JP2020532122A - 透明又は半透明ウェハを対象にした欠陥検出 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2017年8月24日付米国暫定特許出願第62/549775号に基づく優先権を主張するものであり、ここに参照によってその開示内容を繰り入れるものとする。
Claims (19)
- プロセッサ及びそのプロセッサと電子通信する電子データ格納ユニットを有するコントローラを備え、1個又は複数個のソフトウェアモジュールを実行するようそのプロセッサが構成されており、当該1個又は複数個のソフトウェアモジュールが、
透明又は半透明ウェハ上にある3個のダイに係る明視野像であり、複数本の画像ロー及び複数本の画像カラムをそれぞれ有するものを受け取り、
前記3個のダイに係る暗視野像であり、複数本の画像ロー及び複数本の画像カラムをそれぞれ有するものを受け取り、
前記明視野像及び前記暗視野像の画像カラム毎に、それら画像カラムのうち少なくとも1本に沿い適用されるカーネルサイズに基づく第1計算値を決定し、
前記画像カラムの各画素における画素強度から第1計算値を減ずることで第1差分を決定し、
その候補画素に係る第1差分が閾値を上回るように候補画素を分類し、
前記カーネルサイズに基づく第2計算値を決定し、
前記画素強度から第2計算値を減ずることで第2差分を決定し、そして
その欠陥入り画素に係る第2差分が閾値を上回るように欠陥入り画素を分類するよう、
構成されているシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、更に、前記コントローラと電子通信する明視野イメージングシステムを備えるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、更に、前記コントローラと電子通信する暗視野イメージングシステムを備えるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記第1計算値が移動平均であるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記第2計算値が局所メディアンであるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記第2計算値が各候補画素についてのものであり、前記第2差分が各候補画素に由来するシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記3個のダイが隣接ダイであるシステム。
- 透明又は半透明ウェハ上にある3個のダイに係る明視野像であり、複数本の画像ロー及び複数本の画像カラムをそれぞれ有するものを、コントローラにて受け取るステップと、
前記3個のダイに係る暗視野像であり、複数本の画像ロー及び複数本の画像カラムをそれぞれ有するものを、前記コントローラにて受け取るステップと、
前記明視野像及び前記暗視野像の画像カラム毎に、それら画像カラムのうち少なくとも1本に沿い適用されるカーネルサイズに基づく第1計算値を、前記コントローラを用い決定するステップと、
前記コントローラを用い前記画像カラムの各画素における画素強度から第1計算値を減ずることで第1差分を決定するステップと、
その候補画素に係る第1差分が閾値を上回るよう前記コントローラを用い候補画素を分類するステップと、
前記カーネルサイズに基づく第2計算値を、前記コントローラを用い決定するステップと、
前記コントローラを用い前記画素強度から第2計算値を減ずることで第2差分を決定するステップと、
その欠陥入り画素に係る第2差分が閾値を上回るように前記コントローラを用い欠陥入り画素を分類するステップと、
を有する方法。 - 請求項8に記載の方法であって、前記第1計算値が移動平均である方法。
- 請求項8に記載の方法であって、前記第2計算値が局所メディアンである方法。
- 請求項8に記載の方法であって、前記第1計算値及び前記第2計算値のうち一方がローパスフィルタによる高速フーリエ変換である方法。
- 請求項8に記載の方法であって、前記第1計算値及び前記第2計算値のうち一方がガウシアンカーネルとのコンボリューションである方法。
- 請求項8に記載の方法であって、前記第2計算値が各候補画素についてのものであり、前記第2差分が各候補画素に由来する方法。
- 請求項8に記載の方法であって、前記画素強度が、同じダイの同じ画像カラム内にある3個の隣接画素の平均であり、前記第2計算値が、同じダイの同じ画像カラム内にある候補画素及び2個の隣接画素の平均であり、前記第2差分が前記候補画素の平均に基づくものである方法。
- 請求項8に記載の方法であって、前記第1計算値が明視野像毎及び暗視野像毎に決定される方法。
- 請求項8に記載の方法であって、前記第1計算値及び前記第2計算値が、各明視野像と、同じダイの個別の暗視野像のうち対応するものと、の融合画像に基づき決定される方法であり、更に、各明視野像と、個別の暗視野像のうち対応するものと、を融合させることでその融合画像を形成するステップを有する方法。
- 請求項16に記載の方法であって、前記第2計算値が局所メディアンであり、その第2計算値及び前記第2差分が前記明視野像及び前記暗視野像の双方に基づき決定され、前記閾値に明視野閾値及び暗視野閾値がある方法。
- 請求項16に記載の方法であって、前記第2計算値が局所メディアンであり、前記閾値が前記融合画像に係るものであり、前記分類ステップが、第1値及び第2値の積の平方根をとることで第3値を形成するステップ、並びにその第3値を当該閾値と比較するステップを含み、当該第1値が、前記明視野像の画素強度からその明視野像の局所メディアンを減じたものであり、当該第2値が、前記暗視野像の画素強度からその暗視野像の局所メディアンを減じたものである方法。
- 請求項8に記載の方法であって、前記3個のダイが隣接ダイである方法。
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