちて、第２方向Ｄ２に移動し、第１対象物２０の表面を引っ掻くことができる。さらに、下段の巻き部は、上段の巻き部が下段の巻き部の内側に滑り落ちることで下段の巻き部の第２方向Ｄ２の直径が拡大し、収容体６００の内壁６１２に接触することができる。

（変形例２）
図１６は、変形例２に係る巻き部材１００の側面図である。図１７は、変形例２に係る巻き部材１００の上面図である。図１８及び図１９は、変形例２に係るプローブ１０の動作の一例を説明するための図である。変形例２に係るプローブ１０は、以下の点を除いて、実施形態１に係るプローブ１０と同様である。

まず、図１６から図１８を用いて、巻き部材１００に第１方向Ｄ１の荷重が加わっていない状態におけるプローブ１０を説明する。

巻き部材１００は、単一の巻き部を有している。この巻き部（巻き部材１００）は、プローブ１０が第１対象物２０に押し当てられる際に第１対象物２０に接触する。巻き部材１００は、Ｃリング形状を有している。すなわち、巻き部材１００は、円状に延伸しており、当該円の一部分において途切れている。ただし、巻き部材１００の形状は、図１６及び図１７に示す例に限定されない。巻き部材１００は、一部分において途切れ、かつ任意の形状（例えば、多角形（例えば、矩形等の四角形）又は楕円）を囲むように延伸していてもよい。

巻き部材１００は、第１プランジャ２００の第１突出部２１２を囲むように延伸している。巻き部材１００は、第１プランジャ２００の第１突出部２１２の側面上に位置している。第１突出部２１２の側面は、第１基部２１０に近づくにつれて第１突出部２１２の第２方向Ｄ２の幅が広がるように傾いている。

次に、図１８及び図１９を用いて、プローブ１０の動作の一例を説明する。

まず、図１８に示すように、巻き部材１００及び第１対象物２０を互いに対向させる。図１８に示す段階では、巻き部材１００及び第１対象物２０は、互いに離間しており、巻き部材１００には、第１方向Ｄ１の荷重（例えば、圧縮荷重又は引張荷重）が加わっていない。この状態において、巻き部材１００は、第１突出部２１２の先端（上面）よりも、第１プランジャ２００の第１基部２１０から離れて位置している。したがって、プローブ１０が第１対象物２０に押し当てられた場合、第１突出部２１２よりも巻き部材１００が先に第１対象物２０に接触する。

次いで、図１９に示すように、巻き部材１００を第１対象物２０に向けて押し当てる。これによって、巻き部材１００が第１突出部２１２の傾いた側面を滑り落ちる。すなわち、巻き部材１００のうち巻き部材１００の中心に対して両側に位置する２つの部分（例えば、図１９に示す断面における巻き部材１００の２つの部分）は、巻き部材１００への第１方向Ｄ１の圧縮荷重によって第２方向Ｄ２に沿って第１突出部２１２の外側に向けて移動する。すなわち、巻き部材１００は、巻き部材１００によって囲まれた開口（Ｃリングによって囲まれた開口）が巻き部材１００の外側に向けて広がるように、第１突出部２１２の傾いた側面を滑り落ちる。

巻き部材１００が第２方向Ｄ２に移動することで、第１対象物２０の表面の一部分（第１対象物２０のうち図１９内の２つの部分Ｐ）は、巻き部材１００によって引っ掻かれる。すなわち、第１対象物２０に対する巻き部材１００のスクラブ（ワイピング）が実行される。これによって、第１対象物２０の表面の部分Ｐにおける絶縁薄膜（例えば、酸化膜）が除去される。このため、巻き部材１００は、この絶縁薄膜の下地面（絶縁薄膜が除去される前、絶縁薄膜によって覆われている面）に接触する。したがって、第１対象物２０と巻き部材１００との間の電気抵抗を、第１対象物２０の表面の絶縁薄膜が残っている場合と比較して低減することができる。

