JP2021027314A - 半導体光増幅器アレイ素子 - Google Patents
半導体光増幅器アレイ素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021027314A JP2021027314A JP2020011120A JP2020011120A JP2021027314A JP 2021027314 A JP2021027314 A JP 2021027314A JP 2020011120 A JP2020011120 A JP 2020011120A JP 2020011120 A JP2020011120 A JP 2020011120A JP 2021027314 A JP2021027314 A JP 2021027314A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor optical
- optical amplifier
- semiconductor
- array element
- input
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 323
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 238
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 15
- 230000004913 activation Effects 0.000 abstract 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 18
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 13
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 12
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 239000010408 film Substances 0.000 description 10
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 6
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 6
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 210000001503 joint Anatomy 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000000427 thin-film deposition Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
Description
図1は、実施形態1に係る半導体光増幅器アレイ素子の模式的な平面図である。
つぎに、半導体光増幅器アレイ素子100の作製方法の一例について説明する。まず、ウェハ状の基板100aの表面にn型InPからなるバッファ層を結晶成長し、つづいて、エッチングストップ層100m、クラッド層100b、活性層、p型InP層を順に結晶成長する。
ここで、参考形態として、図3に示す構成の半導体光増幅器アレイ素子1000を検討する。
図4は、実施形態4に係る半導体光増幅器アレイ素子の模式的な平面図である。
図5は、実施形態3に係る光モジュールの模式的な構成図である。光モジュール500は、実施形態1に係る半導体光増幅器アレイ素子100と、レーザ光源等のCW光源300と、InP変調器等の変調器400と、を備えている。
100a 基板
100b、100f クラッド層
100ba ストライプメサ部
100c、110ca、110cb、120ca、120cb、110Aca、110Acb、110Bca、110Bcb、120Aca、120Acb、120Bca、120Bcb 活性層
100d 第1電流ブロック層
100e 第2電流ブロック層
100g コンタクト層
100i パッシベーション膜
100l、110j、120j、110Aj、110Bj、120Aj、120Bj 給電部
100k n側コンタクト電極
100m エッチングストップ層
101、201 端面
110、120、110A、110B、120A、120B 半導体光増幅器
110ca1、110cb1、120ca1、120cb1、110Aca1、110Acb1、110Bca1、110Bcb1、120Aca1、120Acb1、120Bca1、120Bcb1 活性領域
110h p側コンタクト電極
111、121、111A、111B、121A、121B 能動部
111a、111b、121a、121b、111Aa、111Ab、111Ba、111Bb、121Aa、121Ab、121Ba、121Bb 光入出力ポート
112、112A、112B、122、122A、122B 受動部
131、132、133、231、232、233、234、235 トレンチ溝
141、142 物理接触領域
300 CW光源
400 変調器
500 光モジュール
L1、L2、L3、L4、L1A、L1B、L2A、L2B、L3A、L3B、L4A、L4B 光
Claims (3)
- 基板と、
前記基板上に形成されており、それぞれが活性領域を有する複数の半導体光増幅器と、
を備え、
前記複数の半導体光増幅器がそれぞれ有する2つの光入出力ポートは、いずれも前記活性領域のそれぞれに光学的に接続するとともに、いずれも当該半導体光増幅器アレイ素子の同一の端面に設けられており、
前記複数の半導体光増幅器は、前記活性領域の長さが第1長さである第1半導体光増幅器と、前記活性領域の長さが前記第1長さとは異なる第2長さの第2半導体光増幅器と、を含む
半導体光増幅器アレイ素子。 - 前記複数の半導体光増幅器は、前記2つの光入出力ポートの間に、光路が実質的に180度の角度で折り返しをする導波路で構成されている折り返し部を有する
請求項1に記載の半導体光増幅器アレイ素子。 - 前記第1半導体光増幅器の前記第1長さは、前記第2半導体光増幅器の前記第2長さより長く、
前記第1半導体光増幅器の光入出力ポートは、連続光が入力され、前記第2半導体光増幅器の光入出力ポートは、変調光が入力される
請求項1または2に記載の半導体光増幅器アレイ素子。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2020/029723 WO2021024997A1 (ja) | 2019-08-02 | 2020-08-03 | 半導体光増幅器アレイ素子 |
CN202080055291.8A CN114342193A (zh) | 2019-08-02 | 2020-08-03 | 半导体光放大器阵列元件 |
US17/583,531 US20220149597A1 (en) | 2019-08-02 | 2022-01-25 | Semiconductor optical amplifier array device |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201962882369P | 2019-08-02 | 2019-08-02 | |
US62/882,369 | 2019-08-02 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021027314A true JP2021027314A (ja) | 2021-02-22 |
Family
ID=74664852
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020011120A Pending JP2021027314A (ja) | 2019-08-02 | 2020-01-27 | 半導体光増幅器アレイ素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2021027314A (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002532909A (ja) * | 1998-12-11 | 2002-10-02 | ブックハム テクノロジー ピーエルシー | 半導体光増幅器 |
