JP2021015040A - 磁気式酸素分析計 - Google Patents

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【課題】酸素濃度を測定する際の演算にフーリエ変換を用いる場合に問題となる条件下であっても直線性精度が確保された検量線を得ることができる磁気式酸素分析計を提供する。【解決手段】磁気式酸素分析計1は、測定用流量センサ110に到達する補助ガスのうち、スパンガス測定時の測定用流量センサ110の出力信号に対して逆位相のゼロガス測定時の測定用流量センサ110の出力信号を発生させるような流量の変化を吸収する補助ガスバッファスペース111が、基準側補助ガス検出用流路108bの途中に形成される。【選択図】図1

Description

本発明は、磁気式酸素分析計に関する。
従来、酸素分子が磁力に吸引される性質を利用してサンプルガス(測定ガス)に含まれる酸素ガスの濃度を測定する磁気式酸素分析計が知られている(例えば、特許文献1参照)。このような磁気式酸素分析計について図を参照しながら説明する。
まず、磁気式酸素分析計の測定原理について、図3(a)、(b)、(c)を参照しながら説明する。図3(a)は、酸素分子を含むガス中に磁界を発生させる手段(磁石)を配置したときの酸素分子と磁界の関係を示す。図3(b)に示すように、磁界が強く、且つその強さが変化しているところ(不均一の磁界になっている磁極の端部)に酸素分子を引き付ける力が作用し、酸素分子が磁界中を移動する。さらに磁極の端部で右向きの力と左向きの力が押し合ってバランスし、酸素分子は磁界の影響を受けて引き付けられ、磁界(磁石のギャップ)内へ移動する。これにより、図3(c)に示すように、磁界内では、引き付けられた酸素分子の圧力(濃度)が磁界の外と比較して高くなる。
このような測定原理を採用した従来の磁気式酸素分析計の一例を図4に示す。この磁気式酸素分析計は、サンプルガスが流れるサンプルセル100と、サンプルガスに含まれている酸素ガスの量(酸素濃度)を検出するための検出信号を出力する検出回路200と、検出信号を酸素濃度値に変換する処理回路300と、を備えている。
セル本体101の内部にサンプル流路102を備える。そして、このサンプル流路102の軸方向の一端側に連通して設けられて外部プロセスからサンプルガスが流入するサンプルガス流入口103と、このサンプルガス流入口103の反対側であってサンプル流路102の軸方向の他端側に連通して設けられたサンプルガス流出口104とを備える。
補助ガスを供給する補助ガス供給流路105は、測定側補助ガス供給流路106aおよび基準側補助ガス供給流路106bに分岐点P0で連通する。また、測定側補助ガス供給流路106aは、測定側補助ガス流路107aおよび測定側補助ガス検出用流路108aに分岐点P1で連通する。また、基準側補助ガス供給流路106bは、基準側補助ガス流路107bおよび基準側補助ガス検出用流路108bに分岐点P2で連通する。
測定側補助ガス流路107aの測定側補助ガス流出口109aがサンプルガス流出口104の付近でサンプル流路102と連通する。また、基準側補助ガス流路107bの基準側補助ガス流出口109bがサンプルガス流出口104の付近でサンプル流路102と連通する。これら測定側補助ガス流出口109aおよび基準側補助ガス流出口109bは、サンプル流路102の流れ方向に直交する方向であって、互いに対向するように配置されている。また、測定側補助ガス流出口109aの付近のサンプル流路102に磁界領域Mfを形成するポールピース(不図示)を備える。
測定側補助ガス供給流路106aおよび測定側補助ガス流路107aにより形成される流路は、基準側補助ガス供給流路106bおよび基準側補助ガス流路107bにより形成される流路と等距離であり、補助ガス供給流路105に流れてきた補助ガスを分流して測定側補助ガス流出口109aおよび基準側補助ガス流出口109bからサンプル流路102に同一流量で供給する。
そして測定側補助ガス供給流路106aおよび測定側補助ガス検出用流路108aにより形成される流路は、基準側補助ガス供給流路106bおよび基準側補助ガス検出用流路108bにより形成される流路と等距離であり、補助ガス供給流路105に流れてきた補助ガスを分流して測定用流量センサ110の両端に同一流量で供給する。この測定用流量センサ110は熱型流量センサ(マスフローセンサ)であり、検出回路200に接続されている。
検出回路200は、測定側補助ガス検出用流路108aと基準側補助ガス検出用流路108bとの間の補助ガスの流れの増減に基づく信号を、測定用流量センサ110から受信して増幅し、サンプルガス中の酸素濃度を検出するための検出信号として処理回路300へ出力する。
処理回路300は、検出回路200から出力された検出信号を、AD変換および所定の演算により酸素濃度値に変換する。これにより、サンプルガス中の酸素濃度が測定される。なお、ここでは、処理回路300が行う所定の演算として、フーリエ変換を含む演算が行われる場合を想定する。このようにフーリエ変換を用いる場合は、波形分離後にノイズ成分を除去して測定信号を取り出すために、波数精度が高く、高S/N比を得ることができるという特徴がある。
