JP2021004895A - 取得装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態に係る情報取得装置は、電磁波を対象物に照射する照射手段と、前記対象物によって反射された前記電磁波を検出し、前記対象物に関する情報を取得する取得手段と、前記照射手段から見て前記対象物の背面側に位置し、前記対象物の位置を固定する固定手段とを備え、前記固定手段は、前記対象物を透過した電磁波を反射する反射面を有し、前記反射面は、反射した電磁波が前記取得手段に到達するまでの光学的距離が反射位置によって変化する構造を有する。
本実施形態に係る情報取得装置の一態様では、前記照射手段を所定の駆動方向に駆動する駆動手段を備え、前記反射面は、前記駆動方向に沿って前記光学的距離が変化する構造を有している。
本実施形態に係る情報取得装置の他の態様では、前記反射面は、前記取得部までの光学的距離が互いに異なる複数の反射面部分を有する。
上述した複数の反射面部分を有する態様では、前記複数の反射面部分の各々は、前記照射手段の照射範囲に対応する面積を有していてもよい。
或いは複数の反射面部分を有する態様では、前記反射面は、前記取得部までの光学的距離が互いに異なる所定個数の前記反射面部分からなる複数の反射面部分群を有しており、前記複数の反射面部分群の各々は、前記照射手段の照射範囲に対応する面積を有していてもよい。
本実施形態に係る情報取得装置の他の態様では、前記反射面は、前記取得部までの光学的距離を変化させることが可能な液晶を含んでいる。
本実施形態に係る情報取得装置の他の態様では、前記電磁波は、テラヘルツ波である。
本実施形態に係る情報取得装置の他の態様では、前記取得手段は、前記対象物に関する情報として、前記対象物の画像を取得する。
本実施形態に係る情報取得装置の他の態様では、前記固定手段は、板状の部材であり、前記対象物が配置される配置面側に前記対象物を押圧することで、前記対象物の位置を固定する。
本実施形態に係る固定具は、電磁波が照射される対象物を固定する固定具であって、前記対象物を押圧して固定すると共に、前記対象物を透過した電磁波を反射する反射面を有し、前記反射面は、反射した電磁波が検出されるまでの光学的距離が反射位置によって変化する構造を有する。
先ず、図1を参照しながら、本実施例の情報取得装置の全体構成について説明する。ここに図1は、実施例に係る情報取得装置の全体構成を示す概略構成図である。
次に、図2を参照しながら、反射光(言い換えれば、テラヘルツ波受信部140で受信されるテラヘルツ波)の干渉に起因する強度変化について説明する。ここに図2は、干渉による反射光の強度変化を示す概念図である。
次に、スキャナカバー部430の反射面の構成について、複数の実施例を挙げて詳細に説明する。
先ず、図3及び図4を参照して、第1実施例に係るスキャナカバー部430の構造について説明する。ここに図3は、第1実施例に係るスキャナカバーの反射面構造を示す部分拡大図である。また図4は、第1実施例に係る情報取得装置の構成を示す側面図である。
次に、図6を参照して、第2実施例に係るスキャナカバー部430の構造について説明する。ここに図6は、第2実施例に係る情報取得装置の構成を示す側面図である。
次に、図8を参照して、第3実施例に係るスキャナカバー部430の構造について説明する。ここに図8は、第3実施例に係る情報取得装置の構成を示す側面図である。
110 テラヘルツ波発信部
111 テラヘルツ波発生素子
112 シリコン半球レンズ
113 コリメートレンズ
120 ビームスプリッタ
130 対物レンズ
140 テラヘルツ波受信部
141 集光レンズ
142 シリコン半球レンズ
143 テラヘルツ波検出素子
200 制御・信号処理部
210 信号増幅部
220 バイアス生成部
230 ロックイン検出部
240 スキャナ駆動部
250 画像処理部
300 ヘッドスキャナ部
310 キャリッジ
320 スキャン機構
400 検査対象保持部
410 筐体
420 試料台
430 スキャナカバー部
450 反射面部分群
460 反射面部分
470 液晶層
500 検査対象
Claims (1)
- 照射手段によって測定物に照射されることによって、前記測定物によって反射された電磁波を検出し、前記測定物に関する情報を取得する取得手段と、
前記測定物を透過した電磁波を反射させることで前記取得手段に導く反射手段と、
を備え、
前記反射手段は、反射した電磁波が前記取得手段に到達するまでの光学的距離が反射位置によって変化する構造を有する
ことを特徴とする取得装置。
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