JP2021014789A - 液剤塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液切れ性を向上可能な液剤塗布装置を提供する。【解決手段】液剤塗布装置１０は、液剤貯留部１１と、ダイヤフラム１２と、中間部材１６と、第１圧電素子１３と、第２圧電素子１４とを備える。液剤貯留部１１は、吐出口１１ｅが形成されたノズル１１ｂを有する。ダイヤフラム１２は、液剤貯留部１１の内部容積を変化させる。中間部材１６は、ダイヤフラム１２に接続される。第１圧電素子１３は、中間部材１６をダイヤフラム１２側に加圧する。第２圧電素子１４は、中間部材１６を挟んで第１圧電素子１３の反対側に配置され、中間部材１６を第１圧電素子１３側に加圧する。【選択図】図１

Description

本発明は、液剤塗布装置に関する。

圧電効果によって電気エネルギから機械エネルギへのエネルギ変換を行う圧電素子は、応答性に優れているため、半導体、印刷、化学薬品などの広い分野において、液剤を対象物の表面に吐出する液剤塗布装置に利用されている。

液剤塗布装置は、吐出口が形成されたノズルを有する液剤貯留部と、液剤貯留部内の容積を変化させるダイヤフラムと、ダイヤフラムを加圧振動させる圧電素子とを備える（例えば、特許文献１参照）。

特開２００７−１６０７０１号公報

圧電素子の伸張に応じてダイヤフラムが湾曲すると、液剤貯留部内の容積が減少して吐出口から液剤が吐出される。その後、圧電素子の収縮に応じてダイヤフラムが元の状態に復帰すると、吐出口から吐出された液剤の根元が狭窄して液切れする。

従って、液剤の液切れ性は、ダイヤフラムの復帰速度に委ねられているところ、圧電素子にダイヤフラムが接続（固定）されているか否かに関わらず、ダイヤフラムの復帰速度を速くすることは容易ではない。

本発明は、上述の状況を鑑みてなされたものであり、液切れ性を向上可能な液剤塗布装置の提供を目的とする。

本発明の一つの態様に係る液剤塗布装置は、液剤貯留部と、ダイヤフラムと、中間部材と、第１圧電素子と、第２圧電素子とを備える。液剤貯留部は、吐出口が形成されたノズルを有する。ダイヤフラムは、液剤貯留部の内部容積を変化させる。中間部材は、ダイヤフラムに接続される。第１圧電素子は、中間部材をダイヤフラム側に加圧する。第２圧電素子は、中間部材を挟んで第１圧電素子の反対側に配置され、中間部材を第１圧電素子側に加圧する。

本発明の一つの態様によれば、液切れ性を向上可能な液剤塗布装置を提供することができる。

液剤塗布装置の構成を示す模式図である。 各圧電素子に印加する駆動電圧信号を示すタイムチャートの一例である。 各圧電素子の伸縮状態を説明するための模式図である。 各圧電素子に印加する駆動電圧信号を示すタイムチャートの一例である。 液剤塗布装置の他の構成を示す模式図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の一実施形態に係る液剤塗布装置について説明する。ただし、本発明の範囲は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、各構造における縮尺および数等を、実際の構造における縮尺および数等と異ならせる場合がある。

本明細書において、「接続」とは、２つの部材が互いに固定又は連結されている状態を意味する。従って、２つの部材が接続されている場合、両者は常に一緒に動作する。また、「接触」とは、２つの部材が直接的に接する状態にはあるものの、２つの部材は互いに固定又は連結されていない状態を意味する。２つの部材が接触している場合、両者が一緒に動作するときと、両者が一緒に動作しないときがある。

また、本明細書において、「平行」とは、物理的に厳密な意味で平行な場合だけでなく、実質的に平行な場合をも含む概念である。実質的に平行とは、１５°以下の範囲で傾いている場合をいう。

（液剤塗布装置１０の構成）
液剤塗布装置１０は、液剤貯留部１１、ダイヤフラム１２、第１圧電素子１３、第２圧電素子１４、第３圧電素子１５、中間部材１６、及び制御部１７を備える。

