JP2021020387A - インクジェットヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021020387A JP2021020387A JP2019138740A JP2019138740A JP2021020387A JP 2021020387 A JP2021020387 A JP 2021020387A JP 2019138740 A JP2019138740 A JP 2019138740A JP 2019138740 A JP2019138740 A JP 2019138740A JP 2021020387 A JP2021020387 A JP 2021020387A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive
- adhesive layer
- inkjet head
- substrate
- flow path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 99
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 99
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 61
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 53
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 13
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 65
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 23
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 11
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 7
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 3
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 17
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 7
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 6
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
Description
そこで、本発明の目的は、隣接する吐出デバイス間の過度な接着剤はみ出しによる品質不良を抑制することができる、インクジェットヘッドおよびその製造方法を提供することにある。
液体を吐出する複数の吐出口を設けた吐出デバイスの複数を、前記液体を該吐出デバイスに供給する液体流路口を有する基板上に、配列して接合するインクジェットヘッドの製造方法において、
前記基板上に、配置する前記吐出デバイス間の間隙部と該間隙部から前記液体流路口に至る領域の少なくとも一部を除いて、各吐出デバイスの接合領域に第1の接着剤を塗布する工程と、
前記第1の接着剤上に、複数の前記吐出デバイスを配置し、前記間隙部と前記液体流路口とが連通した状態となるように、前記吐出デバイスを前記基板に前記第1の接着剤よりなる第1の接着層で接合する工程と、
前記基板上に、前記第1の接着層により接合された前記吐出デバイス間の間隙部に、第2の接着剤を塗布し、前記第1の接着層の厚みよりも厚い第2の接着層を形成する工程と、
を備えていることを特徴とする。
また本発明のインクジェットは、
液体を吐出する複数の吐出口を設けた吐出デバイスの複数が、前記液体を該吐出デバイスに供給する液体流路口を有する基板上に、配列されてなるインクジェットヘッドにおいて、
前記吐出デバイスのそれぞれと前記基板との間に配置され、前記吐出デバイスを前記基板上に接合する第1の接着層であって、前記基板上の、隣接する前記吐出デバイスに液体を供給する前記液体流路口の間の領域に、前記吐出デバイスが配列される方向にわたり、前記第1の接着層が配置されていない部分が形成されるように配置された前記第1の接着層と、
前記第1の接着層が配置されていない前記部分を含む、前記隣接する前記吐出デバイスの間隙部の前記基板上に配置され、前記第1の接着層の厚みよりも厚い第2の接着層を備えていることを特徴とする。
まず、本実施形態のインクジェットプリンタ1の概略構成について説明する。図1は本実施形態のインクジェットプリンタ1の概略平面図である。インクジェットプリンタ1は、記録用紙2に液体(以下、インクという)を液滴として噴射して画像等を記録するためのインクジェットヘッド3と、インクジェットヘッド3を保持するためのキャリッジ4、そして、記録用紙2を搬送する搬送機構5を備えている。プリンタ筐体6内には、記録用紙2を支持するプラテン7が設置され、このプラテン7の上方には、2つのガイドレール8a、8bが設けられている。キャリッジ4は、図示しないキャリッジ駆動モータによって駆動されることによって、2本のガイドレール8a、8bに沿って移動することが可能である。インクジェットヘッド3は、プラテン7との間に隙間を有する状態で、キャリッジ4の下部に水平方向に沿って取り付けられており、インクジェットヘッド3の下面が液滴噴射部3aとなっている。また、インクジェットヘッド3は、インクカートリッジホルダ9と図示しないチューブによって接続されている。インクカートリッジホルダ9には、4つのインクカートリッジ10a、10b、10c、10dが装着されており、それぞれマゼンタ、シアン、イエロー、ブラックのインクが、チューブを介してインクジェットヘッド3に供給される。メンテナンスユニット11には、キャップ12、吸引ポンプ13、及びワイパー14等が配置されており、キャップ12はモータ等の駆動源とギヤ等の動力伝達機構によって構成されたキャップ駆動部(不図示)によって昇降駆動される。キャップ12はキャップ駆動部によって上方へ移動し、インクジェットヘッド3の液滴噴射部3aに密着することにより、キャッピングを行う。キャッピングの後、キャップ12に接続されている吸引ポンプ13が、キャップ12内部の空気を吸引し、キャップ12内部を減圧することでインクジェットヘッド3の液滴噴射部3aから、キャップ12内部へインクを強制的に排出する吸引パージを行う。この吸引パージにより、インクに混入している気泡や塵、あるいは、増粘したインク等が排出され、液滴噴射の品質が劣化するのを抑制している。なお、ワイパー14は吸引パージ後にインクジェットヘッド3が液滴噴射位置に移動する際、インクジェットヘッド3の液滴噴射部3aに付着したインクを拭き取るワイピングを行うために配置されている。