このような磁気式酸素分析計では、サンプルガス流入口103から流入するサンプルガスF1は、サンプルガスF1aやF1bというように、サンプル流路102全体を流通したのち、サンプルガス流出口104から流出される。
また、補助ガス供給流路105から供給された補助ガスは、分岐点P0で測定側補助ガス供給流路106aおよび基準側補助ガス供給流路106bの二方向に分流し、さらに分岐点P1,P2で二方向に分流する。
このうち、分岐点P1,P2から測定側補助ガス流路107aや基準側補助ガス流路107bをそれぞれ経由する補助ガスは、その後、測定側補助ガス流出口109aや基準側補助ガス流出口109bから補助ガスF2a,F2bとして流出する。補助ガスF2a,F2bは、サンプル流路102を流れるサンプルガスF1a,F1bと合流する。この合流したサンプルガスF1と補助ガスF2がサンプルガス流出口104へ流れる。
また、分岐点P1,P2から測定側補助ガス検出用流路108aおよび基準側補助ガス検出用流路108bを経由する補助ガスにより、測定用流量センサ110で流量が測定される。ここで、二箇所の分岐点P1,P2で圧力が同じであるならば、測定側補助ガス検出用流路108aや基準側補助ガス検出用流路108bに補助ガスが流れないため、流量が測定されないことになる。
このサンプルセル100では、サンプルガスの流れに対して垂直(例えば図4の紙面に対して垂直に裏表に向かう方向)であって測定側補助ガス流出口109aの付近で磁界が印加されており、磁界領域Mfが形成されている。他方の基準側補助ガス流出口109bの近傍には磁界は印加されておらず、磁界領域は形成されていない。
上記のように酸素(常磁性の気体)は磁界の強い方に引き付けられ、その部分の圧力が上昇するという性質がある。サンプルガス中に酸素分子が含まれていない場合、サンプルガスF1aが磁界領域Mfを流れても酸素分子は引き寄せられず、圧力は上昇しない。したがって、測定側補助ガス流路107aおよび基準側補助ガス流路107bのそれぞれから補助ガスF2a,F2bが流出する際の流体抵抗は同じになるため、二箇所の分岐点P1,P2で圧力が同じになり、測定用流量センサ110には補助ガスの流量変化が生じない。このため、検出回路200の出力は零になる。この出力が零のときは酸素がないものと検出する。
一方、サンプルガス中に酸素分子が含まれている場合、磁界領域MfにサンプルガスF1aが流れると、測定側補助ガス流出口109a付近で酸素分子が引き付けられ、酸素の凝集圧により圧力が上昇する。そのため、測定側補助ガス流出口109aからサンプル流路102へ補助ガスF2aが流出する際の流体抵抗が増大し、流出量が減少する。逆に基準側補助ガス流出口109bの付近では磁界領域Mfが印加されていないため補助ガスF2bが流出する際の流体抵抗は増大しない。補助ガスF2a,F2bが流出する際の流体抵抗が異なり、図4で示す分岐点P2の圧力よりも分岐点P1の圧力が高くなる。
これにより、測定側補助ガス供給流路106aおよび基準側補助ガス供給流路106bに分岐点P0で、分岐する際の分流比が変化し、測定側補助ガス供給流路106aから測定側補助ガス検出用流路108aを流れる補助ガスの流量と、基準側補助ガス供給流路106bから基準側補助ガス検出用流路108bを流れる補助ガスの流量に差が生じ、測定側補助ガス検出用流路108aから基準側補助ガス検出用流路108bへ補助ガスが流れ、測定用流量センサ110には補助ガスの流量の変化が生じる。検出回路200はこの変化を検出して出力する。この出力の変化があるときは酸素があることが検出される。また、変化量の大きさに基づいて濃度が検出される。
特開2017−26410号公報
このような磁気式酸素分析計では、特定の周期の交番磁界を磁界領域Mfに発生させることにより、測定用流量センサ110の出力信号として、交番磁界に同期したAC信号が得られる。そして、検出回路200が、そのAC信号を増幅して検出信号として出力し、処理回路300が、その検出信号をAD変換および所定の演算(フーリエ変換を含む)により酸素濃度値に変換している。
測定用流量センサ110の出力信号が得られる際の条件として、図5に示すように、ゼロ点信号がスパン点信号に対して同位相になる場合の条件(条件1)と、ゼロ点信号がバランスしている場合の条件(条件2)と、ゼロ点信号がスパン点信号に対して逆位相になる場合の条件(条件3)が考えられる。なお、ゼロ点信号は、ゼロ点(ゼロガス測定時)における測定用流量センサ110の出力信号であり、スパン点信号は、スパン点(スパンガス測定時)における測定用流量センサ110の出力信号である。条件1でのゼロ点信号は、磁界の印加による測定側補助ガス流出口109a付近の圧力上昇に起因するものである。条件2でのゼロ点信号は、磁界の印加による測定側補助ガス流出口109a付近の圧力変動無しに起因するものである。条件3でのゼロ点信号は、磁界の印加による測定側補助ガス流出口109a付近の圧力低下に起因するものであり、例えば、ゼロガスとして使用される窒素等の反磁性の気体(マイナス磁界の気体)の磁界からの反発による圧力低下に起因するものである。