液剤貯留部１１及びダイヤフラム１２は、ヘッド１８を構成する。第１圧電素子１３、第２圧電素子１４、第３圧電素子１５、及び中間部材１６は、ヘッド１８を駆動させる駆動部１９を構成する。

（１）液剤貯留部１１
液剤貯留部１１は、ハウジング１１ａ及びノズル１１ｂを有する。

ハウジング１１ａは、中空状に形成される。本実施形態において、ハウジング１１ａは筒状に形成されているが、これに限られるものではない。ハウジング１１ａは、例えば合金材料、セラミックス材料、及び合成樹脂材料などによって構成することができる。

ハウジング１１ａの内部には、圧力室１１ｃが形成される。圧力室１１ｃには、液剤が貯留される。液剤としては、接着剤、半田、熱硬化性樹脂、インク、機能性薄膜（配向膜、レジスト、カラーフィルタ、有機エレクトロルミネッセンスなど）を形成するための塗布液などが挙げられるが、これに限られるものではない。

ハウジング１１ａの側壁には、液剤供給口１１ｄが形成される。液剤供給口１１ｄから圧力室１１ｃに液剤が供給される。

ノズル１１ｂは、板状に形成される。ノズル１１ｂは、ハウジング１１ａの一端開口を塞ぐように配置される。ノズル１１ｂには、吐出口１１ｅが形成される。圧力室１１ｃ内の液剤は、吐出口１１ｅから外部に吐出される。

（２）ダイヤフラム１２
ダイヤフラム１２は、ハウジング１１ａの他端開口を塞ぐように配置される。ダイヤフラム１２は、第１乃至第３圧電素子１３〜１５によって加圧振動する中間部材１６とともに弾性的に振動する。これにより、ダイヤフラム１２は、液剤貯留部１１内に形成された圧力室１１ｃの容積を変化させる。

ダイヤフラム１２が圧力室１１ｃの内部に向かって凸状に湾曲した状態（以下、「湾曲状態」という。）になると、圧力室１１ｃの容積は小さくなる。これにより、吐出口１１ｅから液剤が吐出される。その後、ダイヤフラム１２が元の平坦な状態（以下、「平坦状態」という。）に復帰すると、圧力室１１ｃの容積も元に戻る。この際、吐出口１１ｅから吐出された液剤の根元が狭窄して液切れするとともに、液剤供給口１１ｄから圧力室１１ｃに液剤が補充される。

ダイヤフラム１２の構成材料は特に制限されないが、例えば合金材料、セラミックス材料、及び合成樹脂材料などを用いることができる。

（３）第１圧電素子１３
第１圧電素子１３は、中間部材１６上に配置される。第１圧電素子１３は、中間部材１６と第１固定部２１との間に配置される。第１固定部２１は、第１圧電素子１３が伸縮しても移動しない部材である。

第１圧電素子１３は、第１端部１３ｐ及び第２端部１３ｑを有する。第１端部１３ｐ及び第２端部１３ｑは、第１圧電素子１３の伸縮方向Ｄ１における両端部である。第１端部１３ｐは第１固定部２１側に位置し、第２端部１３ｑは、中間部材１６側に位置する。

第１圧電素子１３の第１端部１３ｐは、第１固定部２１に接続されている。第１端部１３ｐの固定には、エポキシ樹脂などを用いることができる。第１圧電素子１３の第２端部１３ｑは、中間部材１６に接触しており、中間部材１６に接続されていない。ただし、第２端部１３ｑは、ダイヤフラム１２に接続されていてもよい。

