JP2020533590A - 露出されたプレーナ型のコロナ放電電極を有する粒子センサ - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、請求項1の上位概念に記載の粒子センサと、独立方法請求項の上位概念に記載の、粒子センサを製造するための方法とに関する。
本発明は、請求項1に記載の特徴的構成による装置の態様と、独立方法請求項に記載の特徴的構成による方法の態様とにおいて、上記の従来技術とは異なっている。本発明によれば、本粒子センサは、電極が、セラミック支持要素の上にプレーナ状に付着状態で載置されており、これによってプレーナ型の電極を形成し、セラミック支持要素のうちのプレーナ型のコロナ放電電極の先鋭部が載置されている部分領域であって、かつ、セラミック支持要素の境界面によって画定されている部分領域が、セラミック支持要素の先鋭部として、セラミック支持要素の残余の部分から突出していることを特徴とする。
Claims (10)
- セラミック支持要素(34)と、先鋭部(54)を有するコロナ放電電極(40)と、接地電極(42)と、少なくとも1つのイオントラップ電極(44)とを備える粒子センサ(12)であって、
前記電極(40,42,44)は、前記セラミック支持要素(34)の上にプレーナ状に付着状態で載置されており、これによってプレーナ型の電極を形成し、
前記セラミック支持要素(34)のうちのプレーナ型の前記コロナ放電電極(40)の前記先鋭部(54)が載置されている部分領域(62)であって、かつ、前記セラミック支持要素(34)の境界面によって画定されている部分領域(62)が、前記セラミック支持要素(34)の先鋭部として、前記セラミック支持要素の残余の部分から突出している、
ことを特徴とする粒子センサ(12)。 - 前記セラミック支持要素(34)は、当該セラミック支持要素のうちの前記プレーナ型のコロナ放電電極(40)の前記先鋭部(54)が載置されている前記部分領域(62)において、前記プレーナ型のコロナ放電電極(40)が位置している平面(58)に対して平行に位置している断面(60)を有し、
前記断面(60)は、前記コロナ放電電極(40)の前記先鋭部(54)の形状を有する、
請求項1に記載の粒子センサ(12)。 - 前記断面(60)は、前記プレーナ型のコロナ放電電極の法線の方向に、前記プレーナ型のコロナ放電電極からの距離が増加するにつれて小さくなっている、
請求項2に記載の粒子センサ(12)。 - 前記セラミック支持要素(34)は、前記プレーナ型のコロナ放電電極(40)と前記接地電極(42)との間に配置されている凹部(56)を有し、
前記セラミック支持要素(34)のうちの前記プレーナ型のコロナ放電電極(40)の前記先鋭部(54)が載置されている前記部分領域(62)は、前記凹部(56)内に突出している、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の粒子センサ(12)。 - 前記セラミック支持要素(34)のうちの前記プレーナ型のコロナ放電電極(40)が付着状態で載置されている部分と、前記セラミック支持要素(34)のうちの前記接地電極(42)が載置されている部分とが、一体的な前記セラミック支持要素(34)の構成部分である少なくとも1つのウェブ(59)を介して相互に接続されている、
請求項1乃至4のいずれか一項に記載の粒子センサ(12)。 - セラミック支持要素(34)と、先鋭部(54)を有するコロナ放電電極(40)と、接地電極(42)と、少なくとも1つのイオントラップ電極(44)とを備える粒子センサ(12)を製造するための方法であって、
セラミック支持要素(34)を、当該セラミック支持要素(34)の上にプレーナ状に付着状態で載置される電極(40,42,44,46)によって被覆し、
前記セラミック支持要素(34)のうちの前記コロナ放電電極(40)の前記先鋭部(54)が載置されている部分領域(62)であって、かつ、前記セラミック支持要素(34)の境界面によって画定されている部分領域(62)を露出させ、これによって、当該部分領域(62)が、先鋭部として、前記セラミック支持要素の残余の部分から突出するようにする、
ことを特徴とする方法。 - 前記露出を、フライス加工のような材料除去方法によって実施する、
請求項6に記載の方法。 - 前記セラミック支持要素(34)を射出成形プロセスによって製造する際に、前記露出を実施する、
請求項6に記載の方法。 - スクリーン印刷と、それに続く共焼結(Co焼結)とによって、前記セラミック支持要素(34)を、付着状態で載置される前記電極(40,42,44,46)によって被覆する、
請求項6乃至8のいずれか一項に記載の、粒子センサ(12)を製造するための方法。 - 前記スクリーン印刷の後、前記コロナ放電電極(40)の材料をレーザビームによって蒸発させることにより、前記コロナ放電電極(40)の前記先鋭部(54)の曲率半径を低減させる、
請求項9に記載の方法。
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