JP2020531866A - ファイバ温度検知ベースの可撓性電子皮膚及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
11 可撓性基板
12 絶縁層
121 熱絶縁層
122 電気絶縁層
13 遷移層
14 薄膜熱電スタック
141 熱伝導エリア
142 N−P薄膜熱電対
15 断熱保護層
20 熱伝導ユニット
21 熱伝導ファイバ
22 熱伝導接着層
30 パッケージ層
Claims (10)
- 温度検知ユニットと、前記温度検知ユニットに設けられた熱伝導ユニットと、前記温度検知ユニット及び前記熱伝導ユニットを一体的にパッケージしたパッケージ層とを備え、
前記温度検知ユニットは、可撓性基板と、下から上へ順次前記可撓性基板に堆積された、絶縁層、遷移層、複数の薄膜熱電スタック、及び、断熱保護層を含み、
前記熱伝導ユニットは、それぞれ前記薄膜熱電スタックの熱伝導エリアに固定されており、前記断熱保護層及び前記パッケージ層の外に延びた複数の熱伝導ファイバを含むことを特徴とする温度検知ベースの可撓性電子皮膚。 - 前記絶縁層は、前記可撓性基板に堆積された熱絶縁層と、前記熱絶縁層に堆積された電気絶縁層とを含むことを特徴とする請求項1に記載の温度検知ベースの可撓性電子皮膚。
- 各前記薄膜熱電スタックは、複数組の薄膜熱電対が直列接続されて形成された環状構造となっており、前記熱伝導エリアは、前記環状構造内に位置していることを特徴とする請求項1に記載の温度検知ベースの可撓性電子皮膚。
- 前記熱伝導ファイバは、高熱伝導の炭素繊維、黒鉛繊維、金属または高分子材料から製造された糸状物であることを特徴とする請求項1に記載の温度検知ベースの可撓性電子皮膚。
- 前記熱伝導ファイバは、熱伝導接着層を介して前記熱伝導エリアに固定されていることを特徴とする請求項1又は4に記載の温度検知ベースの可撓性電子皮膚。
- 可撓性基板を用意し、前記可撓性基板に下から上へ順次絶縁層と遷移層とを堆積させ、前記遷移層に間隔をおいて複数の薄膜熱電スタックを堆積させ、複数の熱伝導ファイバを用意し、各薄膜熱電スタックの熱伝導エリアに熱伝導ファイバを固定し、前記遷移層に各薄膜熱電スタックをパッケージするための断熱保護層を堆積し、各前記熱伝導ファイバを前記断熱保護層外に延ばすことによって、温度検知ユニット及び熱伝導ユニットを製造する工程と、
前記温度検知ユニット及び前記熱伝導ユニットを一体的にパッケージし、且つ各前記熱伝導ファイバを、パッケージ体外に延ばすようにした、パッケージ工程とを含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の温度検知ベースの可撓性電子皮膚の製造方法。 - 前記可撓性基板の材料は、ポリイミド、ポリビニルアルコールフィルムまたはポリエステルフィルムであることを特徴とする請求項6に記載の可撓性電子皮膚の製造方法。
- 前記絶縁層は、前記可撓性基板に堆積された熱絶縁層、及び前記熱絶縁層に堆積された電気絶縁層を含み、前記熱絶縁層は、多孔シリコン層または酸化イットリウムとジルコニアから構成された熱バリアコーティングであり、前記電気絶縁層は、SiO2層であることを特徴とする請求項6に記載の可撓性電子皮膚の製造方法。
- 前記薄膜熱電スタックは、複数組の薄膜熱電対が直列接続されて形成されたものであり、前記薄膜熱電スタックは、T型、S型、B型、E型、R型またはK型熱電対であることを特徴とする請求項6に記載の可撓性電子皮膚の製造方法。
- 前記熱伝導ファイバは、高熱伝導の炭素繊維、黒鉛繊維、金属または高分子材料から製造された糸状物であることを特徴とする請求項6に記載の可撓性電子皮膚の製造方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102330972B1 (ko) * | 2020-11-26 | 2021-12-02 | 주식회사 글림시스템즈 | 침술 훈련기구 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108168734B (zh) * | 2018-02-08 | 2020-01-07 | 南方科技大学 | 一种基于纤毛温度传感的柔性电子皮肤及其制备方法 |
CN110108375B (zh) * | 2019-04-26 | 2021-01-12 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种基于MXene材料的电子皮肤及其制备方法 |
CN110738991A (zh) * | 2019-10-11 | 2020-01-31 | 东南大学 | 基于柔性可穿戴传感器的语音识别设备 |
CN111855742B (zh) * | 2019-12-16 | 2021-11-19 | 西安交通大学 | 一种检测爆炸对人体损伤程度的电子皮肤结构及检测方法 |
CN111012545B (zh) * | 2019-12-24 | 2022-05-10 | 郑州大学 | 一种恒温电子皮肤及其制备方法和应用 |
WO2021237602A1 (zh) * | 2020-05-28 | 2021-12-02 | 南昌欧菲显示科技有限公司 | 薄膜式热电偶、温度传感器及智能穿戴设备 |
CN111595477A (zh) * | 2020-05-28 | 2020-08-28 | 南昌欧菲显示科技有限公司 | 薄膜式热电偶、温度传感器及智能穿戴设备 |
CN111595479A (zh) * | 2020-06-05 | 2020-08-28 | 南昌欧菲显示科技有限公司 | 薄膜式热电偶、温度传感器及智能穿戴设备 |
CN115061514A (zh) * | 2022-05-17 | 2022-09-16 | 南方科技大学 | 假肢温觉系统及其制备方法 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006205345A (ja) * | 2005-01-31 | 2006-08-10 | Tokai Rubber Ind Ltd | 人工皮膚 |
JP2007173226A (ja) * | 2005-11-28 | 2007-07-05 | Osaka Univ | ゴム材料およびゴム材料の製造方法 |
CN204044096U (zh) * | 2014-08-15 | 2014-12-24 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种复合薄膜烧蚀传感器 |
CN104251751A (zh) * | 2014-09-26 | 2014-12-31 | 中国科学院半导体研究所 | 一种多感官集成的电子皮肤及其制造方法 |
CN205163046U (zh) * | 2015-11-28 | 2016-04-20 | 深圳市前海安测信息技术有限公司 | 用于检测体表温度的柔性电子皮肤 |