JP2008250019A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光集積回路および光集積回路モジュール |
JP2009117539A (ja) * | 2007-11-05 | 2009-05-28 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光半導体素子及び光半導体素子の製造方法 |
JP2013058628A (ja) * | 2011-09-08 | 2013-03-28 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光増幅装置 |
JP2016162798A (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-05 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザー |
-
2020
- 2020-01-27 JP JP2020011120A patent/JP2021027314A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002532909A (ja) * | 1998-12-11 | 2002-10-02 | ブックハム テクノロジー ピーエルシー | 半導体光増幅器 |
JP2008250019A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光集積回路および光集積回路モジュール |
JP2009117539A (ja) * | 2007-11-05 | 2009-05-28 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光半導体素子及び光半導体素子の製造方法 |
JP2013058628A (ja) * | 2011-09-08 | 2013-03-28 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光増幅装置 |
JP2016162798A (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-05 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザー |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
GRIFFIN,R.A. ET AL.: "InP Coherent Optical Modulator with Integrated Amplification for High Capacity Transmission", OPTICAL FIBER COMMUNICATION CONFERENCE 2015, vol. Th4E.2, JPN7020003300, March 2015 (2015-03-01), US, ISSN: 0005103903 * |
YAGI, HIDEKI ET AL.: "InP-Based Monolithically Integrated Photonic Devices for Digital Coherent Transmission", IEEE JOURNAL OF SELECTED TOPICS IN QUANTUM ELECTRONICS, vol. 24, no. 1, JPN6020039461, 2017, US, pages 6100411 - 1, ISSN: 0005103904 * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10826267B2 (en) | Surface coupled systems | |
CN110168824B (zh) | 半导体光放大器及其制造方法、光相位调制器 | |
JP4977377B2 (ja) | 半導体発光装置 | |
JP6487195B2 (ja) | 半導体光集積素子、半導体光集積素子の製造方法及び光モジュール | |
JPWO2010100738A1 (ja) | 半導体レーザ、シリコン導波路基板、集積素子 | |
US20150093069A1 (en) | Semiconductor laser module and method of manufacturing the same | |
KR20150097306A (ko) | 실리콘 기판 상에 반도체 광증폭기와 통합 형성된 양자점 레이저 소자 | |
WO2018235317A1 (ja) | 波長可変レーザ装置および波長可変レーザ装置の製造方法 | |
JP6961621B2 (ja) | 光集積素子および光送信機モジュール | |
US20130207140A1 (en) | Semiconductor Optical Element Semiconductor Optical Module and Manufacturing Method Thereof | |
JP6393221B2 (ja) | 光送信器および光送信装置 | |
JP3284994B2 (ja) | 半導体光集積素子及びその製造方法 | |
US5239600A (en) | Optical device with an optical coupler for effecting light branching/combining by splitting a wavefront of light | |
US20110134513A1 (en) | Optical device module | |
WO2021024997A1 (ja) | 半導体光増幅器アレイ素子 | |
JP6939411B2 (ja) | 半導体光素子 | |
US11934007B2 (en) | Assembly of an active semiconductor component and of a silicon-based passive optical component | |
WO2022038756A1 (ja) | 半導体チップおよび光モジュール | |
US11695254B2 (en) | Quantum dot slab-coupled optical waveguide emitters | |
JP2021027314A (ja) | 半導体光増幅器アレイ素子 | |
JP7062358B2 (ja) | 半導体レーザモジュール | |
JP2860666B2 (ja) | 光機能素子 | |
JP2016164945A (ja) | 集積型半導体光素子 | |
WO2019172089A1 (ja) | 半導体光集積素子およびその製造方法 | |
JPS6066490A (ja) | 単一軸モ−ド半導体レ−ザ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220921 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230711 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230905 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231121 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240105 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20240312 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240424 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20240618 |