各条件下でのサンプルガス中の酸素濃度に対する演算値の変化の例を図6に示す。ここで、演算値は、処理回路300が検出回路200からの検出信号に対してAD変換およびフーリエ変換を行った後の値である。図6に示すように、条件1,2では、酸素濃度に対する演算値の変化が直線状になるのに対し、条件3では、酸素濃度に対する演算値の変化が低濃度域にてV字状になる。このように条件3では低濃度域にてV字状の変化になる理由は、スパン点信号に対して逆位相になる測定用流量センサ110の出力信号(例えばゼロ点信号)に対して、本来はマイナス符号の演算値が算出されるべきところ(図6の点線参照)、フーリエ変換では二乗和平方根の演算が行われるためにプラス符号の演算値として算出されてしまうからである。
このような演算値に基づいて校正が行われた後の各条件下でのサンプルガス中の酸素濃度に対する表示値の変化(所謂検量線)を図7に示す。ここで、表示値は、磁気式酸素分析計が備える図示しない表示部に表示される酸素濃度値であり、処理回路300により得られた酸素濃度値でもある。図7に示すように、条件1,2では、直線性精度が確保された検量線が得られるのに対し、条件3では、低濃度域にてV字状になる検量線、即ち直線性精度が確保されていない検量線が得られてしまうという問題がある。なお、条件3での検量線では、符号判別不可の濃度域(上述のマイナス符号の演算値が得られるべきところプラス符号の演算値が得られてしまう濃度域)において、酸素濃度値がマイナス側へ推移することとなる。
本発明は、上記実状に鑑み、酸素濃度を測定する際の演算にフーリエ変換を用いる場合に問題となる条件下であっても直線性精度が確保された検量線を得ることができる磁気式酸素分析計を提供することを目的の1つとする。
本発明の一態様に係る磁気式酸素分析計は、サンプル流路と、前記サンプル流路の両端に形成されたサンプルガス流入口およびサンプルガス流出口と、補助ガスが供給される補助ガス供給流路から分岐して補助ガスが流れる測定側補助ガス供給流路および基準側補助ガス供給流路と、前記測定側補助ガス供給流路から分岐して補助ガスが流れる測定側補助ガス検出用流路および測定側補助ガス流路と、前記基準側補助ガス供給流路から分岐して補助ガスが流れる基準側補助ガス検出用流路および基準側補助ガス流路と、前記サンプルガス流出口側の前記サンプル流路に互いに対向して設けられて補助ガスを流出させる前記測定側補助ガス流路の測定側補助ガス流出口および前記基準側補助ガス流路の基準側補助ガス流出口と、前記測定側補助ガス検出用流路および前記基準側補助ガス検出用流路の両側から流入する補助ガスの差の流量に応じた信号を出力する測定用流量センサと、を備え、前記測定側補助ガス流出口の付近の前記サンプル流路に形成した磁界領域へ酸素分子を引き付けたときの圧力上昇により生じる前記測定側補助ガス検出用流路および前記測定側補助ガス流路の流量変化に応じた信号を前記測定用流量センサが出力して、当該信号に基づく信号を、フーリエ変換を含む演算により酸素濃度値に変換する磁気式酸素分析計であって、前記測定用流量センサに到達する補助ガスのうち、スパンガス測定時の前記測定用流量センサの出力信号に対して逆位相のゼロガス測定時の前記測定用流量センサの出力信号を発生させるような流量の変化を吸収する補助ガスバッファスペースが、前記基準側補助ガス検出用流路の途中に形成される。
本発明によれば、酸素濃度を測定する際の演算にフーリエ変換を用いる場合に問題となる条件下であっても直線性精度が確保された検量線を得ることができる。
実施の形態に係る磁気式酸素分析計の一例を示す図である。 変形例に係る磁気式酸素分析計の一例を示す図である。 磁気式酸素分析計の測定原理を示す図である。 従来の磁気式酸素分析計の一例を示す図である。 測定用流量センサの出力信号が得られる際の3つの条件を説明する図である。 各条件下でのサンプルガス中の酸素濃度に対する演算値の変化の例を示す図である。 図6に示した演算値に基づいて校正が行われた後の各条件下でのサンプルガス中の酸素濃度に対する表示値の変化(所謂検量線)を示す図である。
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。図1は、実施の形態に係る磁気式酸素分析計の一例を示す図である。図1に示すように、磁気式酸素分析計1は、サンプルセル10と、検出回路200と、処理回路300とを備えている。図4を用いて説明した従来の磁気式酸素分析計と比較すると、そのサンプルセル100内に、さらに、補助ガスバッファスペース111を設けたことが新規な点である。以下、図4を用いて説明した従来の磁気式酸素分析計と同じ構成については同じ符号を付すとともに重複する説明を省略し、新規に設けられた補助ガスバッファスペース111について説明する。
