JP2021022690A - 半導体製造装置用セラミック部品、および静電チャック - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、第1実施形態における静電チャック10の外観構成を概略的に示す斜視図である。図1には、方向を特定するために、互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック10は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。また、以下の説明において、Z軸方向を第1の方向、X軸方向を第2の方向とも呼ぶ。
・セラミック部品100の温度分布の不均一化
・ウェハW(載置物)とセラミック部品100との間の密着性の面内ばらつきの増加によるガスのリーク量の増加
・ウェハW(載置物)とセラミック部品100との間の密着性の面内ばらつきの増加による、ウェハWとセラミック部品100との間の熱伝達の変化と面内での不均一化、ひいてはウェハ温度の変化と面内での不均一化、ウェハ加工速度の変化と面内ばらつきの増加(いずれも平均値が変化し、ばらつきも増加してしまう)
・セラミック部品100へのウェハWの吸着力の変化
・ウェハWを静電チャック10から取り外す時の静電気除去の遅れによる、交換に要する時間の増加
図7は、第2実施形態におけるセラミック部品100AのXZ断面構成を概略的に示す説明図である。図7において、Y軸正方向は、紙面裏側に向かう方向である。図8は、第3セラミック部108Aの平面構成を概略的に示す説明図である。図8において、Z軸正方向は、紙面表側に向かう方向である。本実施形態のセラミック部品100Aは、第1実施形態の第3セラミック部108に換えて第3セラミック部108Aを用いている。第1実施形態のセラミック部品100と同一の構成には同一の符号付し、先行する説明を参照する。
本発明は上記の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
100、100A…セラミック部品
102…第1セラミック部
104…第2セラミック部
106、106A…プラズマ検出部
108、108A…第3セラミック部
108AR…周縁
116…セラミック粒子
126…金属酸化物粒子
200…金属部
300…接着層
400…チャック電極
S1…被照射面
W…ウェハ
Claims (6)
- 半導体製造装置用セラミック部品であって、
セラミックを主成分とし、プラズマが照射される被照射面を有する第1セラミック部と、
前記セラミックを主成分とし、第1の方向において、前記第1セラミック部に対して、前記第1セラミック部の前記被照射面とは反対側に配置された第2セラミック部と、
前記セラミックを主成分とし、前記第1セラミック部と前記第2セラミック部との間に配置された第3セラミック部であって、プラズマが照射されることにより変色するプラズマ検出部が少なくとも一部に形成された第3セラミック部と、
を備え、
前記プラズマ検出部は、
前記セラミックを主成分とするセラミック粒子と、前記セラミック粒子間の粒界に存在する金属酸化物粒子と、を有し、
前記金属酸化物粒子は、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、スズ(Sn)、バナジウム(V)、セリウム(Ce)、テルル(Te)およびビスマス(Bi)からなる群から選択される少なくとも1種の金属の金属酸化物を含むことを特徴とする、
半導体製造装置用セラミック部品。 - 請求項1に記載の半導体製造装置用セラミック部品であって、
前記金属酸化物粒子の平均粒径が10μm以下であることを特徴とする、
半導体製造装置用セラミック部品。 - 請求項1および請求項2のいずれか一項に記載の半導体製造装置用セラミック部品であって、
前記セラミック粒子の平均粒径が5μm以下であることを特徴とする、
半導体製造装置用セラミック部品。 - 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の半導体製造装置用セラミック部品であって、
前記第1セラミック部のセラミック純度は、前記第3セラミック部のセラミック純度より高いことを特徴とする、
半導体製造装置用セラミック部品。 - 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の半導体製造装置用セラミック部品であって、
前記プラズマ検出部は、前記第3セラミック部のうち、前記第1の方向に対して略直交する方向である第2の方向における周縁から所定の距離を離して形成されていることを特徴とする、
半導体製造装置用セラミック部品。 - 静電チャックであって、
請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の半導体製造装置用セラミック部品と、
前記半導体製造装置用セラミック部品に対して、前記第1の方向において、前記第1セラミック部の前記被照射面とは反対側に接合された金属部と、
前記半導体製造装置用セラミック部品の前記第2セラミック部の内部に配置されたチャック電極と、
を備えることを特徴とする、
静電チャック。
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