US20160250015A1 (en) * | 2015-02-27 | 2016-09-01 | Seoul National University R&Db Foundation | Stretchable electronics for artificial skin |
US20170273624A1 (en) * | 2014-12-12 | 2017-09-28 | Guang Dong Dongbond Technology Co., Ltd. | Electronic skin and manufacturing method therefor |
CN107551323A (zh) * | 2017-08-29 | 2018-01-09 | 北京中硕众联智能电子科技有限公司 | 基于压电材料和热敏电阻材料的人工皮肤及其检测方法 |
WO2018008440A1 (ja) * | 2016-07-04 | 2018-01-11 | 株式会社デンソー | 熱流束センサモジュールおよびその製造方法 |
CN107607222A (zh) * | 2017-08-10 | 2018-01-19 | 常州大学 | 一种基于果胶/黄原胶共混膜的柔性温度传感器及其制备方法 |
US20180024682A1 (en) * | 2015-04-13 | 2018-01-25 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Sensing panel and manufacturing method of the same, method for pressure detection and temperature detection |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1162690C (zh) * | 2001-12-10 | 2004-08-18 | 武汉大学 | 一种环状热电堆温度传感器 |
US8568027B2 (en) * | 2009-08-26 | 2013-10-29 | Ut-Battelle, Llc | Carbon nanotube temperature and pressure sensors |
CN105606291B (zh) * | 2016-01-21 | 2018-06-15 | 清华大学 | 热式压力传感器及柔性电子皮肤 |
CN106017696B (zh) * | 2016-07-13 | 2019-06-21 | 上海交通大学 | 热阻式薄膜热电堆型瞬态热流计及制备方法 |
CN107543618A (zh) * | 2016-09-05 | 2018-01-05 | 北京卫星环境工程研究所 | 基于柔性薄膜热电堆的圆箔式辐射热流测量装置 |
CN106840435A (zh) * | 2016-12-27 | 2017-06-13 | 上海交通大学 | 瞬态温度和热流密度联测传感器及其制备方法 |
CN107595433B (zh) * | 2017-08-29 | 2019-03-08 | 北京中硕众联智能电子科技有限公司 | 一种人工智能皮肤及其检测湿度和温度的方法 |
CN108168734B (zh) * | 2018-02-08 | 2020-01-07 | 南方科技大学 | 一种基于纤毛温度传感的柔性电子皮肤及其制备方法 |
-
2018
- 2018-02-08 CN CN201810128938.XA patent/CN108168734B/zh active Active
-
2019
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Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006205345A (ja) * | 2005-01-31 | 2006-08-10 | Tokai Rubber Ind Ltd | 人工皮膚 |
JP2007173226A (ja) * | 2005-11-28 | 2007-07-05 | Osaka Univ | ゴム材料およびゴム材料の製造方法 |
CN204044096U (zh) * | 2014-08-15 | 2014-12-24 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种复合薄膜烧蚀传感器 |
CN104251751A (zh) * | 2014-09-26 | 2014-12-31 | 中国科学院半导体研究所 | 一种多感官集成的电子皮肤及其制造方法 |
US20170273624A1 (en) * | 2014-12-12 | 2017-09-28 | Guang Dong Dongbond Technology Co., Ltd. | Electronic skin and manufacturing method therefor |
US20160250015A1 (en) * | 2015-02-27 | 2016-09-01 | Seoul National University R&Db Foundation | Stretchable electronics for artificial skin |
US20180024682A1 (en) * | 2015-04-13 | 2018-01-25 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Sensing panel and manufacturing method of the same, method for pressure detection and temperature detection |
CN205163046U (zh) * | 2015-11-28 | 2016-04-20 | 深圳市前海安测信息技术有限公司 | 用于检测体表温度的柔性电子皮肤 |
WO2018008440A1 (ja) * | 2016-07-04 | 2018-01-11 | 株式会社デンソー | 熱流束センサモジュールおよびその製造方法 |
CN107607222A (zh) * | 2017-08-10 | 2018-01-19 | 常州大学 | 一种基于果胶/黄原胶共混膜的柔性温度传感器及其制备方法 |
CN107551323A (zh) * | 2017-08-29 | 2018-01-09 | 北京中硕众联智能电子科技有限公司 | 基于压电材料和热敏电阻材料的人工皮肤及其检测方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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