第１圧電素子１３は、複数の圧電体１３ａ、複数の内部電極１３ｂ、及び一対の側面電極１３ｃ，１３ｃを有する。各圧電体１３ａと各内部電極１３ｂは、交互に積層されている。各圧電体１３ａは、例えばジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）などの圧電セラミックスによって構成される。各内部電極１３ｂは、一対の側面電極１３ｃ，１３ｃのうちいずれか一方と電気的に接続される。すなわち、一方の側面電極１３ｃと電気的に接続された内部電極１３ｂは、他方の側面電極１３ｃから電気的に絶縁されている。このような構造は、一般に部分電極構造と称される。ただし、第１圧電素子１３は、１つの圧電体と一対の電極とを少なくとも備えていればよく、第１圧電素子１３には周知の種々の圧電素子を用いることができる。更に、圧電素子１３は、液剤の吐出に必要な加圧力、すなわち変位を発生させるために、変位を拡大する変位拡大機構を備えていてもよい。変位拡大機構としては、弾性ヒンジを用い、“てこの原理”で変位を拡大するものなどが挙げられる。変位拡大機構としては、例えば特開２００５−３４９３８７号公報に開示されている。また、弾性ヒンジを用いた変位拡大機構の詳細は、例えば特開２０１５−５１３９９号公報に開示されている。このような変位拡大機構を用いれば大きな変位を得られるものの応答性や発生力が犠牲になるため、所望の出力が得られるように設計することが好ましい。

第１圧電素子１３は、制御部１７から印加される駆動電圧信号（すなわち、駆動パルス）に応じて伸縮する。具体的には、制御部１７から一対の側面電極１３ｃ，１３ｃに駆動電圧信号が印加されると各圧電体１３ａが伸縮方向Ｄ１に沿って伸張する。その後、制御部１７から一対の側面電極１３ｃ，１３ｃへの駆動電圧信号の印加が停止すると、各圧電体１３ａは伸縮方向Ｄ１に沿って収縮する。

（４）第２圧電素子１４
第２圧電素子１４は、中間部材１６を挟んで１圧電素子１３の反対側に配置される。第２圧電素子１４は、中間部材１６と第２固定部２２との間に配置される。第２固定部２２は、第２圧電素子１４が伸縮しても移動しない部材である。

第２圧電素子１４は、第１端部１４ｐ及び第２端部１４ｑを有する。第１端部１４ｐ及び第２端部１４ｑは、第２圧電素子１４の伸縮方向Ｄ２における両端部である。第１端部１４ｐは第２固定部２２側に位置し、第２端部１４ｑは、中間部材１６側に位置する。

第２圧電素子１４の第１端部１４ｐは、第２固定部２２に接続されている。第１端部１４ｐの固定には、エポキシ樹脂などを用いることができる。第２圧電素子１４の第２端部１４ｑは、中間部材１６に接触しており、中間部材１６に接続されていない。ただし、第２端部１４ｑは、ダイヤフラム１２に接続されていてもよい。

第２圧電素子１４は、第１圧電素子１３と同様、複数の圧電体１４ａ、複数の内部電極１４ｂ、及び一対の側面電極１４ｃ，１４ｃを有する。ただし、第２圧電素子１４は、第１圧電素子１３と異なる構造を有していてもよい。第２圧電素子１４には、周知の種々の圧電素子を用いることができる。

第２圧電素子１４は、制御部１７から印加される駆動電圧信号に応じて伸縮する。具体的には、制御部１７から一対の側面電極１４ｃ，１４ｃに駆動電圧信号が印加されると各圧電体１４ａが伸縮方向Ｄ２に沿って伸張する。その後、制御部１７から一対の側面電極１４ｃ，１４ｃへの駆動電圧信号の印加が停止すると、各圧電体１４ａは伸縮方向Ｄ２に沿って収縮する。本実施形態において、第２圧電素子１４の伸縮方向Ｄ２は、第１圧電素子１３の伸縮方向Ｄ１と平行である。

（５）第３圧電素子１５
第３圧電素子１５は、中間部材１６を挟んで１圧電素子１３の反対側に配置される。第３圧電素子１５は、図１に示すようにダイヤフラム１２を側面視した場合、ダイヤフラム１２を挟んで第２圧電素子１４の反対側に配置される。