補助ガスバッファスペース111は、磁界領域が付近に形成されない基準側補助ガス流出口109bを有する基準側補助ガス流路107bと分岐点P2で連通する基準側補助ガス検出用流路108bの途中に形成される空間である。補助ガスバッファスペース111は、測定用流量センサ110に到達する補助ガスのうち、スパン点信号に対して逆位相のゼロ点信号を発生させるような流量の変化を吸収する目的で設けられ、その目的が達成される程度の空間容量を有する。これにより、例えば、ゼロガスとして使用される窒素等の反磁性の気体の磁界からの反発に起因する流量変化を補助ガスバッファスペース111で吸収することができ、ゼロ点信号がスパン点信号に対して逆位相になることを防止することができる。その結果、上述の条件3においてフーリエ変換等を行う処理回路300での演算値に基づいて校正が行われた後の検量線で問題になっていた直線性が改善され、直線性精度が確保された検量線を得ることが可能になる。また、フーリエ変換を用いる場合の特徴である、波数精度が高く、高S/N比を得ることができる、という効果も得られる。
磁気式酸素分析計1は、図2に示すように、さらに、測定側補助ガス絞り調整機構112aおよび基準側補助ガス絞り調整機構112bを測定側補助ガス供給流路106aおよび基準側補助ガス供給流路106bに設けるように変形してもよい。この場合、測定側補助ガス絞り調整機構112aおよび基準側補助ガス絞り調整機構112bは、分岐点P0から等距離の位置に設けられる。
測定側補助ガス絞り調整機構112aおよび基準側補助ガス絞り調整機構112bは、測定側補助ガス供給流路106aおよび基準側補助ガス供給流路106bの流路体積が等しくなるように微調整を可能にする絞りである。図示はしないが、例えば、先端が流路に接するような送りネジを形成し、ネジの位置により流路体積を変化させるような機構である。これにより、機械的要因による流路体積の非対称性を調整することができる。
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、上述した実施の形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良・変更が可能である。
1 磁気式酸素分析計
10、100 サンプルセル
101 セル本体
102 サンプル流路
103 サンプルガス流入口
104 サンプルガス流出口
105 補助ガス供給流路
106a 測定側補助ガス供給流路
106b 基準側補助ガス供給流路
107a 測定側補助ガス流路
107b 基準側補助ガス流路
108a 測定側補助ガス検出用流路
108b 基準側補助ガス検出用流路
109a 測定側補助ガス流出口
109b 基準側補助ガス流出口
110 測定用流量センサ
111 補助ガスバッファスペース
112a 測定側補助ガス絞り調整機構
112b 基準側補助ガス絞り調整機構
200 検出回路
300 処理回路

Claims (2)

  1. サンプル流路と、
    前記サンプル流路の両端に形成されたサンプルガス流入口およびサンプルガス流出口と、
    補助ガスが供給される補助ガス供給流路から分岐して補助ガスが流れる測定側補助ガス供給流路および基準側補助ガス供給流路と、
    前記測定側補助ガス供給流路から分岐して補助ガスが流れる測定側補助ガス検出用流路および測定側補助ガス流路と、
    前記基準側補助ガス供給流路から分岐して補助ガスが流れる基準側補助ガス検出用流路および基準側補助ガス流路と、
    前記サンプルガス流出口側の前記サンプル流路に互いに対向して設けられて補助ガスを流出させる前記測定側補助ガス流路の測定側補助ガス流出口および前記基準側補助ガス流路の基準側補助ガス流出口と、
    前記測定側補助ガス検出用流路および前記基準側補助ガス検出用流路の両側から流入する補助ガスの差の流量に応じた信号を出力する測定用流量センサと、
    を備え、前記測定側補助ガス流出口の付近の前記サンプル流路に形成した磁界領域へ酸素分子を引き付けたときの圧力上昇により生じる前記測定側補助ガス検出用流路および前記測定側補助ガス流路の流量変化に応じた信号を前記測定用流量センサが出力して、当該信号に基づく信号を、フーリエ変換を含む演算により酸素濃度値に変換する磁気式酸素分析計において、
    前記測定用流量センサに到達する補助ガスのうち、スパンガス測定時の前記測定用流量センサの出力信号に対して逆位相のゼロガス測定時の前記測定用流量センサの出力信号を発生させるような流量の変化を吸収する補助ガスバッファスペースが、前記基準側補助ガス検出用流路の途中に形成される、
    ことを特徴とする磁気式酸素分析計。
  2. 前記測定側補助ガス供給流路の流路体積を調整する測定側補助ガス絞り調整機構が前記測定側補助ガス供給流路に設けられると共に、前記基準側補助ガス供給流路の流路体積を調整する基準側補助ガス絞り調整機構が前記基準側補助ガス供給流路に設けられる、
