JP2021023843A - 2流体ノズル - Google Patents
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Abstract
Description
図5で、2流体ノズル1は、液ノズル5、気体ノズル13および外ケース20を備えている。液ノズル5は、上部拡径部5a、下部縮径部5bおよび内部に上下に貫通して形成された第1液通路10を備えている。外ケース20の内部にはノズルホルダー部7があり、ノズルホルダー部7は、基部7a、基部7aから上方に延びる縮径上部7b、この縮径上部7bの上方部分に設けられた円筒形状穴である液ノズル収容室7c、および前記基部7aの底部から前記液ノズル収容室7cの底部まで延びる第2液通路8を備えている。前記液ノズル5の上部拡径部5aの外径とノズルホルダー部7の縮径上部7bの外径は同一となっている。
前記気体噴出隙間17を経由して噴出した加圧気体は、液噴出口10aより噴出する加圧液体をせん断し、微粒化する。その際、気体ノズル13の気体噴出孔14より噴出する微粒化用気体の一部は液ノズル凹部12が負圧となるため、液噴出口10a付近で渦流が生じ、この渦流が液噴出口10aから噴出される液流に作用して、乱れを発生させ、主流である液流に作用するので、低圧力、少流量の気体で小粒子径の噴霧を得ることができる。
実用例で示したように、ノズルを構成する部品の寸法は小さいので、組み立てには細心の注意を要するが、時には組み立てミスも起こり得る。たとえば、図7に示すように、ノズルホルダー部7のノズル収容室7cに液ノズル5を傾けて挿入してしまい、気体ノズル13を締め付けると、液ノズル5の突起23の一方は気体ノズルの円形上板13aの下面と密着するが、突起23の他方は13a下面との間に空隙を生じ、気体噴出隙間17がその周囲周りでの大小のアンバランスが生じ、その結果、気体噴出隙間17周囲での気体噴出量が均一でなくなることになる。その結果、噴霧が気体ノズル13の噴出口の中心軸14aに対して偏って噴射される。間隔(δ)は微小であり、前記組立誤差によって生じる円形上板13aと他方の突起との間隙が僅かであっても、その影響は大きい。
そこで、本発明は、簡単な組み立て操作で、気体ノズルのほぼ環状の噴出口の中心軸と、液ノズル噴出口の中心軸を一致させることのできる2流体ノズルを提供することを目的とする。
(1) 気体ノズル13を、ノズル部分を有する気体ノズル円盤30と、外ケース20にねじ止めされるキャップ40に分割する。
(2) 気体ノズル13の前記キャップ40の下面と液ノズル5上面の突起23との間に気体ノズル円盤30を挿入し、O-リング24を介して外ケース20に締め付ける。
(3) 液ノズル5の組立誤差によって生じる、キャップ40締め付け時の、キャップ40と液ノズル5の上面突起23との間隙を、前記気体ノズル円盤30の挿入およびその構造、作用により、消滅させる。
図1は本発明の実施形態による2流体ノズルを示す図、図2はその部分拡大図である。符号5は液ノズルで、その拡大図を図1(b)−(c)に示す。
図1で、2流体ノズル1は、液ノズル5、気体ノズル円盤30、外ケース20を備えている。液ノズル5は、上部拡径部5a、下部縮径部5bおよび内部に上下に貫通して形成された第1液通路10を備えている。
外ケース20の内部にはノズルホルダー部7があり、ノズルホルダー部7は、基部7a、基部7aから上方に延びる縮径上部7b、この縮径上部7bの上方部分に設けられた円筒形状穴である液ノズル収容室7c、および前記基部7aの底部から前記液ノズル収容室7cの底部まで延びる第2液通路8を備えている。前記液ノズル5の上部拡径部5aの径とノズルホルダー部7の縮径上部7bの径は同一となっている。
前記気体ノズル円盤30の外周は、外に向かって突の曲線、例えば円弧を、中心軸14a
周りに回転させた曲面で形成されている。気体ノズル円盤30の上方にはキャップ40が設けられている。
外ケース20と、この外ケース20の内部に収容された液ノズルホルダー7と、この液ノズルホルダー7に支持された液ノズル5と、該液ノズル5の上面との間に気体噴射通路を形成する気体ノズル円盤30と、この気体ノズル円盤30を所定位置にセットするためのキャップ部材40とを備えた2流体ノズルであって、