以上の通り、インクジェットプリンタ1は記録用紙2を搬送機構5により記録用紙排出部15に向かって搬送させながら、インクジェットヘッド3が液滴を噴射させ、記録用紙2に画像や文字などを記録するように構成されている。
図2(a)は本実施形態の製造方法によって製造されるインクジェットヘッド3の平面図である。インクジェットヘッド3は、基板22上に、第1の接着層25によって接合された複数の吐出デバイス21(吐出口40は不図示)と、隣接する吐出デバイス間の間隙部に配置された第2の接着層26とを有する。基板22には、吐出デバイスに液体を供給する複数の液体流路口23が形成されている。また、ここでは図示しないが、インクジェットヘッド3は、上記構成に加えて、電気配線基板、ヘッドカバー、インクジェットプリンタとの取付用基準治具で構成されている。本実施形態では、吐出デバイス21を、8個並べて接合する形態であるが、用途に応じて基板22の長さや形状を変更し、吐出デバイス21の数や配置を変更してもよい。例えば、図2(b)に示すように、図2(a)に示す基板を長手方向に延長して、吐出デバイス21を、8個を超えて並べて接合する形態としてもよい。あるいは図2(c)に示すように、図2(a)に示す基板を短手方向に拡幅して、基板の長手方向に複数並べて接合した吐出デバイス21を、基板の短手方向に複数列に並べて配列する形態としてもよい。もちろん、基板を長手方向及び短手方向の両方に拡張してより多くの吐出デバイス21を配置することも可能である。
吐出デバイス21の配置ピッチは特に制限されるものではないが、デバイス間の間隙が1mm以下であることが好ましく、0.1mm以下であることがより好ましい。また基板に形成される複数の液体流路口23は、基板の短手方向に液体流路口23の長手方向が向く構成としている。これは、吐出デバイス21内部での液体流路と吐出口との配置によるものであり、基板の長手方向に液体流路口23の長手方向が向く構成としてもよい。
なお、図2(a)〜(c)にいずれも、配列方向(図面の左右方向)の両端部では第1の接着層25がはみ出しており、第2の接着層26は形成されていない構成を示しているが、吐出デバイス間の間隙と同様に第2の接着層26が形成されていてもよい。
以下、本実施形態のインクジェットヘッドの製造方法について説明する。
まず、基板を用意する。
基板22に、図3(a)に示されるように、吐出デバイス21にインクを供給するための液体流路口23を設ける。本実施形態では、一つの吐出デバイスにつき、液体流路口23は、2つの開口で構成されているが、これに限定されるものではなく、任意の数の開口から構成されてもよい。基板22の材料としては、絶縁性、熱伝導性、機械的強度の点から、アルミナ材を使用することが好ましい。
また、基板22は、複数層の積層構造とすることができ、該積層により液体流路口23に連通する内部の液体流路を複雑に配置することもできる。
具体的には、基板22上に、図3(b)あるいは図3(c)に示すように、一つの吐出デバイスにつき、一対の液体流路口23が対応するように、第1の接着剤24を塗布する。また第1の接着剤24は、隣接する吐出デバイスに液体を供給する液体流路口の間の領域に、吐出デバイスが配列される方向にわたり、第1の接着層が存在しない(配置されていない)部分が形成されるように塗布される。つまり、吐出デバイス間の間隙部bには、第1の接着剤24は塗布されない。さらに、液体流路口23の周辺部は吐出デバイスを接合する際に第1の接着剤が押し出されて広がることから、そのマージンを見越して第1の接着剤を塗布されない。 基板22上への第1の接着剤の塗布は、塗布ロボットに記憶させた塗布プラグラムによって行われる。なお、第1の接着剤24は、塗布方法以外に、転写方式を用いて形成してもよい。また、本実施形態では第1の接着剤24として熱硬化型樹脂を用いた接着剤を用いているが、UV・熱併用型の硬化樹脂を用いた接着剤や、熱可塑性樹脂型接着剤を用いてもよい。熱可塑性樹脂型の第1の接着剤24を使用する場合は、任意の形状に加工した熱可塑性フィルムを基板22に所定パターンで熱圧着し、第1の接着剤24を基板上に転写する。
図3(c)は、図3(b)のa部を拡大したものである。図3(c)には、後述する吐出デバイス21aと、吐出デバイス21bの2つが横並びに接合される領域が示されている。吐出デバイス21aの接合領域には第1の接着剤24aが一対の液体流路口23aと23bの間とその長手方向の両側にエの字状に塗布されている。図面の左右方向には、吐出デバイス間の間隙部bと、同じく間隙部b1が設けられている。液体流路口23への接着剤の入り込みを防止するため、液体流路口23の周辺部は第1の接着剤24の塗布されない領域が存在する。また、吐出デバイス21bの接合領域にも同様に第1の接着剤24bが形成されており、図面の左右方向には間隙部bと、b2が設けられている。このように、第1の接着剤24は、吐出デバイス間の間隙部と該間隙部から前記液体流路口に至る領域の少なくとも一部を除いて、各吐出デバイスの接合領域に塗布配置される。