    ことを特徴とする請求項1記載の磁気式酸素分析計。
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Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5020878B1 (ja) * 1968-06-13 1975-07-18
JPS5319095A (en) * 1976-08-04 1978-02-21 Fuji Electric Co Ltd Oxygen analyzer of magnetic type
JPH01239450A (ja) * 1988-03-19 1989-09-25 Horiba Ltd 磁気圧式ガス分析計
JPH0217439A (ja) * 1988-07-06 1990-01-22 Yokogawa Electric Corp 磁気式酸素計
US20070084265A1 (en) * 2005-10-14 2007-04-19 Heikki Haveri Detector mounting in paramagnetic gas analyzers
EP1840563A1 (en) * 2006-03-29 2007-10-03 General Electric Company Measuring gas components together with a paramagnetic gas
DE102012212982A1 (de) * 2012-07-24 2013-05-08 Siemens Aktiengesellschaft Prozessmessgerät
JP2015090349A (ja) * 2013-11-07 2015-05-11 富士電機株式会社 磁気式酸素分析計及び磁気式酸素分析計用センサユニット
JP2017026410A (ja) * 2015-07-21 2017-02-02 富士電機株式会社 磁気式酸素分析計
DE102015122506A1 (de) * 2015-12-22 2017-06-22 Analytik Jena Ag Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung eines Anteils eines Elements in einer Probe

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5020878B1 (ja) * 1968-06-13 1975-07-18
JPS5319095A (en) * 1976-08-04 1978-02-21 Fuji Electric Co Ltd Oxygen analyzer of magnetic type
JPH01239450A (ja) * 1988-03-19 1989-09-25 Horiba Ltd 磁気圧式ガス分析計
JPH0217439A (ja) * 1988-07-06 1990-01-22 Yokogawa Electric Corp 磁気式酸素計
US20070084265A1 (en) * 2005-10-14 2007-04-19 Heikki Haveri Detector mounting in paramagnetic gas analyzers
EP1840563A1 (en) * 2006-03-29 2007-10-03 General Electric Company Measuring gas components together with a paramagnetic gas
US20070227230A1 (en) * 2006-03-29 2007-10-04 Heikki Haveri Measuring gas components together with a paramagnetic gas
DE102012212982A1 (de) * 2012-07-24 2013-05-08 Siemens Aktiengesellschaft Prozessmessgerät
JP2015090349A (ja) * 2013-11-07 2015-05-11 富士電機株式会社 磁気式酸素分析計及び磁気式酸素分析計用センサユニット
JP2017026410A (ja) * 2015-07-21 2017-02-02 富士電機株式会社 磁気式酸素分析計
DE102015122506A1 (de) * 2015-12-22 2017-06-22 Analytik Jena Ag Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung eines Anteils eines Elements in einer Probe

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