図１９に示す例では、第１突出部２１２の先端（上面）が第１対象物２０の表面に接触する。すなわち、第１突出部２１２は、巻き部材１００が過大に押しつぶされることを防ぐストッパとして機能している。さらに、第１突出部２１２の先端（上端）は、第１対象物２０と導通してもよい。この場合、第１対象物２０は、巻き部材１００だけでなく、第１突出部２１２にも電気的に接続される。

図１９に示す例において、巻き部材１００は、第１プランジャ２００の第１基部２１０及び第１突出部２１２の双方に接触している。したがって、巻き部材１００は、第１プランジャ２００の第１基部２１０及び第１突出部２１２の双方に導通することができる。

以上、図面を参照して本発明の実施形態及び変形例について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。

１０ プローブ
２０ 第１対象物
３０ 第２対象物
１００ 巻き部材
１０２ａ 第１巻き部
１０２ｂ 第２巻き部
１０２ｃ 第３巻き部
１０２ｄ 第４巻き部
１０２ｅ 第５巻き部
２００ 第１プランジャ
２１０ 第１基部
２１２ 第１突出部
２１２ａ 第１部分
２１２ｂ 第２部分
２１４ 基端部
３００ 第２プランジャ
３１０ 第２基部
３２０ 第２突出部
４００ スプリング
５００ 筒体
６００ 収容体
６１２ 内壁
Ｄ１ 第１方向
Ｄ２ 第２方向
Ｐ 部分

Claims (10)

1. 対象物に押し当てられるプローブであって、
   導電性の巻き部材を備え、
   前記巻き部材は、前記対象物に押し当てられる際に前記対象物に接触する、プローブ。
2. 前記巻き部材は、第１巻き部と、第１方向において前記第１巻き部からずれて位置する第２巻き部と、を有し、
   前記第１方向に交わる第２方向において、前記第１巻き部の中心の位置と前記第２巻き部の中心の位置とは互いにずれて位置している、請求項１に記載のプローブ。
3. 前記第１巻き部の少なくとも一部分は、前記第２方向において前記第２巻き部からずれて位置している、請求項２に記載のプローブ。
4. 前記第１巻き部の直径は、前記第２巻き部の直径と異なっている、請求項２又は３に記載のプローブ。
5. 第１基材と、前記第１基材から突出した第１突出部と、を有する第１プランジャをさらに備え、
   前記巻き部材のうちの少なくとも一部は、前記第１突出部に巻き付けられている、請求項２から４までのいずれか一項に記載のプローブ。
6. 前記巻き部材に前記第１方向の荷重が加わらない状態において、前記巻き部材の前記第１巻き部は、前記第１突出部の先端よりも、前記第１プランジャの前記第１基材から離れて位置している、請求項５に記載のプローブ。
7. 前記巻き部材の一部分が収容される収容空間を画定する内壁を有する収容体をさらに備え、
   前記巻き部材に前記第１方向の荷重が加わらない状態において、前記巻き部材の前記第１巻き部は、前記収容体の前記収容空間から突出している、請求項２から４までのいずれか一項に記載のプローブ。
8. 前記巻き部材に前記第１方向の荷重が加わらない状態において、前記第１巻き部のうち前記第１巻き部の中心に対して両側に位置する２つの部分は、前記第２方向において前記第２巻き部の外側にずれて位置している、請求項２から７までのいずれか一項に記載のプローブ。
9. 前記巻き部材に前記第１方向の荷重が加わらない状態において、前記第１巻き部のうち前記第１巻き部の中心に対して両側に位置する２つの部分は、前記第２方向において前記第２巻き部の内側にずれて位置している、請求項２から７までのいずれか一項に記載のプローブ。
10. 第１基材と、前記第１基材から突出した第１突出部と、を有する第１プランジャをさらに備え、
    前記巻き部材は、一部分において途切れ、かつ前記第１プランジャの前記第１突出部を囲むように延伸している、請求項１に記載のプローブ。

Images