具体的には、図4(a)に示すように、吐出デバイス21aと、吐出デバイス21bの隣接角部にある、塗布開始位置P1から、第2の接着層26を形成するために、第2の接着剤26aを塗布する。第2の接着剤26aの塗布は、図4(b)に示すように、塗布開始位置P1から塗布された第2の接着剤26aが、塗布終了位置P2に到達した時点で終了する。なお、塗布終了位置P2は、接着剤の物性値によって適宜変更可能である。そして、第2の接着剤26aの塗布終了後、オーブンにてキュア処理を行い、第2の接着剤26aを図4(c)に示すように硬化させることで、第2の接着層26を形成する。本実施形態では、第2の接着剤26aとして100℃以上で硬化する接着剤を使用したため、110℃×1時間のキュア処理を行い、第2の接着層26を形成した。第2の接着層26の形成により、液体流路口23a、23b、23c、23dは、第1の接着層25aと、第1の接着層25bと、第2の接着層26により、囲われる構成となり、外部領域とは遮断されたシール状態が完成する。この第1の接着層25a及び25bと第2の接着層26に囲われる領域が、前述した図6(b)に示す空間30である。第2の接着剤26aの塗布については、塗布開始位置P1、塗布終了位置P2、それぞれにおいて、本実施形態に限定するものではなく、前述の間隙部b、b1、及びb2を、第2の接着剤26aで充填するように塗布できればよい。
更に、第2の接着剤26aは、第1の接着層25に接触した状態で高温処理にて硬化反応し、第2の接着層26を形成するため、第1の接着層25と線膨張係数の近い接着剤を選択することが好ましい。それにより、それぞれの接着層における、熱膨張状態から常温に戻る際の収縮差を軽減することができ、接合部分の剥離といった品質低下の問題を防止することが可能となる。
そして、ここでは図示しないが、その後、電気配線基板、ヘッドカバー、インクジェットプリンタとの取付用基準治具をそれぞれ接合し、インクジェットヘッド3が完成する。
以上説明した本実施形態の製造方法によれば、基板22上に、配置する吐出デバイス間の間隙部bと該間隙部から液体流路口23に至る領域の少なくとも一部を除いて、各吐出デバイスの接合領域に第1の接着剤24を塗布する。続いて、第1の接着剤24上に、吐出デバイスを順次配置して、第1の接着層25にて接合する。そして、接合された吐出デバイス間の間隙部に、第2の接着剤を塗布して第2の接着層を形成することにより、吐出デバイス間に発生する、接着剤過多によるはみ出しを抑制して、品質不良を防止することができる。
図7(b)は、図7(a)のb部を拡大したものであり、吐出デバイス21aと21bの2つが、横並びに接合される領域が示されている。前述の図3(c)との違いは、吐出デバイス21aの接合領域と、吐出デバイス21bの接合領域が繋がった形で、基板22上に第1の接着剤24cが塗布されている。それにより、吐出デバイス21aの接合領域と、吐出デバイス21bの接合領域の隣接部には、接触領域eが形成されている。
次に、図7(c)に示すように、吐出デバイス21aを加熱した状態で、第1の接着剤24c上に押圧し、接合を行う。この際、接触領域eの第1の接着剤24cが、吐出デバイス21aの側壁部を伝うように上方に隆起する。隆起した第1の接着剤24cは、吐出デバイス21aからの吸熱により硬化作用が働き、所定時間で硬化し、吐出デバイス21aの側壁部に隆起部71が形成される。続いて、吐出デバイス21aの接合領域に隣接する吐出デバイス21bの接合領域に、同様に加熱した吐出デバイス21bを押圧し、接合を行う。しかしながら、図7(d)に示すように、吐出デバイス21bの押圧時に隆起部71と接触する場合がある。隆起部71と、吐出デバイス21bが接触することで、吐出デバイス21bの接合精度がずれてしまい、品質不良の原因となってしまう。
本実施形態は、第1の実施形態と異なる吐出デバイス21a、21bを用いる形態である。
図8は、実施形態1と同様に、基板22上に、第1の接着層25a及び25bを介して吐出デバイス21a、21bを接合し、その後、第2の接着剤26aを塗布した状態を示している。
インク吐出デバイス21a、21bを個片化する際、ダイシング条件によっては図8(a)に示すような端面形状となることがある。本実施形態は、このような端面形状が第1の実施形態とは異なる吐出デバイス21a、21bを用いる形態を示している。第2の接着剤26aには、最小粒径が第1の接着層25a、25bの厚みTより大きいフィラー27を含有しているため、第2の接着剤は、液体流路口23a、23bに入り込むことはない。また、図8(b)に示すように、第2の接着剤26cが吐出デバイス下に一部入り込んでいるが、空間30が依然として存在している。
22 基板
23 液体流路口
24 第1の接着剤
25 第一の接着層
26 第2の接着層
26a 第2の接着剤
30 空間
40 吐出口
b 間隙部
Claims (13)
- 液体を吐出する複数の吐出口を設けた吐出デバイスの複数を、前記液体を該吐出デバイスに供給する液体流路口を有する基板上に、配列して接合するインクジェットヘッドの製造方法において、
前記基板上に、配置する前記吐出デバイス間の間隙部と該間隙部から前記液体流路口に至る領域の少なくとも一部を除いて、各吐出デバイスの接合領域に第1の接着剤を塗布する工程と、
前記第1の接着剤上に、複数の前記吐出デバイスを配置し、前記間隙部と前記液体流路口とが連通した状態となるように、前記吐出デバイスを前記基板に前記第1の接着剤よりなる第1の接着層で接合する工程と、
前記基板上に、前記第1の接着層により接合された前記吐出デバイス間の間隙部に、第2の接着剤を塗布し、前記第1の接着層の厚みよりも厚い第2の接着層を形成する工程と、