前記外ケース20は、内部に、その上下方向の所定位置から上面まで貫通して延びる柱状の液ノズルホルダー収容空間21と、その上部外周壁に形成された雄ねじ20aと、この液ノズルホルダー収容空間21の上部であって、上方に開放した環状凹部26を備えており、
前記液ノズルホルダー7は、その下部に、前記液ノズルホルダー収容空間21に丁度嵌合することのできる径を有し、該液ノズルホルダー収容空間21の下部に収容された基部7aと、この基部7aから上方に、前記液ノズルホルダー収容空間21の途中まで延びた縮径上部7bを有し、この縮径上部7bの上部には、上部が該液ノズルホルダー7の上面に開放した円柱状の液ノズル収容室7cを備えており、その下面から該液ノズル収容室7cまで貫通して延びる第2液通路8が形成されており、
前記液ノズル5は、頭部である上部拡径部5aと、そこから下方に延びる下部縮径部5bから構成され、該下部縮径部5bは、側面が上下方向の曲面となったテーパー面とされており、この部分のみが前記液ノズルホルダー収容空間21内に遊嵌状態で収容されており、前記上部拡径部5aの上平面22周囲には、中心軸を中心として対称位置に、複数の気体噴出隙間形成用突起23が互いに間隔を置いて設けられており、また、上下方向に貫通し、前記第2液通路8と連通する第1液通路10が形成されており、
前記環状凹部26には、Oリング24を下にして前記気体ノズル円盤30が配置されており、
前記キャップ部材40は、円形の上板40aと、この上板40aの周囲から下方に延びる円筒板材40bから構成され、この円筒板材40bの内壁には、前記雄ねじ20aと螺合する雌ねじ40cが形成されており、
前記気体ノズル円盤30は、前記キャップ部材40が、前記雌ねじ40cと前記ねじ20aの螺合により締め付け位置にあるときの、その上板40aの下面と、前記環状凹部26とにより形成された収容空間に、その下面が、前記液ノズル5の上平面22の複数の気体噴出隙間形成用突起23の上面が密着して、周囲方向で均一な気体が噴出できる複数の気体噴出隙間17を形成することができるようになっている。
なお、液ノズルホルダー7の基部7aと。液ノズル5の上部角径部5aは、それらの直径が同一とされており、それらが、図1他に示されているように、連結されたとき、それらの外周面は連続し、一つの外周面を形成し、この外周面と外ケース20の内周面との間に空間が形成され、この空間が気体通路16となっている。前記液ノズル5の下部縮径部5bの側面を上下方向の曲面となったテーパー面としたのは、該液ノズル5の傾きの補正の際に、揺動し易くし、これにより正規の姿勢に設定しやすくするためである。
たとえば、従来構造では、図7に示したように、ノズルホルダー部7のノズル収容室7cに液ノズル5を傾けて挿入してしまい、気体ノズル円盤30をキャップ40で締め付けると、液ノズル5の突起23の一方は気体ノズル円盤30の下面と密着するが、突起23の他方は気体ノズル円盤30下面との間に空隙を生じ、気体噴出隙間17にアンバランスが生じることになる。しかし、本発明にあっては、補正作用により、液ノズル5の傾きが補正される。その理由について以下に説明する。
この状態でキャップ40の締め付けが開始されると、気体ノズル円盤30と液ノズル5の一方の突起23が接触し、キャップ40の上板40aの下面は、気体ノズル円盤30の上面と全面的に密着せず、円盤外周の一端(図の右側)が局部的に接触し、他方の突起の上端は気体ノズル円盤30の下面との間に空隙を生じる。
両着力点間の距離をa, 着力をPとすると、気体ノズル円盤30には回転モーメントaPが加えられる。
両着力点間の距離をa, 着力をPとすると、気体ノズル円盤30には回転モーメントaPが加えられる。
7;ノズルホルダー部
8; 第2液通路
9; 液供給管
10;第1液通路
10a; 液噴出口、
12: 液ノズル凹部
14; 気体噴出孔
15; 気体供給管
16; 気体通路
17; 気体噴出隙間
20; 外ケース
22; 上平面
23; 突起
24; O-リング
25; 第3液通路
26; 環状凹部
27; 組立隙間.