第３圧電素子１５は、中間部材１６と第３固定部２３との間に配置される。第３固定部２３は、第３圧電素子１５が伸縮しても移動しない部材である。

第３圧電素子１５は、第１端部１５ｐ及び第２端部１５ｑを有する。第１端部１５ｐ及び第２端部１５ｑは、第３圧電素子１５の伸縮方向Ｄ３における両端部である。第１端部１５ｐは第３固定部２３側に位置し、第２端部１５ｑは、中間部材１６側に位置する。

第３圧電素子１５の第１端部１５ｐは、第３固定部２３に接続されている。第１端部１５ｐの固定には、エポキシ樹脂などを用いることができる。第３圧電素子１５の第２端部１５ｑは、中間部材１６に接触しており、中間部材１６に接続されていない。ただし、第２端部１５ｑは、ダイヤフラム１２に接続されていてもよい。

第３圧電素子１５は、第１圧電素子１３と同様、複数の圧電体１５ａ、複数の内部電極１５ｂ、及び一対の側面電極１５ｃ，１５ｃを有する。ただし、第３圧電素子１５は、第１圧電素子１３と異なる構造を有していてもよい。第３圧電素子１５には、周知の種々の圧電素子を用いることができる。

第３圧電素子１５は、制御部１７から印加される駆動電圧信号に応じて伸縮する。具体的には、制御部１７から一対の側面電極１５ｃ，１５ｃに駆動電圧信号が印加されると各圧電体１５ａが伸縮方向Ｄ３に沿って伸張する。その後、制御部１７から一対の側面電極１５ｃ，１５ｃへの駆動電圧信号の印加が停止すると、各圧電体１５ａは伸縮方向Ｄ３に沿って収縮する。本実施形態において、第３圧電素子１４の伸縮方向Ｄ３は、第１圧電素子１３の伸縮方向Ｄ１と平行であり、第２圧電素子１４の伸縮方向Ｄ２とも平行である。

（６）中間部材１６
中間部材１６は、ダイヤフラム１２上に配置される。中間部材１６は、ダイヤフラム１２に接続される。中間部材１６は、ダイヤフラム１２と第１圧電素子１３との間に配置される。中間部材１６は、第１圧電素子１３と第２圧電素子１４との間に配置される。中間部材１６は、第１圧電素子１３と第３圧電素子１５との間に配置される。

中間部材１６は、側面視においてＴ字状に形成されているが、これに限られるものではない。中間部材１６は、第１乃至第３圧電素子１３〜１５それぞれの加圧力をダイヤフラム１２に伝達する機能を果たすことができる形状であればよい。

中間部材１６は、例えば合金材料、セラミックス材料、及び合成樹脂材料などによって構成することができる。中間部材１６は、第１乃至第３圧電素子１３〜１５それぞれの加圧力によって撓まないことが好ましい。従って、中間部材１６の構成材料は、中間部材１６の十分な剛性を確保できるよう、第１乃至第３圧電素子１３〜１５それぞれの加圧力と中間部材１６自体のサイズ及び形状とを考慮して適宜選択することが好ましい。

中間部材１６は、第１中間部材１６ａ及び第２中間部材１６ｂを有する。第１中間部材１６ａは、板状又は棒状に形成される。第１中間部材１６ａは、第１圧電素子１３と第２中間部材１６ｂとの間に配置される。図１に示すように、第１中間部材１６ａの中央部には第１圧電素子１３が接触し、第１中間部材１６ａの一端部には第２圧電素子１４が接触し、第１中間部材１６ａの他端部には第３圧電素子１５が接触している。第２中間部材１６ｂは、棒状に形成される。第２中間部材１６ｂは、第１中間部材１６ａとダイヤフラム１２との間に配置される。第２中間部材１６ｂは、第１中間部材１６ａとダイヤフラム１２の両方に接続される。第２中間部材１６ｂは、第１中間部材１６ａと一体的に形成されていてもよい。

（７）制御部１７
制御部１７は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）やＤＳＰ（Digital Signal Processor）等のマイクロプロセッサー、又は、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等の演算装置と、パワーＭＯＳＦＥＴ（Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor）等で構成された電力増幅器とによって実現される。