を備えていることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記吐出デバイス間の間隙部の幅が1mm以下である請求項1に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記液体流路口から前記第2の接着層に向かって、前記基板と前記吐出デバイスとの間に空間が形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記第2の接着層は、前記第1の接着層で接合された前記吐出デバイスの表面よりも低い高さに形成する請求項1〜3の何れか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記第2の接着剤は、フィラーを含むことを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記フィラーの最小粒径は、前記第1の接着層の接合後の厚みより、大きいことを特徴とする請求項5に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記第2の接着剤の粘度は、前記第1の接着剤の粘度よりも、低いことを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 液体を吐出する複数の吐出口を設けた吐出デバイスの複数が、前記液体を該吐出デバイスに供給する液体流路口を有する基板上に、配列されてなるインクジェットヘッドにおいて、
前記吐出デバイスのそれぞれと前記基板との間に配置され、前記吐出デバイスを前記基板上に接合する第1の接着層であって、前記基板上の、隣接する前記吐出デバイスに液体を供給する前記液体流路口の間の領域に、前記吐出デバイスが配列される方向にわたり、前記第1の接着層が配置されていない部分が形成されるように配置された前記第1の接着層と、
前記第1の接着層が配置されていない前記部分を含む、前記隣接する前記吐出デバイスの間隙部の前記基板上に配置され、前記第1の接着層の厚みよりも厚い第2の接着層を備えていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記吐出デバイス間の間隙部の幅が1mm以下である請求項8に記載のインクジェットヘッド。
- 前記液体流路口から前記第2の接着層に向かって、前記基板と前記吐出デバイスとの間に空間が存在することを特徴とする請求項8又は9に記載のインクジェットヘッド。
- 前記第2の接着層は、前記吐出デバイスの表面よりも低い高さに形成されている請求項8〜10の何れか1項に記載のインクジェットヘッド。
- 前記第2の接着層がフィラーを含む接着剤よりなる請求項8〜11の何れか1項に記載のインクジェットヘッド。
- 前記フィラーの最小粒径は、前記第1の接着層の接合後の厚みより、大きいことを特徴とする請求項12に記載のインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019138740A JP7433797B2 (ja) | 2019-07-29 | 2019-07-29 | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019138740A JP7433797B2 (ja) | 2019-07-29 | 2019-07-29 | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021020387A true JP2021020387A (ja) | 2021-02-18 |
JP7433797B2 JP7433797B2 (ja) | 2024-02-20 |
Family
ID=74573100
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019138740A Active JP7433797B2 (ja) | 2019-07-29 | 2019-07-29 | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7433797B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001270115A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-02 | Kyocera Corp | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
JP2007050662A (ja) * | 2005-08-19 | 2007-03-01 | Fuji Xerox Co Ltd | 構造体の製造方法及び構造体、並びに液滴吐出装置 |
JP2007055221A (ja) * | 2004-12-08 | 2007-03-08 | Canon Inc | 液体吐出記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 |
JP2007301886A (ja) * | 2006-05-12 | 2007-11-22 | Canon Inc | インクジェット式プリントヘッドおよびその製造方法 |
JP2008006812A (ja) * | 2006-05-29 | 2008-01-17 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 |
JP2019010834A (ja) * | 2017-06-30 | 2019-01-24 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
-
2019
- 2019-07-29 JP JP2019138740A patent/JP7433797B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001270115A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-02 | Kyocera Corp | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
JP2007055221A (ja) * | 2004-12-08 | 2007-03-08 | Canon Inc | 液体吐出記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 |