30:気体ノズル円盤
40:キャップ
Claims (10)
- 第1液通路およびこの第1液通路からの液体を噴出する液噴出口を有する液ノズルと、この液ノズルの先端に設けられ、前記液噴出口が前記液ノズル先端より低くなるように設けられた凹部と、前記液噴出口から噴出される液体に、前記液ノズルの外周から微粒化用加圧気体を供給する気体噴出隙間と気体噴出孔を有する気体ノズル円盤と、気体ノズル円盤の上部に、気体ノズル円盤を締め付けるキャップを備え、前記気体噴出隙間は、前記液ノズルと一体にその先端平面に設けられた微小突起と前記気体ノズル円盤を密着させることにより形成されていることを特徴とする2流体ノズル。
- 前記液ノズルの下部を収容する液ノズル収容用空間が設けられ、基部と該基部から上方に延びる縮径上部を有するノズルホルダー、前記液ノズルとノズルホルダーが組み合わされた組立体を収容する組立体収容用空間が設けられた外ケースを備え、この外ケースの前記組立体収容用空間の周囲と前記組立体の外周の間に設けられ、前記気体噴出隙間に通じる気体通路、この気体通路に通じる気体供給管、前記ノズルホルダーに設けられ、前記第1液通路に通じる第2液通路、およびこの第2液通路に通じる第3液通路を有する液供給管を備え、前記気体ノズル円盤は、前記キャップにより、前記外ケースに、外ケースとの間に空隙を生じるように締め付けられ、該空隙内に弾性シール材を介在させることにより、加圧気体が外ケース外に漏れることを防止している請求項1の2流体ノズル。
- 前記気体ノズル円盤はその外周が外に突な曲線又は直線で形成されていることを特徴とする請求項1の2流体ノズル。
- 前記気体噴出孔は円筒形もしくは出口側径が入口側径より大きな円錐台形で、前記第1液通路は円筒形で、前記気体噴出孔は、その中心軸と前記第1液通路の中心軸との偏心が、前記第1液通路直径の10%以内となるように設けられ、前記気体供給管は前記液ノズルの中心軸に対して傾斜して、液の噴出方向に向かって配置される請求項1〜3のいずれかの2流体ノズル。
- 前記液ノズルの前記液噴出口の直径をφA, 気体噴出孔の入口側直径をφCとするとき、φC/φA=1.25~1.55である請求項1の2流体ノズル。
- 前記液ノズルの先端に設けられ、前記液噴出口が前記液ノズル先端より低くなるように設けられた凹部の直径をφB, 深さをD、前記気体噴出孔の入口側直径をφCとするとき、φB/φC=1.25〜2、D/φA=0.2~1.0である請求項1の2流体ノズル。
- 前記液ノズルの前記液噴出口の直径をφA、液ノズル上面に設けられた微小突起の高さをδとするとき、δ/φA=0.08~0.15である請求項1の2流体ノズル。
- 前記液ノズルの突起幅をF、外径をφDとするとき、F/φD=0.25~0.4である請求項1の2流体ノズル。
- 外ケース20と、この外ケース20の内部に収容された液ノズルホルダー7と、この液ノズルホルダー7に支持された液ノズル5と、該液ノズル5の上面との間に気体噴射通路を形成する気体ノズル円盤30と、この気体ノズル円盤30を所定位置にセットするためのキャップ部材40とを備えた2流体ノズルであって、
前記外ケース20は、内部に、その上下方向の所定位置から上面まで貫通して延びる柱状の液ノズルホルダー収容空間21と、その上部外周壁に形成された雄ねじ20aと、この液ノズルホルダー収容空間21の上部であって、上方に開放した環状凹部26を備えており、
前記液ノズルホルダー7は、その下部に、前記液ノズルホルダー収容空間21に丁度嵌合することのできる径を有し、該液ノズルホルダー収容空間21の下部に収容された基部7aと、この基部7aから上方に、前記液ノズルホルダー収容空間21の途中まで延びた縮径上部7bを有し、この縮径上部7bの上部には、上部が該液ノズルホルダー7の上面に開放した円柱状の液ノズル収容室7cを備えており、その下面から該液ノズル収容室7cまで貫通して延びる第2液通路8が形成されており、
前記液ノズル5は、頭部である上部拡径部5aと、そこから下方に延びる下部縮径部5bから構成され、該下部縮径部5bは、側面が上下方向の曲面となったテーパー面とされており、この部分のみが前記液ノズルホルダー収容空間21内に遊嵌状態で収容されており、前記上部拡径部5aの上平面22周囲には、中心軸を中心として対称位置に、複数の気体噴出隙間形成用突起23が互いに間隔を置いて設けられており、また、上下方向に貫通し、前記第2液通路8と連通する第1液通路10が形成されており、
前記環状凹部26には、Oリング24を下にして前記気体ノズル円盤30が配置されており、
前記キャップ部材40は、円形の上板40aと、この上板40aの周囲から下方に延びる円筒板材40bから構成され、この円筒板材40bの内壁には、前記雄ねじ20aと螺合する雌ねじ40cが形成されており、
前記気体ノズル円盤30は、前記キャップ部材40が、前記雌ねじ40cと前記ねじ20aの螺合により締め付け位置にあるときの、その上板40aの下面と、前記環状凹部26とにより形成された収容空間に、その下面が、前記液ノズル5の上平面22の複数の気体噴出隙間形成用突起23の上面が密着して、周囲方向で均一な気体が噴出できる複数の気体噴出隙間17を形成することができるようになっている
ことを特徴とする2流体ノズル。 - 前記Oリング24は、ゴム系弾性材料、樹脂系弾性材料またはそれらの複合材料である弾性材料で形成されている請求項9の2流体ノズル。
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CN117457546A (zh) * | 2023-12-22 | 2024-01-26 | 苏州智程半导体科技股份有限公司 | 一种半导体晶圆清洗、刻蚀专用三流体喷嘴 |
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JP2007504422A (ja) * | 2003-09-01 | 2007-03-01 | ダンフォス アクチーセルスカブ | 液体燃料の空気アシスト式噴霧用ノズル |
JP3202161U (ja) * | 2015-11-05 | 2016-01-21 | 森實運輸株式会社 | 2流体ノズル |
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