制御部１７は、第１乃至第３圧電素子１３〜１５それぞれを伸縮させるための駆動電圧信号を生成する。制御部１７は、生成した駆動電圧信号を電力増幅器に送って電力を増幅し、これを各圧電素子１３〜１５に印加することによって、各圧電素子１３〜１５を伸縮させる。制御部１７は、各圧電素子１３〜１５に駆動電圧信号を印加するタイミングを制御することによって、各圧電素子１３〜１５の伸縮及び収縮のタイミングを制御する。以下、制御部１７による各圧電素子１３〜１５の制御方法を説明する。

図２Ａ〜Ｃは、各圧電素子１３〜１５に印加する駆動電圧信号を示すタイムチャートである。図３Ａ及びＢは、各圧電素子１３〜１５の伸縮状態を説明するための模式図である。

制御部１７は、時刻ｔ０〜ｔ１において、第１圧電素子１３に駆動電圧信号を印加するとともに（図２Ａ）、第２及び第３圧電素子１４，１５には駆動電圧信号を印加しない（図２Ｂ及び図２Ｃ）。これによって、第１圧電素子１３は伸張し、かつ、第２及び第３圧電素子１４，１５は収縮する（図３Ａ）。この際、第１圧電素子１３の加圧力が、中間部材１６を介してダイヤフラム１２に伝達されて、ダイヤフラム１２は湾曲状態になる（図３Ａ）。その結果、吐出口１１ｅから液剤が吐出される。

続いて、制御部１７は、時刻ｔ１〜ｔ２において、第１圧電素子１３への駆動電圧信号の印加を停止するとともに（図２Ａ）、第２及び第３圧電素子１４，１５に駆動電圧信号を印加する（図２Ｂ及び図２Ｃ）。これによって、第１圧電素子１３は収縮し、かつ、第２及び第３圧電素子１４，１５は伸張する（図３Ｂ）。この際、第２及び第３圧電素子１４，１５の加圧力が、中間部材１６を介してダイヤフラム１２に伝達されて、ダイヤフラム１２は平坦状態に復帰する。その結果、吐出口１１ｅから吐出された液剤の根元が狭窄して液切れする。

このように、制御部１７は、第１圧電素子１３と第２及び第３圧電素子１４，１５とに電位が逆転した波形の駆動電圧信号を出力することによって、対象物の表面に液剤を塗布することができる。

なお、各圧電素子１３〜１５のいずれにも駆動電圧信号を出力していない場合、すなわち液剤塗布装置１０が駆動していない場合、各圧電素子１３〜１５は収縮した状態になる。この際、各圧電素子１３〜１５が中間部材１６に接続（接着又は固定）されていると、第１圧電素子１３と第２及び第３圧電素子１４，１５とが中間部材１６を引っ張り合う状態になる。従って、各圧電素子１３〜１５は、中間部材１６に接続されるのではなく、中間部材１６に接触していることが好ましい。

（特徴）
（１）液剤塗布装置１０は、ダイヤフラム１２に接続される中間部材１６と、中間部材１６をダイヤフラム１２側に加圧する第１圧電素子１３と、中間部材１６を第１圧電素子１３側に加圧する第２圧電素子１４とを備える。従って、第１圧電素子１３の加圧力によってダイヤフラム１２を湾曲状態にした後、第２及び第３圧電素子１４，１５の加圧力によってダイヤフラム１２を平坦状態に復帰させることができる。そのため、ダイヤフラム１２をスムーズに平坦状態へと復帰させることができるので、液剤の液切れ性を向上させることができる。

（２）第１圧電素子１３の伸縮方向Ｄ１において、第１圧電素子１３の中間部材１６と反対側の第１端部１３ｐは、第１固定部２１に接続されている。従って、第１圧電素子１３の加圧力を効率的にダイヤフラム１２に伝達させることができる。

（３）第１圧電素子１３の伸縮方向Ｄ１において、第１圧電素子１３の中間部材１６側の第２端部１３ｑは、中間部材１６に接触している。このように、第１圧電素子１３の第２端部１３ｑが中間部材１６に接続（固定）されていないため、第１圧電素子１３は、収縮時、ダイヤフラム１２に引っ張られない。従って、第１圧電素子１３が引っ張り力によって破損することを抑制できる。

（４）第２圧電素子１４の伸縮方向Ｄ２において、第２圧電素子１４の中間部材１６と反対側の第１端部１４ｐは、第２固定部２２に接続されている。従って、第２圧電素子１４の加圧力を効率的にダイヤフラム１２に伝達させることができる。

（５）第１圧電素子１３の伸縮方向Ｄ１は、第２圧電素子１４の伸縮方向Ｄ２と平行である。従って、中間部材１６を安定して移動させることができるため、ダイヤフラム１２をよりスムーズに平坦状態へと復帰させることができる。

（６）液剤塗布装置１０は、ダイヤフラム１２を挟んで第２圧電素子１４の反対側に配置される第３圧電素子１５を備える。従って、第２及び第３圧電素子１４，１５から中間部材１６にバランスよく加圧力を伝達できるため、ダイヤフラム１２をよりスムーズに平坦状態へと復帰させることができる。

（７）中間部材１６は、第２及び第３圧電素子１４，１５からの加圧力によって撓まない程度の剛性を有する。従って、第２及び第３圧電素子１４，１５からの加圧力を効率的にダイヤフラム１２に伝達させることができるので、ダイヤフラム１２を迅速に平坦状態に復帰させることができる。

（他の実施形態）
本発明は上記の実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなる。

上記実施形態において、制御部１７は、図２Ａ〜Ｃに示したように、第１圧電素子１３と第２及び第３圧電素子１４，１５とを同時に伸張又は収縮させることとしたが、これに限られるものではない。例えば、制御部１７は、図４Ａ〜Ｃに示すように、第１圧電素子１３を伸張させる際には、第１圧電素子１３の伸張から遅れて第２及び第３圧電素子１４，１５を収縮させ、また、第１圧電素子１３を収縮させる際には、第１圧電素子１３の収縮に先立って第２及び第３圧電素子１４，１５を伸張させてもよい。この場合、第１圧電素子１３と第２及び第３圧電素子１４，１５とによって中間部材１６に対して常に圧縮負荷をかけることができるため、中間部材１６を安定して移動させることができる。従って、ダイヤフラム１２の安定かつ迅速な伸縮動作を実現できるとともに、ダイヤフラム１２の不要な振動や、各圧電素子１３〜１５の特性ばらつきによる伸縮タイミングのずれに伴う各圧電素子１３〜１５の破損を抑制できる。

上記実施形態において、液剤塗布装置１０は、第３圧電素子１５を備えることとしたが、第３圧電素子１５を備えていなくてもよい。この場合であっても、第２圧電素子１４の加圧力によってダイヤフラム１２を平坦状態にスムーズに復帰させることができるので、液剤の液切れ性を向上させることができる。

上記実施形態において、第１圧電素子１３の第２端部１３ｑは、中間部材１６と直接的に接触することとしたが、第２端部１３ｑと中間部材１６との間には、図５に示すように、第１圧電素子１３と面接触し、かつ、中間部材１６と点接触する第１部材２１が挟まれていてもよい。第１部材２１は、第１圧電素子１３の第２端部１３ｑに固定されており、中間部材１６とは接離自在である。このような第１部材２１を挟むことによって、第２端部１３ｑの一部のみに加圧力が集中することを抑制できるため、第１圧電素子１３の破損を抑制できる。

上記実施形態において、第２圧電素子１４の第２端部１４ｑは、中間部材１６と直接的に接触することとしたが、第２端部１４ｑと中間部材１６との間には、図５に示すように、第２圧電素子１４と面接触し、かつ、中間部材１６と点接触する第２部材２２が挟まれていてもよい。第２部材２２は、第２圧電素子１４の第２端部１４ｑに固定されており、中間部材１６とは接離自在である。このような第２部材２２を挟むことによって、第２端部１４ｑの一部のみに加圧力が集中することを抑制できるため、第２圧電素子１４の破損を抑制できる。

上記実施形態において、第３圧電素子１５の第２端部１５ｑは、中間部材１６と直接的に接触することとしたが、第２端部１５ｑと中間部材１６との間には、図５に示すように、第３圧電素子１５と面接触し、かつ、中間部材１６と点接触する第３部材２３が挟まれていてもよい。第３部材２３は、第３圧電素子１５の第２端部１５ｑに固定されており、中間部材１６とは接離自在である。このような第３部材２３を挟むことによって、第２端部１５ｑの一部のみに加圧力が集中することを抑制できるため、第３圧電素子１５の破損を抑制できる。

上記実施形態において、各圧電素子１３〜１５と中間部材はすべて接触が好ましいとして説明した。しかし、液体塗布装置１０の組み立ての利便性から圧電素子１３〜１５全てを中間部材と接触とするよりも、一部を接続としたほうが好ましい場合もある。つまり、第１圧電素子１３が中間部材と接続し、第２圧電素子１４、第３圧電素子１５が中間部材と接触としてもよい。逆に、第１圧電素子１３が中間部材と接触し、第２圧電素子１４、第３圧電素子１５が中間部材と接続としてもよい。これにより、圧電素子の破損を抑制しながら組立性を向上することができる。

１０ 液剤塗布装置
１１ 液剤貯留部
１１ａ ハウジング
１１ｂ ノズル
１１ｃ 圧力室
１１ｄ 液剤供給口
１１ｅ 吐出口
１２ ダイヤフラム
１３ 第１圧電素子
１４ 第２圧電素子
１５ 第３圧電素子
１６ 中間部材
１７ 制御部

Claims (9)

1. 吐出口が形成されたノズルを有する液剤貯留部と、
   前記液剤貯留部の内部容積を変化させるダイヤフラムと、
   前記ダイヤフラムに接続される中間部材と、
   前記中間部材を前記ダイヤフラム側に加圧する第１圧電素子と、
   前記中間部材を挟んで前記第１圧電素子の反対側に配置され、前記中間部材を前記第１圧電素子側に加圧する第２圧電素子と、
   を備える液剤塗布装置。
2. 前記第１圧電素子の伸縮方向において、前記第１圧電素子の前記中間部材と反対側の端部は、第１固定部に接続されている、
   請求項１に記載の液剤塗布装置。
3. 前記第１圧電素子の伸縮方向において、前記第１圧電素子の前記中間部材側の端部は、前記中間部材に接触している、
   請求項１又は２に記載の液剤塗布装置。
4. 前記第２圧電素子の伸縮方向において、前記第２圧電素子の前記中間部材と反対側の端部は、第２固定部に接続されている、
   請求項１乃至３のいずれかに記載の液剤塗布装置。
5. 前記第１圧電素子の伸縮方向は、前記第２圧電素子の伸縮方向と平行である、
   請求項１乃至４のいずれかに記載の液剤塗布装置。
6. 前記中間部材を挟んで前記第１圧電素子の反対側に配置され、前記中間部材を前記第１圧電素子側に加圧する第３圧電素子をさらに備え、
   前記ダイヤフラムを側面視した場合、前記第３圧電素子は、前記ダイヤフラムを挟んで前記第２圧電素子の反対側に配置される、
   請求項１乃至５のいずれかに記載の液剤塗布装置。
7. 前記中間部材と前記第１圧電素子との間に配置される第１部材をさらに備え、
   前記第１部材は、前記第１圧電素子と面接触し、かつ、前記中間部材と点接触する、
   請求項１乃至６のいずれかに記載の液剤塗布装置。
8. 前記中間部材と前記第２圧電素子との間に配置される第２部材をさらに備え、
   前記第２部材は、前記第２圧電素子と面接触し、かつ、前記中間部材と点接触する、
   請求項１乃至７のいずれかに記載の液剤塗布装置。
9. 前記中間部材は、前記第２圧電素子からの加圧力によって撓まない、
   請求項１乃至８のいずれかに記載の液剤塗布装置。

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