JP2007050662A (ja) * | 2005-08-19 | 2007-03-01 | Fuji Xerox Co Ltd | 構造体の製造方法及び構造体、並びに液滴吐出装置 |
JP2007301886A (ja) * | 2006-05-12 | 2007-11-22 | Canon Inc | インクジェット式プリントヘッドおよびその製造方法 |
JP2008006812A (ja) * | 2006-05-29 | 2008-01-17 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 |
JP2019010834A (ja) * | 2017-06-30 | 2019-01-24 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7433797B2 (ja) | 2024-02-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5336774B2 (ja) | ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
US8128199B2 (en) | Ink jet print head, method for manufacturing ink jet print head, and printing apparatus | |
JP6238617B2 (ja) | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 | |
US9375925B2 (en) | Liquid-ejection head and image forming apparatus | |
JPH02192954A (ja) | 液体噴射記録ヘッドおよび液体噴射記録装置 | |
JP2009292061A (ja) | ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
US8636336B2 (en) | Liquid discharge head | |
JP2019010834A (ja) | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2013071300A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
US9487004B2 (en) | Liquid discharge head | |
US9421771B2 (en) | Liquid ejection head and method of manufacturing the same | |
JP7433797B2 (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
JP2010284908A (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
JP2007055184A (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
JP2003080713A (ja) | 液体吐出ヘッド、ヘッドカートリッジおよび液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP5328380B2 (ja) | 液体吐出ヘッド及び記録装置 | |
JP7512118B2 (ja) | 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法および画像記録装置 | |
JP6341748B2 (ja) | 液体吐出ヘッド、及び記録装置 | |
JP2004042654A (ja) | 記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 | |
US20200384773A1 (en) | Liquid ejection head | |
JP2022026345A (ja) | 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法および画像記録装置 | |
JP3126590B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、該液体噴射ヘッドを有するヘッドカートリッジ、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2024022930A (ja) | 液体吐出ヘッド及びインクジェット記録装置 | |
JP2016157773A (ja) | 電子デバイス、及び、電子デバイスの製造方法 | |
JP6024557B2 (ja) | 液体吐出装置及び液体吐出装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220708 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230519 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230606 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230802 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231003 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240109 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240207 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7433797 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |